JPS60165399A - めつき厚さ制御方法 - Google Patents
めつき厚さ制御方法Info
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- JPS60165399A JPS60165399A JP2138084A JP2138084A JPS60165399A JP S60165399 A JPS60165399 A JP S60165399A JP 2138084 A JP2138084 A JP 2138084A JP 2138084 A JP2138084 A JP 2138084A JP S60165399 A JPS60165399 A JP S60165399A
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- plating thickness
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、連続電気めっき工程におけるめっき厚さを
制御するめつき厚さ制御方法に関する。
制御するめつき厚さ制御方法に関する。
一般に、′連続電気錫めっきを行なう場合、たとえばM
1図および第2図に示すような連続電気めっき装置によ
多連続電気錫めっきを行なっている。
1図および第2図に示すような連続電気めっき装置によ
多連続電気錫めっきを行なっている。
それらの図面において、(la)、(tb)、(+c)
はそhそれ複数個ずつの前洗浄用、めっき用および後洗
浄用タンクであシ、各タンク(la)〜(IC) が順
次配列され、前、後洗浄用タンク(Ia)、(Iり内に
洗浄液(2)。
はそhそれ複数個ずつの前洗浄用、めっき用および後洗
浄用タンクであシ、各タンク(la)〜(IC) が順
次配列され、前、後洗浄用タンク(Ia)、(Iり内に
洗浄液(2)。
(3)が注入され、めっき用タンク(Ib)内にめっき
液(4)が注入されている。
液(4)が注入されている。
(5)は各タンク(1a)〜(1c)間の上方に回転自
在に設けられた複数個のコンダククロール、(6)は各
タンク(Ia)〜(IC)内の缶液(2J 、 (、i
) 、 (3)中に浸漬され回転自在に配設された複数
個のジンクロール、(7)はそれぞれめっき液(4)中
に浸漬され各めっき用タンク(1b)内の中央部に配設
された仕切板、(8a)、’(8b)はそれぞれめっき
液(4)中に浸漬され各仕切板(7)の左方および右方
に配設された陽極である第1およびM2の錫板、(9a
)、(9b)はそれぞれめっき液(4)中に浸漬され第
1および第2の錫板(8a)、(8b)に対向して設け
られた陽極である第3および第4の錫板、Goは陰極で
ある被めっき板であシ、各ジンクロール(6)および各
コンダクタロール(5)に交互に巻回されるとともに、
各めっき用タンク(lb)内のめっき液(4)中におい
て第1.第3の両錫板(8a)、(9a)間および第2
.第4の両錫板(8b)、(9b)間に配設され、コン
ダクタロール(5)の回転によシ蛇行して順次送を挾持
して送出する水切ローラ、(6)は熱風パイプμ枠から
送シ込まれた熱風によシ水切ローラαυから送出された
被めっき板tIOを乾燥するドライヤ、C14)は被め
っき板+IQの蛇行を防止し送出方向をに更する蛇行防
止ローラ、(x5a)、(+5b)は第1.第2めっき
厚さ検出器であシ、それぞれ被めっき板四の両面に形成
されためっき厚さを検出する。
在に設けられた複数個のコンダククロール、(6)は各
タンク(Ia)〜(IC)内の缶液(2J 、 (、i
) 、 (3)中に浸漬され回転自在に配設された複数
個のジンクロール、(7)はそれぞれめっき液(4)中
に浸漬され各めっき用タンク(1b)内の中央部に配設
された仕切板、(8a)、’(8b)はそれぞれめっき
液(4)中に浸漬され各仕切板(7)の左方および右方
に配設された陽極である第1およびM2の錫板、(9a
)、(9b)はそれぞれめっき液(4)中に浸漬され第
1および第2の錫板(8a)、(8b)に対向して設け
られた陽極である第3および第4の錫板、Goは陰極で
ある被めっき板であシ、各ジンクロール(6)および各
コンダクタロール(5)に交互に巻回されるとともに、
各めっき用タンク(lb)内のめっき液(4)中におい
て第1.第3の両錫板(8a)、(9a)間および第2
.第4の両錫板(8b)、(9b)間に配設され、コン
ダクタロール(5)の回転によシ蛇行して順次送を挾持
して送出する水切ローラ、(6)は熱風パイプμ枠から
送シ込まれた熱風によシ水切ローラαυから送出された
被めっき板tIOを乾燥するドライヤ、C14)は被め
っき板+IQの蛇行を防止し送出方向をに更する蛇行防
止ローラ、(x5a)、(+5b)は第1.第2めっき
厚さ検出器であシ、それぞれ被めっき板四の両面に形成
されためっき厚さを検出する。
なお、(16a)、(+6b)は第1.第2の錫板(8
a)、(81))および第3.第4の錫板(9a)、(
9b)に電流を供給する電源を構成するサイリヌタであ
る。
a)、(81))および第3.第4の錫板(9a)、(
9b)に電流を供給する電源を構成するサイリヌタであ
る。
つぎに、第1図に示すめっき装置の回路構成を示す第3
図および第4図について説明する。
図および第4図について説明する。
まず第3図において、(171は目標めっき厚さuoの
設定信号の入力端子、(至)は差し引き点、(1っけ厚
さ100(%)をη、めっきすべき金属である錫に固有
の定数なに、被めっき板nlの送出速度k v+被めっ
き板q0の幅をbとしたときに、変換回路θつの伝(イ
)はめっき用電源の時定数をTとしたとき♂。
設定信号の入力端子、(至)は差し引き点、(1っけ厚
さ100(%)をη、めっきすべき金属である錫に固有
の定数なに、被めっき板nlの送出速度k v+被めっ
き板q0の幅をbとしたときに、変換回路θつの伝(イ
)はめっき用電源の時定数をTとしたとき♂。
ラヌ演算子Sを用いて伝達関数が1+’I’s と表わ
され変換回路αりによる電流値にもとづく電流を出力す
る電流制御回路、1271は実めっき工程におけると表
わされる被めっき板aC)への実めっき工程を示す電流
厚さ変換回路であシ、電流制御回路(4からの電流が実
めっき工程に与えられたときに、実際に被めっき板G1
に形成されるめっきの厚さを算出し、すなわち電流を実
めっき厚さupに変換する。
され変換回路αりによる電流値にもとづく電流を出力す
る電流制御回路、1271は実めっき工程におけると表
わされる被めっき板aC)への実めっき工程を示す電流
厚さ変換回路であシ、電流制御回路(4からの電流が実
めっき工程に与えられたときに、実際に被めっき板G1
に形成されるめっきの厚さを算出し、すなわち電流を実
めっき厚さupに変換する。
@はめつき用タンク(1b)から検出器(15a)、(
15b)までの距離に相当する時間遅れをLとしたとき
に伝達関数がε と表わされる遅延回路、(23)は検
出器(15a)、(15b)によシ検出された実めっき
厚さupと目標めっき厚さuoとの誤差ΔUを導出する
比較部、(24Iはフィードバック要素であシ、伝達関
数がフィードバックゲインであるKと表わされ、フィー
ドバック要素@によシに倍された誤差ΔUが目標めっき
厚さuoから差し引かれる。
15b)までの距離に相当する時間遅れをLとしたとき
に伝達関数がε と表わされる遅延回路、(23)は検
出器(15a)、(15b)によシ検出された実めっき
厚さupと目標めっき厚さuoとの誤差ΔUを導出する
比較部、(24Iはフィードバック要素であシ、伝達関
数がフィードバックゲインであるKと表わされ、フィー
ドバック要素@によシに倍された誤差ΔUが目標めっき
厚さuoから差し引かれる。
つぎに厚さ電流変換回路Qつおよび電流制御回路に)を
示す第4図において、防)は被めっき板+10の送出用
モータの回転数にもとづき被めっき板C1Oの送出速度
Vを検出するタコジェネレータ、伽)は被めっき板(I
Qの1陥すの設定器、(イ)は目標めっき遍さU・の設
定器、(28)は陰極効率ηの設定器、圀)は検出され
た前記送出速度■と設定された前記幅すとを掛は合わせ
る第1掛算器、13o)は第1掛算器(29)にょる積
v−bと前記厚さuoとを掛は合わせる第2掛X=、!
3I)は第2掛算器田にょる積v−b−uoを陰極効率
ηで除す第1割算器、1321はめっきすべき金属であ
る錫に固有の定数k(= 0.03561)の設定器、
1刈は第2害1jなっておシ、タコジェネレータ防)、
各設定器囚)〜(ハ)、 +321.掛算器内、 (3
01、割算器!3g 、 を園にょシ厚さ電流変換回路
Qlが構成されている。
示す第4図において、防)は被めっき板+10の送出用
モータの回転数にもとづき被めっき板C1Oの送出速度
Vを検出するタコジェネレータ、伽)は被めっき板(I
Qの1陥すの設定器、(イ)は目標めっき遍さU・の設
定器、(28)は陰極効率ηの設定器、圀)は検出され
た前記送出速度■と設定された前記幅すとを掛は合わせ
る第1掛算器、13o)は第1掛算器(29)にょる積
v−bと前記厚さuoとを掛は合わせる第2掛X=、!
3I)は第2掛算器田にょる積v−b−uoを陰極効率
ηで除す第1割算器、1321はめっきすべき金属であ
る錫に固有の定数k(= 0.03561)の設定器、
1刈は第2害1jなっておシ、タコジェネレータ防)、
各設定器囚)〜(ハ)、 +321.掛算器内、 (3
01、割算器!3g 、 を園にょシ厚さ電流変換回路
Qlが構成されている。
このとき、めっきに要する電流値■は、被めっき板aC
)のめつきすべき領域の全長をlとしたときに、 77、に、l ・・・■ の式によシ表わされる電流密度Jにもとづき、I=Jx
bX#X100 ・・・■ と表わされる。なお、0式において陰運効率ηが百分率
表示されているために100が掛けられている。
)のめつきすべき領域の全長をlとしたときに、 77、に、l ・・・■ の式によシ表わされる電流密度Jにもとづき、I=Jx
bX#X100 ・・・■ と表わされる。なお、0式において陰運効率ηが百分率
表示されているために100が掛けられている。
1頬は加え合わせ点、13ωは加え合わせ点(34)を
介した入力にもとづきめっき用電源13G)に出力制御
信号を出力して電源136)の出力を制御する電流側の
部であり、制■された電源(36)の出力電流がフィー
ドバックされ、那え合わせ点(34)において厚さ電流
変換回路0りからの基準電流値■に加え合わされるよう
になっておシ、加え合わせ点134) 、制御部13〜
および電源136)により電流制御回路(イ)が構成さ
れている。
介した入力にもとづきめっき用電源13G)に出力制御
信号を出力して電源136)の出力を制御する電流側の
部であり、制■された電源(36)の出力電流がフィー
ドバックされ、那え合わせ点(34)において厚さ電流
変換回路0りからの基準電流値■に加え合わされるよう
になっておシ、加え合わせ点134) 、制御部13〜
および電源136)により電流制御回路(イ)が構成さ
れている。
そして、被めっき板Q*の幅す、目標めっき厚さuo
、陰極効率ηおよび定数kを設定器が〜鯛)、(険に設
定することによシ、基準電流値■が変換回路0りによシ
導出され、電流制御回路f4によシ前記基準電流値■に
もとづく電流が実めっき工程に与えられ、所定速度Vで
送出される被めっき板00に電流制御回路((イ)から
の電流に応じた厚さのめっきが形成され、変換回路12
1)によシ被めっき板(10に形成される実めっき厚さ
upが導出されるとともに、遅延回路(支)による遅れ
時間りだけ遅れて実めっき厚さupが1*出器(l5a
) 、(15b)によシ検出さレル。
、陰極効率ηおよび定数kを設定器が〜鯛)、(険に設
定することによシ、基準電流値■が変換回路0りによシ
導出され、電流制御回路f4によシ前記基準電流値■に
もとづく電流が実めっき工程に与えられ、所定速度Vで
送出される被めっき板00に電流制御回路((イ)から
の電流に応じた厚さのめっきが形成され、変換回路12
1)によシ被めっき板(10に形成される実めっき厚さ
upが導出されるとともに、遅延回路(支)による遅れ
時間りだけ遅れて実めっき厚さupが1*出器(l5a
) 、(15b)によシ検出さレル。
つぎに、比較部(ハ)によシ検出された実めっき厚、さ
upと目標めっき厚さuoとの誤差ΔUが導出され、導
出された誤差ΔUがフィードバックされ、フィードバッ
ク要素■によシに倍された誤差ΔUが差し引き点σ8)
において目標めっき厚さnoから差し引かれる。
upと目標めっき厚さuoとの誤差ΔUが導出され、導
出された誤差ΔUがフィードバックされ、フィードバッ
ク要素■によシに倍された誤差ΔUが差し引き点σ8)
において目標めっき厚さnoから差し引かれる。
このとき、定常状態においては除硬効率η′が設定値で
あるηに等しく、実めっき厚さupが目標めっき厚さu
oと等しくなシ、誤差ΔUは零となるが、たとえば目標
めっき厚さuoが10%増加してu+ (=t1uo)
となった場合、検出器(l5a)、(t5b)によシ検
出された実めっき厚さupは目標めっき厚さulよシも
0.1uoだけ薄いため、比較部臼)によシ誤差Δu’
(=−Q、1uo)が導出され、K倍された誤差ΔU′
が差し引き点(ト)において目標めっき厚さulから差
し引かれ、すなわち目標めっき厚さulにQ、luoが
加算され、電流制御回路(4の出力電流が前記誤差ΔU
′のに倍に相当する分だけ増加し、寮めっき厚さが目標
めっき厚さulに等しくなるように制御される。
あるηに等しく、実めっき厚さupが目標めっき厚さu
oと等しくなシ、誤差ΔUは零となるが、たとえば目標
めっき厚さuoが10%増加してu+ (=t1uo)
となった場合、検出器(l5a)、(t5b)によシ検
出された実めっき厚さupは目標めっき厚さulよシも
0.1uoだけ薄いため、比較部臼)によシ誤差Δu’
(=−Q、1uo)が導出され、K倍された誤差ΔU′
が差し引き点(ト)において目標めっき厚さulから差
し引かれ、すなわち目標めっき厚さulにQ、luoが
加算され、電流制御回路(4の出力電流が前記誤差ΔU
′のに倍に相当する分だけ増加し、寮めっき厚さが目標
めっき厚さulに等しくなるように制御される。
ところが陰極効率はめっき液および電流にょシ定まる値
であるが、実際には複雑な電気化学過程において変化す
るため、実めっき工程における真の陰部効率η′は設定
器(28)によシ設定された除振効率ηに完全に一致す
ることはなく、前記両陰極効率η′、η間の偏差が実め
っき厚さと目標めっき厚さとの誤差となって現われ、目
標めっき厚さを変更したときには芙めっき厚さと目標め
っき厚さとの誤差が非常に大きくなるという欠点がある
。
であるが、実際には複雑な電気化学過程において変化す
るため、実めっき工程における真の陰部効率η′は設定
器(28)によシ設定された除振効率ηに完全に一致す
ることはなく、前記両陰極効率η′、η間の偏差が実め
っき厚さと目標めっき厚さとの誤差となって現われ、目
標めっき厚さを変更したときには芙めっき厚さと目標め
っき厚さとの誤差が非常に大きくなるという欠点がある
。
この発明は、前記の点に留意してなされたものであシ、
実めっき工程における陰極効率そのものを連続的に修正
するようにし、目標めっき厚さを変更した場合であって
も、従来のように実めっき厚さと目標めっき厚さとの誤
差が大きくなることを防止し、実用性の向上を図ること
を目的とする。
実めっき工程における陰極効率そのものを連続的に修正
するようにし、目標めっき厚さを変更した場合であって
も、従来のように実めっき厚さと目標めっき厚さとの誤
差が大きくなることを防止し、実用性の向上を図ること
を目的とする。
この発明は、目標めっき厚さに応じた電流を出力する電
流制御回路と、該制御回路からの電流にもとづき単位時
間当りに形成されるべきめつき厚さを導出する導出回路
とからなる模擬手段を設け、めっき装置に入力される目
標めっき厚さの設定信号を前記模擬手段に入力し、前記
模擬手段による模擬めっき工程を前記めっき装置による
実めっき工程と並行して進行させ、誤差算出手段により
前記模擬めっき工程において形成される模擬めっき厚さ
と前記実めっき工程において形成された実めっき厚さと
の誤差を算出し、演算手段によシ前記誤差にもとづいて
前記実めっき工程における陰極効率の修正量を演算し、
演算された前記修正量にもとづき、修正手段によシ前記
実めっき工程における陰極効率を連続的に修正して前記
実めっき厚さを制御することを特徴とするめつき厚さ制
御方法である。
流制御回路と、該制御回路からの電流にもとづき単位時
間当りに形成されるべきめつき厚さを導出する導出回路
とからなる模擬手段を設け、めっき装置に入力される目
標めっき厚さの設定信号を前記模擬手段に入力し、前記
模擬手段による模擬めっき工程を前記めっき装置による
実めっき工程と並行して進行させ、誤差算出手段により
前記模擬めっき工程において形成される模擬めっき厚さ
と前記実めっき工程において形成された実めっき厚さと
の誤差を算出し、演算手段によシ前記誤差にもとづいて
前記実めっき工程における陰極効率の修正量を演算し、
演算された前記修正量にもとづき、修正手段によシ前記
実めっき工程における陰極効率を連続的に修正して前記
実めっき厚さを制御することを特徴とするめつき厚さ制
御方法である。
したがって、この発明のめつき厚さ制御方法によると、
模擬手段による模擬めっき工程において形成される模擬
めっき厚さとめつき装置による実めっき工程において形
成される実めっき厚さとの誤差を検出し、前記誤差にも
とづいて前記実めっき工程における陰極効率の修正量を
演算し、前記修正量にもとづいて前記実めっき工程にお
ける陰極効率を連続的に修正するようにしたことによシ
、@2実めつき工程における除重効率を所定晴に保持す
ることができ、目標めっき厚さを変更した場合であって
も、従来のように実めっき厚さと目標めっき厚さとの誤
差が大きくなることを防止し、実用性の向上を図ること
ができる。
模擬手段による模擬めっき工程において形成される模擬
めっき厚さとめつき装置による実めっき工程において形
成される実めっき厚さとの誤差を検出し、前記誤差にも
とづいて前記実めっき工程における陰極効率の修正量を
演算し、前記修正量にもとづいて前記実めっき工程にお
ける陰極効率を連続的に修正するようにしたことによシ
、@2実めつき工程における除重効率を所定晴に保持す
ることができ、目標めっき厚さを変更した場合であって
も、従来のように実めっき厚さと目標めっき厚さとの誤
差が大きくなることを防止し、実用性の向上を図ること
ができる。
つぎに、この発明を、−その実施例を示した第5図以下
の図面とともに詳細に説明する。
の図面とともに詳細に説明する。
まず、1実施例を示した第5図について説明する。
同図において、1,117)は目標めっき厚さuoの設
定信号の入力端子、138)は時定数Tのめっき用模擬
電源等からなりラプラヌ演算・子Sを用いて伝達関数が
1+T、Sと表わされ目標めっき厚さuoに応じた電流
を出力する模擬電流制御回路、(39)は伝達関数が1
で表わされ名導出回路であシ、電流制御回路(38)か
らの所定の電流が与えられたときに、予め設定された陰
極効率のもとに形成されるべき目標めっき厚さuoに等
しい模擬めっき厚さumを導出し、アナログまたはデジ
タル回路からなる電流制御回路(38)および導出回路
(39)によシ模擬手段(40)が構成されている。
定信号の入力端子、138)は時定数Tのめっき用模擬
電源等からなりラプラヌ演算・子Sを用いて伝達関数が
1+T、Sと表わされ目標めっき厚さuoに応じた電流
を出力する模擬電流制御回路、(39)は伝達関数が1
で表わされ名導出回路であシ、電流制御回路(38)か
らの所定の電流が与えられたときに、予め設定された陰
極効率のもとに形成されるべき目標めっき厚さuoに等
しい模擬めっき厚さumを導出し、アナログまたはデジ
タル回路からなる電流制御回路(38)および導出回路
(39)によシ模擬手段(40)が構成されている。
(41)は伝達関数がKcと表わされ後述の演算回路に
よ逆演算された陰極効率修正量にもとづき目標めっき厚
さuoをKc倍する修正部、(42)は伝達関数が正と
表わされ修正部(41)によ5 Kc倍された目標めっ
き厚さuoに応じた電流を出力する実電流制御回路、(
43)は陰極効率の設定値に対する実めっき工程におけ
る実際値の比をKpとしたときに伝達関数が5 と表わ
きれる実めつき工程を示す積分回路であシ、電流制御回
路(42)からの所定の電流が与えられたときに被めっ
き板+IQに形成される実めっき厚さupを算出し、修
正部(411、電流制御回路(42)および積分回路(
43)によシ被めっき板tic)への実めっき工程を進
行する第1図、第2図と同様の構成のめつき装置144
)が構成されている。
よ逆演算された陰極効率修正量にもとづき目標めっき厚
さuoをKc倍する修正部、(42)は伝達関数が正と
表わされ修正部(41)によ5 Kc倍された目標めっ
き厚さuoに応じた電流を出力する実電流制御回路、(
43)は陰極効率の設定値に対する実めっき工程におけ
る実際値の比をKpとしたときに伝達関数が5 と表わ
きれる実めつき工程を示す積分回路であシ、電流制御回
路(42)からの所定の電流が与えられたときに被めっ
き板+IQに形成される実めっき厚さupを算出し、修
正部(411、電流制御回路(42)および積分回路(
43)によシ被めっき板tic)への実めっき工程を進
行する第1図、第2図と同様の構成のめつき装置144
)が構成されている。
(伺は導出手段(39)によシ導出された模擬めっき厚
さumと検出器(15a)、(15b)によ、!lll
検出された実めっき厚さupとの誤差eを算出する誤差
算出手段である比較部、・46)は誤差eを微分する壷
分回路、(4ηは誤差eの漱分値6と目標めっき厚さu
oとの積δ・uoを算出する掛算器、148)は利得を
一定値であるαとしたときに伝達関数かiと表わされる
演算回路であシ、実めっき工程における陰極効率の修正
量Kcを演算し、微分回路f46) 、掛算器(4ηお
よび演算回路(481によ逆演算手段(49)が構成さ
れている。
さumと検出器(15a)、(15b)によ、!lll
検出された実めっき厚さupとの誤差eを算出する誤差
算出手段である比較部、・46)は誤差eを微分する壷
分回路、(4ηは誤差eの漱分値6と目標めっき厚さu
oとの積δ・uoを算出する掛算器、148)は利得を
一定値であるαとしたときに伝達関数かiと表わされる
演算回路であシ、実めっき工程における陰極効率の修正
量Kcを演算し、微分回路f46) 、掛算器(4ηお
よび演算回路(481によ逆演算手段(49)が構成さ
れている。
このとき、演算手段(49)の構成を決定する場合、第
5図の模擬手段(輪およびめっき装置(44)を方程式
%式% となる。ここでKは陰極効率の設定置と実際値とが等し
い場合の比すなわち°1″であシ、jam、upおよび
un 、 upは、それぞれめっき厚さu+n 、 u
pの時間による2階微分および1階微分を示す。
5図の模擬手段(輪およびめっき装置(44)を方程式
%式% となる。ここでKは陰極効率の設定置と実際値とが等し
い場合の比すなわち°1″であシ、jam、upおよび
un 、 upは、それぞれめっき厚さu+n 、 u
pの時間による2階微分および1階微分を示す。
いま、IS極効率の設定値と実1祭値との差の係数aを
a=に−KcKp ・・・■
とおくと、前記0〜0式より、誤差方程式T5°+Te
= auo(t) −■が得られる。ここで5°およ
びみはめつき厚さumとupとの誤差の2階微分、1階
微分を示す。
= auo(t) −■が得られる。ここで5°およ
びみはめつき厚さumとupとの誤差の2階微分、1階
微分を示す。
そして誤差eが零、すなわち係数aが零となるような演
算手段(41)を構成すればよく、つぎにリアプノフ安
定判別法によf)、e−a平面における第5図に示す制
[有]系の平衡点xo−(e’、a)−(0+0)の安
定性について考察する。
算手段(41)を構成すればよく、つぎにリアプノフ安
定判別法によf)、e−a平面における第5図に示す制
[有]系の平衡点xo−(e’、a)−(0+0)の安
定性について考察する。
いま、任意の実数P、^(P>O,λ〉0)に対し、V
−Pea2+λa2 ・・・■ と表わされるリアプノフ関数■を選び、■式を(8)を
得る。
−Pea2+λa2 ・・・■ と表わされるリアプノフ関数■を選び、■式を(8)を
得る。
つぎに、0式において前記側[有]系の平衡点Xoが安
定であるためには、0式の第2項が零であればよく、つ
〕式の第2項を零とするには、・ P ・ ミニー豆euo(t) ・・・[株] であればよく、■式を0式に代入して Y−一菫δ2 1 ・・・@ が得られ、準負定の、@数室が得られることになる。
定であるためには、0式の第2項が零であればよく、つ
〕式の第2項を零とするには、・ P ・ ミニー豆euo(t) ・・・[株] であればよく、■式を0式に代入して Y−一菫δ2 1 ・・・@ が得られ、準負定の、@数室が得られることになる。
したがって、[株]式が成立する限シ、前記制御系は安
定であシ、0式よシ、 五−一に譲C・・・@ を導出し、導出した(口)式を■式に代入してが得られ
、P、λが任意の実数で′t−るため、となる任意の定
数αを定めることにょシ、[株]式を0式に代入して L−αみuo(リ ・・・■ が得られ、第5図に示すように演算手段(49)を構成
することが可能となる。
定であシ、0式よシ、 五−一に譲C・・・@ を導出し、導出した(口)式を■式に代入してが得られ
、P、λが任意の実数で′t−るため、となる任意の定
数αを定めることにょシ、[株]式を0式に代入して L−αみuo(リ ・・・■ が得られ、第5図に示すように演算手段(49)を構成
することが可能となる。
つぎに、第5図に示す回路の動作について説明する。
まず、目標めっき厚さuo 、陰極効率を設定し、模擬
手段(40)およびめっき装置(偵に目標めっき厚さu
oの設定信号を入力して模擬手段(401による模擬め
っき工程とめつき装置(44)による実めっき工程とを
並イテして進行させる。
手段(40)およびめっき装置(偵に目標めっき厚さu
oの設定信号を入力して模擬手段(401による模擬め
っき工程とめつき装置(44)による実めっき工程とを
並イテして進行させる。
そして比較部(45)によシ模擬めっき厚さumと検出
器(15a)、(+5b)によシ検出された実めっき厚
さupとの誤差eが算出され、算出された誤差eにもと
づき、演算手段(49)によシ実めっき工程における陰
極効率の修正量にc(=α・e−uo )が演算され、
修正部(41)によシ前記修正量KCにもとづいて実め
っき工程における陰極効率が模擬手段(40)側におけ
る陰極効率の4定値に等しくなるように修正されるとと
もに、と。
器(15a)、(+5b)によシ検出された実めっき厚
さupとの誤差eが算出され、算出された誤差eにもと
づき、演算手段(49)によシ実めっき工程における陰
極効率の修正量にc(=α・e−uo )が演算され、
修正部(41)によシ前記修正量KCにもとづいて実め
っき工程における陰極効率が模擬手段(40)側におけ
る陰極効率の4定値に等しくなるように修正されるとと
もに、と。
れらの動作が連続的にaシ返され、實めっき工程におい
て波めっき板Hに形成されるめっき厚さupが模擬めっ
き厚さum fなわち目標めっき厚さuOに一致するよ
うに制御される。
て波めっき板Hに形成されるめっき厚さupが模擬めっ
き厚さum fなわち目標めっき厚さuOに一致するよ
うに制御される。
このとき、定常状態から目標めっき厚さuoを増。
減した場合、目標めっき厚さの増、減分に応じた分だけ
模擬電流制御回路(38)からの電流が定常状態から増
、滅するとともに、模擬めっき工程における陰極効率の
設定値が定常状態よりも増、減し、模擬めっき厚さum
がe′だけ増、減し、比較部+45)により変化後の模
擬めっき厚さU−±e′と定常状態において変化前の模
擬めっき厚さumに等しい実めつき厚さupとの誤差±
eが算出され、演算手段(49)によシ誤差±eにもと
づく陰極効率の修正量Kc(−±α・e’、uo)が演
算されて実めっき工程における陰極効率が変化した設定
1直に等しくなるように修正される。
模擬電流制御回路(38)からの電流が定常状態から増
、滅するとともに、模擬めっき工程における陰極効率の
設定値が定常状態よりも増、減し、模擬めっき厚さum
がe′だけ増、減し、比較部+45)により変化後の模
擬めっき厚さU−±e′と定常状態において変化前の模
擬めっき厚さumに等しい実めつき厚さupとの誤差±
eが算出され、演算手段(49)によシ誤差±eにもと
づく陰極効率の修正量Kc(−±α・e’、uo)が演
算されて実めっき工程における陰極効率が変化した設定
1直に等しくなるように修正される。
したがって、前記実施例によると、修正量Kcにもとづ
いて実めつき工程における陰極効率そのものを連続的に
修正するようにしたため、実めっき工程における陰極効
率を設定値に等しく保持することができ、目標めっき厚
さuoを変更した場合であっても、従来のように実めっ
き厚さupと目標めっき厚さuoとの誤差が大きくなる
ことを防止でき、実用性の向上を図ることができる。
いて実めつき工程における陰極効率そのものを連続的に
修正するようにしたため、実めっき工程における陰極効
率を設定値に等しく保持することができ、目標めっき厚
さuoを変更した場合であっても、従来のように実めっ
き厚さupと目標めっき厚さuoとの誤差が大きくなる
ことを防止でき、実用性の向上を図ることができる。
なお、めっき用タンク(Ib)から検出器(15a)、
、(15b)までの距離に相当する時間遅れLがある場
合であLS つても、第6図に示すように伝達関数ε の遅延回路(
50) 、ゆυをそ九ぞれ導出回路(39) 、積分回
路(43)の後段に設け、前記の第5図の場合と同様に
′して、修正量KcがKc<π(Lは遅れ時間)となる
ような演算手段64を設けることによシ、この発明を同
様に実施することができる。
、(15b)までの距離に相当する時間遅れLがある場
合であLS つても、第6図に示すように伝達関数ε の遅延回路(
50) 、ゆυをそ九ぞれ導出回路(39) 、積分回
路(43)の後段に設け、前記の第5図の場合と同様に
′して、修正量KcがKc<π(Lは遅れ時間)となる
ような演算手段64を設けることによシ、この発明を同
様に実施することができる。
第1図は一般の連続眠気めっき装置の正面図、第2図は
第1図の一部の詳細拡大正面図、第3図は第1図の回路
構成を示すブロック図、第4図は第3屏の一部の詳細ブ
ロック図、第5図および第6図はそれぞれこの発明のめ
つき厚さ制(財)方法におけるめっき制御装置の実施例
のブロック図である。 138)・・・電流制御回路、(39)・・・導出回路
、(40)・・・模擬手段、(偵・・・めっき装置、(
傾・・・比較部、(49) 、 Q)2・・・演算手段
。 代理人 弁理士 藤田龍太部 第3図 第4図
第1図の一部の詳細拡大正面図、第3図は第1図の回路
構成を示すブロック図、第4図は第3屏の一部の詳細ブ
ロック図、第5図および第6図はそれぞれこの発明のめ
つき厚さ制(財)方法におけるめっき制御装置の実施例
のブロック図である。 138)・・・電流制御回路、(39)・・・導出回路
、(40)・・・模擬手段、(偵・・・めっき装置、(
傾・・・比較部、(49) 、 Q)2・・・演算手段
。 代理人 弁理士 藤田龍太部 第3図 第4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■ 目標めっき厚さに応じた電流を高力する電流制御回
路と、該制御回路からの電流にもとづき単位時間当、!
21に形成さ九るべきめ5つき厚さを導出する導出回路
とからなる模擬手段を設け、めっき装置に入力される目
標めっき厚さの設定信号を前記模擬手段に入力し、前記
模擬手段による模擬めっき工程を前記めっき装置による
実めっき工程と並行して進行させ、誤差算量手段によ、
!71tiJ記模擬めっき工程において形成される模擬
めっき厚さと前記実めっき工程において形成された実め
っき厚さとの誤差を算出し、演算手段によシ前記誤差に
もとづいて前記実めっき工程における陰極効率の修正量
を演算し、演算された前記修正量にもとづき。 11正手段により前記実めっき工程における陰極効率を
連続的に修正して前記実めっき厚さを制御することを特
徴とするめつき厚さ制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2138084A JPS60165399A (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | めつき厚さ制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2138084A JPS60165399A (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | めつき厚さ制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60165399A true JPS60165399A (ja) | 1985-08-28 |
Family
ID=12053482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2138084A Pending JPS60165399A (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | めつき厚さ制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60165399A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100354410B1 (ko) * | 1994-01-17 | 2002-12-16 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | 프로세스제어방법및장치 |
-
1984
- 1984-02-07 JP JP2138084A patent/JPS60165399A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100354410B1 (ko) * | 1994-01-17 | 2002-12-16 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | 프로세스제어방법및장치 |
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