JPS60174245U - ダイボンデイング装置 - Google Patents
ダイボンデイング装置Info
- Publication number
- JPS60174245U JPS60174245U JP6293584U JP6293584U JPS60174245U JP S60174245 U JPS60174245 U JP S60174245U JP 6293584 U JP6293584 U JP 6293584U JP 6293584 U JP6293584 U JP 6293584U JP S60174245 U JPS60174245 U JP S60174245U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- die bonding
- bonding equipment
- semiconductor
- bonding device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図はグイボ
ンディング装置の概略平面図、第2図はグイボンディン
グ装置の正面図である。第3図および第4図はペレット
テーブルの移動機構の一実 ゛流側を示し、第3図は
正面図、第4図は同斜視図である。第5図a、 b、
cはペレットテーブルの・動作状態を示す概略平面図で
ある。 la、lb・・・ボンディングヘッド、5・・・ペレッ
ト、47・・・ペレットテーブル、10・・・リードフ
レーム、3.0・・・テーブル台、32・・・プーリ、
33・・・サーボモータ、34・・・モータプーリ、3
5・・・ベルト、36・・・スライドブロック、37−
・・ガイド軸、40・・・サーボモータ。
ンディング装置の概略平面図、第2図はグイボンディン
グ装置の正面図である。第3図および第4図はペレット
テーブルの移動機構の一実 ゛流側を示し、第3図は
正面図、第4図は同斜視図である。第5図a、 b、
cはペレットテーブルの・動作状態を示す概略平面図で
ある。 la、lb・・・ボンディングヘッド、5・・・ペレッ
ト、47・・・ペレットテーブル、10・・・リードフ
レーム、3.0・・・テーブル台、32・・・プーリ、
33・・・サーボモータ、34・・・モータプーリ、3
5・・・ベルト、36・・・スライドブロック、37−
・・ガイド軸、40・・・サーボモータ。
Claims (1)
- 半導体ペレットが載置されたペレットテーブルからボン
ディングヘッドにて取り出した半導体ペレットを、搬送
ラインに沿って所定間隔で送られてきたリードフレーム
等の基板上に固着するダンボンディング装置において、
前記ペレットテープ゛ ルを取付けたテーブル台は
互いに直交する2方向に移動可能な移動機構を備えると
共に、このテーブル台に前記ペレットテーブルを回動可
能に取付け、且つ前記ペレットテーブルに載置された半
導体ペレットに応じて、前記ペレットテーブルを回転さ
せる回転機構を備えたことを特徴とするグイボンディン
グ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6293584U JPS60174245U (ja) | 1984-04-26 | 1984-04-26 | ダイボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6293584U JPS60174245U (ja) | 1984-04-26 | 1984-04-26 | ダイボンデイング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60174245U true JPS60174245U (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=30592612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6293584U Pending JPS60174245U (ja) | 1984-04-26 | 1984-04-26 | ダイボンデイング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60174245U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS524178A (en) * | 1975-06-27 | 1977-01-13 | Nec Corp | Small object automatic positioning apparatus |
-
1984
- 1984-04-26 JP JP6293584U patent/JPS60174245U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS524178A (en) * | 1975-06-27 | 1977-01-13 | Nec Corp | Small object automatic positioning apparatus |
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