JPS60173413A - 補償形測定器のためのサーボ装置 - Google Patents
補償形測定器のためのサーボ装置Info
- Publication number
- JPS60173413A JPS60173413A JP22430284A JP22430284A JPS60173413A JP S60173413 A JPS60173413 A JP S60173413A JP 22430284 A JP22430284 A JP 22430284A JP 22430284 A JP22430284 A JP 22430284A JP S60173413 A JPS60173413 A JP S60173413A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- follow
- adjustment
- shaft
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/02—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means
- G01D5/10—Applying external forces to increase force available for operation of indicating or recording part
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/02—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Navigation (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は補償測定器のための追従装置であって、調節モ
ータと角度信号発生器と減速伝動装置６と調節軸とを有
し、この調節軸が、適切な連結部拐を介して測定器の、
記録及び（又は）表示部材と作用接続されておりかつ、
当該追従装置の各構成ユニットを受容するホルダ内に少
なくとも前記調節モータの軸線に対して平行に配置され
ている形式のものに関する。
ータと角度信号発生器と減速伝動装置６と調節軸とを有
し、この調節軸が、適切な連結部拐を介して測定器の、
記録及び（又は）表示部材と作用接続されておりかつ、
当該追従装置の各構成ユニットを受容するホルダ内に少
なくとも前記調節モータの軸線に対して平行に配置され
ている形式のものに関する。
従来の技術
例えばタコグラフのような記録式の測定器において有利
に使用される補償測定器においては公知のように、発信
器から送られる測定器の目標値が、示された実際値と連
続的に比較され、それが一致しない場合は当該の実際値
及び同時にその補償されるべき比較量が、補償測定回路
の増幅器の出力が無電状態になる壕で変更又は後調整さ
れる。この追従プロセスのために一般的には直流給電式
の調節モータが用いらノ１、このモータは適切な伝動装
置を介して同時に、一方では記録又は表示部材において
実際値を調節し、他方では例えはポテンシオメータを操
作し、このポテンシオメータの実際値比例の出力電圧が
測定回路の比較個所に向ってフィー ドパンクされる。
に使用される補償測定器においては公知のように、発信
器から送られる測定器の目標値が、示された実際値と連
続的に比較され、それが一致しない場合は当該の実際値
及び同時にその補償されるべき比較量が、補償測定回路
の増幅器の出力が無電状態になる壕で変更又は後調整さ
れる。この追従プロセスのために一般的には直流給電式
の調節モータが用いらノ１、このモータは適切な伝動装
置を介して同時に、一方では記録又は表示部材において
実際値を調節し、他方では例えはポテンシオメータを操
作し、このポテンシオメータの実際値比例の出力電圧が
測定回路の比較個所に向ってフィー ドパンクされる。
この場合の調節モータに後接続された伝動装置の課題は
、適切な減速比によって調節モータの調節回転を、その
都度の測定値のために規定された指針及び記録部材の振
幅に適合せしめることであり、それによって該伝動装置
が、記録作用力による調節モータの負荷を減少せしめる
ためにトルク変換器としても作用する。
、適切な減速比によって調節モータの調節回転を、その
都度の測定値のために規定された指針及び記録部材の振
幅に適合せしめることであり、それによって該伝動装置
が、記録作用力による調節モータの負荷を減少せしめる
ためにトルク変換器としても作用する。
従来はこのような追従装置の各構成部材を、当該の測定
器内にそう人可能なホルダに保持せしめ、それによって
この追従装置が測定器と別個に操作及び検査可能な構成
ユニットを形成しており、それによって該追従装置の必
要スペース及び和文て経費が、測定値処理のために働く
補償測定回路における経費と異なり極めて大きい。
器内にそう人可能なホルダに保持せしめ、それによって
この追従装置が測定器と別個に操作及び検査可能な構成
ユニットを形成しており、それによって該追従装置の必
要スペース及び和文て経費が、測定値処理のために働く
補償測定回路における経費と異なり極めて大きい。
発明が解決しようとする問題点
本発明は前記の公知技術の上に立って、各構成及び機能
ユニットの多様な応用及び互換性の向上、また機械的な
取付は可能性及び測定器構造高さの減少と延いては個々
の機能ユニットのコ／・ぐクト化という一般的な要求を
もとに、上記形式の追従装置を改良し構成部材及びス波
−スに関して最適でありかつ大量生産可能なものを提供
しようとするものである。
ユニットの多様な応用及び互換性の向上、また機械的な
取付は可能性及び測定器構造高さの減少と延いては個々
の機能ユニットのコ／・ぐクト化という一般的な要求を
もとに、上記形式の追従装置を改良し構成部材及びス波
−スに関して最適でありかつ大量生産可能なものを提供
しようとするものである。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決するだめの本発明による手段は、調
節モータと調節軸との間に配設された減速伝動装置が平
歯車伝動装置として形成され、ホルダの片側のほぼ平形
の室内に配置されており、前記ホルダ内に支承された調
節軸の、連結部材を保持する端部が該ホルダの、１ｊｆ
ｉ記室とは反対の側に位置しており、調節モータと角度
信号発生器との輪郭が、調節軸の長さに相応した距離を
有する２つの平行な而によって高さを規定された構造ス
に一スの内部にほぼ位置せしめられてホルダに配置さｔ
］ており、このホルダに該ホルダの伝動側を密封ずへき
カバーが配属されていることである。
節モータと調節軸との間に配設された減速伝動装置が平
歯車伝動装置として形成され、ホルダの片側のほぼ平形
の室内に配置されており、前記ホルダ内に支承された調
節軸の、連結部材を保持する端部が該ホルダの、１ｊｆ
ｉ記室とは反対の側に位置しており、調節モータと角度
信号発生器との輪郭が、調節軸の長さに相応した距離を
有する２つの平行な而によって高さを規定された構造ス
に一スの内部にほぼ位置せしめられてホルダに配置さｔ
］ており、このホルダに該ホルダの伝動側を密封ずへき
カバーが配属されていることである。
本発明の基本となった思想は、追従装置の徹底した小型
化と構造ス波−ス縮小化とにおいて、調節軸がその上に
取付けられた連結部材と共に最終的に最大の構造長さを
有する構成部（゛」を形成することである。これは調節
軸に大きなトルクが作用しまだ、伝達１確さのために極
めて摩擦が少なくかつ遊びのない（即ち小さな製造誤差
も甘受し庁い）可及的に長い軸受の形成が望寸れている
故に有利である。従って調節軸の長さが、当該追従装置
の他の全構成部材を受容すべき構造ス被−スの高さを規
定することになる。
化と構造ス波−ス縮小化とにおいて、調節軸がその上に
取付けられた連結部材と共に最終的に最大の構造長さを
有する構成部（゛」を形成することである。これは調節
軸に大きなトルクが作用しまだ、伝達１確さのために極
めて摩擦が少なくかつ遊びのない（即ち小さな製造誤差
も甘受し庁い）可及的に長い軸受の形成が望寸れている
故に有利である。従って調節軸の長さが、当該追従装置
の他の全構成部材を受容すべき構造ス被−スの高さを規
定することになる。
実施態様
不発明の有利なｌ実施態様によれば、調節！ｌξ１ノに
対して同軸的にホルダに結合されたリング形の抵抗体軌
道と、減速伝動装置の、調節軸に結合された平歯車に固
定されて前記抵抗体軌道と協働するスリップ部材とによ
って角度信号発生器が形成されている。
対して同軸的にホルダに結合されたリング形の抵抗体軌
道と、減速伝動装置の、調節軸に結合された平歯車に固
定されて前記抵抗体軌道と協働するスリップ部材とによ
って角度信号発生器が形成されている。
本発明による他の有利な実施態様は、特許請求の範囲の
残りの従属項に記載された通りである。
残りの従属項に記載された通りである。
実施例
第１図の原理図に示されたように全構造ス４−スＯ内部
で、ホルダ１０片側には該ホルダ１に結合されたカバー
２によって閉鎖された平形の伝動装置室３が、寸だホル
ダ１の他方側にはモータ室牛と調節ｉ軸受室５が配属さ
れている。
で、ホルダ１０片側には該ホルダ１に結合されたカバー
２によって閉鎖された平形の伝動装置室３が、寸だホル
ダ１の他方側にはモータ室牛と調節ｉ軸受室５が配属さ
れている。
室６ ｆｃ土、当該追従機構に内蔵された角度信号発生
器のだめのものである。符号７はモータ軸、符号８は調
節軸を示している。調節軸８上には調節又は連結部材９
が配置されており、別の言い方をすれば該調節軸８は連
結部材９の支承のためにも鋤いている。
器のだめのものである。符号７はモータ軸、符号８は調
節軸を示している。調節軸８上には調節又は連結部材９
が配置されており、別の言い方をすれば該調節軸８は連
結部材９の支承のためにも鋤いている。
第２図の断面図から分るように、追従機構の全構成部材
はホルダ１に間接又は直接に支承又は保持されており、
丑た力・’−２はボルダ１と係止結合可能となっている
。この係ＩＬ結合のためにホルダ１０周壁１ｏの外面に
は複数の節部１１が配置されている。自らのっば１３に
よってホルダｌ内にセンタリング装着された調節モータ
１２を軸線方向で保持するために、該ボルダ■に一体成
形された係止鉤部１４，１５が働いている。この追従機
構の伝動装置は、モータ軸７土に固定された一ニオン１
６と、該ピニオン１６にかみ合った平歯車１７を含む平
歯車対１７／ｊａと、別の平歯車対１９／２０と、該平
歯車２０にかみ合って調節軸８上に固定され／ζ平歯車
２１とを有している。ボルダ１内に固定された軸２２．
２３は、平歯車１８．１９を介して互いに作用接続され
た歯車対１７ ／ｌ ８と１９／２０のための支承部材
として働き、まだ力・Ｓ−２は軸線方向確保のだめに働
いている。
はホルダ１に間接又は直接に支承又は保持されており、
丑た力・’−２はボルダ１と係止結合可能となっている
。この係ＩＬ結合のためにホルダ１０周壁１ｏの外面に
は複数の節部１１が配置されている。自らのっば１３に
よってホルダｌ内にセンタリング装着された調節モータ
１２を軸線方向で保持するために、該ボルダ■に一体成
形された係止鉤部１４，１５が働いている。この追従機
構の伝動装置は、モータ軸７土に固定された一ニオン１
６と、該ピニオン１６にかみ合った平歯車１７を含む平
歯車対１７／ｊａと、別の平歯車対１９／２０と、該平
歯車２０にかみ合って調節軸８上に固定され／ζ平歯車
２１とを有している。ボルダ１内に固定された軸２２．
２３は、平歯車１８．１９を介して互いに作用接続され
た歯車対１７ ／ｌ ８と１９／２０のための支承部材
として働き、まだ力・Ｓ−２は軸線方向確保のだめに働
いている。
更に第２図から分るように、調節軸８け、ホルダ１に一
体成形された軸受付加部２４内にそう人された適当な長
さの軸受スリーブ内に支承されている。また調節軸ａ上
に固定された連結部材９には、例えば配録部材の保持体
と協働すべき歯部２５が形成されており、捷だセンタリ
ング傾斜部２６と連行スリット２７とが剣のだめの連結
部として形成されている。
体成形された軸受付加部２４内にそう人された適当な長
さの軸受スリーブ内に支承されている。また調節軸ａ上
に固定された連結部材９には、例えば配録部材の保持体
と協働すべき歯部２５が形成されており、捷だセンタリ
ング傾斜部２６と連行スリット２７とが剣のだめの連結
部として形成されている。
位置に比例して電気量に生じる変化を以って作用する角
度信号発生器は図示の例では、調節軸８に同軸的にかつ
直接に配属されている。このだめにホルダ１にはフ０レ
ーＩ・２８が係止可能に結合されており（少なくとも３
つの係止鉤部の内の１つが符号２９で示されている）、
この７０レート２８の上には導電性の７０ラスチンク材
料から成る平らな抵抗体軌道３０．３１が載着されてい
る。信号取り出し部制としては、調節軸δ上に配設され
た平歯車２１内に適切なブラ法で増刊けられたスリップ
部材３２が働き、このスリップ部材３２にはそれぞれ各
抵抗体軌道３０．３１に配属された図示されていないス
リップばねユニツトが形成されている。更に第３図から
分るように図示の追従装置の限界位置は、平歯車２１に
一体成形されたセグメンｌ−：Ｊ５３によって規定され
ており、このセグメントはボルダ１に固定配置されたピ
ン３４．３５と協働している。プレート２８を貫通し抵
抗体軌道３０．３１と導電結合された接点ピン３６ 、
３７ 。
度信号発生器は図示の例では、調節軸８に同軸的にかつ
直接に配属されている。このだめにホルダ１にはフ０レ
ーＩ・２８が係止可能に結合されており（少なくとも３
つの係止鉤部の内の１つが符号２９で示されている）、
この７０レート２８の上には導電性の７０ラスチンク材
料から成る平らな抵抗体軌道３０．３１が載着されてい
る。信号取り出し部制としては、調節軸δ上に配設され
た平歯車２１内に適切なブラ法で増刊けられたスリップ
部材３２が働き、このスリップ部材３２にはそれぞれ各
抵抗体軌道３０．３１に配属された図示されていないス
リップばねユニツトが形成されている。更に第３図から
分るように図示の追従装置の限界位置は、平歯車２１に
一体成形されたセグメンｌ−：Ｊ５３によって規定され
ており、このセグメントはボルダ１に固定配置されたピ
ン３４．３５と協働している。プレート２８を貫通し抵
抗体軌道３０．３１と導電結合された接点ピン３６ 、
３７ 。
３８は抵抗体軌道３ｏ、３１と補償測定回路との間の図
示されていない接続線の接続のだめに働く。ホルダｌの
壁部１ｏ内のスリット状の開口３９は、カバー２の載着
状態においてこの各接続線に張力なしの案内を形成する
ために設けられている。ホルダ１に一体成形され貫通開
口を翁する伺加部４０．４１は、当該の追従装置をノ丙
当斤ねじによって例えば取付はプレート４２に固定する
ために働く。この場合っば４３が追従装置のセンタリン
グのために働き、またホルダｌに形成された種々の而（
１部分のみを図示）、例えば環状面４４がフランジ面と
して形成されている。しかしこれに対してホルダを、当
該追従装置が取付はプレート４２又は測定器の適切なケ
ーシング部材に係市されるように形成することも考えら
れる。
示されていない接続線の接続のだめに働く。ホルダｌの
壁部１ｏ内のスリット状の開口３９は、カバー２の載着
状態においてこの各接続線に張力なしの案内を形成する
ために設けられている。ホルダ１に一体成形され貫通開
口を翁する伺加部４０．４１は、当該の追従装置をノ丙
当斤ねじによって例えば取付はプレート４２に固定する
ために働く。この場合っば４３が追従装置のセンタリン
グのために働き、またホルダｌに形成された種々の而（
１部分のみを図示）、例えば環状面４４がフランジ面と
して形成されている。しかしこれに対してホルダを、当
該追従装置が取付はプレート４２又は測定器の適切なケ
ーシング部材に係市されるように形成することも考えら
れる。
第４図の実施例では、調節軸８の軸受個所に軸受スリー
ブ４５が配設されており、捷だ他の軸受個所４６が直接
にホルダｌ内に形成されており、更に抵抗体軌道３０．
３１がホルダ］−上に直接に配設されているか又はこの
抵抗体軌道を保持するフォイルがホルダＬＬ、に固定さ
れている。
ブ４５が配設されており、捷だ他の軸受個所４６が直接
にホルダｌ内に形成されており、更に抵抗体軌道３０．
３１がホルダ］−上に直接に配設されているか又はこの
抵抗体軌道を保持するフォイルがホルダＬＬ、に固定さ
れている。
発明の効果
本発明によれば前述の各課題が解決されて、必要構成部
材の数が少々くなりかつ必要スペースも小さくなりｌ−
かも大量生産可能となるだけでなく、容易にフランジ利
は可能な平形の構造ユニットが形成され、このユニット
は多用な応用が可能であり、また防塵的に密閉されてい
るので、特定の測定及び記録器械に依存しない追従装置
として市販ｂ］能である。
材の数が少々くなりかつ必要スペースも小さくなりｌ−
かも大量生産可能となるだけでなく、容易にフランジ利
は可能な平形の構造ユニットが形成され、このユニット
は多用な応用が可能であり、また防塵的に密閉されてい
るので、特定の測定及び記録器械に依存しない追従装置
として市販ｂ］能である。
また本発明の効果は更に、個々の構成部材か多重機能を
有するように形成され、従来の多層状の構造及び増刊は
兼確保手段を用いての個々の増刊は作業が不要となって
いることであり、更に角度信号発生器を追従装置内に所
望曲りに内蔵するために、調節軸の高精度の軸受を使用
可能なことである。
有するように形成され、従来の多層状の構造及び増刊は
兼確保手段を用いての個々の増刊は作業が不要となって
いることであり、更に角度信号発生器を追従装置内に所
望曲りに内蔵するために、調節軸の高精度の軸受を使用
可能なことである。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は追
従装置の種々の構成ユニットのために設けられた構造ス
被−スの配置原理図、第２図は本発明による追従装置の
有利な］実施例を示す断面図、第５図は第２図の装置゛
をカバーを外した状態で、］二から見た）ト面図、第４
図は本発明による追従装置の特に角度信号発生器に関す
る変化実施例を示す断面図である。 ０− 構造ス被−ス、■−・ホルダ、２・カバー、３
伝動装置バ室、牛・モータ室、５・・調節軸軸受室、６
宰、７−・モータ軸、８ ・調節軸、９・連結部拐、
１０・壁部、１１・節部、１２調節モータ、１３．４３
つば、１４ 、１５ 。 ２９ ・係止鉤部、１６ ビニオン、］−７、ｌ ８、
］、９，２０．２１・平歯車、２２．２３−軸、２４
軸受伺加部、２５・−歯部、２６ ・センタリングｆｉ
１１部、２７一連行スリンｌ−１２８フ０レート、３０
．３１・抵抗体軌道、３２ スリソノ部拐、３３・・セ
グメント、３４．３５ ピン、３６，３７．３８・・・
接点ピン、３９ 開口、４−０ 、４− ］ 付加部、
４２・取付はプレート、４４、・環状面、４５・−軸受
スリーブ、４６ ・軸受個所。 図１１１１のＭｌ！＋（内１゛；に変更なし）手続補正
書（方式） ％式％ 色間の名称 補償測定器のための追従装置 １正をする者 事件との関係 特許出願人 曵 理 人 補正の対象
従装置の種々の構成ユニットのために設けられた構造ス
被−スの配置原理図、第２図は本発明による追従装置の
有利な］実施例を示す断面図、第５図は第２図の装置゛
をカバーを外した状態で、］二から見た）ト面図、第４
図は本発明による追従装置の特に角度信号発生器に関す
る変化実施例を示す断面図である。 ０− 構造ス被−ス、■−・ホルダ、２・カバー、３
伝動装置バ室、牛・モータ室、５・・調節軸軸受室、６
宰、７−・モータ軸、８ ・調節軸、９・連結部拐、
１０・壁部、１１・節部、１２調節モータ、１３．４３
つば、１４ 、１５ 。 ２９ ・係止鉤部、１６ ビニオン、］−７、ｌ ８、
］、９，２０．２１・平歯車、２２．２３−軸、２４
軸受伺加部、２５・−歯部、２６ ・センタリングｆｉ
１１部、２７一連行スリンｌ−１２８フ０レート、３０
．３１・抵抗体軌道、３２ スリソノ部拐、３３・・セ
グメント、３４．３５ ピン、３６，３７．３８・・・
接点ピン、３９ 開口、４−０ 、４− ］ 付加部、
４２・取付はプレート、４４、・環状面、４５・−軸受
スリーブ、４６ ・軸受個所。 図１１１１のＭｌ！＋（内１゛；に変更なし）手続補正
書（方式） ％式％ 色間の名称 補償測定器のための追従装置 １正をする者 事件との関係 特許出願人 曵 理 人 補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ 補償測定器のだめの追従装置であって、調節モータ
と角度信号発生器と減速伝動装置と調節軸とを有し、こ
の調節軸が、適切な連結部材を介して測定器の記録及び
（又は−）表示部材と作用接続されておりかつ、当該追
従装置の各構成ユニットを受容するホルダ内に少なくと
も前記調節モータの軸線に対して平行に配置されている
形式のものにおいて、調節モータ（１２）と調節軸（８
）との間に配設された減速伝動装置が平歯車伝動装置（
１６、’１７，４８．１９，２０，２１）として形成さ
れ、ホルダ（１）の片側のほぼ平形の室（３）内に配置
されており、前記ホルダ（１）内に支承された調節軸（
８）の、連結部材（９）を保持する端部が該ホルダ（１
）の、前記室（３）とは反対の側に位置しており、調節
モータ（１２）と角度信号発生器（３０，３１，３２）
との輪郭が、調節軸（８）の長さに相応した距離を有す
る２つの平行な面によって高さを規定された構造スペー
ス（０）の内部にほぼ位置せしめられてホルダ（１）に
配設されており、このホルダ（１）に該ホルダの伝動側
を密封すべき力・５−（２）が配属されていることを特
徴とする、補償測定器のだめの追従装置。 ２ 調節軸（８）に対して同軸的にホルダ（１）に結合
されたリング形の抵抗体軌道（３０，３１−）と、減速
伝動装置の、調節軸（８）に結合された平歯車（２１）
に固定されて前記抵抗体軌道（３０，３１）と協働する
スリップ部材（３２）とによって角度信号発生器が形成
されている、特許請求の範囲第１項記載の追従装置。 ３、抵抗体軌道（３Ｃｌ、 ３１ ）が、ホルダ（１）
に付着されたフォイル上に配置されている、特許請求の
範囲第１項又は第２項記載の追従装置。 ４−９ ホルダ（１）と係正結合用能な力・々−（２）
が、ホルダ（１）内に固定された軸（２２，２３）上に
緩くそう着されて回転する平歯車対（１７／１８及び］
、９／２０）のための１１ＱＩ＋線方向確保部材として
働く、特許請求の範囲第１項記載の追従装置。 ５ ホルダ（１）の、伝動側と反対の側に、位置決め部
とフランジ結合面とが形成されている、特許請求の範囲
第１項記載の追従装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833338972 DE3338972C2 (de) | 1983-10-27 | 1983-10-27 | Nachlaufaggregat für ein Kompensationsmeßgerät |
| DE3338972.1 | 1983-10-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173413A true JPS60173413A (ja) | 1985-09-06 |
| JPH053884B2 JPH053884B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=6212862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22430284A Granted JPS60173413A (ja) | 1983-10-27 | 1984-10-26 | 補償形測定器のためのサーボ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60173413A (ja) |
| DE (1) | DE3338972C2 (ja) |
| FR (1) | FR2554226B1 (ja) |
| GB (1) | GB2149115B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024919A (en) * | 1987-11-16 | 1991-06-18 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Process for forming fine pattern in semiconductor device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (8)
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| BE650496A (ja) * | 1963-07-12 | |||
| US3691987A (en) * | 1971-01-14 | 1972-09-19 | Sperry Rand Corp | Indicator mechanism for navigation instruments |
| GB1452608A (en) * | 1973-04-30 | 1976-10-13 | Elliott Bros | Map displays |
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1983
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1984
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- 1984-10-26 JP JP22430284A patent/JPS60173413A/ja active Granted
- 1984-10-26 FR FR8416426A patent/FR2554226B1/fr not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024919A (en) * | 1987-11-16 | 1991-06-18 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Process for forming fine pattern in semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| GB2149115A (en) | 1985-06-05 |
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| JPH053884B2 (ja) | 1993-01-18 |
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| GB2149115B (en) | 1987-10-21 |
| FR2554226A1 (fr) | 1985-05-03 |
| GB8426981D0 (en) | 1984-11-28 |
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