JPS60187815A - 流量測定装置 - Google Patents

流量測定装置

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JPS60187815A
JPS60187815A JP59043376A JP4337684A JPS60187815A JP S60187815 A JPS60187815 A JP S60187815A JP 59043376 A JP59043376 A JP 59043376A JP 4337684 A JP4337684 A JP 4337684A JP S60187815 A JPS60187815 A JP S60187815A
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JP
Japan
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ultrasonic
circuit
flow rate
signal
maximum value
Prior art date
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JP59043376A
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Kaoru Machida
町田 薫
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
    • G01F1/667Arrangements of transducers for ultrasonic flowmeters; Circuits for operating ultrasonic flowmeters

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、例えば、患者監視装置に装備され、呼吸流量
を長時間監視する流量測定装置に関する。
〔発明の技術的背景と背景技術の問題点〕超音波を用い
た流量測定装置として、流速の変化によって超音波の伝
搬時間が変化することを利用した超音波伝搬時間差方式
が知られている。この超音波伝搬時間差法は、流路障害
、流路抵抗、測定精度及び測定の直線性、測定の長時間
安定性等の特性が、他の測定法、例えばベルヌーイの定
理を応用した差圧方式等よシ卓越しているので、近時、
多方面で実用に供されている。この方式を利用した測量
測定装置の原理は、第1図に示すように、例えば配管に
おける流れに対して一定の角度θを持つ軸上に、一定距
離りを隔てて一対の超音波振動子PZI。
Pz2を対向配置し、この超音波振動子PZI。
PZ2を同時に駆動した時に、超音波振動子PZJ、P
Z2夫々における超音波受波時間TI、T2を測定して
、その時間差ΔT = T2−T。
により、流速τをめ、更に流量f1) dtを算出する
ようにしたものである。
このような流量測定装置では、通常の空気呼吸下では超
音波の減衰が小さいので良好な測定が可能であるが、例
えば、高濃度炭酸ガス呼吸及び大流量呼吸の下では超音
波の減衰が大きく良好な流、量測定結果は期待できない
一般に、超音波が媒体中を伝搬する時の振動振幅FFi
、 F==F6 exp (−(α十jβ) x ) −(
1)と表わされ、減衰定数αは、P’に気体中での気圧
、Kを媒体によって決まる定数、ffr振動周波数とす
ると、 α=に−f/P ・・・(2) となる。ffυち、高濃度炭酸ガス呼吸下等では、媒体
定数Kが増大し、大流量呼吸下では気圧Pが減少するの
で、これらいずれの場合にも超音波の減衰は増大する。
上記(2)式から明らかなように、振動周波数fを減少
させることによシ、減衰定数αの増大を抑制すれば、上
記高濃度炭酸ガス呼吸での良好な流量測定に超音波伝搬
時間差方式が適用できる。
一方、呼吸気のように気体中を超音波が伝搬する場合の
超音波伝搬効率は、通常の超音波診断装置のように超音
波が生体中及び水中を伝搬する等と比較して1/100
0以下になる。このため、共振型の超音波駆動回路を用
いるか、或いは非共振型の超音波駆動回路を用いた場合
でも、電源電圧を高める必要がある。上述した、高電圧
で非共振駆動を行なうには、その超音波駆動回路に耐圧
の高い部品を用いなければならない。従ってこの種装置
に要求される小型化、安全性の諸要求に合致しないので
、非共振駆動方式では問題がある。
従って上述したように、共振型超音波駆動回路を用い、
そして振動周波数を減少させることにより、高濃度炭酸
ガス呼吸及び犬流蓋呼吸下等でも流量の測定が良好に行
なえる。
しかし乍ら、この共振駆動方式においても以下に述べる
ような問題点がある。即ち、駆動電圧波形(n波バース
ト波形、即ち、n個のパルス列)が共振回路において共
振作用を生じ、駆動後にも脈波が残ル、超音波伝搬時間
TI。
T2の測定のための受波の立上シ点のg識が困難になる
点である。例えば、第2図(、) (b)及び第2図(
c)(d)は3波バースト駆動波形での例を示している
。第2図(aバb)と第2図(Cバd)とは、駆動波形
幅、即し周波数が異なシ、第2図(a)及び第2図(c
) i;i P Z l i:送信、PZ275E受信
;第2図(b)及び第2図(d)は、PI3が送信、p
z1が受信であシ、Wノは駆動波形、W2は駆動全脈波
、W3は受信波形であシ、送信、受信での縦軸の信号レ
ベルは異なる。
第2図(a) (b)に示すように第2図(、)及び第
2図(bJ共に、受信波形の立上シ以前に駆動全脈波が
消滅しているので、超音波伝搬時間T1.T2の測定が
可能である。しかし乍ら振動周波数のIr& lAm 
Q III (−S /al ”F’ 硅坦謝h hl
”l 辿止ナノ儲A> F(F h駆動全脈波が受信波
形の立上シと重なってしまい、超音波伝搬時間TI、T
2の正確な測定が不可能となシ、流量測定値は正確とは
いえない。
また、上記駆動全脈波と受信波形との重な多現象を回避
する為に、送信と受信とで独立の超音波振動子を配置す
ることが考えられる。しがl−乍ら、この方式では振動
子が配置される計測部分(配管等)が大型化してしまい
、更に振動子と装置本体との間のケーブル数も増えるの
で、操作性を悪くしてしまい、また送受信相互の干渉を
防ぐために、超音波伝搬経路径?大きくせねばならず、
配管等における振動子設置部分に許容範囲外の流れの擾
乱(乱流等)を与えることになシ、特に呼吸流量測定に
おいては問題があった。
〔発明の目的〕
本発明は上記事情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、駆動全脈波と受信波とが重なシあうよ
うな媒体であっても、その流frを恵hwf泪11安ナ
スと表づSi[鮨り紹嵜妨伝搬時間差方式の流量測定装
置を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明による流量測定装置は、流体の流れ方向又は逆方
向に対し一定の角度を持つ軸上に対向して配置された超
音波振動子夫々から送信した超音波を上記夫々の超音波
振動子で受信し、その超音波伝搬時間差をめることによ
シE記流体の流量を測定する流量測定装置において、上
記超音波振動子夫々からの受信波形に対し正又は負の調
整可能なレベルを設定し、そのレベルを超えた波形に区
画を設定すると共に極大値を検出する第1の手段と、上
記区画の中で上記極大値を持つ区画から所定数以降の区
画における最初のゼロクロス点の時刻を検出する第2の
手段とを備え、上記ゼロクロス点の時刻に基づいて上記
超音波伝搬時間差をめるように構成し、上記区画設定に
よシゼ四クロス点の時刻を検出して、正確な超音波伝搬
時間差を測定するようにしたことを特徴としている。
〔発明の実施例〕
以下本発明による流量測定装置を第3図に示す一実施例
に従い説明する。即ち、第3図において、1,2は夫々
被測定流体に超音波を送、受信する超音波送受信部であ
る。この超音波送受信部1,2は夫々被測定流体の流路
に対して所定の角度をもって対向配置された超音波振動
子PZI 、PZ2、i:の超音波振動子PZI。
PZ2を励振する超音波駆動回路11,12、被測定流
体を伝搬した超音波夫々を受信する共振形の超音波受信
増幅回路12.22から構成されている。
3.4は夫々受信増幅回路12.22からの出力される
第4図(a)に示す信号S J 00..8200(信
号8200は図示せず)に基づき、この出力信号510
0,8200の正区間における最大値を検出する最大値
検出部である。この最大値検出部3.4夫々は同一構成
となっておシ、ここでは一方の最大値検出部3の構成に
ついて説明する。即ち、31は、第4図(、)に示すよ
うに受信波形5100の正区間と同期して基準電圧+E
工であ)、上記正区間以外で電源電圧となる信号831
0を出力する遅延パルス電圧発生回路である。32は第
4図(、)に示すように上記信号310と上記信号(受
信波形)8100とを比較し、第4図(b)に示すよう
に、5100〉5310の時に受信信号5100の正区
画を示すHレベルとした信号8320を出力する比較回
路である。33は後述するピークホールド回路34にも
正区画となった直後に、上記信号5320によシ生成し
たクリアパルス8330を与えるパルス回路である。3
4は受信波形5100の各正区画における最大値をホー
ルドするピークホールド回路である。このピークホール
ド回路34は上記クリアパルス8330によシそのホー
ルド値がクリアされる0 35は前Rのピークホールド回路34から得られた各正
区画のホールド値の最大値、をホールドするピークホー
ルド回路である。36は後述する比較回路37に、ピー
クホールド回路34゜36からの各ホールド値を比較す
る際の比較タイミング信号5340を信号5320から
生成して与えるパルス発生回路である。37は上述した
比較タイミング信号5340に基づき、各ピークホール
ド回路34.35からの各ホールド値を比較し、前段の
ピークホールド回路34のホールド値が後段のピークホ
ールド回路35のホールド値よシも小さい場合に信号8
350を出力する比較回路である。この信号5350は
、最大値検出部3の出力信号となっておシ、受信波形8
100における最大値となっている区画を検出している
上記最大値検出s3と同様に最大値検出部4は、遅延パ
ルス電圧発生回路41、比較回路42、パルス回路33
、ピークホールド回路34、ピークホールド回路35、
パルス発生回路36、比較回路37からなシ、イば号5
200に基づき信号8410.8420、S 430゜
8440.8450を出力するようになっている。
5.6は夫々信号5350,8450に基づく、その最
大値を持つ区画の次の区間を超えた最初の零点を通過す
る(ゼロクロス)時刻を検出する零点検出回路である。
この零点検出回路5.6は、夫々信号5100,520
0を入力し、零電位と比軟する比較回路51.’61、
この比較器51,61からの比軟出力8500゜860
0によシ信号8350,8450がアクティブになった
後の最初の零点を検出し、信号F3510,8610と
して出力するフリラグフロップ回路52.62から構成
されている。
yli、信号5510,8610に基づき、超襲 音婢躯動から受信までの時間を監視する時間監視部であ
る。以下この時間監視部7の詳細な構成について述べる
。即ち、71は超音波駆動タイミング信号5700を出
力する超音波駆動タイミング回路であシ、このタイミン
グ信号げOOは超音波送受信部1,2、最大値検出部3
,4及び後述する7リツプフロツプ回路72 、73に
与えられる。72.73は上記タイミング信号S 70
0によシセットされ、信号8510゜8610によシセ
ットされる7リップフロップ回路である。74.75は
フリラグフロッグ回路72.73がアクティブな時のみ
、即ち、超音波が伝搬中であると見做される時間のみ開
き、超音波伝搬時間に相当する信号S 710.872
0を出力するダート回路である。76はゲート回路74
,75にダートを開くタイミング信号を与える時間計測
用の発振回路である。77゜78は信号8710,57
20のパルス数をカウントして各超音波振動子PZI、
PZ2の超音波伝搬時間に相当する信号S 730 、
5740を得るカウンタ回路である。
8は信号5730,5740に基づき、超音波伝搬時間
差信号を算出する減算回路である。
9は減算回路8からの超音波伝搬時ty差信号にょ夛、
被測定流体の流速及び流量を計算する計算回路である。
10は計算回路9によシ得た流速、流量情報を所定の書
式で表示する表示装置である。
次に上記の如く構成された本実施例の動作について第3
図及び第4図を参照して説明する。
即ち、超音波駆動タイミング回路71の起動によシ、タ
イミング信号(3波バ一スト信号)S700が超音波送
受信部1,2及びフリラグフロッグ回路72,73に与
えられると、被測定流体に対して所定角度をもって対向
配置された超音波振動子PZJ、PZ2は夫々第4図(
、)に示す3波バーストの送信信号W□を送信し、また
フリラグフロッグ回路72.73はセットされる。この
時刻以降をもって第4図(h)に示すように、カウンタ
回路77.78は、ダート回路74.75の開による発
振回路76からの出力パルス列に基づくパルス信号S 
7 J O,8720のパルス数をカウントし、超音波
駆動時からの時間を計時する。
そして、上記超音波振動子PZI、PZ2にて受信した
超音波を電気信号に変換し、受信増幅回路11.12に
入力し、第4図(&)に示す波図示せず)を得る。
次に上記受信信号5100の信号処理がなされる最大値
検出部3及び零点検出部5の動作について詳細に述べる
。即ち、上記信号8100は比較回路32に被比較信号
として与えられ、遅延パルス電圧発生回路31からは第
4図(、)に示す信号5310が比較信号として与えら
れる。
これにより比較回路32からは、信号8100の正区画
タイミングを呈する第4図(b)に示す信号5320が
出力される。この信号5320の立上シエッジによシパ
ルス回路33は第4図(C)に示すクリアパルス信号5
330を出力し、また上記信号5320の立下夛エツジ
によシパルス回路35は第4図(d)に示す比較タイミ
ングノ9ルス信号5340を出力する。下方、上記−信
号8100は、上記クリア/やルス信号5330によっ
て各正区画毎の始めでリセットされるピークホールド\
回路34に入力される。ここでピークホールド回路34
は、各正区画の最大値を保ら1つつ−hwのピークホー
ルド回路35に転送する。これによシ、比較回路37で
は、直前の正区画内の最大値と以前の正区画内の最大値
とを上記比較タイミング信号5340の立上シエッジの
タイミングで比較することが出来、第4図(e)に示す
ようなピークホールド回路34の出力値が後段のピーク
ホールド回路35のそれよシ小さい時にパルスを発生す
る信号5350を出力する。この信号5350によシ、
次段のフリップフロッグ回路52はセットされる。そし
てこのフリップフロッグ回路52は、信号5100の正
負を決定する比較回路51の出力である第4図(f)に
示す信号5500の立下シエッジによシリセットされ、
これによシ、第4図面に示すパルス信号S510が出力
される。このパルス信号8510は、その立下シエッジ
で上記フリップフロッグ回路72をリセットするので、
次段のダート回路G74を閉じ、カウンタ回路77の計
数動作を停止させる。
上述の動作と同様に超音波振動子PZ2からの信号82
00により、最大値検出部4、零点検出部6を介してカ
ウンタ回路78の計数動作を停止させる。
上記によυカウンタ回路78.78には超音波伝搬時間
情報が格納され、秋算回路8で超音波伝搬時間差情報を
算出し、次段の計算回路9で流速及び流量を計算し、こ
の計算結果を表示装置1θで所定の臀弐で表示する。
以上述べたように本実施例によれば、受信波の最大値を
検出し、その最大値時点後の既知の数だけ後の零点時刻
を測定することにより、躯動余脈波の影響が少ない時刻
で超音波伝搬時間差を計算できるので、たとえ駆動全脈
波と受信波とが重なシ合うような流体での流量測定にお
いても、高精度に流速、流量の測定が可能となる。
特に、駆動全脈波と受信波とが重なることが多い、即ち
、超音波振動周波数を低くしなければならないような、
高濃度炭酸ガス呼吸気下、笑気ガス等の麻酔ガス下、更
には大流量呼吸気下等の超音波の減衰量の大きな流体の
流速、流量の測定には、特に有効である。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、第3図
と同一部分には同一符号を付した第5図を参照して本発
明の他の実施例について説明する。
即ち、本実施例は、第3図に示す実施例の零点検出部5
,6の構成を第5図に示す如くこの零点検出部5M、6
Mに構成している。即ち、51.61は信号5100,
8200と零電位とを比較する比較器、52.62は信
号5sso。
5450を入力し、後述する比較回路55゜65からの
信号によシリセットされ、その出力を零点検出部5M、
6Mの出力とする7リツプフロツノ回路、053.G6
3は比較回路5ノ。
61からの出力と7リツプフロツグ回路52゜62から
の出力とをダート制御するダート回路、54.64はダ
ート回路G53 、 G63がらの出力を受け、これを
カウントするカウンタ回路、55.65はカウンタ回路
54,64から゛の出力と既知数とを比較し、信号85
00M、8600Mを7リップフロッグ回路52,62
及びカウンタ回路54.64に与える比較回路である。
上記構成によれば、フリツプフロツプ回路52.62が
一担セットされると、即ち、最大値が検知されると、そ
れ以降の零点の数はダート回路G 53. G 54を
介してカウンタ回路54.64に格納される。これにょ
シ、カウンタ回路54.64の出力データを入力の一端
とし、駆動全脈波が悪影響を与えないと推定できる時間
に相当する既知の数を他端とする比較回路55.66に
よル、両者の人力が一致したときのみ、フリップフロッ
グ回路52.62をリセットし、且つカウンタ回路54
,64をクリヤする信号S5θθM1信号s6θOMを
出力する。その結果、フリップフロッグ回路52゜62
の出力信号8510M、8610Mの立下シエッジでフ
リップフロッグ回路72.73がリセットされ、カウン
タ回路77.78での計数動作が完了する。
上記実施例によれば、最大値検出後、駆動余脈波が悪影
響を与えないと推定できる既知の数の正区画を超えた最
初の零点までを伝搬時間としてめることができる。従っ
て第3図に示す実施例において、最大値付近でもなお駆
動金脈波の影響が大きい場合であっても正確に流量の測
定がなされる。
上記実施例以外に本発明はその要旨を逸脱しない範囲で
種々変形して実施できる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、流体の流れ方向又は
逆方向に対し一定の角度を持つ軸上に対向して配置され
た超音波振動子夫々から送信した超音波を上記夫々の超
音波振動子で受信し、その超音波伝搬時間差をめること
によシ上記流体の流量を測定する流量測定装置において
、上記超音波振動子夫々からの受信波形に対し正又は負
の調整可能なレベルを設定し、そのレベルを超えた波形
に区画を設定すると共に極大値を検出する第1の手段と
、上記区画の中で上記極大値を持つ区画から所定数以降
の区画における最初のゼロクロス点の時刻を検出する第
2の手段とを備え、上記ゼロクロス点の時刻に基づいて
上記超音波伝搬時間差をめるように構成し、上記区画設
定によシゼロクロス点の時刻を検出して、正確な超音波
伝搬時間差を測定することができるので、たとえ、駆動
金脈波と受信波とが重なシ合う条件の下での流体であっ
ても、その流量を高精度に測定することが出来る超音波
伝搬時間差方式の流量測定装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は超音波伝搬時間差方式による流量測定装置の原
理動作を説明するだめの図、第2図(a)乃至(d)は
夫々駆動余脈波が受信波と重ならない場合及び亀なる場
合を駆動信号の周波数を異なる条件で説明する図、第3
図は本発明による流量測定装置の一実施例を示すブロッ
ク図、第4図(、)乃至(h)は同実施例の動作を説明
するだめの波形図、第5図は本発明の他の実施例を示す
ブロック図である。 1.2・・・超音波送受信部、3,4・・・最大値検出
部、5.6.5M、6M・・・零点検出回路、7・・・
時間監視部、8・・・減算回路、9・・・計算回路、1
0・・・表示装置、PZI 、PZ2・・・超音波振動
子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第11″¥!

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 流体の流れ方向又は逆方向に対し一定の角腿を持つ軸上
    に対向して配置された超音波振動千人々から送信した超
    音波を上記夫々の超音波振動子で受信し、その超音波伝
    搬時間差をめることによシ上記流体の流量を画定する流
    量測定装置において、上記超音波振動子夫々からの受信
    波形に対し正又は負の調整可能なレベルを設定し、その
    レベルを超えた波形に区画を設定すると共に極太値音検
    出する第1の手段と、上記区画の中で上記極太値を持つ
    区画から所定数以降の区画における最初のゼロクロス点
    の時刻を検出する第2の手段とを備え、上記ゼロクロス
    点の時刻に基づいて上記超音波伝搬時間差をめるように
    構成したことを特徴とする流量測定装置。
JP59043376A 1984-03-07 1984-03-07 流量測定装置 Pending JPS60187815A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007538240A (ja) * 2004-05-22 2007-12-27 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング パルス波形検出による超音波信号の受信点検出
JP2011180076A (ja) * 2010-03-03 2011-09-15 Yamatake Corp ゼロクロス時間判定装置及び同装置を備えた超音波流量計

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007538240A (ja) * 2004-05-22 2007-12-27 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング パルス波形検出による超音波信号の受信点検出
US8744785B2 (en) 2004-05-22 2014-06-03 Robert Bosch Gmbh Determination of a reception time of an ultrasonic signal by means of pulse shape detection
JP2011180076A (ja) * 2010-03-03 2011-09-15 Yamatake Corp ゼロクロス時間判定装置及び同装置を備えた超音波流量計

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