JPS60129643A - 同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法 - Google Patents
同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法Info
- Publication number
- JPS60129643A JPS60129643A JP23800483A JP23800483A JPS60129643A JP S60129643 A JPS60129643 A JP S60129643A JP 23800483 A JP23800483 A JP 23800483A JP 23800483 A JP23800483 A JP 23800483A JP S60129643 A JPS60129643 A JP S60129643A
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- flow rate
- composition
- capillary
- mixed gas
- flow
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法に
関する。
関する。
゛従来、例えH,水素′1重水素、三重水素等の元素を
含んだ所□謂水素同位体混合ガスの流量及び組成を測定
する方法として、次のような手段が採用されている0す
なわち、第1図に示す如く、混合ガスを含んだプロセス
流れ1を流量計2に導いてその流量を測定するど共)コ
、゛プロセス流れ1から□分離した支流3を分析計4に
導い゛て組成を分析する□ものがそれである°0 パこ
のような方法では、゛分析計4”としてガスクロマトグ
ラフ、゛質量分析計等の高価な装置を・必゛要とする。
含んだ所□謂水素同位体混合ガスの流量及び組成を測定
する方法として、次のような手段が採用されている0す
なわち、第1図に示す如く、混合ガスを含んだプロセス
流れ1を流量計2に導いてその流量を測定するど共)コ
、゛プロセス流れ1から□分離した支流3を分析計4に
導い゛て組成を分析する□ものがそれである°0 パこ
のような方法では、゛分析計4”としてガスクロマトグ
ラフ、゛質量分析計等の高価な装置を・必゛要とする。
分析計4に導かれ“たガスは、そのまま外界に放出され
るためプロセス流れ1に戻すことが極めて難しい。また
、流量計2としては、サーマルマスフローメータと呼ば
れる熱量型流量計等の組成の変化の影響が極めて小さい
ものを使用しなければならない。しかも、分析計4で組
成を測定するのに多くの時間を要するので混合ガスの組
成の値と流量の測定値には、時間的な誤差があり不正確
である。
るためプロセス流れ1に戻すことが極めて難しい。また
、流量計2としては、サーマルマスフローメータと呼ば
れる熱量型流量計等の組成の変化の影響が極めて小さい
ものを使用しなければならない。しかも、分析計4で組
成を測定するのに多くの時間を要するので混合ガスの組
成の値と流量の測定値には、時間的な誤差があり不正確
である。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、水素
同位体混合ガス等の同位体元素混合ガスの流量及び組成
を、時間遅れのないリアル5タイムで容易に測定するこ
とができる同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法を
提供するものである。
同位体混合ガス等の同位体元素混合ガスの流量及び組成
を、時間遅れのないリアル5タイムで容易に測定するこ
とができる同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法を
提供するものである。
即ち、本発明は同位体元素混合ガスを直列に接続された
オリアイス流量計及び毛細管流量計に順次供給し、該オ
リフィス流量計及び該毛細管流量計1=接続された演算
器によシ、該オリフィス流量計により与えられる下記流
量式■及び該毛細管流量計にて与えられる下記流量式■
に基づいて前記同位体元氷混合ガスの流量Qを演算し、
かつ、該流量式夏、iから導かれる連立式を解く演算を
行って前記同位体元素混合ガスの組成を算出する同位体
元素混合ガスの流量・組成測定方法である。
オリアイス流量計及び毛細管流量計に順次供給し、該オ
リフィス流量計及び該毛細管流量計1=接続された演算
器によシ、該オリフィス流量計により与えられる下記流
量式■及び該毛細管流量計にて与えられる下記流量式■
に基づいて前記同位体元氷混合ガスの流量Qを演算し、
かつ、該流量式夏、iから導かれる連立式を解く演算を
行って前記同位体元素混合ガスの組成を算出する同位体
元素混合ガスの流量・組成測定方法である。
但し、m:開孔比、C0:流量係数、ε:膨張補正係数
、D=前後の管径、fe:重力換算係数、ΔP 二前後
の圧力差、ρ:気体の密度但し、D:毛細管の直径、Δ
P:毛細管の上下流の圧力差、K:流量計の固有定数、
U:平均流速 ここで、オリフィス流量計では、流量係数C1は、開孔
比mの関数であシ、膨張補正係数ε、気体の密度ρを知
ることによって、圧力差ΔPを測定して、体積流量Qを
知ることができるものである。
、D=前後の管径、fe:重力換算係数、ΔP 二前後
の圧力差、ρ:気体の密度但し、D:毛細管の直径、Δ
P:毛細管の上下流の圧力差、K:流量計の固有定数、
U:平均流速 ここで、オリフィス流量計では、流量係数C1は、開孔
比mの関数であシ、膨張補正係数ε、気体の密度ρを知
ることによって、圧力差ΔPを測定して、体積流量Qを
知ることができるものである。
また、毛細管流量計では、直径が一定で水平な毛細管の
中を流体が一定の流速の層流で流れる場合に、Hage
n−POlseuilleの式%式% 長さ、μ:流体の粘度、U:平均流速)が成立、するこ
とを利用しで、流体の粘度μが分っていれば、圧力差Δ
Pを測定することにより、毛細管内平均流速Uに毛細管
内流路断面積(¥)・を乗じて体積流量を測定するもの
である。
中を流体が一定の流速の層流で流れる場合に、Hage
n−POlseuilleの式%式% 長さ、μ:流体の粘度、U:平均流速)が成立、するこ
とを利用しで、流体の粘度μが分っていれば、圧力差Δ
Pを測定することにより、毛細管内平均流速Uに毛細管
内流路断面積(¥)・を乗じて体積流量を測定するもの
である。
以下、本発明の実施例について・図面を参照して説明す
る。
る。
、、例えば、第2図に示す如く、水素1重、水素。
三重水素等の同位体元素や、混合ガスからなる水素同位
体混合ガスのプロセス流れ10を、直列に配置したオリ
フィス流量計11及び毛細管流量計12に順次供給する
。次いで、これらの流量計xz、1に接続された演算器
13によって、オリフィス流量計11で与えられる下記
流量式(1)と毛細管流量計12で与えられる下記流量
式(2) 、 (3)に基づいて演算すると共に、これ
らの流量式(1) 、 (2) 、 (3)から導かれ
る連立式を解いて、水素同位体混合ガスの流量及び組成
を測定する。
体混合ガスのプロセス流れ10を、直列に配置したオリ
フィス流量計11及び毛細管流量計12に順次供給する
。次いで、これらの流量計xz、1に接続された演算器
13によって、オリフィス流量計11で与えられる下記
流量式(1)と毛細管流量計12で与えられる下記流量
式(2) 、 (3)に基づいて演算すると共に、これ
らの流量式(1) 、 (2) 、 (3)から導かれ
る連立式を解いて、水素同位体混合ガスの流量及び組成
を測定する。
但し、m:開孔比、C0:流量係数、ε:膨張補正係数
、b:前後の管径、tc:重力換算係数、ΔP :前後
の圧力差、ρ:気体の密度ここで、水素同位体混合ガス
の場合、膨張補正係数6は開孔比m1矛リフイス前後の
圧力比、及びアイゼントロピック指数の関数である0開
孔比mは、既知であジオリフイヌ前後の・圧力比も簡単
に測定できる。水素同位体混合ガス成分のH、HD 、
’D全てf2原子分子であ如、そのアイゼントロピッ
ク指数も等しく混合による影響はない。従って、密度ρ
を知ることによ、って圧力差ΔPを測定して体積流量Q
を知ることができ不ものである〇 ΔP=に*uμ ・・・・・・(2) ΔPは毛細管の上下流の圧力差(圧力損失)、Uは平均
流速、μは流体の粘度、Kは(3)式で表わされる流量
計固有の定数、tは毛細管の長さ、Dは毛細管の直径で
ある。 ・ ここで、水素同位体混合ガスの場合、その粘度は組成に
より変化する。例えば、Hl Dt 系の29.3にの
場合には下記表の通シである。
、b:前後の管径、tc:重力換算係数、ΔP :前後
の圧力差、ρ:気体の密度ここで、水素同位体混合ガス
の場合、膨張補正係数6は開孔比m1矛リフイス前後の
圧力比、及びアイゼントロピック指数の関数である0開
孔比mは、既知であジオリフイヌ前後の・圧力比も簡単
に測定できる。水素同位体混合ガス成分のH、HD 、
’D全てf2原子分子であ如、そのアイゼントロピッ
ク指数も等しく混合による影響はない。従って、密度ρ
を知ることによ、って圧力差ΔPを測定して体積流量Q
を知ることができ不ものである〇 ΔP=に*uμ ・・・・・・(2) ΔPは毛細管の上下流の圧力差(圧力損失)、Uは平均
流速、μは流体の粘度、Kは(3)式で表わされる流量
計固有の定数、tは毛細管の長さ、Dは毛細管の直径で
ある。 ・ ここで、水素同位体混合ガスの場合、その粘度は組成に
より変化する。例えば、Hl Dt 系の29.3にの
場合には下記表の通シである。
すなわち、H−D系の水素同位体混合ガスを考える場合
には、H,HD、Dの3成分系も考慮する必要がある。
には、H,HD、Dの3成分系も考慮する必要がある。
しかし、DHがL Dt 系に加わってもHR*D*の
モル分率の代シにH1D夫々の原子分率を用いれば、H
z−Dt系のデータを利用、できることがM認されて、
いる。従って、圧力差ΔP及び温度を測定することによ
り、粘度μが即ち、H,Dの存在割合いが分っていれば
、体積流量を知ることができる。逆;ニ、体積流量が分
っておれば、H,Dの存在割合いつまシ、組成を知るこ
とができる。
モル分率の代シにH1D夫々の原子分率を用いれば、H
z−Dt系のデータを利用、できることがM認されて、
いる。従って、圧力差ΔP及び温度を測定することによ
り、粘度μが即ち、H,Dの存在割合いが分っていれば
、体積流量を知ることができる。逆;ニ、体積流量が分
っておれば、H,Dの存在割合いつまシ、組成を知るこ
とができる。
換言すれば、水素同位体H・、Dに対して、それぞれの
原子流量をFM 、 FD 、粘度をμH1μD5分子
量をMH、MD 、原子分率をEx 、 MDとし、混
合ガスに対しては添字を除いたものとすると、式(1)
から (ここで、K 1 =K t m Co ’ I”’;
””j”; )である。
原子流量をFM 、 FD 、粘度をμH1μD5分子
量をMH、MD 、原子分率をEx 、 MDとし、混
合ガスに対しては添字を除いたものとすると、式(1)
から (ここで、K 1 =K t m Co ’ I”’;
””j”; )である。
K!は体積流量からモル流量への換算係数であり一定値
である。εは成分ガスH,,1FfD。
である。εは成分ガスH,,1FfD。
D、であシ、アイゼントロピック指数が等しいので定数
の如く取り扱える。密度ρと分子量Mの間には次の関係
がある。
の如く取り扱える。密度ρと分子量Mの間には次の関係
がある。
ρ=に、M ・・・・・・(5)
ある温度、圧力の下において、Ksは一定である。水素
同位体混合ガスの見掛は原子量は次式1式% 一方式(2)より であシ、毛細管流量計12に固有の一定値である。まだ
、水素同位体混合ガスの粘度は先に示したデータが使え
る。また、原子分率の定義によシ、 −Tn = 1.− ”H・−・・−(s)式(4)〜
式(8)の独立な5つの方程式と、組成と粘度との関係
データを1つの方程式と考えれば独立外6つの方程1式
がある。例えば、組成と粘度の関係データを近似式化す
る。=方、未知数は、F、 p 、 M 、 x、、
、 x9. μの6つであるから、これは数学的に解け
て、0≦x1□≦1 かつo < xn≦1 を満たす
解がめる値である。
同位体混合ガスの見掛は原子量は次式1式% 一方式(2)より であシ、毛細管流量計12に固有の一定値である。まだ
、水素同位体混合ガスの粘度は先に示したデータが使え
る。また、原子分率の定義によシ、 −Tn = 1.− ”H・−・・−(s)式(4)〜
式(8)の独立な5つの方程式と、組成と粘度との関係
データを1つの方程式と考えれば独立外6つの方程1式
がある。例えば、組成と粘度の関係データを近似式化す
る。=方、未知数は、F、 p 、 M 、 x、、
、 x9. μの6つであるから、これは数学的に解け
て、0≦x1□≦1 かつo < xn≦1 を満たす
解がめる値である。
なお、本発明は水素以外の他の同位体元素2種類からな
る混合ガスにも適用できるものである0 更に、2種類の全く異なる成分の混合ガスに対しては、
次のように処理することにより、本発明方法を適用でき
る。すなわち、成分A、Bに対して式(4)〜式(8)
が同様に成立する。
る混合ガスにも適用できるものである0 更に、2種類の全く異なる成分の混合ガスに対しては、
次のように処理することにより、本発明方法を適用でき
る。すなわち、成分A、Bに対して式(4)〜式(8)
が同様に成立する。
但し、この場合には、式(4)〜式(8)に含まれる添
字をH、DからA、Bとして、A、Bに対する値を表わ
すものとし、かつ、原子基準であったのを分子基準とす
る。このようにして得られる式をそれぞれ式(4′)〜
(8′)と呼ぶこととする。
字をH、DからA、Bとして、A、Bに対する値を表わ
すものとし、かつ、原子基準であったのを分子基準とす
る。このようにして得られる式をそれぞれ式(4′)〜
(8′)と呼ぶこととする。
また、混合ガスの粘度については、H−D系では実験デ
ータを用いたが、実験データのないものについては、例
えば、次のWllkeO式(9)によ請求めた値を使う
ことができる。
ータを用いたが、実験データのないものについては、例
えば、次のWllkeO式(9)によ請求めた値を使う
ことができる。
ここで、
で′蔦る。 ′
H−D系の場合と同様に式(4′)〜式(9′)の独立
な6つの方程式に対し、未知数が6つであるから、これ
は数学的に解けて、 0≦X□≦1.0≦JB≦1を満たす解がめる値である
。
な6つの方程式に対し、未知数が6つであるから、これ
は数学的に解けて、 0≦X□≦1.0≦JB≦1を満たす解がめる値である
。
以上説明した如く、本発明、に係る同位体元素混合ガス
の流量・組成測定方ぷによ□れば、同位体元素混合ガス
の流量及び組成を、時間遅れのないリアルタイムで容易
に測定できるものであるO
の流量・組成測定方ぷによ□れば、同位体元素混合ガス
の流量及び組成を、時間遅れのないリアルタイムで容易
に測定できるものであるO
第1図は、従来の方法を示す説明図、第2図は本発明方
法を示す説明図である。 10・・・プロセス流れ、11・・・オリフィス流量計
、12・・・毛細管流量計、13・・・演算器。
法を示す説明図である。 10・・・プロセス流れ、11・・・オリフィス流量計
、12・・・毛細管流量計、13・・・演算器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 同位体元素混合ガスを直列に接続されたオリフィス流量
計及び毛細管流量計に順次供給し、該オリフィス流□置
針及び−毛細管流量計に接続された演算器により、該オ
リフィス流量計により与えら、れる下記流量式I及び該
毛細管流量計にて与えら、れる下、記流童式■に基づい
て前H亜叩位体元素混合ガスの流量(Q)を演算し、・
か2、該流量式i、Iから導かれる。連立式を、解く演
算を行って前記同位体元素混合ガスの組成を算串す・る
ことを特、徴とする同位体元素混合ガスの流量・組成測
定方法。 。 −−! □ 但し、・m:開孔比、C0:′流量係数、6:膨張補正
係数、D=前後の管径、′y、:重力換算係数、ΔP二
前後の圧力差、ρ:気体の密度但し、D1毛細管の直径
、ΔP :毛細管の上下流の圧力差、′に:流量計の固
有定数
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23800483A JPS60129643A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23800483A JPS60129643A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60129643A true JPS60129643A (ja) | 1985-07-10 |
Family
ID=17023702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23800483A Pending JPS60129643A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 同位体元素混合ガスの流量・組成測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60129643A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5965807A (en) * | 1995-06-05 | 1999-10-12 | Nippondenso Co., Ltd. | Sensor device with a self adjustor for eliminating abnormal sensitivity |
JP2008116283A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Tokyo Meeta Kk | 流量計 |
-
1983
- 1983-12-19 JP JP23800483A patent/JPS60129643A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5965807A (en) * | 1995-06-05 | 1999-10-12 | Nippondenso Co., Ltd. | Sensor device with a self adjustor for eliminating abnormal sensitivity |
JP2008116283A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Tokyo Meeta Kk | 流量計 |
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