JPS60154448A - イオン源 - Google Patents
イオン源Info
- Publication number
- JPS60154448A JPS60154448A JP59009720A JP972084A JPS60154448A JP S60154448 A JPS60154448 A JP S60154448A JP 59009720 A JP59009720 A JP 59009720A JP 972084 A JP972084 A JP 972084A JP S60154448 A JPS60154448 A JP S60154448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- reaction gas
- ions
- ionization chamber
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は質量分析装置等に用いられるイオン源に関し、
特に化学イオン化（ＣＩ）イオン源に関Ｊる一ｂのであ
る。
特に化学イオン化（ＣＩ）イオン源に関Ｊる一ｂのであ
る。
従来のＣｌイＡン源の構造を第１図に示す。図において
１はイオン源外壁、２はイオン化室で、該イオン化室内
には導入管３．４を介して反応ガス及び試料ガスが夫々
導入されると共に、内部は化学イオン化に最適な例えば
ＩＴｏｒｒ程度の圧力に保たれる。５は電子導入口で、
フィラメント６から発生した電子が該尋人口５を介して
イオン化室内へ導入される。そして、導入された電子に
より先ず反応ガスがイオン化され、生成された反応ガス
のイオンと試料分子との間のイオン分子反応により試料
がイオン化され、得られた試料イオンはイオン出射ロア
を介してイオン化室外へ取出される。８は試料イオンを
加速したり収束したりするだめのスリット電極である。
１はイオン源外壁、２はイオン化室で、該イオン化室内
には導入管３．４を介して反応ガス及び試料ガスが夫々
導入されると共に、内部は化学イオン化に最適な例えば
ＩＴｏｒｒ程度の圧力に保たれる。５は電子導入口で、
フィラメント６から発生した電子が該尋人口５を介して
イオン化室内へ導入される。そして、導入された電子に
より先ず反応ガスがイオン化され、生成された反応ガス
のイオンと試料分子との間のイオン分子反応により試料
がイオン化され、得られた試料イオンはイオン出射ロア
を介してイオン化室外へ取出される。８は試料イオンを
加速したり収束したりするだめのスリット電極である。
かかる従来例では、電子尋人口から漏れ出すガスにより
フィラメントが損傷を受参り易く、特に腐蝕性ガスを反
応ガスとして用いた場合や、導入管４を液体クロマトグ
ラフとオンラインで接続し、イオン化室内に大量の１−
１ｇｏが導入される場合などにはそれが激しく、フィラ
メントの寿命が極めて短くなつ（しまい、頻繁に交換し
なければならないという問題があった。
フィラメントが損傷を受参り易く、特に腐蝕性ガスを反
応ガスとして用いた場合や、導入管４を液体クロマトグ
ラフとオンラインで接続し、イオン化室内に大量の１−
１ｇｏが導入される場合などにはそれが激しく、フィラ
メントの寿命が極めて短くなつ（しまい、頻繁に交換し
なければならないという問題があった。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、フィラメ
ントに代えて一次イオン源を設け、該−次イオン源から
のイオンビームを用いて反応ガスをイλ゛ン化すること
により、上記問題点を除くことの（゛ぎるイオン源を提
供Ｊ−ることを目的としている。
ントに代えて一次イオン源を設け、該−次イオン源から
のイオンビームを用いて反応ガスをイλ゛ン化すること
により、上記問題点を除くことの（゛ぎるイオン源を提
供Ｊ−ることを目的としている。
本発明は、イオン化室と、該イオン化室へ試料を導入す
るための手段と、該イオン化室へ反応ガスを導入するた
めの手段と、−次イオン源と、該−次イオン源からの一
次イＡンビームを導入するために上記イオン化室にｉｉ
！【プられた導入口とを備えたことを特徴とし”（いる
。以下、図面を用いて本発明を詳述り゛る。
るための手段と、該イオン化室へ反応ガスを導入するた
めの手段と、−次イオン源と、該−次イオン源からの一
次イＡンビームを導入するために上記イオン化室にｉｉ
！【プられた導入口とを備えたことを特徴とし”（いる
。以下、図面を用いて本発明を詳述り゛る。
第２図は本発明の一実施例の構造を示し、第１図と同一
の構成要素には同一番号がイ］されている。
の構成要素には同一番号がイ］されている。
第２図においＣ９は一次イＡン源で、イオン源外壁１に
開【ノられ／、：ｎ通口を介してイオン源内部へその一
次イオンビーム出射口１０が挿入される。
開【ノられ／、：ｎ通口を介してイオン源内部へその一
次イオンビーム出射口１０が挿入される。
該出射口１０は導入口５′に近接して対向配置されてお
り、該−次イＡン源で生成され出射口１０から高速１衰
で出射するアルゴン等の一次イオンビームは、導入口５
′を介してイオン化室２内へ導入される。この高速イオ
ンと反応ガス分子との衝突により反応ガス分子はイオン
化され、反一応ガス分子のイオンが生成される。この反
応ガス分子イオンと試料分子とのイオン分子反応により
試料がイオン化され、得られた試料イオンはイオン出射
ロアより取出される。
り、該−次イＡン源で生成され出射口１０から高速１衰
で出射するアルゴン等の一次イオンビームは、導入口５
′を介してイオン化室２内へ導入される。この高速イオ
ンと反応ガス分子との衝突により反応ガス分子はイオン
化され、反一応ガス分子のイオンが生成される。この反
応ガス分子イオンと試料分子とのイオン分子反応により
試料がイオン化され、得られた試料イオンはイオン出射
ロアより取出される。
第３図は本発明の他の実施例の構造を示す。本実施例に
おいては、−次イオン源とイオン化室との間に例えばア
ルゴンガスを充満させた衝突室１１を設置し、イオンビ
ームをガス分子と衝突させてイオンから電荷を奪うこと
により、高速の中性粒子ビームに変換し、この高速中性
粒子ビームをηλ口５−を介してイオン化室内へ導入し
、この高速中性粒子ビームの持つエネルギーに上り反応
ガス分子をイＡン化するようにしているっ尚、−次イオ
ン源として、イオンと中性粒子が １混在するビームを
発生するものを用いる場合には、必ずしも衝突室を設り
る必要はないことは言うよでもない。
おいては、−次イオン源とイオン化室との間に例えばア
ルゴンガスを充満させた衝突室１１を設置し、イオンビ
ームをガス分子と衝突させてイオンから電荷を奪うこと
により、高速の中性粒子ビームに変換し、この高速中性
粒子ビームをηλ口５−を介してイオン化室内へ導入し
、この高速中性粒子ビームの持つエネルギーに上り反応
ガス分子をイＡン化するようにしているっ尚、−次イオ
ン源として、イオンと中性粒子が １混在するビームを
発生するものを用いる場合には、必ずしも衝突室を設り
る必要はないことは言うよでもない。
以上詳述の如く、本発明によれば従来のように電子で反
応ガスをイオン化するのではなく、−次イオン源からの
イオンビームによって反応ガスをイオン比重るため、入
射口５′の近傍にフィラメントを配置する必要がなく、
従ってフィラメントの寿命を考虞する必要がない。
応ガスをイオン化するのではなく、−次イオン源からの
イオンビームによって反応ガスをイオン比重るため、入
射口５′の近傍にフィラメントを配置する必要がなく、
従ってフィラメントの寿命を考虞する必要がない。
尚、上記２つの実施例において、試料導入管４から液体
クロマトグラフの流出液を微粒子の状態で導入すれば、
液体クロマトグラフで展開された１試料成分をオンライ
ンでイオン化し、質最分析することか可能である。その
場合、流出液中の溶媒として反応ガスの役目を果すＪ：
うなものを用いれば、導入管３を介して反応ガスをイオ
ン化室に尋人覆る必要はなく、反応ガスの供給を停止゛
りることができる。このように液体クロマトグラフとイ
オン源を直接結合すると、イオン化室内に大量の流出液
が導入され、圧力が高くなり過ぎるので、イオン化室内
を排気する手段を別個に設ければ、イオン化室内を化学
イオン化に最適な圧力に保持することが可能である。
クロマトグラフの流出液を微粒子の状態で導入すれば、
液体クロマトグラフで展開された１試料成分をオンライ
ンでイオン化し、質最分析することか可能である。その
場合、流出液中の溶媒として反応ガスの役目を果すＪ：
うなものを用いれば、導入管３を介して反応ガスをイオ
ン化室に尋人覆る必要はなく、反応ガスの供給を停止゛
りることができる。このように液体クロマトグラフとイ
オン源を直接結合すると、イオン化室内に大量の流出液
が導入され、圧力が高くなり過ぎるので、イオン化室内
を排気する手段を別個に設ければ、イオン化室内を化学
イオン化に最適な圧力に保持することが可能である。
又、ガス状の試料ではなく、液状又は固体状の試料を化
学イオン化でイオン化する場合には、直接試料導入プロ
ーブの先端に該試料を保持し、導入管４を介して該プロ
ーブをイオン化室内に挿入Ｊれば良い。
学イオン化でイオン化する場合には、直接試料導入プロ
ーブの先端に該試料を保持し、導入管４を介して該プロ
ーブをイオン化室内に挿入Ｊれば良い。
第１図は従来のＣＩイオン源の構造を示す図、第２図及
び第３図は夫々本発明の一実施例の構造を示−４図であ
る。 １：イオン源外壁、２：イオン化室、 ３．４：導入管、５′：導入口、 ７：イオン出射口、９ニ一次イオン源、１０ニー次イオ
ンビーム出胴口。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
び第３図は夫々本発明の一実施例の構造を示−４図であ
る。 １：イオン源外壁、２：イオン化室、 ３．４：導入管、５′：導入口、 ７：イオン出射口、９ニ一次イオン源、１０ニー次イオ
ンビーム出胴口。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (2)
- （１）イオン化室と、該イオン化室へ試料を導入づるた
めの手段と、該イオン化室へ反応ガスを導入するための
手段と、−次イオン源と、該−次イオン源からの一次イ
オンビームを尋人するために上記イオン化室に設けられ
た導入口とを備えたことを特徴とするイオン源。 - （２）前記−次イオン源と導入口との閤にイオンビーム
を中性化する手段が設置される特許請求の範囲第１項記
載のイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59009720A JPS60154448A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59009720A JPS60154448A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60154448A true JPS60154448A (ja) | 1985-08-14 |
Family
ID=11728124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59009720A Pending JPS60154448A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60154448A (ja) |
-
1984
- 1984-01-23 JP JP59009720A patent/JPS60154448A/ja active Pending
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