JPS60140107A - 形状検出方法と装置 - Google Patents
形状検出方法と装置Info
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- JPS60140107A JPS60140107A JP24547483A JP24547483A JPS60140107A JP S60140107 A JPS60140107 A JP S60140107A JP 24547483 A JP24547483 A JP 24547483A JP 24547483 A JP24547483 A JP 24547483A JP S60140107 A JPS60140107 A JP S60140107A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、光切断法による対象物の立体形状の検出に係
り、特に対象物の側面形状をも正確に検出するのに好適
な形状検出方法と装置に関するものである。
り、特に対象物の側面形状をも正確に検出するのに好適
な形状検出方法と装置に関するものである。
スリット光投光式形状検出方法の一例の説明図である茅
Ｉ ＩＩ ｓ ９１っマ促１ ｉＩ 断のさ−と９゜第
１図に例示するように、例えば、電子部品のリード１と
プリント板６のバッド２とのはんだ何部３の形状を検出
する場合、スリット光４を上方から投光し、投影輝線５
を矢印で示す前方、斜め上から検出することにより、第
２図（ａ）に示すような光切断像が検出されるはずであ
る。しかし、現実には、はんだ表面が金属鏡面をなすた
め、例えば、プリント板６上の投影輝線５を、はんだ何
部３の側表面で鏡像としてとらえ、第２図（ｂ）に示す
ように正しい光切断像が検出できないことがある。
Ｉ ＩＩ ｓ ９１っマ促１ ｉＩ 断のさ−と９゜第
１図に例示するように、例えば、電子部品のリード１と
プリント板６のバッド２とのはんだ何部３の形状を検出
する場合、スリット光４を上方から投光し、投影輝線５
を矢印で示す前方、斜め上から検出することにより、第
２図（ａ）に示すような光切断像が検出されるはずであ
る。しかし、現実には、はんだ表面が金属鏡面をなすた
め、例えば、プリント板６上の投影輝線５を、はんだ何
部３の側表面で鏡像としてとらえ、第２図（ｂ）に示す
ように正しい光切断像が検出できないことがある。
また、リード１の側面が、はぼ垂直であり、そこに上方
からスリット投光するだめ、第２図（Ｃ）に示すように
側面の形状情報を正確に検出できないこともある。
からスリット投光するだめ、第２図（Ｃ）に示すように
側面の形状情報を正確に検出できないこともある。
ここで、第３図に従来の形状検出装置の一例の構成図を
示す。
示す。
上記の第１の問題点については、第３図に示すように、
上方力）リスポット光をスポット光投光器７によシ照射
し、投影光点を斜め上方から結像レンズ８で１次元イメ
ージセンサ９上に結像させ、スポット光投光器７、結像
レンズ８、十次元イメージセンサ９の相対位置関係を保
ったまま、同図の紙面に垂直な方向に移動させれば、そ
の防止をすることができる。しかし、この方式において
も、なお上記の第２の問題点については解決ができない
。
上方力）リスポット光をスポット光投光器７によシ照射
し、投影光点を斜め上方から結像レンズ８で１次元イメ
ージセンサ９上に結像させ、スポット光投光器７、結像
レンズ８、十次元イメージセンサ９の相対位置関係を保
ったまま、同図の紙面に垂直な方向に移動させれば、そ
の防止をすることができる。しかし、この方式において
も、なお上記の第２の問題点については解決ができない
。
また、第２の問題点を解決するには、スリット光４を、
そのスリット光面に一致させた状態で複数の方向、例え
ば左、右上方から投光すればよいが、それでは第１の問
題点の解決ができない。
そのスリット光面に一致させた状態で複数の方向、例え
ば左、右上方から投光すればよいが、それでは第１の問
題点の解決ができない。
本発明の目的は、上記した問題点を解決し、はんだ何部
のように金属光沢を有する対象物についても、その側面
形状を含む立体形状を正確に検出することができる形状
検出方法と装置を提供することにある。
のように金属光沢を有する対象物についても、その側面
形状を含む立体形状を正確に検出することができる形状
検出方法と装置を提供することにある。
まず、本発明に係る形状検出方法は、対象物に対して異
なる２方向からスポット光を投影し、その各投影スポッ
ト光の位置を当該各スポット光の投影位置の変化方向の
みの１次元像として検出し、それらの光切断線を合成し
、上記対象物の立体形状を検出するようにしたものであ
る。
なる２方向からスポット光を投影し、その各投影スポッ
ト光の位置を当該各スポット光の投影位置の変化方向の
みの１次元像として検出し、それらの光切断線を合成し
、上記対象物の立体形状を検出するようにしたものであ
る。
また、本発明に係る形状検出装置は、対象物にスポット
光を投影し、その投影スポット光の位置を当該スポット
光の投影位置の変化方向のみの１次元像として検出しう
る検出ヘッド２個を、それぞれ上記対象物に対して異な
る２方向から上記各スポット光を投影しうるように配備
し、更に、上記各検出ヘッドと上記対象物とを相対的に
移動させる機構と、その移動位置を検出する手段と、上
記の各投影スポット光による各光切断線を抽出する手段
と、その各光切断線の合成をし、また当該形状の検出処
理をする手段とを具備するようにしたものである。
光を投影し、その投影スポット光の位置を当該スポット
光の投影位置の変化方向のみの１次元像として検出しう
る検出ヘッド２個を、それぞれ上記対象物に対して異な
る２方向から上記各スポット光を投影しうるように配備
し、更に、上記各検出ヘッドと上記対象物とを相対的に
移動させる機構と、その移動位置を検出する手段と、上
記の各投影スポット光による各光切断線を抽出する手段
と、その各光切断線の合成をし、また当該形状の検出処
理をする手段とを具備するようにしたものである。
以下、本発明に係る方法・装置の一実施例を図に基づい
て併せて説明する。
て併せて説明する。
第４図は、本発明に係る形状検出装置の一実施例の構成
図であシ、その機構部は正面図で描かれている。第５図
は、同機構部の側面図である。
図であシ、その機構部は正面図で描かれている。第５図
は、同機構部の側面図である。
本装置は、スポット光投光器１７Ａ、１７Ｂ。
結像レンズ１８Ａ、１８Ｂおよび１次元イメージセンサ
１９Ａ、１９Ｂの検出ヘッド２組有している。すなわち
、モータ１０で送りネジを回転すればガイド１１上を横
方向に移動する移動テーブル１２と、これに搭載された
スポット投光器１７Ａ。
１９Ａ、１９Ｂの検出ヘッド２組有している。すなわち
、モータ１０で送りネジを回転すればガイド１１上を横
方向に移動する移動テーブル１２と、これに搭載された
スポット投光器１７Ａ。
１７Ｂ１結像レンズ１８Ａ、１８Ｂおよび１次元イメー
ジセンサ１９Ａ、１９Ｂの２組と、２つの最明点検出回
路１６Ａ、１６Ｂと、形状合成回路１５と、形状表示部
１４と、モータ制御・位置検出回路１３とから構成され
ている。本実施例では、このモータ制御・位置検出回路
１３は、モータ１０がステッピングモータであって、そ
の中でテーブル１２の位置が原点（図示せず）からの移
動量として常に分っているようにしたものである。
ジセンサ１９Ａ、１９Ｂの２組と、２つの最明点検出回
路１６Ａ、１６Ｂと、形状合成回路１５と、形状表示部
１４と、モータ制御・位置検出回路１３とから構成され
ている。本実施例では、このモータ制御・位置検出回路
１３は、モータ１０がステッピングモータであって、そ
の中でテーブル１２の位置が原点（図示せず）からの移
動量として常に分っているようにしたものである。
したがって、この部分は、例えばＤＣモータを駆動源と
し、テーブル移動量をリニアエンコーダなどの別手段で
検出するものでおってもよい。
し、テーブル移動量をリニアエンコーダなどの別手段で
検出するものでおってもよい。
次に、本実施例の動作を説明する。なお、説明を容易に
するため、第４図、第５図に図示のようにｘｒ Ｙ、ｚ
座標系を設定する。
するため、第４図、第５図に図示のようにｘｒ Ｙ、ｚ
座標系を設定する。
２つのスポット光投光器１７Ａ、１７Ｂｉｄ、Ｘ２平面
上で任意角度αだけ傾けてテーブル１２に固定されてい
る。そして、被測定物（対象物）２０上では、はぼ焦点
が合い、そこに光点が投影される。これを結像レンズ１
８Ａ、１８Ｂおよび１次元イメージセンサ１９Ａ、１９
Ｂからなる像検出器で検出する。像検出器は、ｚｘ圃面
上同じく角度αだけ傾け、かつｘｚ面から角度βだけ傾
けた状態で、被測定物２０上に投影された光点が１次元
イメージセンサ１７Ａ、１７Ｂ上に結像するように配置
されている。
上で任意角度αだけ傾けてテーブル１２に固定されてい
る。そして、被測定物（対象物）２０上では、はぼ焦点
が合い、そこに光点が投影される。これを結像レンズ１
８Ａ、１８Ｂおよび１次元イメージセンサ１９Ａ、１９
Ｂからなる像検出器で検出する。像検出器は、ｚｘ圃面
上同じく角度αだけ傾け、かつｘｚ面から角度βだけ傾
けた状態で、被測定物２０上に投影された光点が１次元
イメージセンサ１７Ａ、１７Ｂ上に結像するように配置
されている。
第６図に１次元イメージセ／すの出力信号の波形図を示
す。同図は、横軸が１次元イメージセンサの画素列によ
って決まる座標系Ｚ′であシ、縦軸が映像信号の出力レ
ベルを示している。
す。同図は、横軸が１次元イメージセンサの画素列によ
って決まる座標系Ｚ′であシ、縦軸が映像信号の出力レ
ベルを示している。
１本の映像信号が同図実線のように区間（Ｖ］。
Ｖ２ ）で最大値を持つ場合、最明点検出回路１６Ａ。
１６Ｂは、その最明点の座標Ｚｐを出力する。また、最
大値が同図破線のように上限値７２以上のときは、映像
信号と下限値ｖ２との交点のＺ′座標の平均値を最明点
の座標Ｚ、として出力する。
大値が同図破線のように上限値７２以上のときは、映像
信号と下限値ｖ２との交点のＺ′座標の平均値を最明点
の座標Ｚ、として出力する。
さらに１最大値が下限値Ｖ、以下のときは上記座標Ｚｐ
を出力しないか、まだは２．＝０とする。
を出力しないか、まだは２．＝０とする。
これは、上限値７２以上では１次元イメージセンサが飽
和して正しいピーク位置（最明点）を検出しにくくなる
こと、また下限値ｖｌ以下ではノイズをピーク位置とし
て誤検出しやすいことを防ぐためである。なお、この処
理を単純化し、下限値ｖ１以上のときに下限値Ｖｔと映
像信号との交点の平均値を最明点座標Ｚ、としたり、下
限値Ｖ１以上のときに映像信号の最大値の位置を同座標
Ｚ。
和して正しいピーク位置（最明点）を検出しにくくなる
こと、また下限値ｖｌ以下ではノイズをピーク位置とし
て誤検出しやすいことを防ぐためである。なお、この処
理を単純化し、下限値ｖ１以上のときに下限値Ｖｔと映
像信号との交点の平均値を最明点座標Ｚ、としたり、下
限値Ｖ１以上のときに映像信号の最大値の位置を同座標
Ｚ。
とするようにしても、本発明の実施は妨げられるもので
はない。
はない。
テーブル１２がモータ制御・位置検出回路１３によって
移動している間、１次元イメージセンサ１９Ａ、１９Ｂ
からの出力信号は、常時、最明点検出回路１６Ａ、１６
Ｂ内で最明点座標２．が上記の方法で検出される。そし
て、テーブル１２が所定の一定量ΔＸだけ移動するごと
に、その瞬間に検出されている最明点座標Ｚ、を形状合
成回路１５へ出力する。これを２つの最明点検出回路１
６Ａ、１６Ｂが同時に行なうため、形状合成回路１５に
は２本の光切断線が入力される。
移動している間、１次元イメージセンサ１９Ａ、１９Ｂ
からの出力信号は、常時、最明点検出回路１６Ａ、１６
Ｂ内で最明点座標２．が上記の方法で検出される。そし
て、テーブル１２が所定の一定量ΔＸだけ移動するごと
に、その瞬間に検出されている最明点座標Ｚ、を形状合
成回路１５へ出力する。これを２つの最明点検出回路１
６Ａ、１６Ｂが同時に行なうため、形状合成回路１５に
は２本の光切断線が入力される。
いま、入力される２本の光切断線データを（Ｚｐ＋ｔ
ｌ Ｘｌ） ｌ （Ｚｐ２１ ｒ ｘｔ）と表現する。
ｌ Ｘｌ） ｌ （Ｚｐ２１ ｒ ｘｔ）と表現する。
ここで、添字１，２は２つの上記各検出回路の別を意味
する。添字ｉは、テーブル１２の走査範囲をＬｔｒｏｋ
ａ とすると、” ”’ Ｘ１ｔｒＯｋｌ ／ΔＸ と
したときのｉ＝ｌ〜ｎである。また、左右２つの上記検
出回路の被測定物２０上での検出点はＸＧＡＰ だけ検
出位置がずれている。このため、検出される２つの光切
断線データもＸＧＡＰだけＸ方向にずれている（第４図
参照）。このＸＧＡＰは、装置の取付寸法としてあらか
じめめておくことができる。
する。添字ｉは、テーブル１２の走査範囲をＬｔｒｏｋ
ａ とすると、” ”’ Ｘ１ｔｒＯｋｌ ／ΔＸ と
したときのｉ＝ｌ〜ｎである。また、左右２つの上記検
出回路の被測定物２０上での検出点はＸＧＡＰ だけ検
出位置がずれている。このため、検出される２つの光切
断線データもＸＧＡＰだけＸ方向にずれている（第４図
参照）。このＸＧＡＰは、装置の取付寸法としてあらか
じめめておくことができる。
いま、Ｇ ＝ ＸＧＡＰ ／ΔＸ とすると（Ｚｐｚ＋
、 ＸＩ）。
、 ＸＩ）。
（ＺＰ２１ 、 ＸＩ−Ｇ） がずれを補正した２本の
光切断線データである。
光切断線データである。
ところで、１次元イメージセンサ１９Ａ、１９Ｂの光切
断検出へ、ソドは、垂直から角度αだけ傾いているので
、第１ヘツドを例にとれば、第７図の座標変換の説明図
に示すように、座標Ｚｐは角度αだけ傾いている。また
、座標Ｚ、は、上記単位移動量ΔＸを単位として、検出
器の検出倍率、検出角度βおよびイメージセンサの画素
ピッチにより決まる定数値だけずれている。その補正係
数をｋとすると、第１ヘツドの光切断線データを第７図
のｘｚ座標に変換すれば、 また、第２ヘツドについても同様に、 となる。ここで、テーブル１２は左から右に走査されて
いるものとする。
断検出へ、ソドは、垂直から角度αだけ傾いているので
、第１ヘツドを例にとれば、第７図の座標変換の説明図
に示すように、座標Ｚｐは角度αだけ傾いている。また
、座標Ｚ、は、上記単位移動量ΔＸを単位として、検出
器の検出倍率、検出角度βおよびイメージセンサの画素
ピッチにより決まる定数値だけずれている。その補正係
数をｋとすると、第１ヘツドの光切断線データを第７図
のｘｚ座標に変換すれば、 また、第２ヘツドについても同様に、 となる。ここで、テーブル１２は左から右に走査されて
いるものとする。
以上より明らかなように、波形合成回路１５では、２本
の光切断線データ（Ｚｐｌ ｌ ｒ Ｘｌ ） ＋ （
Ｚｐ２１＋ＸＩ）〔ここでｉ ＝ ｌ〜ｎ ］を入力と
し、ｋ ｓｉｎ Ｃ１＋ｋＣＯ５α、Ｇをあらかじめ設
定したデータとして、式（１）、（２）の変換を実行し
て（Ｘ１ｔ 、 Ｚｌ＋） 、（Ｘ２１゜Ｚ２１ ）
［ここでｉ ＝ Ｇ ＋１〜ｎ〕を碍る。これにより、
２本の光切断線は同一座標系で表現される。
の光切断線データ（Ｚｐｌ ｌ ｒ Ｘｌ ） ＋ （
Ｚｐ２１＋ＸＩ）〔ここでｉ ＝ ｌ〜ｎ ］を入力と
し、ｋ ｓｉｎ Ｃ１＋ｋＣＯ５α、Ｇをあらかじめ設
定したデータとして、式（１）、（２）の変換を実行し
て（Ｘ１ｔ 、 Ｚｌ＋） 、（Ｘ２１゜Ｚ２１ ）
［ここでｉ ＝ Ｇ ＋１〜ｎ〕を碍る。これにより、
２本の光切断線は同一座標系で表現される。
次に、形状合成回路１５は、２本の光切断線データの合
成処理を行なう。その処理手順を第８図にフローチャー
ト形式で示す。これにより、１本の光切断線データ（Ｘ
ｋ、Ｚｋ）を得ることができる。ここで、ｋは２本の光
切断線データの有効なデータ（Ｖ ｐ ＞ Ｖｓのデー
タ）の列となる。この結果は、形状表示部１４に送られ
、表示される。
成処理を行なう。その処理手順を第８図にフローチャー
ト形式で示す。これにより、１本の光切断線データ（Ｘ
ｋ、Ｚｋ）を得ることができる。ここで、ｋは２本の光
切断線データの有効なデータ（Ｖ ｐ ＞ Ｖｓのデー
タ）の列となる。この結果は、形状表示部１４に送られ
、表示される。
上記実施例で示した光切断線合成方法は、ノ・−ドウエ
アでもソフトウェアでも実現可能である。
アでもソフトウェアでも実現可能である。
また、２つの検出器から検出された有効データをすべて
合成する方式で示したが１つの採用されたデータ点（Ｘ
ｋ、Ｚｈ）の次のデータ点として、距離が所定値ｄだけ
離れた点に許容値εｄの範囲に入るデータを２つの光切
断線データから抽出し、その平均位置をめることによシ
、距離ｄずつ離れた光切断線データをめることもできる
。なお、第１１図の対象物のオーバハング部の説明図に
例示するように、オーバハングしただめに生じた凹部Ａ
ＢＣｊ）を検出しなくてもよい場合は、Ｘ方向にピッチ
ｄでＸ座標をとり、そのＸ座標に最も近いＸｌｌないし
Ｘ２ｊを持つデータを合成データとして採用するか、な
いしは許容値εｄの範囲内でそのＸ座標に近いデータの
うち、Ｚ値の最も大きいものを採用することによシ、合
成光切断線データを波形データ（Ｚｋ）としてめること
もできる。
合成する方式で示したが１つの採用されたデータ点（Ｘ
ｋ、Ｚｈ）の次のデータ点として、距離が所定値ｄだけ
離れた点に許容値εｄの範囲に入るデータを２つの光切
断線データから抽出し、その平均位置をめることによシ
、距離ｄずつ離れた光切断線データをめることもできる
。なお、第１１図の対象物のオーバハング部の説明図に
例示するように、オーバハングしただめに生じた凹部Ａ
ＢＣｊ）を検出しなくてもよい場合は、Ｘ方向にピッチ
ｄでＸ座標をとり、そのＸ座標に最も近いＸｌｌないし
Ｘ２ｊを持つデータを合成データとして採用するか、な
いしは許容値εｄの範囲内でそのＸ座標に近いデータの
うち、Ｚ値の最も大きいものを採用することによシ、合
成光切断線データを波形データ（Ｚｋ）としてめること
もできる。
また、本実施例では検出結果を表示させることを示した
が、検出結果から被測定物の形状を評価したり、検査し
たりすることもできる。
が、検出結果から被測定物の形状を評価したり、検査し
たりすることもできる。
さらに、本実施例ではスポット光は上方から投影したが
、これはｚｙ平面上の傾き角を持たせてもよいし、スポ
ット光投光器、像検出器の位置を入換えてもよい。
、これはｚｙ平面上の傾き角を持たせてもよいし、スポ
ット光投光器、像検出器の位置を入換えてもよい。
なおまた、本実施例では検出ヘッドを移動させる形式を
例示したが、被測定物を移動させる方式であってもよい
。
例示したが、被測定物を移動させる方式であってもよい
。
さらにまだ、本実施例ではスポット光位置の検出に１次
元イメージセンサを使用する場合を示したが、これは、
１次元方向の光点位置がわかればよいので、ポジション
センサのように結像像の光量の重心位置を出力する形式
のものであってもよく、この場合は最明点検出回路１６
Ａ、１６Ｂが不要となる。
元イメージセンサを使用する場合を示したが、これは、
１次元方向の光点位置がわかればよいので、ポジション
センサのように結像像の光量の重心位置を出力する形式
のものであってもよく、この場合は最明点検出回路１６
Ａ、１６Ｂが不要となる。
なおまた、イメージセンサの代わシにＴＶカメラ、また
はフォトマルチプライヤとピンホール走査など１次方向
の光強度分布を検出できるものを用いることもできる。
はフォトマルチプライヤとピンホール走査など１次方向
の光強度分布を検出できるものを用いることもできる。
上記実施例において、ＸＧＡＰ を小さくシ、ないしは
Ｏにすると、一方のスポラトル投光が被測定物の面で反
射し、他方の像検出器の誤検出が生じたシ、他方の像検
出器の検出視野内にそのスポット像が入ってしまうこと
が生じる。この対策としては、２つのスポット光の波長
を変えておき、かつ各波長に適合し、他方のスポット光
の波長を透過しないフィルタを介して像検出をすること
により、相互に干渉することなく正しい形状検出をさせ
ることができる。あるいは、２つのスポット光を交互に
発光させ、かつ、これに同期して交互に像検出をするこ
とによっても干渉を防ぐことができる。
Ｏにすると、一方のスポラトル投光が被測定物の面で反
射し、他方の像検出器の誤検出が生じたシ、他方の像検
出器の検出視野内にそのスポット像が入ってしまうこと
が生じる。この対策としては、２つのスポット光の波長
を変えておき、かつ各波長に適合し、他方のスポット光
の波長を透過しないフィルタを介して像検出をすること
により、相互に干渉することなく正しい形状検出をさせ
ることができる。あるいは、２つのスポット光を交互に
発光させ、かつ、これに同期して交互に像検出をするこ
とによっても干渉を防ぐことができる。
このように、２つのスポット光投光器により、両側面に
斜めから投光するので、垂直な側面やオーバハングした
側面の形状をも、いずれかの検出器で検出することがで
き、がっ各光切断ヘッドはスポット光投影、スポット位
置変化方向のみの１次元的検出を行なっているので、は
んだ何部などのような金属鏡面であっても２次反射など
の影響を受けずに正しく形状検出ができる。したがって
、これらを合成することによシ対象物の立体形状を正確
に検出することができる。本発明は、はんだ何部など金
属光沢面を有する物体の形状計測に適用して特に有効で
ある。
斜めから投光するので、垂直な側面やオーバハングした
側面の形状をも、いずれかの検出器で検出することがで
き、がっ各光切断ヘッドはスポット光投影、スポット位
置変化方向のみの１次元的検出を行なっているので、は
んだ何部などのような金属鏡面であっても２次反射など
の影響を受けずに正しく形状検出ができる。したがって
、これらを合成することによシ対象物の立体形状を正確
に検出することができる。本発明は、はんだ何部など金
属光沢面を有する物体の形状計測に適用して特に有効で
ある。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、表面の
状態または側面形状にかかわらず立体形状を正確に検出
することができるので、各種の形状検査等の精度向上、
効率向上に顕著な効果が得られる。
状態または側面形状にかかわらず立体形状を正確に検出
することができるので、各種の形状検査等の精度向上、
効率向上に顕著な効果が得られる。
第１図は、スリット光投光式形状検出方法の一例の説明
図、第２図は、その光切断像の説明図、第３図は、従来
の形状検出装置の一例の構成図、第４図は、本発明に係
る形状検出装置の一実施例の構成図、第５図は、その機
構部の側面図、第６図は、第４図の装置の１次元イメー
ジセンサの出力信号の波形図、第７図は、同座標変換の
説明図、第８図は、同光切断線合成処理のフローチャー
ト、第９図は、同対象物のオーバノ・ング部の説明図で
。 ある。 １０・・・モータ、１１・・・ガイド、１２・・・テー
ブル、１３・・・モータ制御・位置検出回路、１４・・
・形状表示部、１５・・・形状合成回路、１６Ａ、１６
Ｂ・・・最 ５明点検出回路、１７Ａ、１７Ｂ・・・ス
ポット光投光器、１８Ａ、１８Ｂ・・・結像レンズ、１
９Ａ、１９Ｂ茅ｔ 目 ジ 茅２目 蓮フ （、ｂ） ロ 一一一−ｌ ＼−−−− ）ど （Ｃ） 茅Ｊ固 ７ 第４囚 詐５日 ２ 第 乙 固 茅ｑ 囲 ＣＤ
図、第２図は、その光切断像の説明図、第３図は、従来
の形状検出装置の一例の構成図、第４図は、本発明に係
る形状検出装置の一実施例の構成図、第５図は、その機
構部の側面図、第６図は、第４図の装置の１次元イメー
ジセンサの出力信号の波形図、第７図は、同座標変換の
説明図、第８図は、同光切断線合成処理のフローチャー
ト、第９図は、同対象物のオーバノ・ング部の説明図で
。 ある。 １０・・・モータ、１１・・・ガイド、１２・・・テー
ブル、１３・・・モータ制御・位置検出回路、１４・・
・形状表示部、１５・・・形状合成回路、１６Ａ、１６
Ｂ・・・最 ５明点検出回路、１７Ａ、１７Ｂ・・・ス
ポット光投光器、１８Ａ、１８Ｂ・・・結像レンズ、１
９Ａ、１９Ｂ茅ｔ 目 ジ 茅２目 蓮フ （、ｂ） ロ 一一一−ｌ ＼−−−− ）ど （Ｃ） 茅Ｊ固 ７ 第４囚 詐５日 ２ 第 乙 固 茅ｑ 囲 ＣＤ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、対象物に対して異なる２方向からスポット光を投影
し、その各投影スポット光の位置を当該スポット光の投
影位置の変化方向のみの１次元像として検出し、それら
の光切断線を合成し、上記対象物の立体形状を検出する
形状検出方法。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、対象に
対して異なる２方向から投影する各スポット光は、それ
ぞれ波長領域が重ならないようにするとともに、その各
投影スポット光の１次元像の検出は、それぞれ自らに対
応するものについてのみ行々うようにする形状検出方法
。 ３、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、対象物
に対して異なる２方向から投影する各スポット光は、そ
れぞれ交互に発光させるとともに、その各投影スポット
光の１次元像の検出は、それぞれ上記の交互の発光に同
期して自らに対応するものについてのみ行なうようにす
る形状検出方法。 ４、対象物にスポット光を投影し、その投影スポット光
の位置を当該スポット光の投影位置の変化方向のみの１
次元像として検出しうる検出ヘッド２個を、よれそれ上
記対象物に対して異なる２方向から上記各スポット光を
投影しうるように配備し、更に、上記各検出ヘッドと上
記対象物とを相対的に移動させる機構と、その移動位置
を検出する手段と、上記の各投影スポット光による各光
切断線を抽出する手段と、その各光切断線の合成をし、
また当該形状の検出処理をする手段とを具備するように
した形状検出装置。 ５、特許請求の範囲第４項記載のものにおいて、検出ヘ
ッドは、対象物に各投影するスポット光の波長領域が相
互に重ならないようにする表ともに、その各投影スポッ
ト光の１次元像の検出を、それぞれ自らに対応するもの
についてのみ行なうようにしたものである形状検出装置
。 ６、％許請求の範囲第４項記載のものにおいて、検出ヘ
ッドは、対象物に各投影するスポット光を交互に発光さ
せるとともに、その各投影スポット光−の１次元像の検
出を、それぞれ交互の発光に同期して自らに対応するも
のについてのみ行なうようにしたものである形状検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24547483A JPS60140107A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 形状検出方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24547483A JPS60140107A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 形状検出方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140107A true JPS60140107A (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=17134193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24547483A Pending JPS60140107A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 形状検出方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140107A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6318206A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Toshiba Corp | 電子部品実装検査装置 |
| JPH01253606A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送物体の形状・位置検出方法及びその装置 |
| EP0736342A1 (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-09 | Kawasaki Steel Corporation | Method and apparatus for measuring cross sectional dimensions of sectional steel |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP24547483A patent/JPS60140107A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6318206A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Toshiba Corp | 電子部品実装検査装置 |
| JPH01253606A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送物体の形状・位置検出方法及びその装置 |
| EP0736342A1 (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-09 | Kawasaki Steel Corporation | Method and apparatus for measuring cross sectional dimensions of sectional steel |
| US5745237A (en) * | 1995-03-31 | 1998-04-28 | Kawasaki Steel Corporation | Method and apparatus for measuring cross sectional dimensions of sectional steel |
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