JPS60153021A - 防塵手段 - Google Patents
防塵手段Info
- Publication number
- JPS60153021A JPS60153021A JP916284A JP916284A JPS60153021A JP S60153021 A JPS60153021 A JP S60153021A JP 916284 A JP916284 A JP 916284A JP 916284 A JP916284 A JP 916284A JP S60153021 A JPS60153021 A JP S60153021A
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- thin film
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- transparent conductive
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0203—Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学用機器等透過光により作用を行なう部品
の透明体受光部又は透明体表面の防塵手段に関するもの
である。
の透明体受光部又は透明体表面の防塵手段に関するもの
である。
一般に光学用機器等透過光により作用を行なう部品の受
光部の前面には、例えばCCDにおける受光窓とか複写
機におけるプラテンガラスの如く、板状のガラスとかプ
ラスチ、りから成る透明基板を受光面の保護部材あるい
は支持部材として設ける例が多い。
光部の前面には、例えばCCDにおける受光窓とか複写
機におけるプラテンガラスの如く、板状のガラスとかプ
ラスチ、りから成る透明基板を受光面の保護部材あるい
は支持部材として設ける例が多い。
このよう、にシて用いられる透明基板は、透過する光量
をロスすることな(また画像の形状を正確に通過させな
ければならないので平行平面にしてかつ疵、汚れ、気泡
等のない光学的性能の高い状態に保たれている必要があ
る。
をロスすることな(また画像の形状を正確に通過させな
ければならないので平行平面にしてかつ疵、汚れ、気泡
等のない光学的性能の高い状態に保たれている必要があ
る。
しかるに前述した如くこれらの透明基板はその素材がガ
ラスやプラスチックの非電導体材料であるため長期の使
用に際して空気中の塵埃とか異物との接触によって静電
気を帯電し、これら塵埃や異物を静電的に吸着して除去
し難い状態とするためCOD等の性能を低下させ、使用
中にしばしば清掃を行わなければならない。
ラスやプラスチックの非電導体材料であるため長期の使
用に際して空気中の塵埃とか異物との接触によって静電
気を帯電し、これら塵埃や異物を静電的に吸着して除去
し難い状態とするためCOD等の性能を低下させ、使用
中にしばしば清掃を行わなければならない。
同様にして前記透明基板以外にも光学系を構成するレン
ズ、ミラーやフィルタ等がその素材カガラスやプラスチ
ックであるため帯電による塵埃や異物によって光学的性
能を低下させている場合がある。
ズ、ミラーやフィルタ等がその素材カガラスやプラスチ
ックであるため帯電による塵埃や異物によって光学的性
能を低下させている場合がある。
しかしながら、光学用機器の多くは光密あるいはそれに
準じた構造につくられているので、前述の透明基板を始
めレンズ、ミラー等を度々清掃するの#:tなかなか困
難で多くの労力と時間を要してもなお塵埃や異物の完全
な除去が望めない状況にある。
準じた構造につくられているので、前述の透明基板を始
めレンズ、ミラー等を度々清掃するの#:tなかなか困
難で多くの労力と時間を要してもなお塵埃や異物の完全
な除去が望めない状況にある。
本発明は、透明体受光部に空気中の塵埃や異物が付着す
るのを防止し、もって光量ロスがなく忠実な画像を再現
し得る光学用機器の防塵手段の提供を目的としたもので
ある。
るのを防止し、もって光量ロスがなく忠実な画像を再現
し得る光学用機器の防塵手段の提供を目的としたもので
ある。
本発明は、ガラスあるいはプラスチ、りかも成る透明基
板上に、接地した透明電導性薄膜を形成し、該薄膜によ
って静電気の帯電を防止するよう構成するもので、それ
は、表面を透過する透過光により作用を行なう部品の前
記表面に透明電導性薄膜を設け、該透明電導性薄膜を接
地するようにしたことを特徴とする防塵手段によって達
成される。
板上に、接地した透明電導性薄膜を形成し、該薄膜によ
って静電気の帯電を防止するよう構成するもので、それ
は、表面を透過する透過光により作用を行なう部品の前
記表面に透明電導性薄膜を設け、該透明電導性薄膜を接
地するようにしたことを特徴とする防塵手段によって達
成される。
本発明にXる実施例の一部を第1および第2図に示す。
第1図は本発明をCOD素子をもった集積回、路に応用
した例で、DIPパッケージ1において、COD素子2
の受光窓は、表面を透過する透過光により作用を行なう
部品すなわちガラスあるいはプラスチックから成る透明
基板3に被覆され気密状態に保たれているので直接塵埃
や異物が浸入t7て直接CCD素子2に付着するのは防
止されている。
した例で、DIPパッケージ1において、COD素子2
の受光窓は、表面を透過する透過光により作用を行なう
部品すなわちガラスあるいはプラスチックから成る透明
基板3に被覆され気密状態に保たれているので直接塵埃
や異物が浸入t7て直接CCD素子2に付着するのは防
止されている。
さらに本発明においては、前記透明基板30表面に、透
明電導性薄膜すなわち可視光線に対して透明で電気抵抗
の比較的小さい金や銀の金属薄膜もしくは酸化インジウ
ム系あるいは酸化スズ系の半導体酸化物薄膜を形成1−
該薄膜を導電ペースト4によって結合lまた導電パター
ン5を介してアース端子6と接続させである。
明電導性薄膜すなわち可視光線に対して透明で電気抵抗
の比較的小さい金や銀の金属薄膜もしくは酸化インジウ
ム系あるいは酸化スズ系の半導体酸化物薄膜を形成1−
該薄膜を導電ペースト4によって結合lまた導電パター
ン5を介してアース端子6と接続させである。
か(することにより、前記透明基板30表面は、静電気
による帯電は殆ど防止されるととになるので空気中に浮
遊する塵埃や小異物の静電的な付着は排除され、従って
之等の付着も極めて少なく、またその付着状態も弱くそ
の清掃も容易となるので透明基板の表面は常にクリヤー
で光量をロスせずまた画像の結像も乱されろことなく正
確な映像の再現が可能となる。
による帯電は殆ど防止されるととになるので空気中に浮
遊する塵埃や小異物の静電的な付着は排除され、従って
之等の付着も極めて少なく、またその付着状態も弱くそ
の清掃も容易となるので透明基板の表面は常にクリヤー
で光量をロスせずまた画像の結像も乱されろことなく正
確な映像の再現が可能となる。
なお、前記透明基板上の透明電導性薄膜は真空蒸着やス
バタリング等公知の手段によって容易に形成することが
出来る。
バタリング等公知の手段によって容易に形成することが
出来る。
第2図は複写機の光学機器部品に本発明の防塵手段を適
用した例を示すもので、プラテンカバー13によって圧
着される原稿りの支持部材すなわち表面を透過する透過
光により作用を行う部品として平行平面ガラスからなる
プラテンガラス12は、その下面に前述の透明電導性薄
膜が形成され、リード線nによって接地されている。
用した例を示すもので、プラテンカバー13によって圧
着される原稿りの支持部材すなわち表面を透過する透過
光により作用を行う部品として平行平面ガラスからなる
プラテンガラス12は、その下面に前述の透明電導性薄
膜が形成され、リード線nによって接地されている。
か(することKより前記プラテンガラス12の下面に、
塵埃や小異物が付着1〜難くなり、原稿りの画像面″′
f′なわち下面は、露光ランプ14によって効果的に照
明され、かつ投影レンズ加を介12感元体ドラム凹上に
鮮鋭な静電画像を形成することが出来る。
塵埃や小異物が付着1〜難くなり、原稿りの画像面″′
f′なわち下面は、露光ランプ14によって効果的に照
明され、かつ投影レンズ加を介12感元体ドラム凹上に
鮮鋭な静電画像を形成することが出来る。
なおさらにガラスあるいはグラスチックから成る前記投
影レンズ囚および各ミラー15.17.18.21等の
表面にも前記透明電導性薄膜を施せば、複写機の画質性
能をより向上させるに効果的である。
影レンズ囚および各ミラー15.17.18.21等の
表面にも前記透明電導性薄膜を施せば、複写機の画質性
能をより向上させるに効果的である。
同様にして前記透明電導性薄膜をそれぞれの受光部等表
面を透過する透過光により作用を行なう部品表面に形成
すれば、一般のカメラにおけるレンズ、ミラーやフィル
タ、さらにTVカメラやVTR用カメラ、あるいはTV
受像管、顕微鏡、眼鏡、その他の光学用機器の防塵手段
として極めて有効かつ適切である。
面を透過する透過光により作用を行なう部品表面に形成
すれば、一般のカメラにおけるレンズ、ミラーやフィル
タ、さらにTVカメラやVTR用カメラ、あるいはTV
受像管、顕微鏡、眼鏡、その他の光学用機器の防塵手段
として極めて有効かつ適切である。
本発明は、光学用機器類の受光部に対し、簡単にして極
めて有効な防塵手段を提供することとなり、その結果、
前記光学用機器類における光学系の性能は充分に発揮さ
れることとなった。特に本発明は容易に清掃を行なうこ
とのできない箇所の部品表面に之を行なうことによりよ
り大きな効果を生ずることとなる。
めて有効な防塵手段を提供することとなり、その結果、
前記光学用機器類における光学系の性能は充分に発揮さ
れることとなった。特に本発明は容易に清掃を行なうこ
とのできない箇所の部品表面に之を行なうことによりよ
り大きな効果を生ずることとなる。
第1図は本発明による防塵手段を実施した集積回路の斜
視図。第2図はプラテンガラスに実施した複写機の光学
系を示す要部断面図。 1・・・(集積回路の)パッケージ 2・・・CCD素子 3・・・透明基板内4・・・導電
ペースト 5・・・導電パターン6・・・アース端子
犯・・・プラテンガラス14・・・露光ランプ 16
、17 、18 、21・・・ミラー加・・・レンズ
加・・・感光体ドラムD・・・原稿 代理人 弁理士 野 1)義 親
視図。第2図はプラテンガラスに実施した複写機の光学
系を示す要部断面図。 1・・・(集積回路の)パッケージ 2・・・CCD素子 3・・・透明基板内4・・・導電
ペースト 5・・・導電パターン6・・・アース端子
犯・・・プラテンガラス14・・・露光ランプ 16
、17 、18 、21・・・ミラー加・・・レンズ
加・・・感光体ドラムD・・・原稿 代理人 弁理士 野 1)義 親
Claims (6)
- (1) 表面を透過する透過光により作用を行なう部品
の前記表面に透明電導性薄膜を設け、該透明電導性薄膜
を接地するようにしたこ゛とを特徴とする防塵手段。 - (2) 前記透過光により作用を行なう部品が受光窓を
有した集積回路であることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の防塵手段。 - (3) 前記透過光により作用を行なう部品が光学用機
器部品であることを特徴とする特許請求の□範囲第1項
記載の防塵手段。 - (4) 前記透明電導性薄膜が金属薄膜であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項の何れか1項
記載の防塵手段。 - (5) 前記透明電導性薄膜が酸化インジウム系の半導
体酸化物薄膜であることを特徴とする特許請求の範囲第
1項乃至第3項の何れか1項記載の防塵手段。 - (6) 前記透明電導性薄膜が酸化スズ系の半導体酸化
物薄膜であることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃
至WE3項の何れか1項記載の防塵手段。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP916284A JPS60153021A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 防塵手段 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP916284A JPS60153021A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 防塵手段 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60153021A true JPS60153021A (ja) | 1985-08-12 |
Family
ID=11712911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP916284A Pending JPS60153021A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 防塵手段 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60153021A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62164339U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | ||
JPS63271245A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | Konica Corp | 複写機用原稿台ガラス |
JPH01147443A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-09 | Ricoh Co Ltd | 複写機の静電気発生防止装置 |
JPH0262509U (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-10 |
-
1984
- 1984-01-20 JP JP916284A patent/JPS60153021A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62164339U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | ||
JPS63271245A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | Konica Corp | 複写機用原稿台ガラス |
JPH01147443A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-09 | Ricoh Co Ltd | 複写機の静電気発生防止装置 |
JPH0262509U (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-10 |
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