JPS60162772A - るつぼ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は物質の蒸気を噴出させるようにしたるつぼに
関する本のである。

〔従来技術〕

従来、常温固体状の物質を加熱して蒸発させ、被蒸着材
に薄膜を形成する真空蒸鶏においては、蒸発物質の噴出
方向を鉛直以外の方向に傾斜させる場合には、特公昭５
６−４１１６５号公報に示されているように、るつは自
体を傾斜させる方法が採用されている。

即ち、第１図において、（１）は噴出孔（１ａ）が設け
られたるつほで１、鉛直線と噴出孔（１ａ）の方向との
間が角度θになるように配置されている。（２）はるつ
は（１）を囲繞したフィラメントからなる加熱手段で、
るつは（１）を加熱する。（３）はるつぼ（１）に収容
された溶融物質である。この図に示す様に１溶融した物
質が噴出孔から流出しないためＫは、液面が噴出孔よシ
下になくてはならないから、るつは内に収容できる物質
の海が、るりほの内容ＭＫ比して、かなシ小さく押えら
れる。即ち、上記構成によると、るつｔＸを傾斜して設
定する場合、その傾−角度によって、内部に収容可能な
物質の１が左右されるという欠点があった。

〔発明の概要〕

この発明は上記欠点を解消するためになされたもので、
るつぼの内部を溶融物質の収容室と噴出孔に面した蒸気
室とに仕切壁で仕切って、収容室と蒸気室とを連通孔で
連通させることによって１噴出孔の方向を傾斜させても
溶融物質の収容量に与える影響を少なくできるるつほを
提供する。

〔発明の実施例〕

以下、図について説明する。第２図において、（１１〜
（３）は従来と同様である。（４）はるつは（１）の内
部に設けられた仕切壁で、溶融物質（３）の収容室（５
）と噴出孔（１ａ）Ｉｃ面した蒸気室（６）とを構成す
る０なお、仕切壁（４）はるつげ（１）本体と一体化し
てもよい０（７）は連通孔で、収容室（５）と蒸気室（
６）を連通している０ 上ｉｅ禍成において、加熱手段（３）で加熱された溶融
物質（３）から発生した蒸気は、連通孔（７）を通って
蒸気室（６）を経由後、噴出孔（１ａ）から噴出される
。

この場合、溶融物質（３）は仕切壁（４）で阻止されて
いるので、噴出孔（１ａ）から流出することはない０〔
発明の効果〕 この発明によると、溶融物質の収容室と蒸気室との間を
仕切壁で仕切って、収容室と蒸気室とを連通孔で連通す
ることによって、蒸気の噴出方向を鉛直方向から傾斜さ
せても、溶融物彌の流出を阻止するとともに、蒸気の噴
出ができるので、噴出方向の傾斜に影響されることなく
多量のた融物質を収容できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のるつばを示す断面図、第２図はこの発明
の一実施例を示す断面図である。図において、（ｌａ）
は噴出孔、（３）は溶融物質、（４）は仕切壁、（５）
は収容寮、（６）は蒸気室及び（７）は連通孔である０ なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　大著　増雄

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　ＩＩＩ出孔から溶融物質の蒸気を噴出させるも
   のにおいて、内部を上記溶融物置の収容室と上ｒ噴出孔
   に面した蒸気室とに仕切壁で仕切って、上記収容室と上
   記蒸気室とを連通ずる連通孔を上記仕切壁に設けたるつ
   は。