JPS6017513A - 流量制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は流体の流量をｔ、ｌＪ胛するための装置に関し
、更に具体的には、原子ノＪ発電所の放射性流体回路に
使用できる制御Ｉ装置に関４る。

このような回路では完全密封状態を達成しなければなら
ない。更に、装置の作動が事故紀生時結果として生じる
放射、圧力及び温度等の諸条件に影響されてはならない
。たとえ通常作動状態時であっＣも、遮断または制御す
べき流体の圧力は０乃至１８０バールの蛤の範囲で変動
できるものでなければならないし、またその温度は２０
℃乃至３４０℃の門の範囲でなければならない。

従来、このような制御機能及び遮断機能を果すための弁
装置は、２つの要素部材（キャップと本体＞＠ねじまた
はフランジを用いて組み付けた密閉体により形成されて
いる。密閉部材の運動及びその位置の安定は、キャラ・
ブに確実に結合されたアーチに固定され且つキャップを
貫通ずる操作棒を軸方向に移動する空圧サーボミータを
備えた電気、空気ポジショナ−の作用によって達成され
ている。

このように設計された上記従来装置に見られる欠点は、
弁操作棒が貫通する密閉体が破損する結果生じるもので
ある。このような部位では密封状態はパツキン・ブロッ
ク体によってのみ達成されている。

一方、パツキン・ブロック体の操作棒に対づる摩擦力は
、制御機構のフィードバックを阻害するから制御機構の
作動の障害となる不具合がある。

最後に、サーボモータ及びその付属品（空気継電器等）
は外部の放射線及び温度条件により極めて影響を受け易
いため、結果として早期老化を生じる不具合がある。

従って、本発明の目的番ま以上の諸欠点を取り除くこと
である。

本発明の制御装置の第１の機能は、流体の流量値（所要
とあれば、特定の部位における流体の圧力値）を予設定
値に維持できるよう、流体流量を制御することである。

本発明の装置はまた流体の流れを遮断する部材どしでも
使用覆ることができ、これが本発明の装置の第２の機能
を成す。

このため、本装置は、先＠部を有し且つこの先組部内の
可変部位に静圧取出部材を具備した少なくとも１個のノ
ズルと、前記ノズルと協働すると共に可動密閉部材を備
えた制御弁と、前記密閉部材の位置を前記先細部から取
り出される静圧に基づいて変更する部材と、前記先細部
静圧取出部位を前記流体の流量または圧力に基づいて変
更ジる部材であって、設定値に対し工流憬または圧力が
変動した場合、前記密閉部材の位置を変えて前記流体流
量を反対方向に変動させ流量または圧力をその設定値に
復帰させる部材と、から構成されている。

更に具体的には、前記密閉部材位置変更部材は本装置の
上流側で取り出された静圧に比例プる圧力を前記密閉部
材に対しそ・の開成方向に印加するための部材と、前記
先細部から取り出された静圧に比例する圧力を前記密閉
部材に対しその閉成方向に印加ブるための部材と、前記
密ｒＩＪ部材に対し前ｆｉｒ！　ｌ流側取出静圧を補償
する圧力を印加覆る部材とから成っでいる。

換すすれば、本発明は少なくとも１個のノズルを制御弁
と組み合せることを提案づるものである。

本装置の上流側領域とノズル」−の流れ部位との間の圧
ノｊ差を密閉部材を操作する力の形で使用し、後者に加
える反応力は、例えば、ばねにより発生させる。

本装置では、イの制御］機能を形成覆る弁の開放状態を
、予設定流量値を再設定する自動制御ループの作用によ
り制ｍ−ｔｉることができる。

第１実施例では、ノズルに複数本の圧力取出管を具備さ
せ、この圧力取出管を総′Ｃ１多方向ディストリビュー
タの入口の１つに接続された環形室との間に連通状態を
達成する先細部の同一レベルに配設しである。

第２実施例では、本装置に先細部に対し相対移動できる
と共に、ノズル本体の非磁＋Ｉ＋：壁部のいずれかの側
に配設される磁気継手から成る静圧取出部材に対しても
相対移動できる部材を具備させるようにした。

本装置はまた、本装置の上流帯と下流帯とを隔離できる
よう、先細部から取り出された静圧の密閉部材への伝達
を選択的に阻止覆ることができ、本装置の上流側で取り
出される静圧に比例した圧力を密閉部材に対しその開成
方向に印加すると共に、本装置の下流側で取り出される
静圧に比例した圧力を密閉部材に対しその開放方向に印
加づることができる部材を備えていると右利である。

この構成では、遮断機能は、手操作Ｊ、たは遠隔操作に
より制御し且つ密閉部材に印加される圧力の圧力効果だ
番ノで達成することができる。

本発明の制御・細分型装置では次のような利点が得られ
る。即ち、＾信頼性密封状態（更に具体的には、密閉部
材の放射性流体内への完全浸漬によって達成されるもの
）と、制ｍｓ能の障害となる棒状パツキンに起因する・
摩擦の回避。従来の気圧サーボモータのエラストーマ−
製隔壁を排除した結果得られる偶発性放射条件に対づる
高耐性と、従来の空圧継電器の排除により得られる＾潤
度耐性、パツキン排除により得られる保守の減少、ディ
フューザ（目盛付管）と一体成形の流体圧減衰器の使用
により得られる制御の安定性、イして、上流、下流方向
における密閉を圧力効果により達成できること、などが
利点として挙げられる。

密閉部材は、噴流方向と直接接触することがないため、
静的な（動的ではない）圧力に対しノでのみさらされ、
これに比例して制御の正確度及び安定性が向上している
。

本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照しつ
つ本発明の２つの実施例に関する以下の詳細な説明を照
覧すれば明白であろう。

図面について説明すると、本発明の装置は、篩形制御弁
ＶＲの上流に取り付けられた図示の構成のノズルＴから
成る。本発明の装置はまたノズルＴと弁ＶＲを組合せた
その他の構成をも含むものであり、即ち、ノズルＴを弁
ＶＲの分岐部材とすると共に総てのアセンブリイを連続
的に構成したものや、ノズルＴと弁ＶＲとをそれぞれ個
別の流体圧回路に所属させるようにした総てのアセンプ
リイをも含むものである。

第１図の本「明の第１実施例によれば、ノズル１−は先
細部１０１と、軸方向１つ周囲方向に規則的に配設され
た圧力取出管１０２と、該管の放出対象たる環形室１０
３どから成る。

室間の密封状態は筒形スリーブ１０４によって達成され
る。スリーブ１０４と先細部１０１とが高圧接触してい
るため、商度の密封状態が確実に達成できる。これは特
殊な方法、即ち、加熱により高温となったスリーブ１０
４を予め大幅に冷却した先細部１０１に取り付ける方法
により達成することができる。

スリーブ１０４に端部材１０５を螺入結合したことによ
り、上流側管類を本ノズルに接続できるようにした。ス
リーブ１０４と端部材１０５との間の密封は、例えば、
機械加工したリップ１０６を溶着することにより達成す
る。

半径方向管１０７をスリーブ１０４を貴通覆る状態に配
設しであるが、台管１０７は関連の環形室１０３から挿
通管１０８まで伸長している。なお、挿通管１０８（沫
そわ、ぞれディス１へりｌ：：’　、’ｌ−−−夕　１
（）９の人目の対応の１つに接続１ノて−いる。フィン
及び熱管を備えた熱交換器１１０を挿通管１０８土に配
設してｉイスＩ−リＶ′ｊ−・夕　１０９の過熱を防止
づ゛るように（）た。

ノズル′■はねじ付さまたはノランジイ１きのアヒンブ
リイ　１１１により制御弁ＶＲに固定されており、その
接続部は機械加工１ノたリップ１１２の溶着により密封
されている。

本制御弁は弁体１１３によって形成される完全密封状密
閉体であって、キャップ１１４及びｆイノコーグ１１５
が付設されている。これら諸部材間の密封は機械加工状
リップ１１６の溶着により達成し、これらの組付けはボ
ルトを用いるがあるいは螺合により行う。

本ディフコーザには＠１１７が含まれているが、これは
、ノズルＴを直列装着型制御弁に接続づ−る場合特に望
ましいものであって、そのオリフィスには、流れの反対
方向に該篩の中心軸に沿って移動する場合先細状となる
部分が含まれている。この構成は大部分の通常の制御弁
の構成とは反対のものであるが、これにより弁の流量特
性が凸形となる。この凸形特性により、ばねの線形特性
ど相俟−）Ｃ１当該＄制御弁で固定した設定点の周囲部
では安定した均衡状態が得られる。

ディフューザ１１５の密閉部ｖＪ１１９に嵌入Ｊる側の
端部には１つまたは２つ以上の環溝１１８が設けられて
いる。管１２０はディフューザ゛１１５を貫通Ｊるよう
に配設され又いて、その−万端は５つのオリフィス及び
３つの位置（位置［＜：制御用、位置Ｓ：遮断用、位置
Ｏ：開放用）を有づるディストリビュータ　１２１に接
続し、他方端は下方の環溝１２２に接続している。第２
籠は弁体１１３とディフューザ１１５との間に嵌設され
ていて、ノズルから出て密閉部材に向う噴流によって発
生される圧力、更に具体的には密閉部材を半径方向に偏
倚させる圧力を減圧させ、従って穴あけ現象を減勢させ
る動きをする。密閉部材１１９はディフューザ１１５に
より軸方向に案内され、またデイノコーザ自体は片体１
１３に対して完全心合ゼ状態にある。取付部材１２３の
１１８１１１面には硬質ライニングが具備されＣいるが
、このライニングは星歴形状と−することができる。

溝１２２の下方にセグメント　１２４を配設すると、本
ディフコーザ、密閉部材装置のピストン効果を高めるこ
とができる。密閉部材１１９はディフューザ１１５との
協働により第１室１２５を形成し、この室内には管１２
０から目盛付オリフィス１３１を介しで伝達される圧力
が貯えられる。

ベロー１２６はその−ｈ端がキャップ１１４に他方端が
密閉部材　１１９に溶着されていると共に第２室を形成
しており、この第２室は、ディストリビコータ　１０９
及びこれによって選択された挿通管１０８（ｉｉｌＪＩ
ＩＩ機能：ディストリピユータ　１２１の位置Ｒ）が、
上流側圧力取出管１４０（遮断位置Ｓ）のいずれかに連
通するようになっている。

密閉部材１１９はばね１２９によりその開成位置に偏倚
復帰するように構成されている。

ディストリビュータ　１０９は、それぞれ管１０８から
供給を受ける一連の単路形電気弁から構成されている。

制卸ループは、ノズルの上流側及び下流側に位置する２
部位（例えば、端押通管１０８ａ及び１０８ｂ）の間の
圧力差をこれに比例する電流の形に変換する検知ｆｊ４
１３！ｉから構成されている。デジタル表示イリきのア
ナログ調整器１３６をこの差の所要（八に設定−する。

この設定値はノズルの流れ特性を考慮に入れて決定する
。

流量が変化した場合には、検知器１３５により観測され
た差圧は設定値と賃なり、調整器１３６からこの誤差−
に比例した電流信号がＲ１され、該信号は予めプログラ
ム化されたマイクロブロセッ９１３７に送られる。この
マイクロプロセッサは、ぞの倫理機能により、該マイク
ロプロセツサ１３１のマイクロ電流の増幅器１３８を介
してリレー゛接点１３９を開閉することによりＴイス１
へリビュータ　１０９の遅延走査を達成覆ることができ
る。

この結果、（Ｎ気弁１２１を介して室１２１とマイクロ
ブｌ」セッサ　１３１によって選択された挿通管とを接
続する）管１３３により室１２１に伝達される圧力に差
があるため、密閉部材１１９は移動し、この運動は、本
装置内の流路が調整Ｎ１３６の表示する設定値に対応す
る値に戻るまで岐く。

理延走査により流量設定値に対して周期的に流量が変動
することがあるが、これは、常に、設定流量に対する密
閉部材の位置が室１２１に対して両隣接環形室１０３の
間の中間の圧力を伝達することを要求していることを示
すものである。

別法としては、弁の操作は流体の流量によってではなく
特定の部位における圧力によって制ｗ−ｎるようにＪる
ことも可能である。この場合、圧ノＪ検知器１３５は、
先細部の下流側と下流側との間の差圧（即ち、流体の流
量を表わづ差圧）を検知づるタイプの検知器ではなく、
回路上のＩ′１１点にＪ３ける静圧を測定する絶対圧検
知器である。

弁を圧力効果により閉じる作業は、ディストリビュータ
　１２１（位Ｉｌ！Ｓ）を手動操作または遠隔操作する
ことにより行うが、これにより、室１２５及び１２１に
供給すされる圧力がパーミュテー１−されると共に、デ
ィストリビュータ　１０９及び上述の制御ループが隔離
される。第２室１２１は（管１４０を介して供給される
）上流側に存在する高圧にさらされ、第１室は（管１４
１を介して供給される）下流側の低圧にさらされる。

弁の開放は、室１２５及び１２７の圧力をバーミュテー
トするディストリビュータ　１２１の位置Ｏまで通過さ
ぜるようにするど容易に行うことができる。

第２図にはηいに独立的に適用Ｃぎる幾つかの変更例が
図示されている。まず、ノズル１０１は単ブ日ツク体で
あって、軸平面上に規則的に配設された複数列の管に対
してではなくノズル軸に心合せされた１列の圧力取出管
１０１に対してのみ接触するようになっている。室１２
７はディストリビュータから供給を受けると共に密閉部
材　１１９ど弁体１１３とで構成されているが、その密
封状態はセグメント継手１３０により達成される。

さて、第３図には別の変更例が示されているが、本例で
はｔ／ＩＩ！ｌ弁は、弁体１１３′に対しフランジ付ア
センブリイ　１４５を介し・機械加工状リツ１１４Ｇの
溶着により結合した流体圧〔−夕を具備し又いる。

ピストン１４１により両室１２５−１１２１′が分離さ
れている。室１２５′は、弁体１１３′を介して環溝１
１８′に通じる管１２０′を介してパイロット回路の圧
力を受取る。該環溝１１８′は減圧効果を生じる目盛付
オリフィス１３１′を介して部室１２５′に連通してい
る。遮断弁１４９により両室１５０．　１５１が分離さ
れている。

本例の弁の圧力効果による閉或は、ディストリビュータ
　１０９−及び制御ループを隔離する第１デイストリビ
ユータ　１２１”　（位置Ｓ）を手操作または遠隔操作
により制御すると共に、室１５０及び１５１に供給され
る圧力をパーミュテートづる第２デイストリビユータ　
１５２（位置Ｓ）を制御づることにより達成される。室
１５１は（管１５４から構成される装置上流側の高圧に
さらされ、室１５０は（管１５３から構成される装置下
流側の低汁にさらされる。

弁の開放は、室１５０及び１５１の圧力をバーミュテー
トするディストリビュータ１５２（位置Ｏ）を手操作ま
たは遠隔操作により制御することにより達成される。

流量ｉｉｍは、＠置の上流側で得られる室１２５′の圧
力を変えることなく、室１２７−に対しディストリビュ
ータ　１０９′で選択された圧力を伝達するディストリ
ビュータ　１ｚｉ−ｃ位置Ｒ）を手操作または遠隔操作
により制御することｋより達成する。

ピストン１４１及びシリンダ１４０の摩擦面に対しては
ピストン行稈の＾さに亘り硬質被覆材　１４１を塗布覆
ることも可能である。

シリンダ１４０には冷却フィン１４８及び熱管を付設し
て流体圧モータの温度を低下させることができるように
した。

密閉部材１１９′は操作ロッド１４４を介してピストン
１４１に連結しであるが、望ましくは、密閉部材とピス
トンの各端部とを関節形状としてこれを適当なアセンブ
リイを介して連結ジるようにするのがよい。管１４３を
密閉部材１１９′内を貫通するように配設したことによ
り、密閉部材の両側の圧力を均衡させることができ、る
。

このように構成したことにより、密閉部材とディフュー
ザの接触面が摩耗した場合でも、密閉部材は流体の動圧
に全く影響されなくなった。

さて、第４図には第２実施例を示しである。本例では、
ノズルＴの本体は２つの案内部材２０１゜２０１′どこ
の両名と溶着づるジャケラ：〜２０２とから構成されて
いる。先細部２０３は案内部材２０１゜２０１−内を摺
動するように構成され、また管２０４は両案内部材に対
して同軸式に固着されている。

管２０５は管２０４を取り付【プるための部材２０６を
貫通してディストリビュータ２２１の許可により、オリ
フィス２０８から制御弁ＶＲに圧力を伝達づる（第１実
施例の場合と同じ）。先細部の入口には直流整流部材２
２０を付設することも可能である。

先細部の移動を可能にする装置は該ノズル本体内に完全
に内蔵されており、それは、磁気部と運動変換機構部と
からなっている。

磁気部はノズル内にあって、ノズルと外部制御装置との
結合を可能にする。磁気部は永久磁石２１０から成り、
コバルト及び希土類金属と共に筒形部材２１１にしつか
り結合されている。なお、筒形部材２１１は回転運動を
ローラ２１２を備えたねじに伝達するためのものである
。

磁石は磁界をチャンネルづる軟鋼製筒形部材２１３ｔＣ
結合されていると共に、非磁性鋼製薄層外被体２１４に
より周囲流体から保護されている。空隙は外被体の壁部
２０２から成る。（硼素ドープ処理鋼は優れた磁気的及
び機械的特性を有していて、空隙内での無視可能な程度
の磁気漏れを可能にするａ） 磁石及びローラｆ１きねじによって構成されるアセンブ
リイ回転運動は、案内部材２０１′に当接する部材２１
１及び該アセンブリイを軸方向に保持するボールレース
２１５により案内される。

フィン２１６．　２１６−から成る装置はノズル本体の
部材２０１．　２０１＝の上に載置されている。これら
のフィンは熱管を支持していて、磁石の温疫を制限する
ことができる。

」１記壁部を介して伝達される外部の力は外被体の外側
に配設された複数個の回転磁石２１１から成るアヒンブ
リイによって発生される。この外部磁石はステッピング
・モータ２１９によっで駆動される歯４１２１８上に配
設されている。

制御ループは検知器２３５により構成されていて、ノズ
ル上流側の管類上に取り付けられた流量計２２２の両側
で取られた圧力の差をこれに比例した電流に変換する。

弁位置付は体を内蔵したアナログ調整器２３Ｇはこの差
圧に対応する設定値に合うよう調整されている。この設
定値は該流量計の目盛定め曲線を基準にして決定する。

（制一対象が流量ではな（圧力である場合は、流量計の
代りに圧力計を用いることもできる。） 流体の流ｍ（または圧力）が変動する場合は、検知器２
３５によって観測される流量計の圧力（または、圧力計
の圧力）の差にも変動が生じて調整器２３６が作動し、
その結果モータ２１９が該変動の符号の関数の方向に回
転することになる。結果として、先細部２０３の移動に
よりＡリフイス２０８の圧力が変る。この圧力変動は制
御弁の上方空に伝達され、その結果、設定流量（または
、圧力）に戻るまで、密閉部材が移動し続ける。

第５図には、制御弁ＶＲとノズルＴとを組合せる別の構
成例が示されている。ノズルＴは、制御弁ＶＲを含む主
回路１５９を迂回する回路１６０内に配設されている。

ディストリビュータ　１５２によって案内される遮断弁
部材１６１はバイパス回路１６０内に、本発明の装置の
機能を確実に遮断できる状態に装着されている。

第６図には弁部材１６１の実施例が図示されているが、
本弁部材は、流体圧の圧力降下、更に具体的にはそれ特
有の圧力降下を利用すると共に、それぞれその増大に伴
って弁部材１４９′をそれぞれ開成及び開放方向に移動
させる密閉部１５〇−及び１５１′の作用によって作動
させることができるものである。

本例にＪ３いては、制御機能及び遮断機能は、各室１２
５′、１２７′、１５１．　１５０．　１５１′、１５
０＝の圧力をこの順序で案内することにより、並びに第
３図に関して既述した手段により達成することができる
。

第７図には、制御弁ＶＲとノズルＴとを組合せる別の構
成側が示されている。本例では、ノズルＴは、制御弁Ｖ
Ｒを含む回路１５９−とは別設の回路１６０′十に配設
されでいる。

本例ではまた、制御機能及び遮断機能は、各室１２５′
、１２７−　、　１５１．　１５０（７）圧力ヲｊ、　
＋７）　順序テ案内することにより、月っ第３図に関し
て既述した手段により達成することができる。

このような機能が必要な場合、本構成例では、個別の回
路１５９′と１６０′どの流れの間に連結装置を設定す
ることができる。本例ではまた、それぞれその中を流体
が気体及び液体の形ｒ流過する２つの回路１５９′及び
１ＧＯ′を使用することも可能である。

最摂に、第８図は更に別の組合１！゛を示り図であって
、本例では制御弁ＶＲと複数個のノズル１″１及びＴ２
、即ちそれぞれ互いに直列に接続されていると共に制御
弁ＶＲと並列に接続されたノズルとが組み合わされてい
る。

本例では、第１図の構成に関して前述したばね１２９を
使用しないで済まずことができる。

また本例では、制御及び遮断の各機能は、各室１２５−
、　１２７−、　１５１，１５０．　１５１−、　１５
０−の圧力をこの順序で案内することにより、Ｈつ第３
図に関して前述した手段により達成することができる。

但し、ノズル１扁ど連通する室１２５′は例外とする。

なＪ５、室１２７′は制御機能を果すため′にノズルＴ
２と通じ−Ｃいると共に、遮断用に本装置の士流側圧力
と通じている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の第１実施例の断面図である。 第２図及び第３図は第１図に図示の本発明の装置の変更
例を示す図である。 第４図（よ本発明の装置の第２実施例の部分断面図であ
る。 第５図は本発明のノズル制御代弁アセンブリイの別の構
成例を示す概略図である。 第６図は遮断弁部材の実施例の断面図てユある。 第７図及び第８図はそれぞれ、本発明のノズル制御式弁
部材の別の構成例を示Ｊ概略図ぐある。 Ｔ・・・ノズル　ＶＲ・・・制御弁　１０１．　２０３
・・・先細部　１０２．　２０８・・・圧力取出部材　
１０３・・・環形室１０９・・・ディストリビコータ　
１１３・・・弁体　１１５・・・ディフューザ　１１７
・・・簡　１１９・・・密閉部４．Ｊ１２０・・・管　
１２１．　２２１・・・ディストリビ７フータ　１２５
・・・第１室　１２７・・・第２室　１２９・・・ばね
　１４０・・・圧力取出管　１４９・・・遮断弁　１５
２・・・ディストリビユータ　２０１・・・案内部材　
２１０．　２１７・・・磁ｒｉ２１９・・・モータ 特許出願人　工しクトリシイト　ド　フランス（セルビ
ス　ノーショナール） −６ト

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）流体、更に具体的には放射性流体の流量を制御す
   るための装置であって、 可変部位に静圧取出部材１０２．　２０８を備えた先細
   部１ｏ１．　２０３を有する少なくとも１個のノズルと
   、 上記ノズルと協働すると共に可動密閉部材１１９を備え
   た制御弁ＶＲと、 上記先細部から取り出される静圧に基づいて上記密閉部
   材の位置を変える部材と、 上記流体の流量または圧力に基づいて上記先細部の上記
   静圧取出部位を変える部材であって、設定値近傍の流量
   または圧力が変動した場合」二記密閉部材の位置が変り
   、その結果、上記流体の流れが逆転して該流量または圧
   力をその設定値に復帰させることができ、従って上記密
   閉部材が本装置によって発生される圧力降下を用いて操
   作されるようにして成る静圧取出部位変更部材と、から
   成ることを特徴とする流量制御装置。 （２）　前記密閉部材位置変更部材が、前記密閉部材に
   対し本装置の上流側で取り出された静圧に比例する圧ノ
   コを・ぞの開放方向に印加するための部材１２０と、前
   記密閉部材に対し前記先細部から取り出された静圧に比
   例する圧ツノをその閉成方向に印加するだめの部材１０
   ９．　１３３と、前記密閉部材に対し上記上流側取出圧
   力を補償する圧ツノを印加づるための部材１２９ど、か
   ら成る特許請求の範囲第（１〉項に記載の制御装置。 （３）　前記密閉部材に対する前記先細部取出静圧の印
   加を選択的に阻止することができ、また、前記密閉部材
   に対し本装置の上流側で取り出される静圧に比例した圧
   力をその開成方向に印加することができ、且つ前記密閉
   部材に対し本装置の下流側で取り出される静圧に比例し
   た圧力を印加することができ、従って本装置の上流帯及
   び下流帯の細分化を達成できる部材１２１．　２２１を
   も具備した特許請求の範囲第（２）項に記載の制御波＠
   。 （４）　前記制御弁が、密封状密閉体１１３．　１１４
   の内部に、多数の軸方向段階平面に複数の半径方向オリ
   フィスを右する簡１１１を備えたディフューザ１１５と
   、上記ゲイフユーザの密閉部材１１９であって、軸方向
   運動により上記部の角変数のオリフィスを被覆して上記
   ディフューザ内を流れる前記流体の流量を変えることが
   できる密閉部材と、前記上流側静圧取出部材に開放方向
   に向って増大する容積を有する第１室１２５を通じる部
   材１２０．　１４０と、前記先細部の可変静圧取出部材
   に開成方向に向って増大する容積を有する第２室１２１
   を連通さゼる部材１０９．　１３３と、を具備する特許
   請求の範囲第（２項または第（３）項に記載の制御装置
   。 （９その容積の増大により開放を生じる開成部における
   静圧を補償する圧力を前記密閉部材に印加する前記部材
   が、前記密閉部材に対しその開成方向に送られる圧力を
   付勢するばね１２９である特許請求の範囲第（２）項乃
   至第（４）項のいずれかに記載の制御装置。 ■　前記第１室、上流側静圧取出部材連通部材がまた少
   なくとも１個の目盛付オリフィス１３１がら成る特許請
   求の範囲第（４）項または第の）項に記載の制御装置。 〈７）　前記ノズルが前記先細部１０１に沿って配列さ
   れた少なくとも１列の周囲斥力取出部材１０２を備えて
   おり、各取出部材が、前記流体の流量または圧ノコを測
   定し且つその測定値と前記設定値とを比較する部材１３
   ５〜１３７により制御される多方向ディストリビュータ
   　１０９の入口に接続されている特許請求の範囲第（１
   ）項乃至第０項のいずれかに記載の制御装置。 ■　前記ノズルが複数本の圧力取出管を備えており、該
   圧力取出管が総て、前記多方向アイストリピユータの入
   口の１つに接続した環形室１０３と連通する前記先細部
   の同一レベルに配設されている特許請求の範囲第（７）
   項に記載の制御＠置。 ■　前記ノズルの本体２０１．　２０２．　２０１”の
   内部に、前記先細部２０３を単一圧力取出部１２０８に
   対して相対移動させるための部材が具備されている特許
   請求の範囲第（１）項乃至第■墳のいずれかに記載の制
   御装置。 ６０）　前記先細部、静圧取出部材相対移動部材が、前
   記ノズル本体の非磁性壁部２０２のいずれかの側に配設
   された磁気継手から成る特許請求の範囲第０項に記載の
   制御装置。 （１１）前記磁気継手が、前記ノズル本体の外部に、少
   なくとも第１永久磁石２１１を回転させるためのモータ
   ２１９を備え、前記ノズル本体の内部に、上記第１永久
   磁石と協働して機構２１２を駆動し回転運動を前記圧力
   取出部材と前記先細部のと相対軸方向横断運動に変換さ
   せる少なくとも第２永久磁石２１０を備えている特許請
   求の範囲第ＱＯ）項に記載の制御装置。 （１り　前記制御弁が、密封状密閉体１１３の内部に、
   その移動により本制御弁の開閉を行うことができ且つ前
   記密閉部材１１９とは別設された遮断弁部材１１９と、
   本装置の前記上流側圧力取出部材に対、し容積の増大に
   より上記弁部ｖＪ１４９を開成方向に移動させる第１室
   １５０を連通させる部材１５３と、本装置の前記下流側
   静圧取出部材に対し容積の増大により上記弁部材１４９
   を閉成方向に移動さゼる第２室１５１庖連通さぜる部材
   １５４＠備えていると共に、上記密閉体の外部に、上記
   第１及び第２室１５０、　１５１の静圧をバーミュテー
   １へする部ｖＪ１５２と、前記先細部から取り出される
   静圧の前記室１２７−への伝達を選択的に阻止し℃、前
   記密閉部材に対してその開放り向においては本装置の上
   流側で取り出される静圧に比例した圧力を印加づると共
   に、前記密閉部材に対してその開成方向においては本装
   置の下流側で取り出される静圧に比例した圧力を印加り
   ることができ、これにより、上記弁部材１４９により本
   制御弁が閉成される場合、前記密■１部材が前記篩のオ
   リフィスのほんの一部のみを被覆するようにしてなる部
   材１５２ど、前記密閉部材を移動することができるど共
   にツイン及び熱管によって冷却できるように構成された
   流体圧モータ装置ど、を備えている特許請求の範囲第（
   ４）項乃至第（１１）項のいずれかに記載の制御装置。 （＋３１　前記制御弁に対し単一ノズルを直列状態に装
   着して成る制御ｌｌ！！置であって、前記篩の半径方向
   オリフィスが前記流れ方向と反対方向に前記篩の中心＠
   Ｉに沿って移動１１る減少部をイｊする特許請求の範囲
   第（４）項乃至第（１７１項のいずれかに記載の制御装
   置。 ０や　先細部を形成する少なくとも１個のノズルＴと、
   上記ノズルと協＠覆る制御弁■［くぐあって、その移動
   により該制御弁を開閉さしることができる遮断弁部材１
   ４９′を有する制御弁ＶＲと、本装置の上流側の静圧取
   出部材に対しその容積増大により上記弁部材を開放方向
   に移動させることができる第１室１５０′を連通させる
   部材と、本装置の下流側の静圧取出部材に対しその容積
   増大により上記弁部材を開成方向に移動させることがで
   きる第２室１５１′を連通させる部材と、」二記第１及
   び第２室の静圧をバーミュテートする部材と、から成る
   特許請求の範囲第（１）項に記載の制御装置。