JPS60181379U - 液相エピタキシヤル結晶成長装置 - Google Patents

液相エピタキシヤル結晶成長装置

Info

Publication number
JPS60181379U
JPS60181379U JP7017084U JP7017084U JPS60181379U JP S60181379 U JPS60181379 U JP S60181379U JP 7017084 U JP7017084 U JP 7017084U JP 7017084 U JP7017084 U JP 7017084U JP S60181379 U JPS60181379 U JP S60181379U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid phase
crystal growth
phase epitaxial
epitaxial crystal
wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7017084U
Other languages
English (en)
Inventor
研二 丸山
谷川　邦広
Original Assignee
富士通株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP7017084U priority Critical patent/JPS60181379U/ja
Publication of JPS60181379U publication Critical patent/JPS60181379U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の液相エピタキシャル結晶成長装置を示す
図（断面図）、第２図は本考案の液相エピタキシャル結
晶成長装置を示す図（断面図）、第３図は本考案の液相
エピタキシャル装置の一実施例を示す図であり、Ａは分
解説明図、Ｂはアンプルに挿入後の断面構造を示す図。 （主な符号）、１・・・成長基板、６・・・壁、７・・
・メルト、８・・・トレイ、９・・・壁、１０・・・蓋
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 壁で複数に仕切られたメルトを収容する室を有するトレ
    イと、該トレイの壁に対応する壁を内側に有する蓋とを
    備え、前記トレイの壁と蓋の壁の間に、成長基板の端縁
    部を支持するごとく構成することを特徴とする液相エピ
    タキシャル結晶成長装置。
JP7017084U 1984-05-14 1984-05-14 液相エピタキシヤル結晶成長装置 Pending JPS60181379U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7017084U JPS60181379U (ja) 1984-05-14 1984-05-14 液相エピタキシヤル結晶成長装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7017084U JPS60181379U (ja) 1984-05-14 1984-05-14 液相エピタキシヤル結晶成長装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60181379U true JPS60181379U (ja) 1985-12-02

Family

ID=30606528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7017084U Pending JPS60181379U (ja) 1984-05-14 1984-05-14 液相エピタキシヤル結晶成長装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60181379U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60181379U (ja) 液相エピタキシヤル結晶成長装置
JPS595254U (ja) 水晶振動子トリミング装置のチヤツク構造
JPS59110391U (ja) フライホイ−ル装置
JPS59175352U (ja) 硬質フイルム固定用フレ−ム
JPS59108476U (ja) 把手付き又は把手なしコツプ
JPS58181817U (ja) 間仕切壁
JPS59169370U (ja) 液相エピタキシヤル膜成長用基板ホルダ
JPS60148235U (ja) 処理容器
JPS5887874U (ja) 気相成長用ボ−ト
JPS59162932U (ja) 液体用酸化防止器
JPS5958032U (ja) イムノアツセイに用いるピペツト載置架台
JPS58107088U (ja) 三方
JPS5962506U (ja) 測量機
JPS605115U (ja) 気相成長装置
JPS5827372U (ja) 液相エピタキシヤル成長装置
JPS5991729U (ja) 液相エピタキシヤル成長装置
JPS60100001U (ja) 泡鐘トレ−用キヤツプ
JPS5954572U (ja) 単結晶引上装置
JPS5936238U (ja) 電解コンデンサ−用ケ−スの防爆装置
JPS60148236U (ja) 処理容器
JPS59127138U (ja) 液体容器の消波装置
JPS5970335U (ja) ウエ−ハの浸液容器
JPS583033U (ja) ウエハ−洗浄装置
JPS59145572U (ja) 白金るつぼ
JPS5989324U (ja) 液晶表示装置