JPS60187994A - Memory circuit - Google Patents

Memory circuit

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JPS60187994A
JPS60187994A JP59044410A JP4441084A JPS60187994A JP S60187994 A JPS60187994 A JP S60187994A JP 59044410 A JP59044410 A JP 59044410A JP 4441084 A JP4441084 A JP 4441084A JP S60187994 A JPS60187994 A JP S60187994A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lines
memory cell
address
transistor
line
Prior art date
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Pending
Application number
JP59044410A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sadahiro Yasuda
安田 貞宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS60187994A publication Critical patent/JPS60187994A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the constitution area of a memory cell by arranging MOS transistors (TRs) at intersections between address lines and memory cell output lines. CONSTITUTION:In the memory cell formed with TRs Q3-Q6 having address lines A1 and A2 and word lines W1, anti-W1, W2, and anti-W2 corresponding to these address lines, N type MOS TRs Q1 and Q8 are turned on when the address line A1 is selected and goes to the high level. In this case, the address line A2 is in the low level, and P type MOS TRs Q9 and Q11 at intersections between lines A1 and A2 and memory output lines which do not correspond to these lines are turned on, and lines W1 and anti-W1 are connected electrically. When the line A2 is selected, lines W2 and anti-W2 are connected electrically similarly. P type MOS TRs Q9-Q11 arranged at intersections between address lines and data output lines to the other word lines which do not correspond to address lines are equivalent to metallic wirings, and thus, the constitution area of the memory cell is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は複数のアドレス線およびワード線をもったメモ
リセルをCMOSシリコンゲートトランジスタによ多構
成したメモリ回路に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Technical Field) The present invention relates to a memory circuit in which memory cells each having a plurality of address lines and word lines are configured using CMOS silicon gate transistors.

(従来技術) 従来、1個のメモリセルに2個ずつアドレス線およびワ
ード線をもったメモリ回路は、第1図の回路図のように
構成でれている。図中、Q1+ Q2 、Q41Q6〜
Q8はN型MOS トランジスタ、Qa、QsはP型M
OSトランジスタ%Al、A2は第1.第2のメモリセ
ルを選択するアドレス線、vvhw2は第1.第2のメ
モリセルの正相ワード線、Wl。
(Prior Art) Conventionally, a memory circuit in which each memory cell has two address lines and two word lines is configured as shown in the circuit diagram of FIG. In the figure, Q1+Q2, Q41Q6~
Q8 is an N-type MOS transistor, Qa and Qs are P-type M
OS transistor %Al, A2 is the first. The address line vvhw2 for selecting the second memory cell is the first. The positive phase word line of the second memory cell, Wl.

W2は第1+第2のメモリセルの逆相ワード勝である。W2 is a reverse phase word combination of the first and second memory cells.

MOS トランジスタQ3〜Q6が1個のメモリセルラ
構成し、このメモリセルのMOS )ランジスタQ3.
Q411111の出力aあるいはMOS )ランジスタ
Q5.Qa側の出力すがアドレス線A1.A2によシ選
択される。すなわち、アドレス線A1によってMOSト
ランジスタQt、Qsがアクティブとなシメモリセルの
出力a、bがワードmwll −Vvlに田刀され、ア
ドレスMAzKよってMOSトランジスタQ2.Q7が
アクティブとなってメモリセルの出力a、bがワード線
W2.W2に出力される。
MOS transistors Q3 to Q6 constitute one memory cell, and MOS transistors Q3.
Output a of Q411111 or MOS) transistor Q5. The output on the Qa side is the address line A1. Selected by A2. That is, the outputs a and b of the memory cells whose MOS transistors Qt and Qs are active are connected to the word mwll -Vvl by the address line A1, and the outputs of the MOS transistors Q2 . Q7 becomes active, and the outputs a and b of the memory cells are connected to word lines W2. It is output to W2.

このメモリ回路をCMOSシリコンゲートトランジスタ
で構成した集積回路(IC)のマスクパターンの構成は
、第2図に示すようになる。この配線パターンは、金属
配線10と、多結晶シリコン(ゲートポリシリコン)配
#i11と、拡散層配線12との3柚類あり%これらは
それぞれ点紡、一点鎖腺および実軸で区別している。な
お、X印はこれら配線のコンタクト13を示している。
The structure of a mask pattern of an integrated circuit (IC) in which this memory circuit is constructed of CMOS silicon gate transistors is shown in FIG. This wiring pattern has three types: metal wiring 10, polycrystalline silicon (gate polysilicon) wiring #i11, and diffusion layer wiring 12.These are distinguished by dot spinning, single dot chain wiring, and real axis, respectively. . Note that the X marks indicate the contacts 13 of these wirings.

通常、メモリセルの出力a、bからの配置は、図に示さ
れる様にトランジスタQ3 、 Q4又はQs+Q6の
ソースとドレインの接続点から引出されているため拡散
110々が使用されてお9、ワード線W1の0点又はW
lのf点へ接続するためには、多結晶シリコン配線11
で構成されるアドレス線At+A2と交点することにな
る。ここでこのマスクパターン溝奄図は、シリコンケー
トMOSトランジスタで構成しているので、その製造方
法はセルフ・アラインド・ゲート法(5elf@ali
gned−gate)を用いている。このためメモリセ
ルの出力拡散層04とアドレス線A1の多結晶シリコン
配置11との交差点(X印個所)にはN型のチャンネル
が形成されMOS トランジスタQt 、 Qsが形成
される。
Normally, as shown in the figure, the outputs a and b of the memory cell are drawn out from the connection point of the source and drain of the transistors Q3, Q4 or Qs+Q6, so diffusions 110 are used. 0 point of line W1 or W
In order to connect to point f of l, polycrystalline silicon wiring 11
It intersects with the address line At+A2 composed of Here, since this mask pattern groove diagram is composed of silicon gate MOS transistors, its manufacturing method is the self-aligned gate method (5elf@ali
gned-gate) is used. Therefore, an N-type channel is formed at the intersection (X-marked point) between the output diffusion layer 04 of the memory cell and the polycrystalline silicon arrangement 11 of the address line A1, and MOS transistors Qt and Qs are formed.

しかし、アドレス線A2の多結晶シリコン配線11との
交差点はチャンネルが形成されるため、その部分で電気
的に断線することになりトランジスタQ1.Qsとメモ
リセルの出力a、bとが接続されない。
However, since a channel is formed at the intersection of the address line A2 with the polycrystalline silicon wiring 11, an electrical disconnection occurs at that point, and the transistor Q1. Qs and outputs a and b of the memory cell are not connected.

このため七の交差部分に関しては、ホリシリコン配勝1
1らるいは拡散層配線12を金桐配腺lOに変更して接
続することにより、チャンネルの形成を回避する必要が
ある。この図では、コンタクトg ” ni’J +コ
ンタクトm −n間のように拡散1−配?fM12を金
縞配線10に変更している。このためコンタクト部が多
くな9メモリセル=m成する面積が増大してし1う0こ
のことは第2図のコンタクト1−1間、コンタクトt−
に間においても発生し、メモリセルアレーを構成する上
で大きな面積を必女とするという問題がおった。
Therefore, regarding the intersection of 7, the Horisilicon payout is 1.
It is necessary to avoid the formation of a channel by changing the wiring line 12 or diffusion layer wiring 12 to a metal paulownia wiring line 10 and connecting it. In this figure, the diffusion 1-fM12 is changed to a gold striped wiring 10 between the contact g''ni'J + the contact m-n.For this reason, 9 memory cells with many contact parts=m are formed. This increases the area between contacts 1-1 and t-1 in FIG.
This problem also occurred between 2000 and 2005, and a large area was required to construct the memory cell array.

(発明の目的) 本発明の目的は、このような問題を解決し、アドレス線
とメモリセル出力線との交点にMOSトランジスタを配
置することにより、メモリセルの構成面積を縮少したメ
モリ回路を提供することにある。
(Object of the Invention) An object of the present invention is to solve such problems and to provide a memory circuit in which the area of the memory cell is reduced by arranging a MOS transistor at the intersection of the address line and the memory cell output line. It is about providing.

(発明の構成) 本発明の構成は、0MO8)ランジスタにより構成され
た各スタティックメモリセルがこのメモリセルを選択す
るアドレス線およびワード線のペアをそれぞれhe個有
するメモリ回路において、前記枚数のアドレス線の各々
をゲート′[4L極とするP型又はN型MOS トラン
ジスタを直列接続させたトランジスタ列を1個の前記メ
モリセル出力と前記複数のワード線との間に紹称するこ
とにより、前記トランジスタ列における前記P型M(J
Sト7ンジスタとN型MOSトランジスタとの組合せに
より前記アドレス線とワード線とのペアを選択可能にし
たことt特徴とする。
(Structure of the Invention) The structure of the present invention is such that in a memory circuit in which each static memory cell constituted by 0MO8 transistors has he pairs of address lines and word lines for selecting this memory cell, the number of address lines By introducing a transistor string in which P-type or N-type MOS transistors each having a gate' [4L pole and connected in series between one memory cell output and the plurality of word lines, the transistor string The P-type M(J
The present invention is characterized in that the pair of address line and word line can be selected by a combination of an ST7 transistor and an N-type MOS transistor.

従来のメモリ回路は、メモリセルの出力ラインとアドレ
ス線の交差部分を回避するためにその交差部分に金属配
線を使用していたためマスク・パターン上の制約があっ
たが、本発明においては、その交差部分に〜108ト7
ンジスタを形成し、そのトランジスタをP型MO8)ラ
ンジスタにするか、N1MU3 トランジスタにするか
によって従来の制約を回避し、メモリセル専有面積會小
さくしたものである。
Conventional memory circuits use metal wiring at intersections to avoid intersections between memory cell output lines and address lines, which has limitations on mask patterns. At the intersection ~ 108 to 7
This method avoids the conventional constraints and reduces the area occupied by the memory cell by forming a transistor and making the transistor a P-type MO8 transistor or an N1MU3 transistor.

(実施例) 以下本発明全図面により詳細に説明する。(Example) Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to all the drawings.

第3図は本発明の実施例の2本のアドレス線と2本のワ
ード線とを有するメモリセルの回路図、第4図は第3図
のマスクパターン設計した場合のマスクパターン構成図
を示す。第3区は第1図に対してP型Musトランジス
タQ9〜Q12か追加δれたものである。この回路の動
作(l−説明する。
FIG. 3 is a circuit diagram of a memory cell having two address lines and two word lines according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a mask pattern configuration diagram when the mask pattern of FIG. 3 is designed. . In the third section, P-type Mus transistors Q9 to Q12 are added by δ compared to FIG. Operation of this circuit (l-explain.

アドレスHA1+ A2!にそれぞれに対応するワード
IfMWx、W1及びW2.W2をMするP型MO8)
ランジスタQ3.QsとN型MO8トランジスタQ4゜
Q6とから構成されたメモリセルは、アドレス線A1の
選択された時(Hルベルでアクティブ)NgMO8トラ
ンジスタCh、Q2が導通する0この時アドレスHA2
は選択状態ではないためLowレベルになっており、P
型MO8)ランジスタQ9゜Qllが導通し、入出力ワ
ードHW 11 Wlに電気的に接続される。この時Q
IO、Ql2はP型トランジスタのだめ非導通−Q2 
、Q7はN型トランジスタであるためやは9非導通であ
り、メモリセルは。
Address HA1+ A2! The words IfMWx, W1 and W2 . P-type MO8 with M W2)
Ransistor Q3. When the address line A1 is selected (active at H level), the NgMO8 transistor Ch and Q2 are conductive.
is not selected, so it is at Low level, and P
The type MO8) transistor Q9°Qll is conductive and electrically connected to the input/output word HW 11 Wl. At this time Q
IO, Ql2 is a P-type transistor, non-conducting - Q2
, since Q7 is an N-type transistor, it is non-conducting and the memory cell is.

入出力ワード?fM W21 W2とは電気的につなが
らない〇 一方、アドレスiAzが選択された場合、Q1o+Q2
 、 Q7 、 Ql2が導通し、Ql、Q9+Q11
1Q8がが導通しないためメモリセルは人出力テーク線
W2゜憩2と電気的に接続され、入出力データ勝wt、
wtとは(気的につながらない。またアドレス巌Al。
Input/output word? fM W21 Not electrically connected to W2〇On the other hand, if address iAz is selected, Q1o+Q2
, Q7, Ql2 are conductive, Ql, Q9+Q11
Since 1Q8 is not conductive, the memory cell is electrically connected to the human output take line W2°, and the input/output data output wt,
With wt (we don't connect emotionally. Also, address Iwao Al.

A2が選択されていない時(Lowレベル)%入出カフ
 1 HW 1 、W I K対してトランジスタQ 
t + Qsが非導通のためメモリセルは電気的に接続
されず入出力ターンiW2.W2に対してはトランジス
タQ2.Q7が非導通のためやはクツモリセルとは電気
的に接続されない。
When A2 is not selected (Low level) % input/output cuff 1 HW 1 , transistor Q for W I K
Since t+Qs is non-conductive, the memory cell is not electrically connected and the input/output turns iW2. For W2, transistor Q2. Since Q7 is non-conductive, it is not electrically connected to the Kutumori cell.

このようにメモリセルの出力がひとつのアドレス線によ
って選択されるトランジスタを通して入出力ワード勝に
電気的に接続させようとする時。
In this way, when the output of a memory cell is electrically connected to the input/output word output through a transistor selected by one address line.

他アドレス線とメモリセルの出力とが交差する部分にP
型MOSトランジスタを配置することにより、金楓配線
に変更して配線する場合と同様な結果が得られる。
P is placed at the intersection of other address lines and the output of the memory cell.
By arranging a type MOS transistor, the same result as when wiring is changed to gold maple wiring can be obtained.

(発明の効果) 本発明によれは、従来の構造が金楓配線に変更配線する
ために単位セル轟9コンタクトを単位セル当98個と金
禍配線領域を4個げ■余計に必嵌であったのに対し、も
ともとのメモリセル出力拡散rmu2+とアドレス用ポ
リシリコン配蛛(lυとが交差する所に生じるM(J8
)ランジスタiP型MOSトランジスタとして構成する
だけであるから、メモリ回路の専有面積【小さくするこ
とができる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, the conventional structure is changed to gold maple wiring, and in order to conduct wiring, 98 contacts per unit cell and 4 gold maple wiring areas are required. On the other hand, M(J8
) Since the transistor is configured only as an iP type MOS transistor, the area occupied by the memory circuit can be reduced.

(他の実施例) 本実MM例では、2本のアドレス線と2本のワード称と
全方するメモリセルの回路について説明したが、同様な
構成により、複数(n個)のアドレス縁とワード線とを
有するメモリセル回路についても、第5図の回路図に示
すように、拡散層配線にとポリシリコン配置11との父
差点をP型MO8トランジスタにより構成して、メモリ
回路の占有面積ヲ小さくすることが田米る。
(Other Embodiments) In this actual MM example, a circuit with two address lines, two word names, and a memory cell that covers all sides has been described, but with a similar configuration, multiple (n) address edges and As for the memory cell circuit having a word line, as shown in the circuit diagram in FIG. It's important to make it smaller.

1だ、本実施例の説明においては、アドレス線の購理「
1」を選択状態としたのでメモリセル選択トランジスタ
をN型MO8?ランジスタとしたが%第6図の回路図に
示すように、アドレス線の論理「0」 を選択状態とし
たものは、メモリセル迅択トラン/スタ會P型MO8ト
7ンジスタにすることにより、同様の回路全構成するこ
とが田米
1. In the explanation of this embodiment, the purchase of the address line "
1" is selected, the memory cell selection transistor is N-type MO8? However, as shown in the circuit diagram in Figure 6, when the logic "0" of the address line is in the selected state, the memory cell selection transistor/storage is made into a P-type MO8 transistor. It is possible to construct a similar circuit in Tami

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図、第2図は従来の2個のアドレス線と2そのマス
クパターン構成図、第3図、第4図は本発明の実施例の
回路図およびそのマスクツくターン構造図、第5図、第
6図は本発明の第2および第3の実施例の回路図である
。図において10・・・・・・金檎配勝、11・・・・
・・ポリシリコン配線、12・・・・・・拡散層配線、
13・・・・・・コンタクト、A1+A2・・・An・
・・・・・メモリセル選択アドレス線、Wl、W2・・
・Wn・・・・・・メモリセル正相ワード?fM−Wl
l W2 ・・・弱。・・・・・・メモリセル逆相ワー
ド線、Vcc・・・・・・短源線、GND・・・・・・
接地線、Ql + Q2 + Q4 + Q6〜Q9・
・・・・・N型MO8)ランジスタ、Q3+Qs+Qe
〜Q12・・・・・・Pff1MO8)ランジスタでお
る0 箔7図 84 図
1 and 2 are configuration diagrams of two conventional address lines and their mask patterns, FIGS. 3 and 4 are circuit diagrams of an embodiment of the present invention and their mask turn structure diagrams, and FIG. 5 , and FIG. 6 are circuit diagrams of second and third embodiments of the present invention. In the diagram, 10...Kanagi wins, 11...
... Polysilicon wiring, 12... Diffusion layer wiring,
13...Contact, A1+A2...An・
...Memory cell selection address lines, Wl, W2...
・Wn...Memory cell positive phase word? fM-Wl
l W2...weak. ...Memory cell reverse phase word line, Vcc...Short source line, GND...
Ground wire, Ql + Q2 + Q4 + Q6~Q9・
...N type MO8) transistor, Q3+Qs+Qe
~Q12...Pff1MO8) Transistor 0 Foil 7 Figure 84 Figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] C&10]ランジスタによ多構成された各スタティック
メモリセルがこのメモリセルを選択するアドレス線およ
びワード線のベアをそれぞれ複数個Mするメモリ回路に
おいて、前ga & iのアドレス線の各々をケート電
極とするP型又はN型MOSトランジスタを直列接続さ
せたトランジスタ列を11向の前記メモリセルの出力と
l¥iI記&数のワード線との間に結艇することにより
、前記トランジスタ列における@記P型MOSトランジ
スタとN型MOS トランジスタとの組合せにより前記
アドレス線とワード線とのベアを選択可能にしたことを
待機とするメモリ回路。
C & 10] In a memory circuit in which each static memory cell configured with a plurality of transistors has a plurality of M address lines and word line bears for selecting this memory cell, each of the address lines of the previous ga & i is connected to a gate electrode. By connecting a transistor string in which P-type or N-type MOS transistors connected in series are connected between the output of the memory cell in the 11th direction and the word line l\iI&number, A memory circuit in which the address line and word line bare can be selected by a combination of a P-type MOS transistor and an N-type MOS transistor.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006210736A (en) * 2005-01-28 2006-08-10 Nec Electronics Corp Semiconductor memory device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006210736A (en) * 2005-01-28 2006-08-10 Nec Electronics Corp Semiconductor memory device

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