JPS60133346A - 表面分析用試料破断機構 - Google Patents
表面分析用試料破断機構Info
- Publication number
- JPS60133346A JPS60133346A JP24272683A JP24272683A JPS60133346A JP S60133346 A JPS60133346 A JP S60133346A JP 24272683 A JP24272683 A JP 24272683A JP 24272683 A JP24272683 A JP 24272683A JP S60133346 A JPS60133346 A JP S60133346A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/286—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光電子分先験ＷＥ（ＸＩ）Ｓ及びＵＰＳ、ＸＰ
ＳはまたＥＳＣＡと呼ばれることもある）、オージェ電
子分光装置（ＡＥＳ）、イオンマイクロアナライザ（Ｉ
ＭＡ）、二次イオンＩＲ量分析装置（ＳＩＭＳ）、又は
イオン散乱スペクトル装置（ＩＳＳ）などの表面分析装
置において、装置内の真空中で試料を破断する機構に関
する。
ＳはまたＥＳＣＡと呼ばれることもある）、オージェ電
子分光装置（ＡＥＳ）、イオンマイクロアナライザ（Ｉ
ＭＡ）、二次イオンＩＲ量分析装置（ＳＩＭＳ）、又は
イオン散乱スペクトル装置（ＩＳＳ）などの表面分析装
置において、装置内の真空中で試料を破断する機構に関
する。
（従来技術）
金属材料の研究では結晶粒界における特定元素の濃縮が
分析対象になることが多く、そのため、試料を粒界で破
断して得られる破断面を分析することが必要となる。そ
のような破断は光電子分光装置その他の表面分析装置内
の真空中で行ない、試料を大気に曝すことなく分析部へ
移送しなければならない。
分析対象になることが多く、そのため、試料を粒界で破
断して得られる破断面を分析することが必要となる。そ
のような破断は光電子分光装置その他の表面分析装置内
の真空中で行ない、試料を大気に曝すことなく分析部へ
移送しなければならない。
従来の試料Ｍｔ断ａ＃Ｊでは、試料を試料ホルダーに片
持ち状態で保持し、試料の他端をハンマーなどでたたい
て破断している。したがって、破断された試料片のうち
、試料ホルダーに保持されていない側の試料片は落ちて
しまい、両試料片の破断面を分析したい場合には、落ち
た試料片詮所定位置に位置決めするためのマジックハン
ドのような複雑な機構が必要になるという問題が生じて
くる。
持ち状態で保持し、試料の他端をハンマーなどでたたい
て破断している。したがって、破断された試料片のうち
、試料ホルダーに保持されていない側の試料片は落ちて
しまい、両試料片の破断面を分析したい場合には、落ち
た試料片詮所定位置に位置決めするためのマジックハン
ドのような複雑な機構が必要になるという問題が生じて
くる。
（目的）
本発明は、表面分析装置内の真空中で試料を破断し、し
かも破断された両方の試料片を所定位置に位置決めでき
る試料破断機構をマジックハンドのような複雑な機構を
使用せずに筒ｑｌな構成で実現することを目的とするも
のである。
かも破断された両方の試料片を所定位置に位置決めでき
る試料破断機構をマジックハンドのような複雑な機構を
使用せずに筒ｑｌな構成で実現することを目的とするも
のである。
（構成）
本発明の試料破断機構は試料保持部、加圧手段、及びガ
イドパイプを備え、試料保持部は回転可能に支持され端
部で間隙をもって対向した一対の筒状体からなり、この
一対の筒状試料保持部に試料を保持し、加圧手段により
その試料保持部の対向端部を上方に加圧して試料を破断
するとともに試料保持部を回転させたとき、破断された
２個の試料片は破断面を上にして自重で試料保持部から
滑り出し〜ガイドパイプに導かれて試料移送手段の所定
位置へ位置決めされるように構成さｉｂたものである。
イドパイプを備え、試料保持部は回転可能に支持され端
部で間隙をもって対向した一対の筒状体からなり、この
一対の筒状試料保持部に試料を保持し、加圧手段により
その試料保持部の対向端部を上方に加圧して試料を破断
するとともに試料保持部を回転させたとき、破断された
２個の試料片は破断面を上にして自重で試料保持部から
滑り出し〜ガイドパイプに導かれて試料移送手段の所定
位置へ位置決めされるように構成さｉｂたものである。
以下実施例により、本発明の詳細な説明する。
（実施例）
図は表面分析装置の分析部につながる真空槽内に設けら
れた試料破断移送部を表わし、試料に脆性を起させる冷
却機構１、本発明の一実施例である試料破断機構２、試
料移送手段としての試料コンベア３．及び試料を分析部
へ導入する試料導入部４を備えている。
れた試料破断移送部を表わし、試料に脆性を起させる冷
却機構１、本発明の一実施例である試料破断機構２、試
料移送手段としての試料コンベア３．及び試料を分析部
へ導入する試料導入部４を備えている。
試料５は所定寸法の棒状に加工され、中央部にノツチ６
が設けられて試料カプセル７．８に両端が挿入される。
が設けられて試料カプセル７．８に両端が挿入される。
試料カブセルフ、８には段差が設けられて先端部が細く
なっている。 ９は真空槽１０の試料設置用の開口で、
試料設置の際に開けられる。
なっている。 ９は真空槽１０の試料設置用の開口で、
試料設置の際に開けられる。
冷却機構１は軸方向に摺動可能な試料収納筒１１を有し
、試料カプセル７．８に収められた試料５はこの試料収
納筒】１中へ収納される。１２は真空槽１０の外部から
操作して冷却機構１の試料を試料破断機構２へ移送させ
る試料移送棒で、試料収納筒ｌｌ中を進行できるように
外径はその試料収納筒１１の内径よりも小さくなってお
り、試料移送棒１２の外側には冷却機構１の試料収納筒
１１を押すスリーブ１３が摺動可能に、かつコイルバネ
１４により先端方向に押されてはめられている。１５は
バネ性の突起で、試料収納筒１１の内側の凹部１６と係
合するようになっている。
、試料カプセル７．８に収められた試料５はこの試料収
納筒】１中へ収納される。１２は真空槽１０の外部から
操作して冷却機構１の試料を試料破断機構２へ移送させ
る試料移送棒で、試料収納筒ｌｌ中を進行できるように
外径はその試料収納筒１１の内径よりも小さくなってお
り、試料移送棒１２の外側には冷却機構１の試料収納筒
１１を押すスリーブ１３が摺動可能に、かつコイルバネ
１４により先端方向に押されてはめられている。１５は
バネ性の突起で、試料収納筒１１の内側の凹部１６と係
合するようになっている。
試料破断機構２は、一対の筒状の試料保持部２０．２１
を有し、これら試料保持部２０．２１は一端で相互に間
隙をもって対向し、それぞれ回転軸２２．２３により回
転可能に支持されており、試料カプセル７．８に収納さ
れた試料５はこの試料保持部２０．２１に跨がって試料
５のノツチ６が間隙の中央にくるように収納される。
を有し、これら試料保持部２０．２１は一端で相互に間
隙をもって対向し、それぞれ回転軸２２．２３により回
転可能に支持されており、試料カプセル７．８に収納さ
れた試料５はこの試料保持部２０．２１に跨がって試料
５のノツチ６が間隙の中央にくるように収納される。
試料破断機構２の加圧手段としての破断ウェッジ２４は
、断面が三角形でその斜面に試料保持部２０．２１の対
向端部の下部が接し、破断動力源としてのピストン２５
のロンド２６により」上方に引き上げられるようになっ
ている。ピストン２５は下部の吹込み穴２７から圧縮空
気を圧入することにより上方に押し上げられる。
、断面が三角形でその斜面に試料保持部２０．２１の対
向端部の下部が接し、破断動力源としてのピストン２５
のロンド２６により」上方に引き上げられるようになっ
ている。ピストン２５は下部の吹込み穴２７から圧縮空
気を圧入することにより上方に押し上げられる。
２８．２９は、破断され試料保持部２０．２１の筒の外
端から出てきたカプセル入り試料片を自重により導くガ
イドパイプで、その先端は試料コンベア３の所定位置に
位置している。ガイドパイプ２８．２９の先端には、試
料片が試料コンベア３に位置決めされたとき、移送方向
に移動できるように切欠き３０．３１が設けらけている
。
端から出てきたカプセル入り試料片を自重により導くガ
イドパイプで、その先端は試料コンベア３の所定位置に
位置している。ガイドパイプ２８．２９の先端には、試
料片が試料コンベア３に位置決めされたとき、移送方向
に移動できるように切欠き３０．３１が設けらけている
。
試料コンベア３上の所定位置では、上方向に開閉可能な
爪３２，３３に試料カプセル７．８の端部が挿入される
穴が設けられており、ガイドパイプ２８．２９を滑り落
ちてきた試料はこの爪３２゜３３の穴に位置決めされる
ようになっている。試料コンベア３にはラック４０が設
けられ、それにギア４１が噛合し、軸４２を経て外部の
ギア４３゜４４及びハンドル４５へとつながっている。
爪３２，３３に試料カプセル７．８の端部が挿入される
穴が設けられており、ガイドパイプ２８．２９を滑り落
ちてきた試料はこの爪３２゜３３の穴に位置決めされる
ようになっている。試料コンベア３にはラック４０が設
けられ、それにギア４１が噛合し、軸４２を経て外部の
ギア４３゜４４及びハンドル４５へとつながっている。
試料導入部４では真空槽の外部から操作される試料導入
棒５０が設けられ、この試料導入棒５０の先端には試料
カプセル７．８の端部をはめ込ませる穴が設けられてい
て、試料コンベア３の爪３２又は３３に位置決めされて
移送されてきた試料カプセル７又は８の試料を保持して
上方の分析部７へと押し上げる。
棒５０が設けられ、この試料導入棒５０の先端には試料
カプセル７．８の端部をはめ込ませる穴が設けられてい
て、試料コンベア３の爪３２又は３３に位置決めされて
移送されてきた試料カプセル７又は８の試料を保持して
上方の分析部７へと押し上げる。
真空槽１０の外部から操作される試料移送捧１２、ピス
トンロッド２６、軸４２及び試料導入棒５０は、それぞ
れ０リング５１．５２＋ ５３及び、５４により気密が
保たれている。
トンロッド２６、軸４２及び試料導入棒５０は、それぞ
れ０リング５１．５２＋ ５３及び、５４により気密が
保たれている。
次にこの試料破断移送部の操作を説明する。
試料カプセル７．８に収納された試料５を開口９から冷
却機構ｌの試料収納筒ＩＩ中へ収納し、開口９を閉じて
槽内を排気し、真空にした後、冷却機構１の冷却を開始
する。試料５が冷ノ′４１されると試料移送棒１２を押
し込む。試料移送棒１２のスリーブ１３が試料収納筒１
１を押し、試料５を試料収納筒１１とともに試料破断機
構２の方向へ押し出す。試料収納筒１１の先端が試料保
持部２０の先端に当たると、その後は試料移送棒１２が
スリーブ１３から出て試料収納筒１１中を進み。
却機構ｌの試料収納筒ＩＩ中へ収納し、開口９を閉じて
槽内を排気し、真空にした後、冷却機構１の冷却を開始
する。試料５が冷ノ′４１されると試料移送棒１２を押
し込む。試料移送棒１２のスリーブ１３が試料収納筒１
１を押し、試料５を試料収納筒１１とともに試料破断機
構２の方向へ押し出す。試料収納筒１１の先端が試料保
持部２０の先端に当たると、その後は試料移送棒１２が
スリーブ１３から出て試料収納筒１１中を進み。
試料カプセルに収納された試料５を試料破断機構２の試
料保持部２０．２１中へ位置決めする。このとき、試料
５の長さが所定寸法に決められているので、試料移送棒
１２を所定距離だけ押し込むと試料５は所定位置に位置
決めされ、そのノツチ６が試料保持部２０．２１の対向
間隙の中央にくる。
料保持部２０．２１中へ位置決めする。このとき、試料
５の長さが所定寸法に決められているので、試料移送棒
１２を所定距離だけ押し込むと試料５は所定位置に位置
決めされ、そのノツチ６が試料保持部２０．２１の対向
間隙の中央にくる。
また、このとき、試料移送棒１２の突起１５が試料収納
筒１１の四部１６と係合するので、試料移送棒１２を後
退させれば試料収納筒１１もともに後退し、試料収納筒
１１は冷却機構１の所定位置まで戻ったところで停止さ
れ、その後に試料移送棒１２と試料収納筒１１の係合が
外れる。
筒１１の四部１６と係合するので、試料移送棒１２を後
退させれば試料収納筒１１もともに後退し、試料収納筒
１１は冷却機構１の所定位置まで戻ったところで停止さ
れ、その後に試料移送棒１２と試料収納筒１１の係合が
外れる。
試料５が試料破断機構２に位置決めされた後、ピストン
２５を作動させて破断ウェッジ２４を上方に引き上げる
と、試料５がノツチ６の位置で破断されるとともに、試
料保持部２．０．２１が回転軸２２．２３を回転中心と
して矢印ａ、ｂ方向に回転する。試料保持部２０．２１
がある角度以上傾くと、試料カプセル７．８に入った試
料片は自重で滑り出し、試料破断面を上にしてガイドパ
イプ２８．２９中へ落ち、試料コンベア３の所定位置へ
と導かれて破断面を上にして位置決めされる。
２５を作動させて破断ウェッジ２４を上方に引き上げる
と、試料５がノツチ６の位置で破断されるとともに、試
料保持部２．０．２１が回転軸２２．２３を回転中心と
して矢印ａ、ｂ方向に回転する。試料保持部２０．２１
がある角度以上傾くと、試料カプセル７．８に入った試
料片は自重で滑り出し、試料破断面を上にしてガイドパ
イプ２８．２９中へ落ち、試料コンベア３の所定位置へ
と導かれて破断面を上にして位置決めされる。
試料コンベア３に位置決めされた２個の試料片をハンド
ル４５の操作により試料導入部４へ移送した後、試料導
入棒５０を押し上げて試料片を試料カプセルとともに保
持して分析部へ導入する。
ル４５の操作により試料導入部４へ移送した後、試料導
入棒５０を押し上げて試料片を試料カプセルとともに保
持して分析部へ導入する。
一方の試料片の分析が終ると、試料導入棒５゜を引っ込
めることシこより、試料片は再び試料コンベア３の爪３
２又は３３により保持される。次に試料コンベア３を再
び移動させた後、再び試料導入棒５０を押し上げること
により、他方の試料片を分析部へ導入することができる
。
めることシこより、試料片は再び試料コンベア３の爪３
２又は３３により保持される。次に試料コンベア３を再
び移動させた後、再び試料導入棒５０を押し上げること
により、他方の試料片を分析部へ導入することができる
。
なお、上記実施例において１例えば破断動力部をネジ駆
動に替えるなど、本発明思想内で変形することができる
。
動に替えるなど、本発明思想内で変形することができる
。
（効果）
以上のように、本発明の試料破断機構によれば、破断さ
れた両試料片が破断面を上にして試料移送手段の所定位
置に位置決めされるので、マジックハンドのような複雑
な機構を使用しなくても破断された試料片の両方の破断
面を分析することができる。
れた両試料片が破断面を上にして試料移送手段の所定位
置に位置決めされるので、マジックハンドのような複雑
な機構を使用しなくても破断された試料片の両方の破断
面を分析することができる。
図は本発明の一実施例を表わす断面図である。
２・・・・・・試料破断機構、
３・・・・・・試料移送手段としての試料コンベア、訃
−−−−−試料、 ２０．２１・旧・・試料保持部。 ２２．２３・・・・・・回転軸、 ２４・・・・・・加圧手段としての破断ウェッジ。 ２８．２９・・・・・・ガイドパイプ。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 野口繁雄
−−−−−試料、 ２０．２１・旧・・試料保持部。 ２２．２３・・・・・・回転軸、 ２４・・・・・・加圧手段としての破断ウェッジ。 ２８．２９・・・・・・ガイドパイプ。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 野口繁雄
Claims (1)
- （１）回転可能に支持された一対の筒状体を端部で間隙
をもって相互に対向させ、試料の被破断部が前記対向間
隙にくるように試料を保持する試料保持部と、 前記試料保持部の両筒状体の対向端部を上方に加圧する
加圧手段と、 破断され、前記試料保持部の両筒状体の外端から滑り出
した試料を下方の試料移送手段の所定位置へ導くガイド
パイプと、を備えたことを特徴とする表面分析用試料破
断機端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24272683A JPS60133346A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 表面分析用試料破断機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24272683A JPS60133346A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 表面分析用試料破断機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60133346A true JPS60133346A (ja) | 1985-07-16 |
Family
ID=17093331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24272683A Pending JPS60133346A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 表面分析用試料破断機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60133346A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351352U (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-20 | ||
| KR20200117498A (ko) * | 2019-04-04 | 2020-10-14 | 경성시험기주식회사 | 샤르피 충격시험기의 시험편 로딩장치 |
| KR20210079717A (ko) * | 2019-12-20 | 2021-06-30 | 현대제철 주식회사 | 낙중 시험 장치 및 그 제어 방법 |
-
1983
- 1983-12-21 JP JP24272683A patent/JPS60133346A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351352U (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-20 | ||
| KR20200117498A (ko) * | 2019-04-04 | 2020-10-14 | 경성시험기주식회사 | 샤르피 충격시험기의 시험편 로딩장치 |
| KR20210079717A (ko) * | 2019-12-20 | 2021-06-30 | 현대제철 주식회사 | 낙중 시험 장치 및 그 제어 방법 |
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