JPS60161663A - 固体撮像素子へのフイルタ−接着方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はビデオカメラ用固体撮像素子の組立工程におけ
る素子への色分解フィルター又は、遮光用フメルター等
の接着方法及び装置に関するものである。

従来例の構成とその問題点 従来の撮像素子へのフィルター接着方法及び装置は第１
図にその構成を示すように、パッケージ１に納められた
撮像素子チーブ２の上に接着剤３を滴下し・その上方に
、カラーパターン４を有するフィルタ−６を、微動機構
６＆及び６ｂを有するフィルターホルダー７により支持
し・さらにその上方に、素子２及びフィルター６のそれ
ぞれ２つの位置合わせマークに対応する２つの対物レン
ズ８を有する顕微＠９を設け１人がこれを目視しながら
顕微鏡微動機構ＩＱｌ及び１０ｂとフィルター微動機構
６ａ及び６ｂと・撮像素子微動機構１１を手動操作しつ
つ接着位置合せを行うものであり・人手を要しかつ多大
な時間を要する非能率なものであ−た。また第１図の装
置においては、およその位置合せ接着の後に、フィルタ
ー５を介して撮像素子２に光を照射し、撮像素子２の出
力信号を取り出し、該信号の変調度の最大点をカメラコ
ントロールユニ・リド１２ａと波形モニタ１２ｂと画像
モニタ１２Ｃにより検出しつつ・フィルター微動機構６
ｂ又は撮像素子微動機構１１を操作して最終位置合わせ
を行うものであるが、人手を要する作業である事にかわ
りは無いものであった。

さらに・撮像素子チップ２の上面はバ１ケージ１の底面
に対し、許容値以上に傾斜している事が多く・何らかの
手段で、フィルタ−６の下面に対シ撮像素子チーブ２の
上面を平行にする事が接着前又は接着中に必要であり、
通常このための操作は顕微鏡に素子全表面が焦点が合う
ように素子を傾斜修正するか・フメルターに一旦素子を
接着剤をはさんで押圧する事により行われるのでこの操
作に多大な時間を要する難点があった。

発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み１人手を要せずに高能率・高精
度で撮像素子にフィルターを接着するための一接着方法
と接着装置を提供するものである。

発明の構成 本発明の固体撮像素子へのフィルター接着方法は、焦点
検出装置を有する顕微鏡を可動テーブルに載置し、素子
上の３点以上の表面に対し焦点を合わせる動作をくり返
して行い１表面高さを測定し・これから素子の傾斜角を
算出して素子取付テーブルを駆動してフィルターに対し
て素子を平行とすることと・素子上の２点以上の位置に
合わせマークに対し順次顕微鏡を移動させつつ焦点を合
わせて、顕微鏡に取り付けられた有線テレビカメラ以下
ａｃｒｖカメラと略すとこれに結合された位置読取装置
によシマーク位置を読取シ、接着剤滴下後・フィルター
をフィルターアームにより素子上へ搬送、保持し、フィ
ルターのマーク位置を素子と同様に読取った後、フィル
ターに対し、素子の位置合わぜを行−だうえで、あらか
じめフィルター下面より所定量下方にその焦点を移動さ
せた顕微鏡に対しその表面が焦点が合うまで素子テーブ
ルを上昇させて、規定量のギセップをもってフィルター
と素子を接着し、その後、素子及びフィルターのそれぞ
れ対応する２点以上の合わせマークの相互のズレ量を顕
微鏡のｃｃ’ｒｖカメラとこれに結合された位置読取り
装置により読み取り位置ズレを修正し、その後フィルタ
ーと素子間に紫外線を照射して両者を一体化するもので
あるので・従来人手に頼っていた非能率な工程を自動化
する事を可能とし、高能率・高精度で処理するという効
果を有するものである〇 実施例の説明 以下本発明の一実施例について図を参照しながら説明す
る。第２図は加工対称物である固体撮１象素子の断面模
式図であり、１３はバタケージ、１４は素子チップ（以
下パッケージ入り固体撮像素子チップを素子と略す）・
１５は接着剤、１６ハ下面にフィルターパターン１７を
有するガラス製フィルターであシ、位置合せ接着は、第
３図に示す素子チ・ツブ１４の撮像面１９の外方に設け
られた位置合わせマーク１ＢＬ、１ａＲに対し、第４図
に示すフィルタ−１６のフィルターパターン１７の外方
に設けられた位置合わせマーク２０Ｌ。

２ＯＲを位置合わせ後接着する事によって行なわれる〇 第５図はフィルター接着装置の全体模式図であり２１８
Ｌは素子供給テーブル、２２＆は素子整列マガジン、２
３ａは未加工素子、２４１Ｌは素子供給コンベヤ、２６
は素子取付治具、２４ｂは素子取り出しコンベヤ、２１
ｂは素子収納テーブル、２２ｂは素子整列マガジン、２
３ｂは加工済素子である。素子取付治具２５は、素子テ
ーブル２６に取付けられており、素子テーブル２６は、
下方より％素子１４の長手方行に平行なＸ軸方向に運動
するＸｉテーブル２７と、Ｘ軸に直角なＹ軸方向に運動
するＹ１テーブル２８と、Ｘ軸及びＹ軸に直角なＸ軸を
中心として回転運動するθテーブル２９と、Ｘ軸方向に
運動するＸ１テーブル３０と、それぞれＹ軸とＸ軸に平
行なα軸とβ軸のまわりに揺動可能なα、βテーブル３
１より成る。

３２はフィルター供給テーブルであり・下方よυχ軸に
平行方向に運動するＸ３テーブル３３とＹｌｉｌｌｌに
平行方向に運動するＹ３テーブル３４と。

Ｘ軸に平行方向に小ストローク運動するＸ３テーブル３
５より成９．その上方にはフィルター３６を基盤目状区
画に多数個収納するフィルターマガジン３７が載置され
ている。

３８はフィルター保持アームであり、先端の下面にはフ
ィルター１６を真空吸着する吸着面と・フィルター位置
合わせマーク２０Ｌ、２ＯＲの該当個所ののぞき穴３９
を２個有し、水平面内をＹ軸に平行方向に運動可能でそ
の先端位置は、フィルターマガジン３７上の第１点と・
素子１４上の第２点と、素子１４上からフィルターマガ
ジン３７と逆方向に逃げた位置の第３点の３個所にて定
位置停止可能である０ ４０はカメラテーブルであり、下方よりＸ軸に平行な方
向に運動するＸ２テーブル４１と、Ｙ軸に平行な方向に
運動するＹ２テーブル４２と、Ｘ軸に平行な方向に運動
するＸ２テーブル４３より成ｐ、Ｚ２テーブルには、ｃ
ａｒ：ｖカメラを有する焦点検出装置付顕微鏡４６が取
付けられておりＹ２テーブル４２上のブラダ・シト４６
には、顕微鏡対物レンズ４４をはさんで・接着剤滴下装
置４７と、紫外線照射具４８が取り付けられており、紫
外線照射具４８には・シャ１ターを有する水銀灯具４９
より光ファイバー５０を経て、紫外線が導かれている。

第６図はαβテーブル３１の詳細図であシ、素子取付治
具２５は１球面軸体５１に取付けられており１球面軸体
５１は球面軸受５２に支承されていて、その球心Ｏを通
りＹ軸に平行な軸線上に回り止めどン６３を有し・回り
止めどン６３は球面軸受６２の回り止め溝に係合してい
る。球面軸体６１の下方には・四角柱が形成されており
、その２面はそれぞれＸ軸に平行な方向とＹ軸に平行な
方向にて先端が球面のマイクロメータ５４，５５のスピ
ンドルに接し・他２面はバネ５６，５７により押圧され
ていて、さらにバネ６８により球面軸受５２に対し圧接
されて−る。マイクロメーター　６４　、　６５１ｄ、
−’ｃｈＡ：れフーＩＪ呑今シ寄平、！＝ベルト’；’
ｔｏ−、！；（？ｂとプーリ６０．６１を介して、β軸
駆動モータ６２とβ軸駆動モータ６３により駆動される
。

第７図はカメラテーブル４０の２２テーブル４３及び焦
点検出装置付顕微鏡４６の詳細構成を示す。

落射照明装置６４により照明された素子１４の表面模様
の像は対物レンズ４４によりＣＣＴＶカメラ６６の撮像
管上に結ばれるが、途中その先の一部はビームスブリ・
・・ター６６により横方向に取り出され、さらにビーム
スプリッタ−と全反射プリズムの組み合せ６７により直
進光と、より長い光経路の光束として・ＣＣＤラインセ
ンサー６８上に２つの像を結ぶ。

６９は焦点判定装置であり、ＣＣＤラインセンサー６８
上の２つの像のコントラスト差から焦定位置方回を判定
し、モータドライバー７０によりＺ２軸モータ７１を駆
動し、ボールネジ７２により・Ｚ２テーブル４３を上下
動する。ｚ２テーブル４３の高さ位置は変位検出器７３
とカウンター７４により中央制御装置（以下ＣＰＵと略
す）にモニターされるＯｃｃ’ｒｖカメラ６５の画像信
号はカメラコントロールユニット７５ｔ［て、）くター
ンマツチング方式位置読取装置７６とモニターテレビ７
了に送られ１位置読取り結果Ｉ″１ａｐｔｙに伝送され
る〇 以上のように構成された固体撮像素子へのフィルター接
着装置について、以下その動作を説明する。まず素子供
給テーブル２１１Ｌ上の未加工素子２３＆は、突出し装
置（図示せず）により素子供給コンベヤ２ＪｆＬ上に押
し出されて、素子テーブル２６の近くまで運ばれ、その
後素子供給型（図示せず）により・把持されて、素子取
付治具２６上に移載され、下面を真空吸着され固定され
る０次にあらかじめ定めた素子上の３点をτ対し・願４
２を駆動して、焦点検出装置付顕微鏡４６を移動させ、
自動焦点合せ動作を行わせて１合焦点時の２２テーブル
の高さ位置を変位検出器７３とカウンター７４により読
取って、３点のそれぞれの表面高さを測定する。この時
フＩルター保持アーム３８は、対物レンズ４４からは、
逃げ位置にあり・その視野をさまたげなり。

上記３点の座標を第８図に示す如く・Ａ（Ｘｌ。

Ｙｌ）、Ｂ（Ｘ２．Ｙ２　）、（３（Ｘａ、Ｙａ　）と
り。

おのおのの点の高さをＺｌ、Ｚ２．Ｚ３とすると。

素子表面を水平にするためのａ、β軸回転量は次式で示
される。

但し、 上記ａ、β軸回転゛緻計算及びこれに対応するαβ軸駆
動モータ６２，６３の駆動量計算は装置のＣＰＵで行い
、その結果により駆動して素子の傾斜を修正する。続い
て再度表子表面の３点の高さ測定を行い、傾斜が許容値
以下ならば次工程へ進み、許容１厘以上ならば修正・測
定をくり返す。

続いて、Ｘ２・Ｙ２テーブル４１．４２を駆動して第３
図における２つの素子位置合せマーク１８Ｌ。

１８Ｒの近傍に順次焦点検出装置付顕微′ａ４６を移動
させ、Ｘｚ、Ｙｚｆ−７”ｋ（ｉ置と、００ＴＶｉｙメ
ラ６６に写された素子位置合わせマーク１８Ｌ。

１８Ｒの位置読取装置７ｅによる読取結果とから２つの
位置合わせマーク１８Ｌ、１８Ｒの位置座標をＣＰＵが
記憶する。素子位置合わせマーク１ｓＬ、１ａＲの読取
時のカメラテーブル４ｏのｘｙ座標を左マーク１８Ｌの
読取時には（Ｌｌ、Ｍｌ）右マーク’１８Ｈの読取時に
は（Ｌ２．Ｉ２）とし・モニターテレビ７アの中心を原
点として、映った位置合わせマークの読取値Ｘ、Ｙ座標
を・左マーク画面では（△（ｌ　ｌｓ　△ｍｌ）、右マ
ーク画面では（△４２．Δｍ２）とすれば・素子左位置
合わせマーク１８Ｌの座標は−（Ａ？ｔ、ｍｔ）＝（Ｌ
ｔ＋△ｅ１゜Ｍｔ＋△ｍｔ）、右マーク１８Ｈの座標は
（＃２．ｍｚ）：　（Ｌ２　＋へｌｚ、Ｉ２　＋６ｍ２
　）となる。

次に、Ｉ２・Ｙ２テーブル４１．４２を駆動して接着剤
滴下装置４７を素子１４の真上に移動させ、接着剤を定
量素子に滴下しておく０ 続イテ、フィルター保持アーム３８がフィルターマガジ
ン３了上まで前進し、フィルター供給テーブル３２の２
３テーブル３５は小ストローク上昇シて−フィルター３
６の１枚をフィルター保持アーム３８の先端下面に密着
させ・同時にフィルター保持アーム３８内の真空吸着口
が真空吸引されてフィルター１６を保持し・その後Ｚ３
テーブル３５は下降して、Ｉ３．Ｙ３テーブル３３．３
４は次のフィルター３６が供給位置に来るように移動す
る。次にフィルター保持アーム３８は、フィルター１６
が顕微鏡対物レンズ４４の下に来る位置まで移動する。

続いて、焦点検出装置付顕微鏡４５が・第９図ａに示す
如く、フィルタ−１６の下面ノンノルターパターン１ア
に焦点を合わせる動作を行い、続いて２つのフィルター
位置合わせマーク２ＯＬ、２ＯＲの近傍に順次Ｘ２＊Ｙ
２ｆ−プル４１＋’４２を駆動して移動し、　Ｉ２・Ｙ
２テーブル位置とＣＧＴＶカメラ６６に写されたフィル
ター位置合わせマーク２ＯＬ、２ＯＲの位置読取装置７
６による読取結果とから２つのフィルター位置合わせマ
ーク２ＯＬ、２ＯＲの位置座標を（３ＰＵが記憶する。

フィルター位置合わせマーク２ＯＬ、２ＯＲの読取時の
カメラテーブル４０のＸＹ座標を左マーク２０Ｌの読取
時には（Ｉｌ。

Ｊｌ）、右マーク２０Ｒの読取時には（Ｉ２．Ｊ２）と
し、モニターテレビ７７の画面の中心を原点として、映
−だ位置合わせマーク２０Ｌ＠　２ＯＲの明細書の浄書
（内容に変更なし） 位１筺洸取領の座標を左マーク２ＯＬの画面では。

（△ｌｉｅ△ｊ１）、右マーク２０．Ｒの画面では、（
△１２．Δｊ２）とすれば、フィルター位置合わせマー
クの座標は、左マーク２ＯＬは（ｉｘ、ｊｉ）＝（ＩＩ
＋Δｌ　１　＊　Ｊｌ＋Δｊｔ）・右マーク２ＯＲの座
標は、（ｉｚ、　ｊｚ）　＝（１２＋Δｉ２．Ｊｚ＋Δ
ｊ２）となる。

次に固定されているフィルタ−１６に対して・素子１４
を素子テーブル２６を駆動して位置合わせする０位置合
わせは、素子１４及びフィルター１６のそれぞれの位置
合わせマークを結ぶ線分の中点を想定し、この中点を重
ね合わせ、線分の方向を合わせる方法によ−て行う。素
子の線分の中点の下方にｅテーブル２９の回転軸がある
ものとスレハ、ＸＩ　ＩＩＹＩ　＠　ｅｆ　−７’ル２
７＊　２８＋　２９の駆動量ΔＸ・ΔＹ・△ｅは１次式
で表わされ・ＣＰＨによりて計算される。

明細書の浄書（内容に変更なし） 上記の位置合わせを行った後、実際の接着を行う。まず
第９図ａに示す如くフィルタ−１６の下面のフィルター
パターン１７に焦点を合わせていた焦点検出装置付顕微
鏡４６を、第９図すに示す如く屈折Ｘｎの接着剤１６の
厚さをｔとしたい揚土させておき、素子テーブル２６の
Ｚｌテーブル３ｏを焦点判定装置６９に合焦点信号が得
られるまで上昇させて、接着剤１６の厚さをｔとする。

次に素子１４とフィルター１６を精密に位置合せするた
めに−貼り合わせたままの状態でフィルター位置合わせ
マーク２０Ｌ、２ＯＲの中心に対する素子ＩＸｒｔ合わ
せマーク１８Ｌ、１８Ｂの中心のズレ量を左右それぞれ
焦点検出装置付顕微鏡４６を該当位置にカメラテーブル
４ｏを移動させ、かつ焦点位置をフィルターパターン１
７と素子１４の表面の間を往復させて位置読取装置７６
によって読取る。第１０図は位置ズレ量読取の模式図で
あり、素子チップ１４上にフィルター１６が重なってお
り、７８は左マーク読取時のモニターテレビ７７の画面
を示し、フィルター位置合わせマーク２０Ｌの中心に対
し、素子位置合わせマーク１８Ｌの中心は、Ｘ方向に△
ＸＬ、Ｙ方向に△ＹＬだけずれている。７９は右マーク
読取時のモニターテレビ７７の画面を示し、フィルター
位置合わせマーク２ＯＲの中心に対し、素子位置合わせ
マーク１ｓＨの中心は、Ｘ方向に△ＸＲ，Ｙ方向に△Ｙ
Ｒだけずれている。位置合わせは、左右のフィルター位
置合わせアーク２０Ｌｓ２０Ｒの中心を結ぶ線分の中点
Ｐに、左右の素子位置合わせマーク１ｓＬ、１ｓＲの中
心を結ぶ線分の中点Ｑを重ね合せ、線分の方向を合わせ
るように素子テーブル２６のｘｌ・ＹｌｌＩｅテーブル
２７，２８゜２９をそれぞれ−ΔＸｍ、−ΔＹｍ、−△
θｍだとすれば。

△Ｘｍ　＝ ΔＹＬ＋△ＹＲ ΔＹｍ　＝−一一−−−−−− ΔＹＲ−△Ｙｌ。

６６ｍ　＝ し であり、計算は装置のＣＰＨにより行われるＯ続いて再
度２つのフィルター位置合わせマーク２ＯＬ、２ＯＲに
対する素子位置合わせマークＩｇＬ、１８Ｈの位置ズレ
電を測定し１位置ズレ量が許容値以上ならば次工程に逆
み、許容値以上ならば修正ｆｆｉ勅と測定をくり返す。

次工程では必要ならば・素子テーブル４０の２１テーブ
ル３０を微駄上昇させて、接着剤１５の厚さを最小限と
する。

次に［ｄ合わせ済の素子１４とフィルター１６の間を接
着するために゛、右カメラーブル４０のｘ２・Ｙ２テー
ブル４１・４２を駆動して・紫外線照射具４８をフィル
ター保持アーム３８の上方に移動させて、水銀灯具４９
のシャッターを一定時間開いて、紫外線硬化型接着剤１
５を部分的に硬化させる。続いて、フィルター保持アー
ム３８と素子取付治具２６によるフィルター１６及び素
子１４せず）により素子取り出しコンベヤ２４ｂ上に取
り出し、最終的に素子収納テーブル２１１）上の素子整
列マガジン２２ｂ上に加工済素子２３ｂとして収納して
加工を終了する。なお未硬化の接着剤部分については・
後工程の硬化炉にて熱硬化させる０ 本発明の実施例として、フィルター及び素子位置合わせ
マーク２ｏＬ、２ＯＲ，１ｓＬ、１ｓＲは２コづつとし
たが、変形応用例として３コ以上のマークを設け、マー
クを結ぶ多角形の重心位置を重ね合わせ、θ回転方向を
合わせる方法によ−て位置合わせが可能である０また本
発明の実施例の工程順序は、必須の順序ではなく例えば
・接着剤１６の滴下後素子１４の傾斜測定、修正を行っ
たり、フィルター位置合わせマーク２ＯＬ、２ＯＲの読
取シ後素子位置合わせマーク１ｓＬ、１ｓＲの読取りを
行う等の工程順序変更が可能である。

また素子供給コンベヤ２４１％から素子取付治具２５へ
の素子搬送と素子取付治具２５からの素子取出しコンベ
ヤ２４ｂへの素子搬送は素子供給、取り出し爪によるも
のとしたが・かわりにカメラテーブル４０のブラケット
４６に接着剤滴下装置４７と並んで・素子吸着具を設け
、Ｘ２・Ｙ２テーブル”　＊　４２の動作によって素子
１４の搬送を行う事も可能である。また本実施例では一
つのＣＣＴＶカメラ６６と一定倍率の光学系を使用して
いるが対物レンズ４４を通−た光路を２つに分け、一方
にさらに拡大レンズを入れて、２つのｅｅｒｙカメラを
用いるか又は、対物レンズ４４を低倍率と高倍率にレボ
ルバ−等で切替えることにより・最初の位置合わせに好
適な低倍率像と、最終の精密位置合わせに好適な高倍率
像を使用する事が可能であるー 発明の効果 以上のように本発明によれば、焦点検出装置を有する顕
微鏡を可動テーブルに載置し、素子上の３点以上の表面
に対して焦点を合わせる動作をくり返して表面高さを測
定し・これから素子の傾斜角を算出して、素子取付テー
ブルを駆動して、フィルターに対して素子表面を平行に
し、顕微鏡に設けられたｃｃ”ｒ：ｖカメラとこれに結
合された位置読取装置によって、素子及びフィルターの
位置合わせマーク位置を読取シ１位置合わせに必要な素
子テーブル駆動量を計算し位置合わせを行い。

フィルターの素子上への供給に基準面に平行に往復運動
するフィルター保持アームを使用し、接着時には、フィ
ルター下面に焦点を合わせていた顕微鏡を・希望接着剤
層厚さに対し接着剤の屈折率を考慮した距離だけ下げて
おき、接着剤を滴下済の素子を焦点判定装置に合焦点の
信号が得られるまで上昇させて接着し、もし必要ならば
位置合せ後の接着剤１Ｚの圧縮も行ｂ−接着剤の硬化の
ための紫外線照射装置及び、接着剤滴下装置はカメラテ
ーブルのｘ２・Ｙ２テーブル上に取付けられているので
１人手を要せずに短時間で素子を傷つけることも無くフ
ィルターに対し素子を平行にでき素子と７ノルターの位
置ズレ測定と位置合わせも人手を要せず高精度ででき・
素子及びフィルターの自動供給が可能で、接着剤層の厚
さを任意に簀理する事ができ、紫外線照射や接着法滴下
が正確に簡単な装置で実行できるという効果を有し全体
として、従来人手を要する困難な素子へのフィルター接
着作業を全自動化し・素子とフィルターの位置合わせ精
度、平行度も高く接着剤＠台薄いと−う高品質の固体撮
像素子を製作できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の素子へのフィルター接着装置の模式図、
第２図は素子の断面模式図、第３図は素子チップの平面
図、第４図はフィルターの平面図、第５図は本発明の一
実施例の固体撮像素子へのフィルター接着装置の斜視全
体模式図・第６図けα。 βテーブルの斜視図％第７図はカメラテーブル及び焦点
検出装置付顕微鏡の構成原理図、第８図はパルケージ入
シ素子の平面図、第９図は素子へのフィルターの接着状
況を示す断面模式図・１１０１は位置ズレ量読取り原理
図である。 １３・・・・・・バーケージ、１４・・・山素子チップ
。 １５・・・・・・ＷｔＦ剤−１６・旧・・フィルター、
１７・・・・・・フメルターパターン％１８Ｌ＠１ｓＲ
・・・・・・素子位置合わせマーク−２０Ｌ・２ＯＲ・
°・°・・フィルター位置合わせマーク、２６・・・・
・・素子取付治具、２６川°０°素子テーブル、２７°
゛９…ｘ１テーブル＋２８・・・・・・Ｙｌテーブル、
２９・・・・・・ｅテーブル＋３０・・・−Ｚｌ　テー
フ゛ル・　３１　・・・・・・　・　、　βテーフ’ｙ
、、３２°０パ０フノルターテーブル＋３７……フノル
ターマカシン、３８・・・・・・フィルター保持アーム
・４０−°・・カメラテーブル、４１１”°°ｘ２テー
ブル、４２＝　−Ｙ　２テーブル、４３・・・・・・Ｚ
２テーブル、４４　””・・・顕微鏡対物レンズ、４６
・・・川魚点検出装置付顕微鏡・４７−−−−°“接着
剤滴下装置、４８・・・・・・紫外線照射具、６５・・
・・・・ｃａＴｖカメラ、６８・・・・・・ＣＯＤライ
ン七ンｆ−５６９″・・パ″焦点判定装置、７６・・・
・・・位置読取装置、７７・・・・・・モニターＴＶ。 代理人の氏名　弁理士　中　尾敏　男　を師か１名。 第１図 第３図 第４図 第　５　図 第６図 第７図 第８図 ／４ 第９図 （々］（、。 第１０図 手続補正書口式） ％式％ １事件の表示 昭和６９年特許願第　１７３１６号 ２発明の名称 固体撮像素子へのフィルター接着方法及びその装置３補
正をする者 事件との門係　特　許　出　願　人 任　所　大阪府門真市大字門真１００６番地名　称　（
５８２）松下電器産業株式会社代表者　山　下　俊　彦 ４代理人　〒５７１ 住　所　大阪府門真市太字門真１００６番地松下電器産
業株式会社内 ７、補正の内容 明細書の第１３頁、第１４頁、第１７頁、第１８頁及び
ｆｆ１２０頁會別紙の通り補正いたします。 （明細書の浄書（内容に変更なし））

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）素子上の３点以上の表面に対して、焦点検出装置
   付顕微鏡を順次移動させつつ、自動焦点動作を行わせ・
   顕微鏡鏡筒の移動量より上記３点以上の表面高さを測定
   する工程と、前記工程にて得られた表面高さよυ・素子
   表面の傾斜量を算出して、素子表面がフィルター下面に
   対し平行になるように素子テーブルの２つの傾斜制御軸
   （α、β軸）を駆動する工程と、素子上の２点以上の位
   置合せマーク位置を順次、顕微鏡に位置座標とよりめる
   工程と、素子表面に対し接着剤を滴下する工程と・フィ
   ルター保持アームによシフイルターを吸着して顕微鏡下
   に供給する工程と、フィルター上の２点以上の位置合せ
   マーク位置を順次顕微鏡に取り付けたテレビカメラとこ
   れに結合された位置読取装置と、顕微鏡を取付けたテー
   ブルの位置座標とよ請求める工程と・前記工程にて得ら
   れた素子とフィルターの位置合わせマークの位置座標よ
   り・固定したフィルターに対し・素子位置を素子テーブ
   ルの３つの位置制御軸を駆動して位置合わせする工程と
   、フィルターに対し、素子テーブルの高さ制御軸（Ｚ合
   焦点の信号が得られるまで素子を上昇させて接゛着する
   工程と・素子及びフィルターの対応する２点以上の位置
   合わせマークの相互のズレ量を顕微鏡に取付けたテレビ
   カメラとこれに結合された位置読取装置により読み取る
   工程と・前記工程において得られた素子とフィルターの
   位置合わせマークのズレ量より、素子テーブルの３つの
   平面位置制御軸の駆動量を計算して、精密位置合わせ駆
   動する工程と、必要ならば、フィルターと素子の間隔を
   圧縮するように素子テーブルの高さ制御軸を駆動する工
   程と、フィルター保持アーム上に、紫外線照射装置を位
   置させて、フィルターと素子間の紫外線硬化型接着剤を
   硬化させる工程とより成る固体撮像素子へのフィルター
   吸着部法。
2. （２）　素子を載置する治具を有し、基準平面に平行な
   位置合せ運動を行う３つの位置制御軸及び、高さ制御軸
   及び２つの直交する傾斜制御軸を有する素子テーブルと
   、この素子テーブルの近傍にあって基準平面に平行なフ
   ィルター吸着面を有し、基準平面に平行な一方向運動を
   行い、フィルター吸着部がフィルター供給場所と顕微鏡
   の下にて停止可能ナフメルター保持アームと、素子及び
   フィルターの表面上のマークを観察するテレビカメラ及
   び焦点検出装置付顕微鏡と、テレビカメラに接続され、
   映し出された素子及びフィルター上の位置合わせマーク
   の位置読取シを行う位置読取装置と、素子テーブルの近
   傍にら−で焦点検出装置付顕微鏡を載置し、基準平面に
   平行な面内を２軸の位置決め運動を行うカメラテーブル
   と、カメラテーブル上に載置された接着剤塗付装置及び
   紫外線照射装置と、素子テーブルに素子を供給し・また
   接着済素子を取り出す素子供給取り出し装置と、フィル
   ター供給場所にフメルターを供給するフィルター供給装
   置と、上記のすべての制御軸を数値制御駆動する装置と
   、全体を統括制御する中央制御装置とより成る固体撮像
   素子へのフィルター接着装置。