JPS60191898U - 輻射加熱装置 - Google Patents

輻射加熱装置

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JPS60191898U
JPS60191898U JP7960084U JP7960084U JPS60191898U JP S60191898 U JPS60191898 U JP S60191898U JP 7960084 U JP7960084 U JP 7960084U JP 7960084 U JP7960084 U JP 7960084U JP S60191898 U JPS60191898 U JP S60191898U
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JP
Japan
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heating device
light source
radiant heating
focal point
spheroidal
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JP7960084U
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Inventor
智義 遠藤
Original Assignee
株式会社サーモ理工
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第５図は本考案の第二の実施例を示し、第１
図は輻射加熱装置本体の全体縦断面図、第２図は同じく
試料の照竺面積Ｓを拡寄せ−た際の原理的説明図、第３
図は集光シールド部を取り外して、反射部を直接真空チ
ャンバーに取り付けた際の縦断側面図である。第４図乃
至第５図は試料上面の温度分布を示すプロフィールであ
り、その分布曲線は縦軸に試料温度Ｔ１横軸に照射径１
を゛採っである。第６図は本考案に於ける第二の実施例
を示すもである。 ２・・・・・・反射部、３・・・・・・集光シールド部
、５・・・・・・回転楕円反射鏡、７・・・−・・・試
料載置台、６・・・・・・開口部、８・・・・・・輻射
光源、１３・・・・・・光源微動機構、２５・・・・・
・金属網。 ”　　　　第６図　　　　　　　− ′＼１← 一７否ワ７］′・ （Ａｌ１−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一　　　中空の回転楕円体の一方の焦点Ｆ１側である内
    側上半分に金メッキを施こして回転楕円反射鏡５を形成
    して反射部２を構成すると共に、該回転楕円反射鏡５側
    の焦点Ｆ□に輻射光源８を光源微動雪：、Ｑ３；、、、
    、ｉ、り長軸方向に移動可能に設置した幅
JP7960084U 1984-05-31 1984-05-31 輻射加熱装置 Granted JPS60191898U (ja)

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JPS60191898U true JPS60191898U (ja) 1985-12-19
JPH0434400Y2 JPH0434400Y2 (ja) 1992-08-17

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JPH0434400Y2 (ja) 1992-08-17

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