JPH0640576B2 - 固体撮像素子へのフイルタ−接着方法及びその装置 - Google Patents

固体撮像素子へのフイルタ−接着方法及びその装置

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JPH0640576B2
JPH0640576B2 JP59017316A JP1731684A JPH0640576B2 JP H0640576 B2 JPH0640576 B2 JP H0640576B2 JP 59017316 A JP59017316 A JP 59017316A JP 1731684 A JP1731684 A JP 1731684A JP H0640576 B2 JPH0640576 B2 JP H0640576B2
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正樹 鈴木
善一郎 田渕
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はビデオカメラ用固体撮像素子の組立工程におけ
る素子への色分解フィルター又は、遮光フィルター等の
接着方法及び装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来の撮像素子へのフィルター接着方法及び装置は第1
図にその構成を示すように、パッケージ1に納められた
撮像素子チップ2の上に接着剤3を滴下し、その上方
に、カラーパターン4を有するフィルター5を、微動機
構6a及び6bを有するフィルターホルダー7により支
持し、さらにその上方に、素子2及びフィルター5のそ
れぞれ2つの位置合わせマークに対応する2つの対物レ
ンズ8を有する顕微鏡9を設け、人がこれを目視しなが
ら顕微鏡微動機構10a及び10bとフィルター微動機
構6a及び6bと、撮像素子微動機構11を手動操作し
つつ接着位置合せを行うものであり、人手を要しかつ多
大な時間を要する非能率なものであった。また第1図の
装置においては、およその位置合せ接着の後に、フィル
ター5を介して撮像素子2に光を照射し、撮像素子2の
出力信号を取り出し、該信号の変調度の最大点をカメラ
コントロールユニット12aと波形モニタ12bと画像
モニタ12cにより検出しつつ、フィルター微動機構6
b又は撮像素子微動機構11を操作して最終位置合わせ
を行うものであるが、人手を要する作業である事にかわ
りは無いものであった。さらに、撮像素子チップ2の上
面はパッケージ1の底面に対し、許容値以上に傾斜して
いる事が多く、何らかの手段で、フィルター5の下面に
対し撮像素子チップ2の上面を平行にする事が接着前又
は接着中に必要であり、通常このための操作は顕微鏡に
素子全表面が焦点が合うように素子を傾斜修正するか、
フィルターに一旦素子接着剤をはさんで押圧する事によ
り行われるのでこの操作に多大な時間を要する難点があ
った。
発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み、人手を要せずに高能率・高精
度で撮像素子にフィルターを接着するための、接着方法
と接着装置を提供するものである。
発明の構成 本発明の固体撮像素子へのフィルター接着方法は、焦点
検出装置を有する顕微鏡を可動テーブルに載置し、素子
上の3点以上の表面に対し焦点を合わせる動作をくり返
して行い、表面高さを測定し、これから素子の傾斜角を
算出して素子取付テーブルを駆動してフィルターに対し
て素子を平行とすることと、素子上の2点以上の位置に
合わせマークに対し順次顕微鏡を移動させつつ焦点を合
わせて、顕微鏡に取り付けられた有線テレビカメラ以下
CCTVカメラと略すとこれに結合された位置読取装置
によりマーク位置を読取り、接着剤滴下後、フィルター
をフィルターアームにより素子上への搬送、保持し、フ
ィルターのマーク位置を素子と同様に読取った後、フィ
ルターに対し、素子の位置合わせを行ったうえで、あら
かじめフィルター下面より所定量下方にその焦点を移動
させた顕微鏡に対しその表面が焦点が合うまで素子テー
ブルを上昇させて、規定量のギャップをもってフィルタ
ーと素子を接着し、その後、素子及びフィルターのそれ
ぞれ対応する2点以上の合わせマークの相互のズレ量を
顕微鏡のCCTVカメラとこれに結合された位置読取り
装置により読み取り位置ズレを修正し、その後フィルタ
ーと素子間に紫外線を照射して両者を一体化するもので
あるので、従来人手に頼っていた非能率な工程を自動化
する事を可能とし、高能率・高精度で処理するという効
果を有するものである。
実施例の説明 以下本発明の一実施例について図を参照しながら説明す
る。第2図は加工対称物である固体撮像素子の断面模式
図であり、13はパッケージ、14は素子チップ(以下
パッケージ入り固体撮像素子チップを素子と略す)、1
5は接着剤、16は下面にフィルターパターン17を有
するガラス製フィルターであり、位置合せ接着は、第3
図に示す素子チップ14の撮像面19の外方に設けられ
た位置合わせマーク18L,18Rに対し、第4図に示
すフィルター16のフィルターパターン17の外方に設
けられた位置合わせマーク20L,20Rを位置合わせ
後接着する事によって行なわれる。
第5図はフィルター接着装置の全体模式図であり21a
は素子供給テーブル、22aは素子整列マガジン、23
aは未加工素子、24aは素子供給コンベヤ、25は素
子取付治具、24bは素子取り出しコンベヤ、21bは
素子収納テーブル、22bは素子整列マガジン、23b
は加工剤素子である。素子取付治具25は、素子テーブ
ル26に取付けられており、素子テーブル26は、下方
より、素子14の長手方行なX軸方向に運動するX
ーブル27と、X軸に直角なY軸方向に運動するY1
ーブル28と、X軸及びY軸に直角なZ軸を中心として
回転運動するθテーブル29と、Z軸方向に運動するZ
1テーブル30と、それぞれY軸とX軸に平行なα軸と
β軸のまわりに揺動可能なα,βテーブル31より成
る。
32はフィルター供給テーブルであり、下方よりX軸に
平行方向に運動するX3テーブル33とY軸に平行方向
に運動するY3テーブル34と、Z軸に平行方向に小ス
トローク運動するZ3テーブル35より成り、その上方
にはフィルター36を基盤目状区画に多数個収納するフ
ィルターマガジン37が載置されている。
38はフィルター保持アームであり、先端の下面にはフ
ィルター16を真空吸着する吸着面と、フィルター位置
合わせマーク20L,20Rの該当個所ののぞき穴39
を2個有し、水平面内をY軸に平行方向に運動可能でそ
の先端位置は、フィルターマガジン37上の第1点と、
素子14上の第2点と、素子14上からフィルターマガ
ジン37と逆方向に逃げた位置の第3点の3個所にて定
位置停止可能である。
40はカメラテーブルであり、下方よりX軸に平行な方
向に運動するX2テーブ41と、Y軸に平行な方向に運
動するY2テーブル42と、Z軸に平行な方向に運動す
るZ2テーブル43より成り、Z2テーブルには、CCT
Vカメラを有する焦点検出装置付顕微鏡45が取付けら
れておりY2テーブル42上のブラケット46には、顕
微鏡対物レンズ44をはさんで、接着剤滴下装置47と、
紫外線照射具48が取り付けられており、紫外線照射具
48には、シャッターを有する水銀灯具49より行ファ
イバー50を経て、紫外線が導かれている。
第6図はαβテーブル31の詳細図であり、素子取付治
具25は、球面軸体51に取付けられており、球面軸体
51は球面軸受52に支承されていて、その求心Oを通
りY軸に平行な軸線上に回り止めピン53を有し、回り
止めピン53は球面軸受52の回り止め溝に係合してい
る。球面軸体51の下方には、四角柱が形勢されてお
り、その2面はそれぞれX軸に平行な方向とY軸に平行
な方向に先端が球面のマイクロメータ54,55のスピ
ンドルに接し、他2面はバネ56,57により押圧され
ていて、さらにバネ58により球面軸受52に対し圧接
されている。マイクロメーター54,55はそれぞれプ
ーリとベルト59a,59bとプーリ60,61を介し
て、α軸駆動モー62とβ軸駆動モータ63により駆動
される。
第7図はカメラテーブル40のZ2テーブル43及び焦
点検出装置付顕微鏡45の詳細構成を示す。落射照明装
置64により照明された素子14の表面模様の像は対物
レンズ44によりCCTVカメラ65の撮像管上に結ば
れるが、途中その光の一部はビームスプリッター66に
より横方向に取り出され、さらにビームスプリッターと
全反射プリズムの組み合せ67により直進先と、より長
い光経路の光束として、CCDラインセンサー68上に
2つの像を結ぶ。
69は焦点判定装置であり、CCDラインセンサー68
上の2つの像のコントラスト差から焦定位置方向を判定
し、モータドライバー70によりZ2軸モータ71を駆
動し、ボールネジ72により、Z2テーブル43を上下
動する。Z2テーブル43の高さ位置は変位検出器73
とカウンター74により中央制御装置(以下CPUと略
す)にモニターされる。CCTVカメラ65の画像信号
はカメラコントロールユニット75を経て、パターンマ
ッチング方式位置読取装置76とモニターテレビ77に
送られ、位置読取り結果はCPUに伝送される。
以上のように構成された固体撮像素子へのフィルター接
着装置について、以下その動作を説明する。まず素子供
給テーブル21a上の未加工素子23aは、突出し装置
(図示せず)により素子供給コンベヤ24a上に押し出
されて、素子テーブル26の近くまで運ばれ、その後素
子供給爪(図示せず)により、把持されて、素子取付治
具25上に移載され、下面を真空吸着され固定される。
次にあらかじめ定めた素子上の3点に対し、順次カメラ
テーブル40のX2・Y2テーブル41・42を駆動し
て、焦点検出装置付顕微鏡45を移動させ、自動焦点合
せ動作を行わせて、合焦点時のZ2テーブルの高さ位置
を変位検出器73とカウンター74により読取って、3
点のそれぞれの表面高さを測定する。この時フィルター
保持アーム38は、対物レンズ44からは、逃げ位置に
あり、その視野をさまたげない。
上記3点の座標を第8図に示す如く、A(X1,Y1)、
B(Y2,Y2)、C(X3,Y3)とし、おのおのの点の
高さをZ1,Z2,Z3とすると、素子表面を水平にする
ためのα,β軸回転量は次式で示される。
又は 但し、 上記α,β軸回転量計算及びこれに対応するαβ軸駆動
モータ62,63の駆動量計算は装置のCPUで行い、
その結果により駆動して素子の傾斜を修正する。続いて
再度素子表面の3点の高さ測定を行い、傾斜が許容値以
下ならば次工程へ進み、許容値以上ならば修正・測定を
くり返す。
続いて、X2・Y2テーブル41,42を駆動して第3図
における2つの素子位置合せマーク18L,18Rの近傍
に順次焦点検出装置付顕微鏡45を移動させ、X2,Y2
テーブル位置と、CCTVカメラ65に写された素子位
置合わせマーク18L,18Rの位置読取装置76によ
る読取結果とから2つの位置合わせマーク18L,18
Rの位置座標をCPUが記憶する。素子位置合わせマー
ク18L,18Rの読取時のカメラテーブル40のXY
座標を左マーク18Lの読取時には(L1,M1)右マー
ク18Rの読取時には(L2,M2)とし、モニターテレ
ビ77の中心を原点として、映った位置合わせマークの
読取値X・Y座標を、左マーク画面では(△l1,△
1)、右マーク画面では(△l2,△m2)とすれば、
素子左位置合わせマーク18Lの座標は、(l1,m1
=(L1+△l1,M1+△m1)、右マーク18Rの座標
は(l2,m2)=(L2+△l2,M2+△m2)となる。
次に、X2・Y2テーブル41,42を駆動して接着剤滴
下装置47を素子14の真上に移動させ、接着剤を定量
素子に滴下しておく。
続いて、フィルター保持アーム38がフィルターマガジ
ン37上まで前進し、フィルター供給テーブル32のZ
3テーブル35は小ストローク上昇して、フィルター3
6の1枚をフィルター保持アーム38の先端下面に密着
させ、同時にフィルター保持アーム38内の真空吸着ロ
が真空吸引されてフィルター16を保持し、その後Z3
テーブル35は下降して、X3,Y3テーブル33,34
は次のフィルター36が供給位置に来るように移動す
る。次にフィルター保持アーム38は、フィルター16
が顕微鏡対物レンズ44の下に来る位置まで移動する。
続いて、焦点検出装置付顕微鏡45が、第9図aに示す
如く、フィルター16の下面のフィルターパターン17
に焦点を合わせる動作を行い、続いて2つのフィルター
位置合わせマーク20L,20Rの近傍に順次X2・Y2
テーブル41,42を駆動して移動し、X2・Y2テーブ
ル位置とCCTVカメラ65に写されたフィルター位置
合わせマーク20L,20Rの位置読取装置76による
読取装置とから2つのフィルター位置合わせマーク20
L,20Rの位置座標をCPUが記憶する。フィルター
位置合わせマーク20L,20Rの読取時のカメラテー
ブル40のXY座標を左マーク20Lの読取時には(I
1,J1)、右マーク20Rの読取時には(I2,J2)と
し、モニターテレビ77の画面の中心を原点として、映
った位置合わせマーク20L,20Rの 上記の位置合わせを行った後、実際の接着を行う。まず
第9図aに示す如くフィルター16の下面のフィルター
パターン17に焦点を合わせていた焦点検出装置付顕微
鏡45を、第9図bに示す如く屈折率nの接着剤15の
厚さをtとしたい場合には、Z2テーブル43をt/n
だけ下降させて停止させておき、素子テーブル26のZ
1テーブル30を焦点判定装置69に合焦点信号が得ら
れるまで上昇させて、接着剤15の厚さをtとする。
次に素子14とフィルター16を精密に位置合せするた
めに、貼り合わせたままの状態でフィルター位置合わせ
マーク20L,20Rの中心に対する素子位置合わせマ
ーク18L,18Rの中心のズレ量を左右それぞれ焦点
検出装置付顕微鏡45位置読取値の座標を左マーク20L
の画面では、(△i1,△ji)、右マーク20Rの画面
では、(△i2,△j2)とすれば、フィルター位置合わ
せマークの座標は、左マーク20Lは(i1,j1)=
(I1+△i1,J1+△j1)、右マーク20Rの座標
は、(i2,j2)=(I2+△i2,J2+△j2)とな
る。
次に固定されているフィルター16に対して、素子14
を素子テーブル26を駆動して位置合わせする。位置合
わせは、素子14及びフィルター16のそれぞれの位置
合わせマークを結ぶ線分の中点を想定し、この中点を重
ね合わせ、線分の方向を合わせる方法によって行う。素
子の線分の中点の下方にθテーブル29の回転軸がある
ものとすれば、X1・Y1・θテーブル27,28,29
の駆動量△X・△Y・△θは、次式で表わされ、CPU
によって計算される。
を該当位置にカメラテーブル40を移動させ、かつ焦点
位置をフィルターパターン17と素子14の表面の間を
往復させて位置読取装置76によって読取る。第10図
は位置ズレ量読取の模式図であり、素子チップ14上に
フィルター16が重なっており、78は左マーク読取時
のモニターテレビ77の画面を示し、フィルター位置合
わせマーク20Lの中心に対し、素子位置合わせマーク
18Lの中心は、X方向に△XL,Y方向に△YLだけ
ずれている。79は右マーク読取時のモニターテレビ7
7の画面を示し、フィルター位置合わせマーク20Rの
中心に対し、素子位置合わせマーク18Rの中心は、X
方向に△XR、Y方向に△YRだけずれている。位置合
わせは、左右のフィルター位置合わせマーク20L,2
0Rの中心を結ぶ線分の中点Pに、左右の素子位置合わ
せマーク18L,18Rの中心を結ぶ線分の中点Qを重
ね合せ、線分の方向を合わせるように素子テーブル26
のX1・Y1・θテーブル27,28,29をそれぞれ−
△Xm,−△Ym,−△θmだけ駆動して行う。ここで
左右のマーク間距離をLとすれば、 であり、計算は装置のCPUにより行われる。続いて再
度2つのフィルター位置合わせマーク20L,20Rに
対する素子位置合わせマーク18L,18Rの位置ズレ
量を測定し、位置ズレ量が許容値以下ならば次工程に逆
み、許容値以上ならば修正駆動と測定をくり返す。
次工程で必要ならば、素子テーブル40のZ1テーブル
30を微量上昇させて、接着剤15の厚さを最小限とす
る。
次に位置合わせ済の素子14とフィルター16の間を接
着するために、カメラテーブル40のX2・Y2テーブル
41・42を駆動して、紫外線照射具48をフィルター
保持アーム38の上方に移動させて、水銀灯具49のシ
ャッターを一定時間開いて、紫外線硬化型接着剤15を
部分的に硬化させる。続いて、フィルター保持アーム3
8と素子取付治具25によるフィルター16及び素子1
4の真空吸着を解き、フィルター保持アーム38を逃げ
位置に移動させた後、素子14を素子取り出し爪(図示
せず)により素子取り出しコンベヤ24b上に取り出
し、最終的に素子収納テーブル21b上の素子整列マガ
ジン22b上に下降済素子23bとして収納して加工を
終了する。なお未硬化の接着剤部分については、後工程
の硬化炉にて熱硬化させる。
本発明の実施例として、フィルター及び素子位置合わせ
マーク20L,20R,18L,18Rは2コづつとし
たが、変形応用例として3コ以上のマークを設け、マー
ク結ぶ多角形の重心位置を重ね合わせ、θ回転方向を合
わせる方法によって位置合わせが可能である。また本発
明の実施例の工程順序は、必須の順序ではなく例えば、
接着剤15の滴下後素子14の傾斜測定、修正を行った
り、フィルター位置合わせマーク20L,20Rの読取
り後素子位置合わせマーク18L,18Rの読取りを行
う等の工程順序変更が可能である。また素子供給コンベ
ヤ24aから素子取付治具25への素子搬送と素子取付
治具25からの素子取出しコンベヤ24bへの素子搬送
は素子供給、取り出し爪によるものとしたが、かわりに
カメラテーブル40のブラケット46に接着剤滴下装置
47と並んで、素子吸着具を設け、X2・Y2テーブル4
1,42の動作によって素子14の搬送を行う事も可能
である。また本実施例では一つのCCTVカメラ65と
一定倍率の光学系を使用しているが対物レンズ44を通
った光路を2つに分け、一方にさらに拡大レンズを入れ
て、2つのCCTVカメラを用いるか又は、対物レンズ
44を低倍率と高倍率にレボルバー等で切替えることに
より、最初の位置合わせに好適な低倍率像と、最終の精
密位置合わせに好適な高倍率像を使用する事が可能であ
る。
発明の効果 以上のように本発明によれば、焦点検出装置を有する顕
微鏡を可動テーブルに載置し、素子上の3点以上の表面
に対して焦点を合わせる動作をくり返して表面高さを測
定し、これから素子の傾斜角を算出して、素子取付テー
ブルを駆動して、フィルターに対して素子表面を平行に
し、顕微鏡に設けられたCCTVカメラトとこれに結合
された位置読取装置によって、素子及びフィルターの位
置合わせマーク位置を読取り、位置合わせに必要な素子
テーブル駆動量を計算し位置合わせを行い、フィルター
の素子上への供給に基準面に平行に往復運動するフィル
ター保持アームを使用し、接着時には、フィルター下面
に焦点を合わせていた顕微鏡を、希望接着剤層厚さに対
し接着剤の屈折率を考慮した距離だけ下げておき、接着
剤を滴下済の素子を焦点判定装置に合焦点の信号が得ら
れるまで上昇させて接着し、もし必要ならば位置合せ後
の接着剤層の圧縮も行い、接着剤の硬化のための紫外線
照射装置及び、接着剤滴下装置はカメラテーブルのX2
・Y2テーブル上に取付けられているので、人手を要せ
ずに短時間で素子を傷つけることも無くフィルターに対
し素子を平行にでき素子とフィルターの位置ズレ測定と
位置合わせも人手も要せず高精度ででき、素子及びフィ
ルターの自動供給が可能で、接着剤層の厚さを任意に管
理する事ができ、紫外線照射や接着剤滴下が正確に簡単
な装置で実行できるという効果を有し全体として、従来
人手を要する困難な素子へのフィルター接着作業を全自
動化し、素子とフィルターの位置合わせ精度、平行度も
高く接着剤層も薄いという高品質の固体撮像素子を製作
できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の素子へのフィルター接着装置の模式図、
第2図は素子の断面模式図、第3図は素子チップの平面
図、第4図はフィルターの平面図、第5図は本発明の一
実施例の固体撮像素子へのフィルター接着装置の斜視全
体模式図、第6図はα,βテーブルの斜視図、第7図は
カメラテーブル及び焦点検出装置付顕微鏡の構成原理
図、第8図はパッケージ入り素子の平面図、第9図は素
子へのフィルターの接着状況を示す断面模式図、第10
図は位置ズレ量読取り原理図である。 13……パッケージ、14……素子チップ、15……接
着剤、16……フィルター、17……フィルターパター
ン、18L・18R……素子位置合わせマーク、20L
・20R……フィルター位置合わせマーク、25……素
子取付治具、26……素子テーブル、27……X1テー
ブル、28……Y1テーブル、29……θテーブル、3
0……Z1テーブル、31……α・βテーブル、32…
…フィルターテーブル、37……フィルターマガジン、
38……フィルター保持アーム、40……カメラテーブ
ル、41……X2テーブル、42……Y2テーブル、43
……Z2テーブル、44……顕微鏡対物レンズ、45…
…焦点検出装置付顕微鏡、47……接着剤滴下装置、4
8……紫外線照射具、65……CCTVカメラ、68…
…CCDラインセンサー、69……焦点判定装置、76
……位置読取装置、77……モニターTV。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】素子上の3点以上の表面に対して、焦点検
    出装置付顕微鏡を順次移動させつつ、自動焦点動作を行
    わせ、顕微鏡鏡筒の移動量より上記3点以上の表面高さ
    を測定する工程と、前記工程にて得られた表面高さよ
    り、素子表面の傾斜量を算出して、素子表面がフィルタ
    ー下面に対し平行になるように素子テーブルの2つの傾
    斜制御軸(α、β軸)を駆動する工程と、素子上の2点
    以上の位置合せマーク位置を順次、顕微鏡に取り付けた
    テレビカメラと、これに結合された位置読取装置と、顕
    微鏡を取付けたテーブルの位置座標とより求める工程
    と、素子表面に対し接着剤を滴下する工程と、フィルタ
    ー保持アームによりフィルターを吸着して顕微鏡下に供
    給する工程と、フィルター上の2点以上の位置合せマー
    ク位置を順次顕微鏡に取り付けたテレビカメラとこれに
    結合された位置読取装置と、顕微鏡を取付けたテーブル
    の位置座標とより求める工程と、前記工程にて得られた
    素子とフィルターの位置合わせマークの位置座標より、
    固定したフィルターに対し、素子位置を素子テーブルの
    3つの位置制御軸を駆動して位置合わせする工程と、フ
    ィルターに対し、素子テーブルの高さ制御軸(Z軸)を
    駆動して、フィルター下面より所定量下方にその焦点を
    移動させた顕微鏡の自動焦点装置に合焦点の信号が得ら
    れるまで素子を上昇させて接着する工程と、素子及びフ
    ィルターの対応する2点以上の位置合わせマークの相互
    のズレ量を顕微鏡に取付けたテレビカメラとこれに結合
    された位置読取装置により読み取る工程と、前記工程に
    おいて得られた素子とフィルターの位置合わせマークの
    ズレ量より、素子テーブルの3つの平面位置制御軸の駆
    動量を計算して、精密位置合わせ駆動する工程と、必要
    ならば、フィルターと素子の間隔を圧縮するように素子
    テーブルの高さ制御軸を駆動する工程と、フィルター保
    持アーム上に、紫外線照射装置を位置させて、フィルタ
    ーと素子間の紫外線硬化型接着剤を硬化させる工程とよ
    り成る固体撮像素子へのフィルター接着方法。
  2. 【請求項2】素子を載置する治具を有し、基準平面に平
    行な位置合せ運動を行う3つの位置制御軸及び、高さ制
    御軸及び2つの直交する傾斜制御軸を有する素子テーブ
    ルと、この素子テーブルの近傍にあって基準平面に平行
    なフィルター吸着面を有し、基準平面に平行な一方向運
    動を行い、フィルター吸着部がフィルター供給場所と顕
    微鏡の下にて停止可能なフィルター保持アームと、素子
    及びフィルターの表面上のマークを観察するテレビカメ
    ラ及び焦点検出装置付顕微鏡と、テレビカメラに接続さ
    れ、映し出された素子及びフィルター上の位置合わせマ
    ークの位置読取りを行う位置読取装置と、素子テーブル
    の近傍にあって焦点検出装置付顕微鏡を載置し、基準平
    面に平行な面内を2軸の位置決め運動を行うカメラテー
    ブルと、カメラテーブル上に載置された接着剤塗布装置
    及び紫外線照射装置と、素子テーブルに素子を供給し、
    また接着済素子を取り出す素子供給取り出し装置と、フ
    ィルター供給場所にフィルターを供給するフィルター供
    給装置と、上記のすべての制御軸を数値制御駆動する装
    置と、全体を統括制御する中央制御装置とより成る固体
    撮像素子へのフィルター接着装置。
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