JPS60185303A - 誘電体フイルムの製造方法 - Google Patents
誘電体フイルムの製造方法Info
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- JPS60185303A JPS60185303A JP3849684A JP3849684A JPS60185303A JP S60185303 A JPS60185303 A JP S60185303A JP 3849684 A JP3849684 A JP 3849684A JP 3849684 A JP3849684 A JP 3849684A JP S60185303 A JPS60185303 A JP S60185303A
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- dielectric film
- resin
- powder
- oxalate
- perovskite
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、無機強誘電体微粉末が樹脂中に分散されて
なる誘電体フィルムの製造方法に関し、更に詳細には、
高い誘電率を有し、薄膜成形が可能な誘電体フィルムの
製造方法に関する。
なる誘電体フィルムの製造方法に関し、更に詳細には、
高い誘電率を有し、薄膜成形が可能な誘電体フィルムの
製造方法に関する。
無機強誘電体粉末を樹脂中に分散してなる誘電体フィル
ム等の誘電体組成物は優ねた成形部−に性を有し薄膜成
形が容易である誘電体として知られている。この誘電体
フィルム等の誘電体組成物において、樹脂中に分散、混
合さ才１ている無機強誘電体粉末としては、チタン酸バ
リウド等が多く用いられており、このような化合物はペ
ロプスカイト型の結晶構造を有することが知られている
。このような無機強誘電体粉末の製造方法は乾式法と湿
式法に大別することができる。チタン酸バリウムを製造
する場合乾式法では例えば、炭酸バリウムと酸化チタン
とを所定量混合し、１，３００〜１．．４００℃で焼成
する。生成したチタン酸バリウムは焼結しているので、
これをさらに粉砕して粉末状にするという工程がとられ
ている。しかしこの方法では、粒径の小すいチタン酸バ
リウムが得にくく、１〜２１１ｍ程度が限度である。ま
た粉砕の際に結晶形が崩れる恐れがあり、さらに不純物
が混入しやすいという欠点を有している。そのため、こ
のような乾式法によって製造したチタン酸バリウム等の
強誘電体粉末を用いて作製（また誘電体）・イルムでは
、充分に高い誘電率が得られなかった。
ム等の誘電体組成物は優ねた成形部−に性を有し薄膜成
形が容易である誘電体として知られている。この誘電体
フィルム等の誘電体組成物において、樹脂中に分散、混
合さ才１ている無機強誘電体粉末としては、チタン酸バ
リウド等が多く用いられており、このような化合物はペ
ロプスカイト型の結晶構造を有することが知られている
。このような無機強誘電体粉末の製造方法は乾式法と湿
式法に大別することができる。チタン酸バリウムを製造
する場合乾式法では例えば、炭酸バリウムと酸化チタン
とを所定量混合し、１，３００〜１．．４００℃で焼成
する。生成したチタン酸バリウムは焼結しているので、
これをさらに粉砕して粉末状にするという工程がとられ
ている。しかしこの方法では、粒径の小すいチタン酸バ
リウムが得にくく、１〜２１１ｍ程度が限度である。ま
た粉砕の際に結晶形が崩れる恐れがあり、さらに不純物
が混入しやすいという欠点を有している。そのため、こ
のような乾式法によって製造したチタン酸バリウム等の
強誘電体粉末を用いて作製（また誘電体）・イルムでは
、充分に高い誘電率が得られなかった。
またチタニ：Ｉンム・シーＩ・ライツブ「７ボギザイド
と水酸化バリウムとからチタン酸バリウムを製造するよ
うにした湿式法の１つの方法では、チタン酸バリウムの
粒径ｄ：１μｎ２以−トのものが得られるにもかかわら
ず、誘電率は高いものが得られなかった。こわはチタン
酸バリウムの結晶がペロブスカイト型ではあるが、立方
晶に近いためと考えられる。
と水酸化バリウムとからチタン酸バリウムを製造するよ
うにした湿式法の１つの方法では、チタン酸バリウムの
粒径ｄ：１μｎ２以−トのものが得られるにもかかわら
ず、誘電率は高いものが得られなかった。こわはチタン
酸バリウムの結晶がペロブスカイト型ではあるが、立方
晶に近いためと考えられる。
１だ、湿式法の一つとして蓚酸塩の熱分解法がある。こ
の方法で得られた粉末は軽く粉砕するだけで数μｍ程度
の粒子径とカリ、前記乾式法による粉末より容易に微粉
化され得るが、樹脂との組成物を薄膜化し、高い静電容
量を得ようとするにはなお大きすきる。この粒径より更
に微粉化するには、例えば、ボールミルにょシ長ｉｌ１
間粉砕することによ勺、０５μｍ程度の粒子径になり得
るが、誘電体フィル１・における誘電率は微粉化前と較
べ、犬ｌＩＪに低下する。この（３） 原因は粉砕によシ粉末の結晶の歪が増大するか、結晶性
が悪化するためと考えられる。
の方法で得られた粉末は軽く粉砕するだけで数μｍ程度
の粒子径とカリ、前記乾式法による粉末より容易に微粉
化され得るが、樹脂との組成物を薄膜化し、高い静電容
量を得ようとするにはなお大きすきる。この粒径より更
に微粉化するには、例えば、ボールミルにょシ長ｉｌ１
間粉砕することによ勺、０５μｍ程度の粒子径になり得
るが、誘電体フィル１・における誘電率は微粉化前と較
べ、犬ｌＩＪに低下する。この（３） 原因は粉砕によシ粉末の結晶の歪が増大するか、結晶性
が悪化するためと考えられる。
上記の状況に鑑み、この発明の目的は高い誘電率を有ｌ
〜、薄膜形成力行」−能な誘電体フィルムの製造方法を
提供することにある。
〜、薄膜形成力行」−能な誘電体フィルムの製造方法を
提供することにある。
従来、蓚酸塩を熱分解し焼成した後の冷却を徐冷してい
たのに対して、この発明は、蓚酸塩を熱分解し焼成後、
急冷することにより得られる１次粒子の平均粒径が１μ
ｍ以下であるペロブスカイト型強誘電体微粉末を樹脂中
に分散させた系が高い誘電率が発現することを知見した
ことに基づくものである。
たのに対して、この発明は、蓚酸塩を熱分解し焼成後、
急冷することにより得られる１次粒子の平均粒径が１μ
ｍ以下であるペロブスカイト型強誘電体微粉末を樹脂中
に分散させた系が高い誘電率が発現することを知見した
ことに基づくものである。
すなわちこの発明は、下記（１）〜（ＩＶ）の工程より
なる誘電体フィルムの製造方法に関する。
なる誘電体フィルムの製造方法に関する。
（１） ペロブスカイト型強誘電体を構成する金属の水
溶性塩を蓚酸水溶液と反応させて蓚酸塩を荘る工程。
溶性塩を蓚酸水溶液と反応させて蓚酸塩を荘る工程。
（ｎ） 上記蓚酸塩を、その熱分解温度以上の温（４）
度で熱分解して焼成し、ペロブスカイト型強誘市：体を
得る工程。
得る工程。
（ｍｌ） 上記ペロブスカイト型強誘電体を冷媒中で急
冷して粉末を得る工程。
冷して粉末を得る工程。
（ＩＶ） Ｌ記粉末を樹脂中に分散し、誘電体フィルム
をイ豆る］工程。
をイ豆る］工程。
この発明において、ペロブスカイト型強誘電体を構成す
る金属とは、その金属の蓚酸塩の熱分解によシ形成され
る化合物がペロブスカイト型強誘電体となりうる金属で
あり、例えば、ペロブスカイト型強誘電体がチタン酸バ
リウムの場合には、これを構成するチタンとバリウムの
ことである。
る金属とは、その金属の蓚酸塩の熱分解によシ形成され
る化合物がペロブスカイト型強誘電体となりうる金属で
あり、例えば、ペロブスカイト型強誘電体がチタン酸バ
リウムの場合には、これを構成するチタンとバリウムの
ことである。
蓚酸塩は、ペロブスカイト型強誘電体を構成する金属の
水溶性塩を蓚酸水溶液と反応させることにより得られる
。この反応を行うについては、例えば、上記水溶性塩を
蓚酸水溶液に滴下する等の手段を用いることができる。
水溶性塩を蓚酸水溶液と反応させることにより得られる
。この反応を行うについては、例えば、上記水溶性塩を
蓚酸水溶液に滴下する等の手段を用いることができる。
蓚酸塩としては、例えば、チタン酸バリウムＢａ’Ｉ’
ｉｏｓを得るには、塩化バリウムと四塩化チタンとを溶
かした水溶液を、蓚酸水溶液に滴下しで得たハリウムチ
タニールオギザレ−１・が好適に用いられる。
ｉｏｓを得るには、塩化バリウムと四塩化チタンとを溶
かした水溶液を、蓚酸水溶液に滴下しで得たハリウムチ
タニールオギザレ−１・が好適に用いられる。
捷だ、チタン酸バリウム中のバリウノ、の１部を他の金
属、例えばストロンチウム、カルシラノ・、鉛等で置換
した、あるいはチタンの一部を他の金属、例えばスズ、
ジルコニウム等で置換した強誘電体を得る場合は、塩化
バリウムと四塩化チタンを溶かした水溶液中に、このよ
う庁置換すべき金属の水溶性塩を含ませることにより、
これらの金属を含む蓚酸塩を得ることができる。さらに
、チタン酸ス）・ロンチウム、チタン酸鉛、ジルコン酸
鉛、ジルコン酸チタン酸鉛なとも、これらに含有されて
いる金属の水溶性塩を蓚酸水溶液に滴下して蓚酸塩を得
ることができる。
属、例えばストロンチウム、カルシラノ・、鉛等で置換
した、あるいはチタンの一部を他の金属、例えばスズ、
ジルコニウム等で置換した強誘電体を得る場合は、塩化
バリウムと四塩化チタンを溶かした水溶液中に、このよ
う庁置換すべき金属の水溶性塩を含ませることにより、
これらの金属を含む蓚酸塩を得ることができる。さらに
、チタン酸ス）・ロンチウム、チタン酸鉛、ジルコン酸
鉛、ジルコン酸チタン酸鉛なとも、これらに含有されて
いる金属の水溶性塩を蓚酸水溶液に滴下して蓚酸塩を得
ることができる。
この様にして得た蓚酸塩をその蓚酸塩の熱分解温度以上
の温度で熱分解し焼成する。熱分解する温度は蓚酸塩の
種類により異なるが、例えば、バリウムチタニールオギ
ザレ−１・の場合には６５０℃以上、好壕しくけ７００
〜１３００℃、より一層好゛」、Ｌ＜Ｕ、８００〜１２
００℃で熱分解し焼成する。才だＢ ａｏ、７ｓ Ｓ
］’ｏ、２ｓ Ｔ 】０３の場合には７５０℃以上、好
１Ｌ７くは８００〜ｉ−４００℃、より一層好ましくは
９００〜１３００℃で熱分解し焼成する。
の温度で熱分解し焼成する。熱分解する温度は蓚酸塩の
種類により異なるが、例えば、バリウムチタニールオギ
ザレ−１・の場合には６５０℃以上、好壕しくけ７００
〜１３００℃、より一層好゛」、Ｌ＜Ｕ、８００〜１２
００℃で熱分解し焼成する。才だＢ ａｏ、７ｓ Ｓ
］’ｏ、２ｓ Ｔ 】０３の場合には７５０℃以上、好
１Ｌ７くは８００〜ｉ−４００℃、より一層好ましくは
９００〜１３００℃で熱分解し焼成する。
熱分解する温度がその蓚酸塩の熱分解温度より低いと、
分解が不十分と々す、樹脂と混合して分解し７たり、無
機物の誘電率が小さく好壕しくない。また熱分解する温
度が高いと、熱分解後の焼成が過度になされ、後述、粉
砕工程で粉砕されにり＜、分級１〜たとＵ７ても収量が
少なく才た粒径を必要とする迄に粉砕すると、誘電率の
低下を招くことがある。、適度に熱分解し焼成すれば後
述の樹脂と混同する過程で粉砕されることも可能であり
、特別粉砕工程を必要とするものではない。
分解が不十分と々す、樹脂と混合して分解し７たり、無
機物の誘電率が小さく好壕しくない。また熱分解する温
度が高いと、熱分解後の焼成が過度になされ、後述、粉
砕工程で粉砕されにり＜、分級１〜たとＵ７ても収量が
少なく才た粒径を必要とする迄に粉砕すると、誘電率の
低下を招くことがある。、適度に熱分解し焼成すれば後
述の樹脂と混同する過程で粉砕されることも可能であり
、特別粉砕工程を必要とするものではない。
この様な熱分解焼成によりペロブスカイト型強誘電体が
得られる。
得られる。
かかる強誘電体を徐冷することなく、冷媒中で急冷する
。冷媒の温度が１００℃より高いと（７） 急冷の効果がないので１００℃以下の冷媒中で急冷する
のが望ましく、冷媒としては水、アルコール、ドライア
イスメタノール浴等である。
。冷媒の温度が１００℃より高いと（７） 急冷の効果がないので１００℃以下の冷媒中で急冷する
のが望ましく、冷媒としては水、アルコール、ドライア
イスメタノール浴等である。
温度は低い程好ましいが、常温程度の水でも寸分急冷で
きる。
きる。
この様な急冷により、ひび割れた粉末が得られ、必要に
より分級或いは簡単々粉砕で容易に１次粒子の平均粒子
径が１部１ｍ以下のペロブスカイト型強誘電体微粉末が
得られる。
より分級或いは簡単々粉砕で容易に１次粒子の平均粒子
径が１部１ｍ以下のペロブスカイト型強誘電体微粉末が
得られる。
ここで１次粒子とは最も良い分散媒を用いたときに独立
粒子と認められるものを云う。最も良い分散媒は強誘電
体の種類により異存り、例えばＢａＴｉ０：＋ではメタ
ノールであり、Ｂ ａｏ、７ｓ Ｓ ｒ（Ｌ２Ｓ Ｔ
ｉ Ｏａではブタノールである。
粒子と認められるものを云う。最も良い分散媒は強誘電
体の種類により異存り、例えばＢａＴｉ０：＋ではメタ
ノールであり、Ｂ ａｏ、７ｓ Ｓ ｒ（Ｌ２Ｓ Ｔ
ｉ Ｏａではブタノールである。
まだ１次粒子の平均粒子径は最も良い分散媒を用いて光
散乱法によりめた値である。
散乱法によりめた値である。
上述ｌ〜だ強誘電体微粉末は樹脂中に分散されている限
り、任意の量使用することができるが、好壕しくけ体積
分率で５〜６０係であり、更に好１しくは７〜５０％、
よシ一層好捷しくは１０（８） 〜３０％である。これは強誘電体微粉末が多すぎると成
形性が悪くかつフィルムを延伸し／ζ場合に誘電率の低
下が生じやすく、１だ少なすぎるとフィルムの誘電率が
小さくなるためである。
り、任意の量使用することができるが、好壕しくけ体積
分率で５〜６０係であり、更に好１しくは７〜５０％、
よシ一層好捷しくは１０（８） 〜３０％である。これは強誘電体微粉末が多すぎると成
形性が悪くかつフィルムを延伸し／ζ場合に誘電率の低
下が生じやすく、１だ少なすぎるとフィルムの誘電率が
小さくなるためである。
この発明において強誘電体は樹脂中に分散、混合される
が、この樹脂として―：比誘電率３以」−を有するもの
が好ましく、例えばポリ塩化ビニルや弗化ビニリチン樹
脂などが広く用いられる。しかしながら、使用する樹脂
の誘電率が高いほど、得られる誘電体フィルムの誘電率
も高くなるので、高い誘電率を有１〜かつその温度依存
性が小さく、形状保持性に優れた弗化ビニリデン系を用
いるのが特に好丑しい。この弗化ビニリデン系樹脂とし
ては、弗化ビニリチンホモポリマー（以下ｒ Ｐ Ｖ
Ｉ） Ｆ Ｊという）、あるいは弗化ビニリチンを５０
モル係以上、好ましくは７０モル係以−ヒ、より一層好
ましくは８０モル係以上含み、この弗化ビニリチンと共
重合可能な１種もしくは２種以上のコモノマー、例えハ
弗化ビニル、クロロフルオロビニリチン、りロロトリフ
ルオロエチレン、テトラノルオ「１ユチレンおよびヘキ
サフルオロプロピレンの含弗素オレフィンなどとの共重
合体を単独であるいは混合して使用できる。゛また、こ
れらの重合体あるいは共重合体と相溶性の良い他の重合
体、例えばポリメチルメタクリレ−１・、ポリメチルア
クリレートなどを混合して使用してもよい。
が、この樹脂として―：比誘電率３以」−を有するもの
が好ましく、例えばポリ塩化ビニルや弗化ビニリチン樹
脂などが広く用いられる。しかしながら、使用する樹脂
の誘電率が高いほど、得られる誘電体フィルムの誘電率
も高くなるので、高い誘電率を有１〜かつその温度依存
性が小さく、形状保持性に優れた弗化ビニリデン系を用
いるのが特に好丑しい。この弗化ビニリデン系樹脂とし
ては、弗化ビニリチンホモポリマー（以下ｒ Ｐ Ｖ
Ｉ） Ｆ Ｊという）、あるいは弗化ビニリチンを５０
モル係以上、好ましくは７０モル係以−ヒ、より一層好
ましくは８０モル係以上含み、この弗化ビニリチンと共
重合可能な１種もしくは２種以上のコモノマー、例えハ
弗化ビニル、クロロフルオロビニリチン、りロロトリフ
ルオロエチレン、テトラノルオ「１ユチレンおよびヘキ
サフルオロプロピレンの含弗素オレフィンなどとの共重
合体を単独であるいは混合して使用できる。゛また、こ
れらの重合体あるいは共重合体と相溶性の良い他の重合
体、例えばポリメチルメタクリレ−１・、ポリメチルア
クリレートなどを混合して使用してもよい。
さらに、高誘電率を有することが知られているエチレン
−ビニルアルコール共重合体などの樹脂をシアンエチル
化したものを使用することもできる。
−ビニルアルコール共重合体などの樹脂をシアンエチル
化したものを使用することもできる。
この発明に係る誘電体フィルムは、溶融成膜法、溶媒の
分散体からの成膜等公知の成膜法により得られる。１だ
未延伸のフィルムであっても延伸フィルムであってもよ
い。延伸は引張り延伸に限らず圧延であってもよく、丑
だ冷延伸に限らず溶融延伸であってもよい。さらに、延
伸する場合にあっては、高温での延伸性を一ヒげるだめ
に樹脂を架橋してもよく、そのために架橋剤を添加し、
延伸前に放射線々どを照射して架橋することも可能であ
る。この場合用いられる架橋剤としてに１、例えばトリ
アリルシアヌレート、ジアリルモノプロパルギルシアヌ
レ−１・、ジプロパルギルモノアリルシアスレート、ト
リプロパルギルシアヌレ−１・々どのシアヌレート類、
トリアリルイソシアヌレ−１・、ジアリルプロパルギル
イソシアヌレ−１，、ジプロパルギルアリルイソンアヌ
レート、トリプロパルギルイソシアヌレ−１・などのイ
ソシアヌレート類、ｌ−リアクリルホルマール、トリメ
リット ！Ｊ ル、ｌ− １）メチロールプロパントリメタクリ
レ＝１・、エチレングリコールンメタクリレーｌ−々ど
が好１ニジ＜用いられるが、その他公知の架橋剤が使用
できる。
分散体からの成膜等公知の成膜法により得られる。１だ
未延伸のフィルムであっても延伸フィルムであってもよ
い。延伸は引張り延伸に限らず圧延であってもよく、丑
だ冷延伸に限らず溶融延伸であってもよい。さらに、延
伸する場合にあっては、高温での延伸性を一ヒげるだめ
に樹脂を架橋してもよく、そのために架橋剤を添加し、
延伸前に放射線々どを照射して架橋することも可能であ
る。この場合用いられる架橋剤としてに１、例えばトリ
アリルシアヌレート、ジアリルモノプロパルギルシアヌ
レ−１・、ジプロパルギルモノアリルシアスレート、ト
リプロパルギルシアヌレ−１・々どのシアヌレート類、
トリアリルイソシアヌレ−１・、ジアリルプロパルギル
イソシアヌレ−１，、ジプロパルギルアリルイソンアヌ
レート、トリプロパルギルイソシアヌレ−１・などのイ
ソシアヌレート類、ｌ−リアクリルホルマール、トリメ
リット ！Ｊ ル、ｌ− １）メチロールプロパントリメタクリ
レ＝１・、エチレングリコールンメタクリレーｌ−々ど
が好１ニジ＜用いられるが、その他公知の架橋剤が使用
できる。
上述したような樹脂および強誘電体微粉末の他に、との
発明に係るフィルトにば、例えば酸化チタンやアルミナ
々とを必要に応じて添加することもできる。尚、この発
明でいう強誘電体とは、ある温度でキー−−り一点を有
するものであればよく、キュ−−り一点が室温以上に限
定さく１１） れるものではない。
発明に係るフィルトにば、例えば酸化チタンやアルミナ
々とを必要に応じて添加することもできる。尚、この発
明でいう強誘電体とは、ある温度でキー−−り一点を有
するものであればよく、キュ−−り一点が室温以上に限
定さく１１） れるものではない。
以下、この発明を実施例によってさらに詳細に説明する
。
。
実施例Ｉ
Ｌｏｏｍ／のＴｉＣｌ２を氷で冷却した１ ０ ０ ｍ
ｌの蒸留水に滴下しながら十分に攪拌し、最終的に透明
液とした。この透明液を５ ０ ０ ｍｌにうすめた。
ｌの蒸留水に滴下しながら十分に攪拌し、最終的に透明
液とした。この透明液を５ ０ ０ ｍｌにうすめた。
次に、１６５Ｆ（０．６７５モル）のＢａＣｅ２・２■
■２０ を］−、６００１７１１の蒸留水に溶解し、こ
の水溶液に上述したＴｉ３２９（０．６６８モル）含む
ＴｉＣ１４水溶液に加えた。
■２０ を］−、６００１７１１の蒸留水に溶解し、こ
の水溶液に上述したＴｉ３２９（０．６６８モル）含む
ＴｉＣ１４水溶液に加えた。
他方、蓚酸（ＣＯＯＩ７Ｔ）２・２Ｈ２０ １ ８ ５
？ （ １．４． ７モル）をビーカーに入れ、ｉ，
ｏｏｏｍｇの蒸留水を加えた。この蓚酸水溶液に上記Ｔ
ＩＣｇ４とＢａ．Ｃ１２の混合水溶液を８０℃で滴下し
た。このようにしてイ４）られた白色沈殿物である蓚酸
」塩（蓚酸チタニルバリウム）を洗浄乾燥後、電気炉で
１０００℃の空気中にて１時間熱分解焼成し、約１００
０℃の温度と推定されるＢａＴｉ０３をただちに約２０
℃の水中に投１ニジて急冷しＢ ａＴ ＩＯｓを得た。
？ （ １．４． ７モル）をビーカーに入れ、ｉ，
ｏｏｏｍｇの蒸留水を加えた。この蓚酸水溶液に上記Ｔ
ＩＣｇ４とＢａ．Ｃ１２の混合水溶液を８０℃で滴下し
た。このようにしてイ４）られた白色沈殿物である蓚酸
」塩（蓚酸チタニルバリウム）を洗浄乾燥後、電気炉で
１０００℃の空気中にて１時間熱分解焼成し、約１００
０℃の温度と推定されるＢａＴｉ０３をただちに約２０
℃の水中に投１ニジて急冷しＢ ａＴ ＩＯｓを得た。
これ（１２）
をボールミルで１時間粉砕［７だ。このＢａＴｉ０３を
光透過法による粒度分布測定装置である■セイシン企業
製のミクロンフォート・ザイザーＳＫＮ１０００型を用
いて粒径をめた結果、平均粒径は０７５μｍであっ／ζ
。々お分散剤とＩ−てメタノールを用いた。
光透過法による粒度分布測定装置である■セイシン企業
製のミクロンフォート・ザイザーＳＫＮ１０００型を用
いて粒径をめた結果、平均粒径は０７５μｍであっ／ζ
。々お分散剤とＩ−てメタノールを用いた。
このＢａＴｉＣ）：＋粉末とＰ Ｖ Ｔ−）Ｆとの２７
７３体積分率の混合物を１８０℃の熱ロールで混練し
た。
７３体積分率の混合物を１８０℃の熱ロールで混練し
た。
得られたロールシートを２２０℃の熱プレスで厚み約２
００μｍのプレスシートを得、誘電体フィルムを作製し
た。このフィルト＼にアルミニウムを真空蒸着し、これ
を電極と［７てＩ ＫＨｚ Ｓ室温における比誘電率ε
′および誘電損失ｔａｎδを測定した結果ε’＝３９，
師δ−０．０２４であった。
００μｍのプレスシートを得、誘電体フィルムを作製し
た。このフィルト＼にアルミニウムを真空蒸着し、これ
を電極と［７てＩ ＫＨｚ Ｓ室温における比誘電率ε
′および誘電損失ｔａｎδを測定した結果ε’＝３９，
師δ−０．０２４であった。
比較例１
実施例１と同様に得た蓚酸塩を電気炉で１０００℃の空
気中にて１時間熱分解焼成し、電気炉中で平均冷却速度
約４℃／ｍで徐冷Ｉ−てＢａ’Ｊ’ｉ０３を得た。こ′
１１をボールミルで１時間粉砕し７た結果、半均粒径が
４６μｍであった。どの粉末とＰＶＤＦとの複合体を実
施例１と同様に評価した結果、ε”” ３ｓ、 ｔａｎ
δ・・・０．０２３であった。
気中にて１時間熱分解焼成し、電気炉中で平均冷却速度
約４℃／ｍで徐冷Ｉ−てＢａ’Ｊ’ｉ０３を得た。こ′
１１をボールミルで１時間粉砕し７た結果、半均粒径が
４６μｍであった。どの粉末とＰＶＤＦとの複合体を実
施例１と同様に評価した結果、ε”” ３ｓ、 ｔａｎ
δ・・・０．０２３であった。
一方、ＢａＴｌＯ３の粒子径を小さくするために更にボ
ールミルで７５時間粉砕し、た結果、平均粒径が０．７
４μ？ｎとなったが、この粉末とＰＶＤＦとの複合体の
誘電率は２９と大幅に低下シ、７／こ。
ールミルで７５時間粉砕し、た結果、平均粒径が０．７
４μ？ｎとなったが、この粉末とＰＶＤＦとの複合体の
誘電率は２９と大幅に低下シ、７／こ。
又粉砕方法として超音速ジェットにより粉砕した結果、
平均粒径が０．４８μｍと微粉化されだが、複合体の誘
電率を同様に評価した結果、２９と大幅に低下した。
平均粒径が０．４８μｍと微粉化されだが、複合体の誘
電率を同様に評価した結果、２９と大幅に低下した。
実施例２，３
実施例１と同様に蓚酸塩を電気炉でそれぞれ８００℃及
び９００℃の空気中にて１時間熱分解焼成し、ただちに
約２０℃の水中に投下して急冷しＢａ Ｔ ｉ ０３を
得た。実施例１と全く同様に評価した結果を第１表に示
す。
び９００℃の空気中にて１時間熱分解焼成し、ただちに
約２０℃の水中に投下して急冷しＢａ Ｔ ｉ ０３を
得た。実施例１と全く同様に評価した結果を第１表に示
す。
（１５）
実施例４．、 ５． ６
ＢａＣ４０，２５３ｍｏｌ 、５ｒＣ１２０，１６９ｍ
ｏ］、 ＴｉＣ１４０，３３４，ｒｎｏｌを蓚酸水溶液
に加えた以外は実施例１と同様に蓚酸塩を作り、電気炉
中でそれぞれ９００℃、１．０００℃、１１．００℃で
１時間分解焼成し、ただちに約２０℃の水中に投下して
急冷してＢ ａｏ−７５Ｓ ｒ Ｏ，２５Ｔ ｉ ０３
を得た。実施例１と全く同様に評価Ｉ〜だ結果を第２表
に示す。尚、１次粒子の平均粒径を測定１〜だときの分
散剤としてはブタノールを用いた。
ｏ］、 ＴｉＣ１４０，３３４，ｒｎｏｌを蓚酸水溶液
に加えた以外は実施例１と同様に蓚酸塩を作り、電気炉
中でそれぞれ９００℃、１．０００℃、１１．００℃で
１時間分解焼成し、ただちに約２０℃の水中に投下して
急冷してＢ ａｏ−７５Ｓ ｒ Ｏ，２５Ｔ ｉ ０３
を得た。実施例１と全く同様に評価Ｉ〜だ結果を第２表
に示す。尚、１次粒子の平均粒径を測定１〜だときの分
散剤としてはブタノールを用いた。
第２表
実施例７． ８． ９
実施例３の方法で得たＢａＴｉへ粉末（平均粒径（１６
） ０．３４μｍ）と）） Ｖ Ｉ） Ｆとの体積分率を２
７：７３として、これにトリアリルイソシアヌレーレを
ＰＶＤＦ １００重量部に対し２布量部添加した。
） ０．３４μｍ）と）） Ｖ Ｉ） Ｆとの体積分率を２
７：７３として、これにトリアリルイソシアヌレーレを
ＰＶＤＦ １００重量部に対し２布量部添加した。
実施例１と同様にして熱ロールで混合し、熱プレスで成
形を行なって約８０μｍ厚のプレスシートを作製し／こ
。続いてγ線を４Ｍｒａｄ照射１〜架橋させた後、この
プレスジ・−１・を２２０℃で種々の延伸倍率（厚さ比
）で延伸して誘電体ノイルノ・を得た。これらの誘電体
フィルムの比誘電率を第３表に示す。
形を行なって約８０μｍ厚のプレスシートを作製し／こ
。続いてγ線を４Ｍｒａｄ照射１〜架橋させた後、この
プレスジ・−１・を２２０℃で種々の延伸倍率（厚さ比
）で延伸して誘電体ノイルノ・を得た。これらの誘電体
フィルムの比誘電率を第３表に示す。
第３表
〔発明の効果〕
前記の実施例からも知られる通り、本発明に係る強誘電
体は１次粒子の平均粒径が１μｍ以下のものが得られ、
樹脂との組成物が例えば強誘電体の占める体積比率が２
７係のとき、そのフィルムの誘電率を３５以上とする誘
電体フィルムが得られる。これは従来の誘電体フィルム
が同じ紹成此のとき、その誘電率を：３ｏ以下であるの
に対し優れた効果を有する。
体は１次粒子の平均粒径が１μｍ以下のものが得られ、
樹脂との組成物が例えば強誘電体の占める体積比率が２
７係のとき、そのフィルムの誘電率を３５以上とする誘
電体フィルムが得られる。これは従来の誘電体フィルム
が同じ紹成此のとき、その誘電率を：３ｏ以下であるの
に対し優れた効果を有する。
この発明によれば、ペロブスカイト型強誘電体の粉末を
得る工程において、蓚酸塩の熱分解焼成によって得られ
たペロブスカイト型強誘電体が冷媒中で急冷されるため
１次粒子の平均粒径が１．ｌ１ｍ 以下の粉末が容易に
得られる。このため、粉末の粒子径を小さくするだめの
粉砕工程を用いることなく、或いは粉砕工程を用いると
しても粉末の結晶形が崩れたり歪んだりすることの少な
い粉砕ですむために、粉末を樹脂中に分散して誘電フィ
ルムを製造するについて誘電率の優れた薄膜状の誘電フ
ィルムを得ることができる。
得る工程において、蓚酸塩の熱分解焼成によって得られ
たペロブスカイト型強誘電体が冷媒中で急冷されるため
１次粒子の平均粒径が１．ｌ１ｍ 以下の粉末が容易に
得られる。このため、粉末の粒子径を小さくするだめの
粉砕工程を用いることなく、或いは粉砕工程を用いると
しても粉末の結晶形が崩れたり歪んだりすることの少な
い粉砕ですむために、粉末を樹脂中に分散して誘電フィ
ルムを製造するについて誘電率の優れた薄膜状の誘電フ
ィルムを得ることができる。
Claims (6)
- （１）下記（１）〜（ＩＶ）の工程よシなる誘電体フィ
ルムの製造方法。 （１） ペロブスカイト型強誘電体を構成する金属の水
溶性塩を蓚酸水溶液と反応させて蓚酸塩を得る工程。 （ｆｆ） 上記蓚酸塩を、その熱分解温度以」二の温度
で熱分解し焼成し、ペロブスカイト型強誘電体を得る工
程。 （ＩＩＩ） 上記ペロブスカイト型強誘電体を冷媒中で
急冷して粉末を得る工程。 （ＩＶ） 上記粉末を樹脂中に分散し、誘電体フィルム
を得る工程。 - （２）樹脂が弗化ビニリデン系樹脂である特許請求の範
囲第１項記載の誘７電体フィルムの製造方法。 - （３）樹脂が架橋されておＩ）ｆｌ、つ延伸されている
樹脂である特許請求の範囲第１項又は第２項記載の誘電
体フィルムの製造方法。 - （４） 冷媒が１００℃以下の冷媒である特許請求の範
囲第１項記載の誘電体フィルムの製造方法。 - （５） ペロブスカイト型強誘電体を構成する金属がバ
リウムとチタンである特許請求の範囲第１項記載の誘電
体フィルムの製造方法。 - （６） ペロブスカイ）・型強誘電体を構成する金属が
バリウムとストロンチウムとチタンである特許請求の範
囲第１項記載の誘電体フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3849684A JPS60185303A (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 誘電体フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3849684A JPS60185303A (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 誘電体フイルムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60185303A true JPS60185303A (ja) | 1985-09-20 |
Family
ID=12526869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3849684A Pending JPS60185303A (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 誘電体フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60185303A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014082523A (ja) * | 2010-01-20 | 2014-05-08 | Daikin Ind Ltd | 高誘電性フィルム |
-
1984
- 1984-03-02 JP JP3849684A patent/JPS60185303A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014082523A (ja) * | 2010-01-20 | 2014-05-08 | Daikin Ind Ltd | 高誘電性フィルム |
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