JPS60136047U - 走査電子顕微鏡装置 - Google Patents

走査電子顕微鏡装置

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JPS60136047U
JPS60136047U JP20193284U JP20193284U JPS60136047U JP S60136047 U JPS60136047 U JP S60136047U JP 20193284 U JP20193284 U JP 20193284U JP 20193284 U JP20193284 U JP 20193284U JP S60136047 U JPS60136047 U JP S60136047U
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JP
Japan
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pedestal
electron microscope
scanning electron
electron beam
moving table
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JP20193284U
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Inventor
上原　勝景
高野　勇作
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三菱重工業株式会社
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の電子顕微鏡の縦断側面図、第２図は本考
案の電子顕微鏡の一実施例の縦断側面図である。 １：鏡体枠、２：電子鏡、３：電子線、４：集−束レン
ズ、５：対物レンズ、６：’Ｉ子線走査コイル、７：非
点収差補正用コイル、１ｏ：２次電子線、１１−：２−
次電子線検出器、１２：真空引き口、１５：鏡体枠開放
端、１６：リングパツキン、１７：視野移動台、１８：
視野移動台開口部、１９：ネジ、２１：蛇腹、２３：台
座、２−−５：リングパツキン、２７：ネジ、２８：被
検体。 甑１目 ２４ ・斥 ’４　　　　　　　３ １１Ｖ１１ 票？詔

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 鏡体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、
    同開放端に配設された真空シール手段と、同真空シール
    手段を介して上記鏡体枠を載置するとともに中央部には
    電子線を通過する開口部を側部には上記鏡体枠の水平移
    動手段をそなえた視野移動台と、同視野移動台の一側に
    蛇腹を介して配設された台座と、同台座の一側に配設さ
    れた真空シール手段と、上記視野移動台と台座との間に
    配設された上下方向移動手段とをそなえたことを特徴と
    する走査電子顕微鏡装置。
JP20193284U 1984-12-27 1984-12-27 走査電子顕微鏡装置 Granted JPS60136047U (ja)

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JPS60136047U true JPS60136047U (ja) 1985-09-10
JPS6131483Y2 JPS6131483Y2 (ja) 1986-09-12

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