JPS60139310A - 低温用吸着パネルの製造方法 - Google Patents
低温用吸着パネルの製造方法Info
- Publication number
- JPS60139310A JPS60139310A JP58246427A JP24642783A JPS60139310A JP S60139310 A JPS60139310 A JP S60139310A JP 58246427 A JP58246427 A JP 58246427A JP 24642783 A JP24642783 A JP 24642783A JP S60139310 A JPS60139310 A JP S60139310A
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- JP
- Japan
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- brazing
- plate
- adsorbent
- solder
- adsorbing
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は核融合機器、超伝導機器、宇宙シュミレーショ
ン用の極低温真空チャンバ、化学工業用ガス分離機器等
に使用される低温用吸着パネルを製造する方法に関する
。
ン用の極低温真空チャンバ、化学工業用ガス分離機器等
に使用される低温用吸着パネルを製造する方法に関する
。
たとえば核融合装置では重水素と３重水素の核融合反応
によって水素およびヘリウムが生成されるが、核融合反
応を維持するにはこれら水素およびヘリウムを除去しな
ければならない。上記水素はその液化温度が２０．３°
にであるので深冷法によって液化して除去できるが、上
記ヘリウムはその液化温度が４．２°にであるので深冷
法では除去できない。このため、上記ヘリウムは吸着材
によって吸着除去する。この吸着材は活性炭や極微細孔
を有する酸化けい素等の非金属材料が用いられる。そし
て、これら吸１０は極低温下でも靭性を有し、かつ熱伝
導率の比較的高いアルミニウムまたはアルミニウム合金
、オーステナイト系ステンレス鋼等の金属材料からなる
基板上に接着されていわゆる吸着パネルを構成し、極低
温下でこの吸着パネルに上記のヘリウムを接触させてこ
のヘリウムを吸着する。そして、ヘリウムの吸着による
上記吸着材の発熱は上記の基板を介して除去され、吸着
材を極低温状態に維持する。
によって水素およびヘリウムが生成されるが、核融合反
応を維持するにはこれら水素およびヘリウムを除去しな
ければならない。上記水素はその液化温度が２０．３°
にであるので深冷法によって液化して除去できるが、上
記ヘリウムはその液化温度が４．２°にであるので深冷
法では除去できない。このため、上記ヘリウムは吸着材
によって吸着除去する。この吸着材は活性炭や極微細孔
を有する酸化けい素等の非金属材料が用いられる。そし
て、これら吸１０は極低温下でも靭性を有し、かつ熱伝
導率の比較的高いアルミニウムまたはアルミニウム合金
、オーステナイト系ステンレス鋼等の金属材料からなる
基板上に接着されていわゆる吸着パネルを構成し、極低
温下でこの吸着パネルに上記のヘリウムを接触させてこ
のヘリウムを吸着する。そして、ヘリウムの吸着による
上記吸着材の発熱は上記の基板を介して除去され、吸着
材を極低温状態に維持する。
しかし、このような吸着パネルは非金属材料である吸着
材を金属材料である基板に接着し、しかも極低温に耐え
なければならず、この吸着材の接着は困難であった。こ
のため、第１図ないし第４図に示す如き吸着パネルの製
造方法が開発された。
材を金属材料である基板に接着し、しかも極低温に耐え
なければならず、この吸着材の接着は困難であった。こ
のため、第１図ないし第４図に示す如き吸着パネルの製
造方法が開発された。
すなわち、まず第１図に示す如く金属製の基板１上にろ
う材で形成された下部ろう板４ｂおよび上部ろう板４ａ
を重ねる。これら下部ろう板４ｂおよび上部ろう板４ａ
の上面および下面にはれそれ半球状または断面半円形の
溝状の吸着材収容凹部５・・・が形成されている。そし
て、これら吸着材収容凹部内・・内には球形、円柱形等
の断面円形の吸着材３・・・を収容する。そして、上部
ろう板４ａの上にガラスｍ雑布、セラミック板等の緩衝
離型材７を介して重り板８を載置する。次にこれらを加
熱し、下部ろう板４ｂおよび上部ろう板４ａを溶融し、
第２図に示す如くろう材層４を形成する。
う材で形成された下部ろう板４ｂおよび上部ろう板４ａ
を重ねる。これら下部ろう板４ｂおよび上部ろう板４ａ
の上面および下面にはれそれ半球状または断面半円形の
溝状の吸着材収容凹部５・・・が形成されている。そし
て、これら吸着材収容凹部内・・内には球形、円柱形等
の断面円形の吸着材３・・・を収容する。そして、上部
ろう板４ａの上にガラスｍ雑布、セラミック板等の緩衝
離型材７を介して重り板８を載置する。次にこれらを加
熱し、下部ろう板４ｂおよび上部ろう板４ａを溶融し、
第２図に示す如くろう材層４を形成する。
このろう材層４は基板１との間に融着層１０を形成して
この基板１にａ看し、また上記吸着材３・・・はこのろ
う材層４中に埋設される。なお、これら吸着材３・・・
は非金属材料であるので、ろう材層４と融着はしないが
、ろう材界面１１・・・で包囲されて固定される。そし
て、このろう材層４が凝固したのちこのろう材層４を吸
着材３・・・の最大直径位置よりやや上方のＡ−Ａ位置
まで切削し、第３図に示す如くこれら吸着材３・・・を
露出させる。なお、第４図（ａ）、（ｂ）はろう材層４
の切削面１２′の平面図を示し、第４図（ａ）は吸着材
３・・・が球形の場合、第４図（ｂ）は吸着材３・・・
が円柱形の場合を示す。
この基板１にａ看し、また上記吸着材３・・・はこのろ
う材層４中に埋設される。なお、これら吸着材３・・・
は非金属材料であるので、ろう材層４と融着はしないが
、ろう材界面１１・・・で包囲されて固定される。そし
て、このろう材層４が凝固したのちこのろう材層４を吸
着材３・・・の最大直径位置よりやや上方のＡ−Ａ位置
まで切削し、第３図に示す如くこれら吸着材３・・・を
露出させる。なお、第４図（ａ）、（ｂ）はろう材層４
の切削面１２′の平面図を示し、第４図（ａ）は吸着材
３・・・が球形の場合、第４図（ｂ）は吸着材３・・・
が円柱形の場合を示す。
このようにして製造された吸着パネルはろう材層４の切
削面１２より下に吸着材３・・・の最大直径があるため
、これら吸着材３・・・がろう材に融着していなくても
これら吸着材３・・・は機械的にこのろう材層４に確実
に保持され、脱落することはない。
削面１２より下に吸着材３・・・の最大直径があるため
、これら吸着材３・・・がろう材に融着していなくても
これら吸着材３・・・は機械的にこのろう材層４に確実
に保持され、脱落することはない。
また、金属材料であるろう材はその熱膨張率が吸着材３
・・・より大きいので、極低温に冷却されるとこのろう
材層４の収Ｉｉｌ量はは吸着材３・・・の収縮量より大
きくなり、ろう材界面１１が吸着材３・・・の表面に強
く密着し、ヘリウムの吸着によって発生する熱を基板１
まで効率的に伝達することができる等の長所がある。
・・・より大きいので、極低温に冷却されるとこのろう
材層４の収Ｉｉｌ量はは吸着材３・・・の収縮量より大
きくなり、ろう材界面１１が吸着材３・・・の表面に強
く密着し、ヘリウムの吸着によって発生する熱を基板１
まで効率的に伝達することができる等の長所がある。
しかし、上述のものは下部ろう板４ｂ、上部ろう板４ａ
を溶融させた場合に吸着材３・・・の位置がずれ、これ
が浮上ることがある。そして、このように浮上った吸着
材３′があるとろう材層４を切削した場合にこの浮上っ
た吸着材３′はその最大直径位置より下方まで切削され
ることになり、この吸着材３−が脱落してしまうことが
あった。
を溶融させた場合に吸着材３・・・の位置がずれ、これ
が浮上ることがある。そして、このように浮上った吸着
材３′があるとろう材層４を切削した場合にこの浮上っ
た吸着材３′はその最大直径位置より下方まで切削され
ることになり、この吸着材３−が脱落してしまうことが
あった。
本発明は以上の事情に基づいてなされたもので、その目
的は吸着材の脱落を確実に防止することができる低温用
吸着パネルを提供することにある。
的は吸着材の脱落を確実に防止することができる低温用
吸着パネルを提供することにある。
すなわち本発明は、基板上に上面に吸着材収容凹部を形
成した下部ろう板および母材の下面にろう材被覆層が被
覆され下面に上記母材に達する吸着材収容凹部を形成し
た上部ろう板を重ね合せるとともに上記吸着材収容凹部
内に断面円形の吸着材を収容する工程と、上記下部ろう
板および上部ろう板のろう材層を溶融してろう材層を形
成しこのろう材層を上記母材に被着させるとともに上記
吸着材をこのろう材層内に埋設する工程と、上記母材ま
たはろう材層を切削して上記吸着材を露出させる工程と
を備えたものである。したがって、製造工程中に下部ろ
う板および上部ろう板が溶融状態にある場合でも吸着材
は上部ろう板の母材に嵌合しているので、これら吸着材
−位置がずれたり、浮上ったりすることはない。したが
って、ろう材層を切削した場合に吸着材がその最大直径
位置の下方まで切削されてしまうことはなく、この吸着
材の脱落を確実に防止することができるものである。
成した下部ろう板および母材の下面にろう材被覆層が被
覆され下面に上記母材に達する吸着材収容凹部を形成し
た上部ろう板を重ね合せるとともに上記吸着材収容凹部
内に断面円形の吸着材を収容する工程と、上記下部ろう
板および上部ろう板のろう材層を溶融してろう材層を形
成しこのろう材層を上記母材に被着させるとともに上記
吸着材をこのろう材層内に埋設する工程と、上記母材ま
たはろう材層を切削して上記吸着材を露出させる工程と
を備えたものである。したがって、製造工程中に下部ろ
う板および上部ろう板が溶融状態にある場合でも吸着材
は上部ろう板の母材に嵌合しているので、これら吸着材
−位置がずれたり、浮上ったりすることはない。したが
って、ろう材層を切削した場合に吸着材がその最大直径
位置の下方まで切削されてしまうことはなく、この吸着
材の脱落を確実に防止することができるものである。
以下、第５図ないし第７図を参照して本発明の一実施例
を説明する。まず、第５図に示す如く金属製の基板１０
１の上に下部ろう板１０６および上部ろう板１０４を載
置する。上記の下部ろう板１０６はその全部がろう材で
形成されており、その上面にはたとえば半球状または断
面形状が半円形の溝状の吸着材収容凹部１０５・・・が
形成されている。また、上記の上部ろう板ｊよ母材１０
４ａの下面に所定の厚さにろう材からなるろう材被覆層
１０４ｂが被覆されている。そして、上記の母材１０４
ａはろう材被覆層１０４ｂのろう材よりその融点が高い
材料で形成されている。そして、この上部ろう板１０４
の下面にはたとえば半球状または断面半円形の溝状の吸
着材収容凹部１０５・・・が形成されている。そして、
この吸着材収容凹部１０５・・・の深さは上記の母材１
０４ａまで達している。また、これら下部ろう材１０６
および上部ろう材１０４を重ねる際に上記吸着材収容凹
部１０５・・・内にたとえば球状または円柱状の吸着材
１０３・・・を収容する。そして、上記の上部ろう板１
０４の上にガラスｌ１ｌｆｆｌ布またはセラミック板等
の緩衝離型材１０７を重ね、さらにこの上に重り板１０
８を載置して上記下部ろう板１０６および上部ろう板１
０４を密着固定する。
を説明する。まず、第５図に示す如く金属製の基板１０
１の上に下部ろう板１０６および上部ろう板１０４を載
置する。上記の下部ろう板１０６はその全部がろう材で
形成されており、その上面にはたとえば半球状または断
面形状が半円形の溝状の吸着材収容凹部１０５・・・が
形成されている。また、上記の上部ろう板ｊよ母材１０
４ａの下面に所定の厚さにろう材からなるろう材被覆層
１０４ｂが被覆されている。そして、上記の母材１０４
ａはろう材被覆層１０４ｂのろう材よりその融点が高い
材料で形成されている。そして、この上部ろう板１０４
の下面にはたとえば半球状または断面半円形の溝状の吸
着材収容凹部１０５・・・が形成されている。そして、
この吸着材収容凹部１０５・・・の深さは上記の母材１
０４ａまで達している。また、これら下部ろう材１０６
および上部ろう材１０４を重ねる際に上記吸着材収容凹
部１０５・・・内にたとえば球状または円柱状の吸着材
１０３・・・を収容する。そして、上記の上部ろう板１
０４の上にガラスｌ１ｌｆｆｌ布またはセラミック板等
の緩衝離型材１０７を重ね、さらにこの上に重り板１０
８を載置して上記下部ろう板１０６および上部ろう板１
０４を密着固定する。
次に、これらを加熱し、下部ろう板１０６および上部ろ
う板１０４のろう材被覆層１０４ｂを溶融し、第６図に
示す如くろう材層１０９を形成する。このろう材層１０
９は上記の基板１０１との間に融着層１１０を形成して
この基板１０１に融着し、また、上記の吸着材１０３・
・・はこのろう材層１０９内に埋設される。そして、上
記上部ろう板１０４の母材１０４ａはろう材被覆層１０
４ｂおよび下部ろう板１０６のろう材より融点の高い材
料で形成されているので、上記下部ろう板１０６および
上部ろう板１０４のろう材被覆層１０４ｂを溶解した際
にも、この母材１０４ａは溶解しない。したがって、各
吸着材１０３・・・はこの母材１０４ａの下面の凹部内
に嵌合し、これら吸着部材１０３・・・の位置ずれや浮
上りが防止され、これら吸着材１０３・・・は正確な位
置に保持される。
う板１０４のろう材被覆層１０４ｂを溶融し、第６図に
示す如くろう材層１０９を形成する。このろう材層１０
９は上記の基板１０１との間に融着層１１０を形成して
この基板１０１に融着し、また、上記の吸着材１０３・
・・はこのろう材層１０９内に埋設される。そして、上
記上部ろう板１０４の母材１０４ａはろう材被覆層１０
４ｂおよび下部ろう板１０６のろう材より融点の高い材
料で形成されているので、上記下部ろう板１０６および
上部ろう板１０４のろう材被覆層１０４ｂを溶解した際
にも、この母材１０４ａは溶解しない。したがって、各
吸着材１０３・・・はこの母材１０４ａの下面の凹部内
に嵌合し、これら吸着部材１０３・・・の位置ずれや浮
上りが防止され、これら吸着材１０３・・・は正確な位
置に保持される。
そして、このろう材層１０９が凝固したのち、上記母材
１０４ａあるいはろう材層１０９を吸着材１０３・・・
の最大直径位置よりやや上方のＢ−Ｂ位置まで切削し、
第７図に示す如く吸着材１０３・・・を露出させる。こ
の場合、吸着材１０３・・・は正確な位置に埋設されて
いるので、これら吸着材１０３・・・がその最大直径位
置の下方まで切削されて脱落するようなことが確実に防
止され、またその配列も正確となる。
１０４ａあるいはろう材層１０９を吸着材１０３・・・
の最大直径位置よりやや上方のＢ−Ｂ位置まで切削し、
第７図に示す如く吸着材１０３・・・を露出させる。こ
の場合、吸着材１０３・・・は正確な位置に埋設されて
いるので、これら吸着材１０３・・・がその最大直径位
置の下方まで切削されて脱落するようなことが確実に防
止され、またその配列も正確となる。
上述の如く本発明は、基板上に上面に吸着材収容凹部を
形成した下部ろう板および母材の下面にろう材被覆層が
被覆され下面に上記母材に達する吸着材収容凹部を形成
した上部ろう板を重ね合せるとともに上記吸着材収容凹
部内に断面円形の吸着材を収容する工程と、上記下部ろ
う板および上部ろう板のろう材層を溶融してろう材層を
形成しこのろう材層を上記母材に被着させるとともに上
記吸着材をこのろう材層内に埋設する工程と、上記母材
またはろう材層を切削して上記吸着材を露出させる工程
とを備えたものである。したがって、製造工程中に下部
ろう板および上部ろう板が溶融状態にある場合でも吸着
材は上部ろう板の母材に嵌合しているので、これら吸着
材位置がずれたり、浮上ったりすることはない。したが
って、ろう材層を切削した場合に吸着材材がその最大直
径位置の下方まで切削されてしまうことはなく、この吸
着材の脱落を確実に防止することができるとともに、こ
れら吸着材の配列が正確となる等その効果は大である。
形成した下部ろう板および母材の下面にろう材被覆層が
被覆され下面に上記母材に達する吸着材収容凹部を形成
した上部ろう板を重ね合せるとともに上記吸着材収容凹
部内に断面円形の吸着材を収容する工程と、上記下部ろ
う板および上部ろう板のろう材層を溶融してろう材層を
形成しこのろう材層を上記母材に被着させるとともに上
記吸着材をこのろう材層内に埋設する工程と、上記母材
またはろう材層を切削して上記吸着材を露出させる工程
とを備えたものである。したがって、製造工程中に下部
ろう板および上部ろう板が溶融状態にある場合でも吸着
材は上部ろう板の母材に嵌合しているので、これら吸着
材位置がずれたり、浮上ったりすることはない。したが
って、ろう材層を切削した場合に吸着材材がその最大直
径位置の下方まで切削されてしまうことはなく、この吸
着材の脱落を確実に防止することができるとともに、こ
れら吸着材の配列が正確となる等その効果は大である。
第１図ないし第４図Ｇａ）、（ｂ）は従来例を示し、第
１図ないし第３図は工程を示す断面図、第４図（ａ）、
（ｂ）は切削面の平面図である。第５図ないし第７図は
本発明の一実施例の工程を示す断面図である。 １０１・・・基板、１０３・・・吸着材、１０４・・・
上部ろう板、１０４ａ・・・母材、１０４ｂ・・・ろう
材被覆層、１０５・・・吸着材収容凹部、１０９・・・
ろう材層。 出願人復代理人 弁理士 鈴江武彦 第１ ｎ 第２ 図 第３図 第４図
１図ないし第３図は工程を示す断面図、第４図（ａ）、
（ｂ）は切削面の平面図である。第５図ないし第７図は
本発明の一実施例の工程を示す断面図である。 １０１・・・基板、１０３・・・吸着材、１０４・・・
上部ろう板、１０４ａ・・・母材、１０４ｂ・・・ろう
材被覆層、１０５・・・吸着材収容凹部、１０９・・・
ろう材層。 出願人復代理人 弁理士 鈴江武彦 第１ ｎ 第２ 図 第３図 第４図
Claims (1)
- 基板上に上面に吸着材収容凹部を形成した下部ろう板お
よび母材の下面にろう材被覆層が被覆され下面に上記母
材に達する吸着材収容凹部を形成した上部ろう板を重ね
合せるとともに上記吸着材収容凹部内に断面円形の吸着
材を収容する工程と、上記下部ろう板および上部ろう板
のろう材層を溶融してろう材層を形成しこのろう材層を
上記母材に被着させるとともに上記吸着材をこのろう材
層内に埋設置′る工程と、上記母材またはろう材層を切
削して上記吸着材をｎ出させる工程とを具備したことを
特徴とする低温用吸着パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58246427A JPS60139310A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 低温用吸着パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58246427A JPS60139310A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 低温用吸着パネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60139310A true JPS60139310A (ja) | 1985-07-24 |
Family
ID=17148316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58246427A Pending JPS60139310A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 低温用吸着パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60139310A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62164614A (ja) * | 1986-01-07 | 1987-07-21 | ブレンダツクス−ヴエルケ エル シユナイダ− ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツンク ウント コンパニ− | 口腔衛生用組成物 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP58246427A patent/JPS60139310A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62164614A (ja) * | 1986-01-07 | 1987-07-21 | ブレンダツクス−ヴエルケ エル シユナイダ− ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツンク ウント コンパニ− | 口腔衛生用組成物 |
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