JPS60149135U - 集積回路検査装置 - Google Patents

集積回路検査装置

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Publication number
JPS60149135U
JPS60149135U JP3510284U JP3510284U JPS60149135U JP S60149135 U JPS60149135 U JP S60149135U JP 3510284 U JP3510284 U JP 3510284U JP 3510284 U JP3510284 U JP 3510284U JP S60149135 U JPS60149135 U JP S60149135U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
circuit testing
sample
testing device
pin connection
Prior art date
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Pending
Application number
JP3510284U
Other languages
English (en)
Inventor
進 高嶋
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP3510284U priority Critical patent/JPS60149135U/ja
Publication of JPS60149135U publication Critical patent/JPS60149135U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来装置の断面図、第３図はこの
考案の一実施例の断面図、第４図は導入壁の斜視図、第
５“図はその一部の断面図、第６図はピンコネクション
の斜視図、第７図はその一部の断面図、第８図はパフォ
ーマンスポードの平面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は鏡
筒、２は試料室、３はステージ、５は試料、６は試料ホ
ルダ、７は同軸ケーブル、９は前面カバー、１６は耐真
空筐体、１７は上蓋、１８は導入壁、２０はケーブル室
、２２はベロー゛ズ、２３はピンコネクション、２４は
プリント基・板、２９はパフォーマンスキードである。 第１図 第２図

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）動作信号を与えた試料に荷電粒子ビームを照射し
    て検査を行う集積回路検査装置において、試料室内に設
    けられた耐真空筐体と、この筐体の開閉可能な上蓋に取
    付けられた試料ホルダと、前記筐体内に設けられたピン
    コネクションと、このピンコネクションのピンに接続す
    るように導入された複数の同軸ケーブルと、このケーブ
    ルの周辺部にケーブル室を区画するように設けられたベ
    ローズと、前記ピンコネクションに取付けられてピンか
    らの信号を前記試料に与えるパフォーマンスポードとを
    備えたことを特徴とする集積回路検査装置。
  2. （２）同軸ケーブルの導入部が接着により固定された実
    用新案登録請求の範囲第１項記載の集積回路検査装置。
  3. （３）ピンコネクションが同軸ケーブルに接続するプリ
    ント基板にピンを取付けたものである実用新案登録請求
    の範囲第１項または第２項記載の集積回路検査装置。
  4. （４）パフォーマンスポードがピンに接続する金属パッ
    ドおよび試料ホルダに接続するコンタクトホールを有す
    る実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
    かに記載の集積回路検査装置。
JP3510284U 1984-03-12 1984-03-12 集積回路検査装置 Pending JPS60149135U (ja)

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JP3510284U JPS60149135U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 集積回路検査装置

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JPS60149135U true JPS60149135U (ja) 1985-10-03

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018136306A (ja) * 2016-12-20 2018-08-30 エフ・イ−・アイ・カンパニー ｅビーム操作用の局部的に排気された容積を用いる集積回路解析システムおよび方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5226152A (en) * 1975-08-23 1977-02-26 Hitachi Ltd Sample supporting device

Patent Citations (1)

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