JPS6017417A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
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- JPS6017417A JPS6017417A JP12566283A JP12566283A JPS6017417A JP S6017417 A JPS6017417 A JP S6017417A JP 12566283 A JP12566283 A JP 12566283A JP 12566283 A JP12566283 A JP 12566283A JP S6017417 A JPS6017417 A JP S6017417A
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- optical path
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/34—Microscope slides, e.g. mounting specimens on microscope slides
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は相互の間隔を比較的大きくして配置した微小の
一物体の像を同−視野内で近接させて同時に観察するた
めの光学装置に関する。
一物体の像を同−視野内で近接させて同時に観察するた
めの光学装置に関する。
このように微小な比較的距離の離れたコ物体を同−視野
内で近接させて観察したいという要求は電子機器や精密
機械分野で多い。例えば、微小な電子部品や機械部品を
大きな間隔を離して相互の正確な位置合せなして基体上
に組付けるときとか、あるいはコ物体それ自体は大きい
場合でも、それらの位置出しすべき基準部分が極めて小
さく、かつ上記基準部分相互間の間隔が長い場合、これ
ら基準部分の高精度な位置出し調整や組付けが要求され
る作業には上記した装置が要求される。
内で近接させて観察したいという要求は電子機器や精密
機械分野で多い。例えば、微小な電子部品や機械部品を
大きな間隔を離して相互の正確な位置合せなして基体上
に組付けるときとか、あるいはコ物体それ自体は大きい
場合でも、それらの位置出しすべき基準部分が極めて小
さく、かつ上記基準部分相互間の間隔が長い場合、これ
ら基準部分の高精度な位置出し調整や組付けが要求され
る作業には上記した装置が要求される。
本発明は係る要求を満たすために比較的大きな間隔にあ
る異なるコ領域上の一つの物点な近接させて同−視野内
で観察でき、さらにはこれらλ物点の位置出し調整用に
も利用できる光学装置を提供することにある。
る異なるコ領域上の一つの物点な近接させて同−視野内
で観察でき、さらにはこれらλ物点の位置出し調整用に
も利用できる光学装置を提供することにある。
以下本発明の実施例を図をもとに説明する。
第１図は本発明の光学装置の光学配置を示す図で、被観
察物体１０を載置するための載物台１１と、被観察物体
１０の正面を観察するための正面観察系２０と、被観察
物体１０の側面を観察するための側面観察系ｉｏとに大
別される。
察物体１０を載置するための載物台１１と、被観察物体
１０の正面を観察するための正面観察系２０と、被観察
物体１０の側面を観察するための側面観察系ｉｏとに大
別される。
正面観察系２０は、照明光源２１１、コンデンサーレン
ズ２１２、ノ・−７ミラー２１３及び対物レンズ２２０
から構成される照明光学系２１と、対物レンズ２２０、
像間隔変換部２２１、偏向ブリ、ｔ”Ａ２２２、リレー
レンズ２２３、・及びＴＶ右カメラ２４から成る観察光
学系２２と、ＴＶカメ２２２４の受像状態等を制御する
カメラコントローラー２３０、カメラコントローラから
送られてくる受像信号を制御して各種測定に利用する測
定％ｉｌＪ御部２３１及びＴＶ右カメラ２４の受信像を
表示し、物体１０のａ点間の位置出しや精度チェック時
に被観察物をそニターするＣＲＴ表示装置２３２とから
成る電装部２３とにより構成されている。
ズ２１２、ノ・−７ミラー２１３及び対物レンズ２２０
から構成される照明光学系２１と、対物レンズ２２０、
像間隔変換部２２１、偏向ブリ、ｔ”Ａ２２２、リレー
レンズ２２３、・及びＴＶ右カメラ２４から成る観察光
学系２２と、ＴＶカメ２２２４の受像状態等を制御する
カメラコントローラー２３０、カメラコントローラから
送られてくる受像信号を制御して各種測定に利用する測
定％ｉｌＪ御部２３１及びＴＶ右カメラ２４の受信像を
表示し、物体１０のａ点間の位置出しや精度チェック時
に被観察物をそニターするＣＲＴ表示装置２３２とから
成る電装部２３とにより構成されている。
また、側面観察系３０は、照明光源３１１と照明レンズ
系３１２から成る透過照明系３１と、光源３２１、照明
レンズ３２２、対物レンズ３３０及びハーフミラ−３２
３とから成る落射照明系３２と、対物レンズ３３０、ミ
ラー３３１、レチクル３３２、リレーレンズ３３３及び
ＴＶカメラ３３４とから成る観察光学系３３と、上述の
正面観察系と同様のカメラコントローラ３４１．測定制
御部３４２及びＣＲＴ表示装示３４３とからなる電装部
３４とから構成されている。
系３１２から成る透過照明系３１と、光源３２１、照明
レンズ３２２、対物レンズ３３０及びハーフミラ−３２
３とから成る落射照明系３２と、対物レンズ３３０、ミ
ラー３３１、レチクル３３２、リレーレンズ３３３及び
ＴＶカメラ３３４とから成る観察光学系３３と、上述の
正面観察系と同様のカメラコントローラ３４１．測定制
御部３４２及びＣＲＴ表示装示３４３とからなる電装部
３４とから構成されている。
第一図は正面観察系の観察光学系２２の像間隔変換部２
２１の第１の実施例を示す光学配置図である。この像間
隔変換部２２１は対物レンズ２２０からの光束を一光束
に分別するためのビームスプリッタ−５０と、第７の光
路５１を形成するためのコ枚の反射鏡５２．５３と、第
一光路を形成する３枚の反射鏡５５．５６及び５７とか
ら構成され、これらコ光路はその光路長が互いに等しい
長さをもつよりに配置されている。
２１の第１の実施例を示す光学配置図である。この像間
隔変換部２２１は対物レンズ２２０からの光束を一光束
に分別するためのビームスプリッタ−５０と、第７の光
路５１を形成するためのコ枚の反射鏡５２．５３と、第
一光路を形成する３枚の反射鏡５５．５６及び５７とか
ら構成され、これらコ光路はその光路長が互いに等しい
長さをもつよりに配置されている。
対物レンズ２２０の物側視界は、第３図に示すように、
それ自身は小さいが、互いの配置間隔は比較的大きい被
観察物体である一つの小物体６０゜′６１を同時に取り
込める広さをもっている。対物レンズ２２０は、第１図
に示すように小物体６０の第１光路に係る像６０′ａと
第一光路に係る像６０′ｂのコつの像を作る。同様に対
物レンズ２２０は小物体６１の第７光路に係る像６１′
ａと第一光路に係る像６１′ｂの一つの像を作る。ここ
で、第１光路と第二光路は同一の光路長を有しているの
で、像６０’ａ ＋ ６０’ｂ ｔ ６１’ａ ｒ ６
１’ｂは同一平面上に形成され、かつビームスプリッタ
−の半透過面５０ｍの光束反射光束と反射鏡５５の光束
反射光束が対物光軸を軸として／ｇＯ° と回転された
関係にあるため、像６０′３と像６１′ｂとは一致し、
同様に像６０′ｂと６１′ａとは一致するようにそれぞ
れ対物レンズ２２０により結像される。
それ自身は小さいが、互いの配置間隔は比較的大きい被
観察物体である一つの小物体６０゜′６１を同時に取り
込める広さをもっている。対物レンズ２２０は、第１図
に示すように小物体６０の第１光路に係る像６０′ａと
第一光路に係る像６０′ｂのコつの像を作る。同様に対
物レンズ２２０は小物体６１の第７光路に係る像６１′
ａと第一光路に係る像６１′ｂの一つの像を作る。ここ
で、第１光路と第二光路は同一の光路長を有しているの
で、像６０’ａ ＋ ６０’ｂ ｔ ６１’ａ ｒ ６
１’ｂは同一平面上に形成され、かつビームスプリッタ
−の半透過面５０ｍの光束反射光束と反射鏡５５の光束
反射光束が対物光軸を軸として／ｇＯ° と回転された
関係にあるため、像６０′３と像６１′ｂとは一致し、
同様に像６０′ｂと６１′ａとは一致するようにそれぞ
れ対物レンズ２２０により結像される。
この第７光路５１と第一光路５４に垂直な結像面内に稜
線５８ｃが位置するように配置された２つの反射面５８
ａ、５８ｂをもつ可動反射部材５８が配置されている。
線５８ｃが位置するように配置された２つの反射面５８
ａ、５８ｂをもつ可動反射部材５８が配置されている。
この可動反射部材５８は第ｑ図に示すように、その稜線
５８ｃが上記結像面内で、かつリレーレンズ２２３の光
軸に垂直に維持されつつ５８’、５８” に示すような
任意の位置に平行移動できるようになっている。この可
動反射部材５８の平行移動によシ、その反射面５８ａ
、５８ｂが反射しりＶ−レンズ２２″Ｂに向けて入射さ
せる対物レンズの結像像面の面積が変化する。そして、
第４図に示すように、小物体像６０′ｂと６１′ａの間
隔が変化することになり、ＴＶカメラ２２４は第Ｓ図に
示すように小物体像６０’ 、 ６１’を近接させて同
時に受像することができるようになる。
５８ｃが上記結像面内で、かつリレーレンズ２２３の光
軸に垂直に維持されつつ５８’、５８” に示すような
任意の位置に平行移動できるようになっている。この可
動反射部材５８の平行移動によシ、その反射面５８ａ
、５８ｂが反射しりＶ−レンズ２２″Ｂに向けて入射さ
せる対物レンズの結像像面の面積が変化する。そして、
第４図に示すように、小物体像６０′ｂと６１′ａの間
隔が変化することになり、ＴＶカメラ２２４は第Ｓ図に
示すように小物体像６０’ 、 ６１’を近接させて同
時に受像することができるようになる。
なお、本実施例においては可動反射部材５８の稜線に接
しリレーレンーｅ２２３０光軸に垂直にレチクル板５９
が配置されてお）、このレチクル板５９には第５図に示
すような２つの交点をもつダブル十字線５９ａが形成さ
れている。
しリレーレンーｅ２２３０光軸に垂直にレチクル板５９
が配置されてお）、このレチクル板５９には第５図に示
すような２つの交点をもつダブル十字線５９ａが形成さ
れている。
次に、本実施例の作用を正面観察系２０を例に説明する
。載物台１１上に、被観察物体すなわち小物体６０．６
１の代如に、小物体６０と６１が位置出しされるべき基
準位置を示した基準スケール板（図示せず）を載置する
。この基準スケール板の像を観察光学系で第６図（蜀で
示すように受像スル。次に、この基準スクール板のスケ
ール線７０とレチクル板のダブル十字線を一致させる。
。載物台１１上に、被観察物体すなわち小物体６０．６
１の代如に、小物体６０と６１が位置出しされるべき基
準位置を示した基準スケール板（図示せず）を載置する
。この基準スケール板の像を観察光学系で第６図（蜀で
示すように受像スル。次に、この基準スクール板のスケ
ール線７０とレチクル板のダブル十字線を一致させる。
まず、像間隔変換部２２１の可動反射部材５８を移動さ
せ、第６図（Ｂ）のように両者を一致させる。
せ、第６図（Ｂ）のように両者を一致させる。
この操作により基準スケール線の情報はレチクル板のダ
ブル十字線に写されたことになる。
ブル十字線に写されたことになる。
次に、載物台１０上の基準スケール板５９を取り除き、
小物体６０．６１を載置する。その観察像例が第６図（
Ｃ）である。そして小物体像６０′。
小物体６０．６１を載置する。その観察像例が第６図（
Ｃ）である。そして小物体像６０′。
６１′のそれぞれの所定部分位置をレチクル５９のダブ
ル十字線５９ｍ及びその交点に合わせうるようにするこ
とによシ所定の位置及び間隔配置し、これら位置決めし
た小物体６０．６１を基体に組付けることができる。
ル十字線５９ｍ及びその交点に合わせうるようにするこ
とによシ所定の位置及び間隔配置し、これら位置決めし
た小物体６０．６１を基体に組付けることができる。
このように、本実施例によれば、小物体あるいは物品そ
のものは大きくとも基準となる部分が極めて小さな領域
である２つの物品であって、かっ比較的大きさ間隔をも
つこれら物点の位置出しをするに際し、この間隔を任意
のめるいは所望の像間隔として得ることができるため、
位置出し作業が極めて容易にかつ非常に正確にできる利
点がある。
のものは大きくとも基準となる部分が極めて小さな領域
である２つの物品であって、かっ比較的大きさ間隔をも
つこれら物点の位置出しをするに際し、この間隔を任意
のめるいは所望の像間隔として得ることができるため、
位置出し作業が極めて容易にかつ非常に正確にできる利
点がある。
第７図は前述の像間隔変換部２２１の第一実施例である
。上述の第１実施例の像間隔変換部では可動反射部材５
８を平行移動させていたため、第４図から理解できるよ
うに、可動反射部材５８の移動にともなって反射像面Ｒ
はＲ’、ＲＩへと移動してしまう。そのため、その都度
対物レンズ２２０を光軸方向に移動して合焦することが
必要となった。また、第１実施例は投影光束をビームス
ソリツタ５０によって一光束に分けているので、観察像
が暗くなるという欠点がめった。第一実施例は第１実施
例のこの欠点を解消したものである。
。上述の第１実施例の像間隔変換部では可動反射部材５
８を平行移動させていたため、第４図から理解できるよ
うに、可動反射部材５８の移動にともなって反射像面Ｒ
はＲ’、ＲＩへと移動してしまう。そのため、その都度
対物レンズ２２０を光軸方向に移動して合焦することが
必要となった。また、第１実施例は投影光束をビームス
ソリツタ５０によって一光束に分けているので、観察像
が暗くなるという欠点がめった。第一実施例は第１実施
例のこの欠点を解消したものである。
対物レンズ２２０を射出した光束は六角形反射部材８０
の下側第１反射面８１ｍと下側第一反射面８１ｂでコ光
束に分割される。ただし第一実施例においては、これら
第１反射面８１ｍ及び第２反射面８１ｂの反射する光束
は、対物レンズ２２０の射出光束のほとんどの部分をそ
れぞれカバーできるため前述の第１実施例に比較して光
量を犬きくして明るい観察像を得ることができる、第１
反射面８１ｍで反射された光束は、第７図に示すように
、第１台形反射グリズム８２に入射し、第１反射面８２
１で反射され、次いで第２反射面８２２で反射され、六
角形反射部材８ｏの上側第１反射面８３９で反射されて
レチクル板５９上に結像する。同様に、下側第２反射面
８１ｂで反射された光束は第２台形反射プリズム８４に
入射しその第１反射面８４１及び第２反射面８４２で順
次反射されたのち六角形反射部材８ｏの上側第一反射面
８３ｂで反射され、レチクル板５９上に結像される。そ
して、第１及び第一台形反射プリズム８２．８４を、第
を図に示すように、六角形反射部材の長手方向に沿って
矢印の方向に移動させること釦より、光束のレチクル５
９上の結像位置を移動させることができ、これにより小
物体６０．６１の像間隔を変化させることができる。
の下側第１反射面８１ｍと下側第一反射面８１ｂでコ光
束に分割される。ただし第一実施例においては、これら
第１反射面８１ｍ及び第２反射面８１ｂの反射する光束
は、対物レンズ２２０の射出光束のほとんどの部分をそ
れぞれカバーできるため前述の第１実施例に比較して光
量を犬きくして明るい観察像を得ることができる、第１
反射面８１ｍで反射された光束は、第７図に示すように
、第１台形反射グリズム８２に入射し、第１反射面８２
１で反射され、次いで第２反射面８２２で反射され、六
角形反射部材８ｏの上側第１反射面８３９で反射されて
レチクル板５９上に結像する。同様に、下側第２反射面
８１ｂで反射された光束は第２台形反射プリズム８４に
入射しその第１反射面８４１及び第２反射面８４２で順
次反射されたのち六角形反射部材８ｏの上側第一反射面
８３ｂで反射され、レチクル板５９上に結像される。そ
して、第１及び第一台形反射プリズム８２．８４を、第
を図に示すように、六角形反射部材の長手方向に沿って
矢印の方向に移動させること釦より、光束のレチクル５
９上の結像位置を移動させることができ、これにより小
物体６０．６１の像間隔を変化させることができる。
本実施例においては、レチクル板及び六角形反射部材は
移動しないので、像間隔の変更にともなう合焦状態の変
化は生じない。
移動しないので、像間隔の変更にともなう合焦状態の変
化は生じない。
上記の第１及び第一実施例は横方向に並らんだ一物点の
観察間隔を変化させるものであったが、本発明はこれに
限定させるものでなく、−物点が直角配置や、ある基準
点を中心に互いに所定の角度をなすように配置される場
合も両物点を近接させて観察する第３実施例を第９図を
もとに以下に説明する。例えば、互いに直角に配置され
るべき小物体６０．６１が図示しない載物台に目測で略
直角に載置されているものとする。この２つの小物体６
０．６１の像を形成するための光束は、対物レンズ２２
０で集光射出されたのちビームスゲラ リーターミラー９０によって第１光路９１と第一光路９
２に一分割される。第１光路にはミラー９３がめりこの
ミラー９３で偏向された光束は後述の像間隔変換部９４
に導かれる。一方、第一光路９２内には、イメージロー
チーター９５が配置されており、ビームスノリ管ターミ
ラー９０を透過してきた光束を光軸回わシにｑＯ０回転
させて射出するよう構成されている。イメージローチー
ター９５からの射出光は第１光路９２のミラー９６．９
７で反射され、像間隔変換部９４に入射する。この構成
によシ、第１光路９１を介して対物レンズ２２０で結像
される小物体６０．６１の像６０’、６１’と、第一光
路９２を介して結像される像６０’、６１＃ は前述の
実施例と同様に共通の結像面上に結像され、かつ像６０
〃、６１’はイメージローチーター９５の作用により
９００ 回転されているため、像６０〃は像６１′に、
像６１＃は像６０′に一致するように結像される。
観察間隔を変化させるものであったが、本発明はこれに
限定させるものでなく、−物点が直角配置や、ある基準
点を中心に互いに所定の角度をなすように配置される場
合も両物点を近接させて観察する第３実施例を第９図を
もとに以下に説明する。例えば、互いに直角に配置され
るべき小物体６０．６１が図示しない載物台に目測で略
直角に載置されているものとする。この２つの小物体６
０．６１の像を形成するための光束は、対物レンズ２２
０で集光射出されたのちビームスゲラ リーターミラー９０によって第１光路９１と第一光路９
２に一分割される。第１光路にはミラー９３がめりこの
ミラー９３で偏向された光束は後述の像間隔変換部９４
に導かれる。一方、第一光路９２内には、イメージロー
チーター９５が配置されており、ビームスノリ管ターミ
ラー９０を透過してきた光束を光軸回わシにｑＯ０回転
させて射出するよう構成されている。イメージローチー
ター９５からの射出光は第１光路９２のミラー９６．９
７で反射され、像間隔変換部９４に入射する。この構成
によシ、第１光路９１を介して対物レンズ２２０で結像
される小物体６０．６１の像６０’、６１’と、第一光
路９２を介して結像される像６０’、６１＃ は前述の
実施例と同様に共通の結像面上に結像され、かつ像６０
〃、６１’はイメージローチーター９５の作用により
９００ 回転されているため、像６０〃は像６１′に、
像６１＃は像６０′に一致するように結像される。
第１０図は、上記の像間隔変換部９４の構成の一実施例
を示す光学配置図で６Ｄ、第１光路の光束は第１平行四
辺形プリズム１００に入射され、その第１反射面１０１
及び第一反射面１０２で反射され原形反射部材１０３に
導かれる。この原形反射部材１０３は前述の第一実施例
の六角形反射部材８０の上半分を利用するもので、その
第１反射面１０４、第一反射面１０５及び稜線１０６の
構成は、前述の六角形反射部材８０と同様である。
を示す光学配置図で６Ｄ、第１光路の光束は第１平行四
辺形プリズム１００に入射され、その第１反射面１０１
及び第一反射面１０２で反射され原形反射部材１０３に
導かれる。この原形反射部材１０３は前述の第一実施例
の六角形反射部材８０の上半分を利用するもので、その
第１反射面１０４、第一反射面１０５及び稜線１０６の
構成は、前述の六角形反射部材８０と同様である。
平行四辺形プリズムを射出した光束は原形反射部材１０
３の第１反射面１０４で反射され、この稜線に当接配置
されたレチクル板５９に像（６０’）を結像する。一方
、第１光路９１の光束は第二平行四辺形プリズム１０７
に入射し、その第１反射面１０８及び第２反射面１０９
で反射され、射出されたのち原形反射部材１０３の第２
反射面１０５で反射され、レチクル板５９に像（６１＃
）を結像する。第１及び第二平行四辺形プリズムを矢印
ｉｉｏ、 １ｉｉの方向に移動させることによシ像（６
０’ ）、 （６１＃） の間隔を変化させることがで
きる。
３の第１反射面１０４で反射され、この稜線に当接配置
されたレチクル板５９に像（６０’）を結像する。一方
、第１光路９１の光束は第二平行四辺形プリズム１０７
に入射し、その第１反射面１０８及び第２反射面１０９
で反射され、射出されたのち原形反射部材１０３の第２
反射面１０５で反射され、レチクル板５９に像（６１＃
）を結像する。第１及び第二平行四辺形プリズムを矢印
ｉｉｏ、 １ｉｉの方向に移動させることによシ像（６
０’ ）、 （６１＃） の間隔を変化させることがで
きる。
なお、イメージローチーター９５の光軸に対する回転角
を変えることにより、小物体６０．６１が互いに鋭角あ
るいは鈍角配置をとる場合でもそれらの像６０’、６１
＃等を同−視野内で近接観察することができる。
を変えることにより、小物体６０．６１が互いに鋭角あ
るいは鈍角配置をとる場合でもそれらの像６０’、６１
＃等を同−視野内で近接観察することができる。
第１図は本発明に係る光学装置の実施例を示す光学配置
図、第一図は像間隔変換部の第１の実施例を示す図、第
３図は対物レンズの物側視界を模式的に示す図、第７図
は可動反射部材の移動の像の関係を示す図、第Ｓ図は観
察視野の一例を示す図、第６図（Ｎからρ）は視察手順
を示す観察視野図、第７図は像間隔変換部の第一の実施
例を示す］図、第Ｓ図はその第一実施例の光束図、第９
図は本発明の光学装置の他の実施例を示す光学配置図、
第７０図は第７図の実施例における像間隔変換部の一例
を示す光学配置図である。 １０・・・・・・・・・被観察物体、 １１・・・・・・・・・載物台、 ２０・・・・・・・・・正面観察系、 ３０・・・・・・・・・測面観察系、 ５０・・・・・・・・・ ビームスシリ−ター、５３．
５７・申・・・・・ ミラー、 ５８・・・・・・・・・可動反射部材、５９・・甲申・
レチクル板、 ８０・・・・・・・・・六角形反射部材、８２．８４・
・・・・・・・・台形反射プリズム。 第３図 第６ 第５図 図 （Ｂ）
図、第一図は像間隔変換部の第１の実施例を示す図、第
３図は対物レンズの物側視界を模式的に示す図、第７図
は可動反射部材の移動の像の関係を示す図、第Ｓ図は観
察視野の一例を示す図、第６図（Ｎからρ）は視察手順
を示す観察視野図、第７図は像間隔変換部の第一の実施
例を示す］図、第Ｓ図はその第一実施例の光束図、第９
図は本発明の光学装置の他の実施例を示す光学配置図、
第７０図は第７図の実施例における像間隔変換部の一例
を示す光学配置図である。 １０・・・・・・・・・被観察物体、 １１・・・・・・・・・載物台、 ２０・・・・・・・・・正面観察系、 ３０・・・・・・・・・測面観察系、 ５０・・・・・・・・・ ビームスシリ−ター、５３．
５７・申・・・・・ ミラー、 ５８・・・・・・・・・可動反射部材、５９・・甲申・
レチクル板、 ８０・・・・・・・・・六角形反射部材、８２．８４・
・・・・・・・・台形反射プリズム。 第３図 第６ 第５図 図 （Ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ／）異なる２つの領域の物点な空中像として同時に結像
する単眼の対物光学系と； 該対物光学系の射出光束をｇ／の光路と第λの光路との
ツ光路を伝搬するように分割する光束分割手段と； 該第１と第一の光路はそれぞれの光軸の一部を互いに同
軸的に対向する配置をもち；前記対物光学系は、該第１
の光路による第１空中像と、該第一の光路による第一空
中像とのそれぞれを、その方向を互いに光軸を軸として
所定角度相対的に回転した関係で、かつ前記同軸的配置
にるる部分光路の延長上で互いに合致するように結像し
； 該結像位置には、前記部分光路の光軸と垂直な稜線をも
ち、かつ該部分光路の光軸と互いに反対方向に傾設され
たλつの反射面を有する屋根型反射部材と； 該屋根型反射部材により偏向された第１光路と第一光路
による前記第１及び第２空中像を観察するための俵察光
学系とから構成され、前記屋根型反射部材と、前記第１
及び第一光路を構成する光学要素の少なくとも一部と！
前記部分光路の光軸と垂直な方向に相対的に移動させる
ことによシ、前記第１空中像と第一空中像の覗察間隔を
可変できるようにしたことを特徴とする光学装置。 、２）前記回転角はｉｇｏｏであることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載の光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12566283A JPS6017417A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12566283A JPS6017417A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017417A true JPS6017417A (ja) | 1985-01-29 |
Family
ID=14915549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12566283A Pending JPS6017417A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017417A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007521516A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-08-02 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 相互に離れて配置されたオブジェクトを観察するためのカメラデバイスを有する光学システム |
| JP2013522684A (ja) * | 2010-03-23 | 2013-06-13 | マツクス−プランク−ゲゼルシヤフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシヤフテン エー フアウ | 光変調装置、および時空間光変調結像システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS525655U (ja) * | 1975-06-24 | 1977-01-14 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12566283A patent/JPS6017417A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS525655U (ja) * | 1975-06-24 | 1977-01-14 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007521516A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-08-02 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 相互に離れて配置されたオブジェクトを観察するためのカメラデバイスを有する光学システム |
| JP4791973B2 (ja) * | 2003-12-23 | 2011-10-12 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 相互に離れて配置されたオブジェクトを観察するためのカメラデバイスを有する光学システム |
| JP2013522684A (ja) * | 2010-03-23 | 2013-06-13 | マツクス−プランク−ゲゼルシヤフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシヤフテン エー フアウ | 光変調装置、および時空間光変調結像システム |
| US9279971B2 (en) | 2010-03-23 | 2016-03-08 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. | Optical modulator device and spatio-temporally light modulated imaging system |
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