JPS60164800U - イオン源装置 - Google Patents

イオン源装置

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Publication number
JPS60164800U
JPS60164800U JP5363984U JP5363984U JPS60164800U JP S60164800 U JPS60164800 U JP S60164800U JP 5363984 U JP5363984 U JP 5363984U JP 5363984 U JP5363984 U JP 5363984U JP S60164800 U JPS60164800 U JP S60164800U
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JP
Japan
Prior art keywords
ion source
cone
source cone
source device
ion
Prior art date
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Pending
Application number
JP5363984U
Other languages
English (en)
Inventor
山田　輝雄
戸田　陽二郎
金田　安正
田中　照男
Original Assignee
株式会社日本製鋼所
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Particle Accelerators (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の一例の要部を示す断面図、第２図は
本考案装置の一実施例の要部を示す断面図である。 １・・・イオン源チューブ、２・・・イオン源コーン、
３・・・フィラメント、４・・・ディファイニングスリ
ット、５・・・ガス供給用パイプ、６・・・イオン出口
用スリット、７・・・リフレクタカソード、８・・・付
着物、９・・・傾斜面部、１０・・・凹部、１１・・・
垂直面。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 イオン源チューブの下端にイオン源コーンを連設し、イ
    オン源コ−ンの下端部内に設けたフィラメントに通電し
    て熱電子を放出させ、このフィラメントとイオン源コー
    ンとの間にアノードｔｌＥ圧を印加することによりこの
    熱電子をイオン源コーンの上面中央部のディファイニン
    グスリットを通して加速させるとともに、ガス供給用パ
    イプよ６イオン源コーン内に供線されたガスに、加速さ
    れた熱電子を衝突させてプラズマ状態を形成し、発生し
    たイオンをイオン源コーンのイオン出口用スリットより
    取出すようにしたイオン源装置におい−て、 前記イオン源コーンの上面中央部のディファイニングス
    リット部を上方へ突出させてなるイオン源装置。
JP5363984U 1984-04-11 1984-04-11 イオン源装置 Pending JPS60164800U (ja)

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JP5363984U JPS60164800U (ja) 1984-04-11 1984-04-11 イオン源装置

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JP5363984U JPS60164800U (ja) 1984-04-11 1984-04-11 イオン源装置

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Publication Number Publication Date
JPS60164800U true JPS60164800U (ja) 1985-11-01

Family

ID=30574693

Family Applications (1)

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JP5363984U Pending JPS60164800U (ja) 1984-04-11 1984-04-11 イオン源装置

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JP (1) JPS60164800U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS593490U (ja) * 1982-06-29 1984-01-10 富士通株式会社 中継端子

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS593490U (ja) * 1982-06-29 1984-01-10 富士通株式会社 中継端子

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