JPS60154894A - レ−ザ−光を用いた加工装置における加工ヘツド - Google Patents

レ−ザ−光を用いた加工装置における加工ヘツド

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JPS60154894A
JPS60154894A JP59010949A JP1094984A JPS60154894A JP S60154894 A JPS60154894 A JP S60154894A JP 59010949 A JP59010949 A JP 59010949A JP 1094984 A JP1094984 A JP 1094984A JP S60154894 A JPS60154894 A JP S60154894A
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JP
Japan
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plasma
processing
laser light
processing head
laser beam
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JP59010949A
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English (en)
Inventor
Yoshihide Kanehara
好秀 金原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1423Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the flow carrying an electric current

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、レーザー光を用いた加工装置における加工
ヘッドに関するものである。
〔従来技術〕
従来、この種の装置として、第1図に示すものが知られ
ている。第1図において、符号(1)は加工ヘッドであ
り、該加工ヘッドにはレンズ(2)が設けられ、該レン
ズによりレーザー光(3)が集光され、これが被加工材
(4)の表面に照射される。また、アルゴン、ヘリウム
、蒙素、水素、酸素等の加工ガス(5)が上記の加工ヘ
ッド(υ内に送りこまれるように構成されている。この
加工ガス(5)は、加工ヘッド(1)のノズルから上記
のレーザー光(3)と共に同軸状に吹き出され、このレ
ーザー光(3)および加工ガス(5)により、被加工拐
(4)が切断、溶接、焼ト入れまたけ溶射等のように加
工される。
従来のレーザー光を用いた加工装置は上記したような構
成を有するので、被加工材(4)として、厚いものまた
はレーザー光(3)を反射する高融点材料等の加工が困
艶な材料を用いた場合には、上記のように集光したレー
ザー光(3)では加工能力が不足するという欠点が、ち
った。このため、強力なレーザー光を得ようとすると、
出力の大きなレーザー発振器を必要とするという欠点が
あった。因みに出力の大きなレーザー発振器は高価であ
り、また強力なレーザー光を用いると該レーザー光によ
りし/ズ(2)が焼損することもある。
〔発明の概要〕
この発明は上記した従来のものの欠点を除去するもので
、レーザー光をし/ズにより集光し、アルゴン、ヘリウ
ム、窒素、水素、酸素等の加工ガスを上記のレーザー光
と同軸状に吹き出し、被加工材の切断、浴接、焼き入れ
、溶射等の加工を行うレーザー光を用いた加工装置にお
ける加工ヘッドにおいて、該加工ヘッド内に′電極を設
け、該電極に′電圧を印加することにより放電を生ぜし
め、該放電により上記の加工ガスを高温のプラズマとな
し、該プラズマ状の加工ガスを上記レーザー光と同軸状
に吹き出すようになし、これにより、加工能力を飛躍的
に向上させることがでさるよう圧したレーザー光を用い
た加工装置における加工へ”ラドを提供するものである
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第2
図において、上記した第1図と同一符号は同一または相
当部分を示すので、その詳しい説明は省略する。符号(
6)は絶縁体、(7)は電極、(8)は直流電源、0(
車は加工ガス、(11)はノズル、0諺は加工ガス、α
1け冷却水、O脅は鉄捷たは鉄の化合物の粉末を示すも
のである。
上記の市、極(7)と加工ヘッド(1)間には直流電源
(8)から直流電圧が印加され、これにより放電(9)
が生じ、この放電により加工ガス01が高温のプラズマ
に変換される。このプラズマ状の加工ガスはノズル0優
でレーザー光(3)を吸収してさらに高温となり、レー
ザー光(3)と同軸状にノズルQυから吹き出される。
この高温のプラズマ状の加工ガスは被加工材(4)に吹
きつけられ、またレーザー光(3)は該被加工材に照射
されて該被加工材が加工(切断、溶接、焼き入れ等)さ
れる。
上記の加工ガスa′4は高温のフーラズマがレンズ(2
)に触れないようにするだめのものであり、ガスの流量
は小量であってもよく、また加工ガスα1とは異なるガ
スを用いてもよい。冷却水Q4は加工ヘッド(2)のノ
ズルaυが高温により溶けるのを防止し、かつ上記放電
の熱により加工ヘッド(2)が高温になるのを防止する
ものである。
上記のように高温のプラズマを用いることにより、レー
ザー光(3)のみ(プラズマ状ではない加工カスを用い
る場合を含む)による加工の場合に比較して、加工能力
は飛躍的に向上する。被加工材(4)を切断する場合を
例にとると、1KWのレーザー光(3)のみにより切断
可能な版厚は、触加工材(4)が鉄板のときには9n1
、ステ/レスのときには6mmが限鹿であるが、上記の
高温プラズマをも用いると、鉄板のときは15罷、ステ
/レスのときには9mの切ルiが可能となっている。ま
た、溶接の場合には、プラズマの熱と噴出圧力により深
情は込み溶接が可能となる。焼き入れ加工の場合には1
0000℃以上の高温のプラズマと、レーザー光(3)
により被加工材(4)でらる金属の表面を焼き入れ加工
することができる。
上記の加工カス叫は加工の種類に応じたものを用いる。
例えば、切断の場合には酸素が望ましく、アルコン、ヘ
リウム、窒素を用いても切断可能である。溶接、焼き入
れ等の場合にはアルゴンまたはヘリウムを用いるのが望
ましい。
第2図に示した実施例では、鉄または鉄の化合物の粉末
Q4をノズルθηの近傍に噴射するようになっているの
で、被加工材(4)がステンレスの場合には、該ステン
レスと上記粉末α喧の鉄とが化合し、これによりステン
レスの粘度が下゛がって切断が容易になると共に、切断
面の面粗度が良くなり、ドロスも少なくなる。
上述の実施例では、加工として切断、溶接、焼き入れの
場合について説明したが、溶射の場合を第6図に基づい
て説明する。第6図において、第2図と同一符号は同一
または相当部分を示すので詳細は省略する。符号−はセ
ラミックまたは金属の粉末を示すものであり、該粉末は
ノズルa〃の近傍に噴射される。この粉末(15の噴射
により、被加工材(4)の@ul]には高温の1ラズマ
助により溶融された上記粉末αQが吹きつけられ、被膜
0→が形成さtLル。また、レーザー光(3)により、
被加工材(4)の表面が溶融されるので、粉末四は効率
良く吸着される。
上記実施例では、曲流電源(8)により加工ガスq0を
プラズマとなす放電を得ていたが、第4図に示すように
、交s、 iK 諒により無声放電を得て、これにより
プラズマ状態を作り出すようにしても良い。
第4図においで第2図1たけ第6図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。符号Q場は交流電源、(ホ)は誘
電体を示すものであり、電極として動作する加工ヘッド
(1)の内面はこの訪電体翰により被覆されている。前
記した電極(7)と加工ヘッド(1)との間には上記交
流電源CLhにより交流電圧が印加され、これにより無
声放電0!1が発生している。この無声放電α9により
前記放電(9Jの場合と同様に加工ガス叫がプラズマ状
態と々す、上記第2図″または第6図で説明した実施例
と同様の効果を捷する。同、訪′亀体…により、加工ヘ
ッド(1)の内il[IJを被覆するのに代え、市、極
(7)を被膜してもよい。また、上月己の誘電体−とし
ては、ガラス、チタン酸バリウム、酸化チタン得・を用
いることができる。
〔兄り」の効果〕
この〉れ明は上記したように、レータ−光をレンズによ
り集光し、アルゴン、ヘリウム、窒素、水素、酸素等の
加工ガスを上記のレーザー光と同軸状に吹き出し、被加
工材の切断、溶接、焼き入れ、溶射等の加工を行うレー
ザー光を用いた加工装置における加工ヘッドにおいて、
該加工ヘッド内に電極を設け、該電極に直流電源または
交流電源からの電圧を印加することにより放電(放電9
または無声放電19)を生ぜしめ、該放電により上記の
加工ガスを高温のプラズマとなし、該プラズマ状の加工
ガスを上記レーザー光と同軸状に吹き出すようにしたか
ら、従来のようにレーザー光およびプラズマ状態ではな
い加工ガスを用いた加工の#Jj台に比べて、被加工材
の切断、溶接、焼き入れ、溶射等の加工能力を飛躍的に
向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1b4は従来のレーデ−光を用いた加工装置を示す断
面図、第2図はこの発明の一実施例を示すレーザー光を
用いた加工装置の断面図、第6図および第4図はそれぞ
れ異なる他の実施例を示すし一ザー光を用いた加工装置
の断11μmである。 1:加工ヘッド、2:レンズ、6:レーザー光、4:被
加工材、7:電極、8:直流電源、9:放電、10:加
工ガス、11:ノズル、18:交流電源、19:無声放
電。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人弁理士 木 村 三 朗 第1図 3 第2巴 第3図 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 レーザー光と同軸状に吹き出し、被加工材の切断、溶接
    、焼き入れ、溶射等の加工を行うレーザー光を用いた加
    工装置における加工ヘッドにおいて、該加工ヘッド内に
    電極を設け、さらに、該電極に電圧を印加することによ
    り放電を生ぜしめ、該放電により上記の加工カスを高温
    のプラズマとする手段を41シ、該プラズマ状の加工ガ
    スを上記レーザー光と同軸状に吹き出すようにしたこと
    を特徴とするレーザー光を用いた加工装置における加工
    ヘッド。 (2)電極の少なくとも一方を誘電体で被榎し、該誘電
    体に交流電圧を印加しで無声放′亀を生ぜしめるように
    したことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のレ
    ーザー光を用いた加工装置における加工ヘッド。 (3)加工ヘッドのプラズマを吹き出すノズル部分にお
    いて、鉄または鉄の化合物の粉末を噴射して上記のプラ
    ズマと共に吹き出し、ステンレスよりなる被加工材を切
    断加工するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
    第1項に記載のレーザー光を用いた加工装置における加
    工ヘッドっ(4)加工ヘッドのプラズマを吹き出すノズ
    ル部分において、セラミックスまたは金属の粉末を噴射
    して上記のプラズマと共に吹き出し、溶射を行うことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のレーザー光を
    用いた加工装置における加工ヘッド。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7319205B2 (en) * 2005-08-05 2008-01-15 Honda Motor Co., Ltd. Laser welding method and device
CN107584209A (zh) * 2016-07-08 2018-01-16 京东方科技集团股份有限公司 激光切割装置
DE102018205906A1 (de) * 2018-04-18 2019-10-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung, die zum Laserstrahlschneiden ausgebildet ist und ein Verfahren zum Laserstrahlschneiden

Cited By (4)

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