JPS60127442A - 回転多面鏡の倒れ測定装置 - Google Patents
回転多面鏡の倒れ測定装置Info
- Publication number
- JPS60127442A JPS60127442A JP23559783A JP23559783A JPS60127442A JP S60127442 A JPS60127442 A JP S60127442A JP 23559783 A JP23559783 A JP 23559783A JP 23559783 A JP23559783 A JP 23559783A JP S60127442 A JPS60127442 A JP S60127442A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflective surface
- polygon mirror
- rotating polygon
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔１〕 技術分野
本発明は、光線の偏向に用いられる回転多面鏡の各反射
面の倒れを簡易的確に測定しうるように、回転多面鏡の
反射面からの反射光を受光する受光器の前面にナイフエ
ッヂを設け、各反射光の位置変化を光出力の変化として
読みとれるようにした回転多面鏡の倒れ測定装置。
面の倒れを簡易的確に測定しうるように、回転多面鏡の
反射面からの反射光を受光する受光器の前面にナイフエ
ッヂを設け、各反射光の位置変化を光出力の変化として
読みとれるようにした回転多面鏡の倒れ測定装置。
〔２〕 背景技術
光線を高周波数で偏光するための回転多面鏡は、プリン
ター等の種々のものに用いられている。第１図は回転多
面鏡を用いたレーザ記録装置の一例を示すものである。
ター等の種々のものに用いられている。第１図は回転多
面鏡を用いたレーザ記録装置の一例を示すものである。
このレーザ記録装置は、平行光線１を発振するレーザ発
振器２と、平行光線１の方向を変位させるミラー３ａ。
振器２と、平行光線１の方向を変位させるミラー３ａ。
３ ｂ Ｎ ３ ｃ 、３ ｄと、モータ等により回転
し平行光線１を走査方向に偏向させる回転多面鏡４と、
平行光線１の光束全制御する複数のレンズ５ａｔ ５ｂ
、５ｃ、５ａ、５ｃと、平行光線１を画像信号に応じて
変調する変調器６と、光線によって静電潜像が形成され
る感光ドラム７とよシ構成されている。以上の構成にお
いて、レーザ発振器２から平行光線１が発振されると、
この平行光線１は第１ミラー３ａ及び第２ミラー３ｂに
よシその方向を変位させられ、レンズ５ａｉ介して変調
器６に入って画像信号に応じて変調させられる。この変
調光線はレンズ５ｂを通過した後、ミ；Ｉｙ３ｃにより
方向？変位させられ、レンズ５ｃｉ介して回転鏡４に反
射される。回転鏡４０反射によって変調光線は走査方向
に偏向され、レンズ５ｄ、５ｅｌ（介して進み最終ミラ
ー３ｄにょシ感光ドラム７に到達して所望の静電潜像全
形成する。そして、この種の装置にあっては、回転多面
鏡４の反射面が所定の位置から傾斜している、すなわち
倒れていると、形成された静電潜像に歪みが生じ、印字
品質を低下させる原因になる。そのため回転多面鏡の反
射面の倒れ全測定し、靜覗潜像に歪みが生じないような
対策を講じることが必要となる。
し平行光線１を走査方向に偏向させる回転多面鏡４と、
平行光線１の光束全制御する複数のレンズ５ａｔ ５ｂ
、５ｃ、５ａ、５ｃと、平行光線１を画像信号に応じて
変調する変調器６と、光線によって静電潜像が形成され
る感光ドラム７とよシ構成されている。以上の構成にお
いて、レーザ発振器２から平行光線１が発振されると、
この平行光線１は第１ミラー３ａ及び第２ミラー３ｂに
よシその方向を変位させられ、レンズ５ａｉ介して変調
器６に入って画像信号に応じて変調させられる。この変
調光線はレンズ５ｂを通過した後、ミ；Ｉｙ３ｃにより
方向？変位させられ、レンズ５ｃｉ介して回転鏡４に反
射される。回転鏡４０反射によって変調光線は走査方向
に偏向され、レンズ５ｄ、５ｅｌ（介して進み最終ミラ
ー３ｄにょシ感光ドラム７に到達して所望の静電潜像全
形成する。そして、この種の装置にあっては、回転多面
鏡４の反射面が所定の位置から傾斜している、すなわち
倒れていると、形成された静電潜像に歪みが生じ、印字
品質を低下させる原因になる。そのため回転多面鏡の反
射面の倒れ全測定し、靜覗潜像に歪みが生じないような
対策を講じることが必要となる。
従来の回転多面鏡の倒れ測定装置として、例えば、オー
トコリメータを使用するものがある。
トコリメータを使用するものがある。
このオートコリメータは、回転多面鏡の反射面に対面し
て配置される対物レンズと、対物レンズの焦点位置に配
置される第１の焦点ガラス及びマークを有する第２の焦
点ガラスと、第２の焦点ガラスの背後に配置され第２の
焦点ガラスのマーク金照射する照明装置とより構成され
ている。
て配置される対物レンズと、対物レンズの焦点位置に配
置される第１の焦点ガラス及びマークを有する第２の焦
点ガラスと、第２の焦点ガラスの背後に配置され第２の
焦点ガラスのマーク金照射する照明装置とより構成され
ている。
以上の構成において、回転多面鏡の反射面に対面して対
物レンズ全配置し、照明装置から発した光線を第２の焦
点ガラス及び対物レンズを介して反射面に入射する。な
お、第２の焦点ガラスのマークは背後から照明装置で照
明されるため無限遠点に結像される。反射面に入射した
前記入射光は反射されて再び対物レンズを介して第１の
焦点ガラスへ進むため、対物レンズに工りマークの像が
第１の焦点ガラス上に作られる。仮に、反射面が微少角
度θだけ傾斜していると、対物レンズに入射する主光線
は２θだけ曲げられるので、対物レンズの焦点距離Ｉｆ
とすると、マークの像は第１の焦点ガラスに対して２ｆ
θ移動する。このように反射面の角度の変化が第１の焦
点ガラス上のマークの変位によって示されるため、反射
面の傾斜角度を測定できる。
物レンズ全配置し、照明装置から発した光線を第２の焦
点ガラス及び対物レンズを介して反射面に入射する。な
お、第２の焦点ガラスのマークは背後から照明装置で照
明されるため無限遠点に結像される。反射面に入射した
前記入射光は反射されて再び対物レンズを介して第１の
焦点ガラスへ進むため、対物レンズに工りマークの像が
第１の焦点ガラス上に作られる。仮に、反射面が微少角
度θだけ傾斜していると、対物レンズに入射する主光線
は２θだけ曲げられるので、対物レンズの焦点距離Ｉｆ
とすると、マークの像は第１の焦点ガラスに対して２ｆ
θ移動する。このように反射面の角度の変化が第１の焦
点ガラス上のマークの変位によって示されるため、反射
面の傾斜角度を測定できる。
しかし、従来の回転多面鏡の倒れ測定装置にあっては、
静止状態で各反射面の回転方向の角度出しを１面ごとに
行って倒れ全測定しなければならないため、反射面数が
多い回転多面鏡の測定には多大な工数が必要であシ、測
定作業が煩雑化する恐れがある。
静止状態で各反射面の回転方向の角度出しを１面ごとに
行って倒れ全測定しなければならないため、反射面数が
多い回転多面鏡の測定には多大な工数が必要であシ、測
定作業が煩雑化する恐れがある。
〔３〕 発明の目的および構成
本発明は、上記に鑑みでなされたものであり、回転多面
鏡を回転させながら反射面の倒れを簡易的確に測定しう
るようにするため、回転多面鏡の各反射面からの反射光
全受光する受光器の前面にナイフエッヂを設け、各反射
光の位置変化を光出力の変化として読みとれるようにし
た回転多面鏡の倒れ測定装置を提供するものである。
鏡を回転させながら反射面の倒れを簡易的確に測定しう
るようにするため、回転多面鏡の各反射面からの反射光
全受光する受光器の前面にナイフエッヂを設け、各反射
光の位置変化を光出力の変化として読みとれるようにし
た回転多面鏡の倒れ測定装置を提供するものである。
〔４〕 実施例
以下、本発明による回転多面鏡の倒れ測定装置を詳細に
説明する。
説明する。
第２図は本発明の一実施例を示し、ビーム径０．８ｍの
Ｈｅ−Ｎｅレーザ光線等からなる平行光線１１を放射す
るレーザ発振器等の光源１２と、外周に複数個の反射面
１４を有しモータ等によシ回転駆動されて平行光線ｌｌ
を偏向させる回転多面鏡１３と、反射面１４から例えば
、１０ｍはどの距離上おいて配置され該反射面１４から
の反射光を例えば４７■程度の受光部で受光してその受
光量に応じた電気信号を出力するシリコンフォトディテ
クタ等からなる受光器１５と、各反射面１４の倒れによ
シ変化する反射光の向きと略垂直になるような方向でか
つ各反射光の位置変化が光出力の変化として読みとれる
ように該反射光金略１カ′程度遮断して受光器１５の前
面に配設されたナイフエッヂ１６と、受光器１５の出力
信号から各反射面１４の傾斜角度をめそれをメモリ等に
記憶する記録装置１７とより構成されている。
Ｈｅ−Ｎｅレーザ光線等からなる平行光線１１を放射す
るレーザ発振器等の光源１２と、外周に複数個の反射面
１４を有しモータ等によシ回転駆動されて平行光線ｌｌ
を偏向させる回転多面鏡１３と、反射面１４から例えば
、１０ｍはどの距離上おいて配置され該反射面１４から
の反射光を例えば４７■程度の受光部で受光してその受
光量に応じた電気信号を出力するシリコンフォトディテ
クタ等からなる受光器１５と、各反射面１４の倒れによ
シ変化する反射光の向きと略垂直になるような方向でか
つ各反射光の位置変化が光出力の変化として読みとれる
ように該反射光金略１カ′程度遮断して受光器１５の前
面に配設されたナイフエッヂ１６と、受光器１５の出力
信号から各反射面１４の傾斜角度をめそれをメモリ等に
記憶する記録装置１７とより構成されている。
以上の構成において、光源１２から平行光線１１ｔｌ−
放射するもと、この平行光線１１が回転する回転多面鏡
１３の各反射面１４によって反射され受光器１６に入射
する。ここで、回転多面鏡１３によシ反射された平行光
線の断面の強度分布は、第３図に示すようなガウス分布
をしておシ、断面の中心点が最大強度で中心点から離れ
るに従って強度が低下していく。そして回転多面鏡１３
の各反射面１４が垂直のときに、この反射面１４で反射
される平行光線は、その中心点を通る位置に配置された
ナイフエッヂ１６によシ略１／２遮断されて受光器１５
に入射するようになっているため、各反射面１４が傾斜
していると、反射面１４で反射された平行光線の中心位
置が移動してナイフエッヂ１６によシ遮ぎられる光量が
変化する。第３図はこの状態を表わしており、横軸が反
射光とナイフエッヂ１６の相対位置、縦軸が受光器１５
で受光される光出力（すなわち受光器１５の出力信号）
であシ、相対位置が零を中心として正、負に変動すると
Ａ、Ｂ間において光出力が直線的に上昇する。そこで、
記録装置１７はＡ、Ｂ間の直線部を用いて受光器１５の
出力信号から反射光とナイフエッヂ１６の相対位置、す
なわち両者のずれを演算することによシ、回転する各反
射面１４の傾斜角（すなわち倒れ）を順次求めることが
できるのである。
放射するもと、この平行光線１１が回転する回転多面鏡
１３の各反射面１４によって反射され受光器１６に入射
する。ここで、回転多面鏡１３によシ反射された平行光
線の断面の強度分布は、第３図に示すようなガウス分布
をしておシ、断面の中心点が最大強度で中心点から離れ
るに従って強度が低下していく。そして回転多面鏡１３
の各反射面１４が垂直のときに、この反射面１４で反射
される平行光線は、その中心点を通る位置に配置された
ナイフエッヂ１６によシ略１／２遮断されて受光器１５
に入射するようになっているため、各反射面１４が傾斜
していると、反射面１４で反射された平行光線の中心位
置が移動してナイフエッヂ１６によシ遮ぎられる光量が
変化する。第３図はこの状態を表わしており、横軸が反
射光とナイフエッヂ１６の相対位置、縦軸が受光器１５
で受光される光出力（すなわち受光器１５の出力信号）
であシ、相対位置が零を中心として正、負に変動すると
Ａ、Ｂ間において光出力が直線的に上昇する。そこで、
記録装置１７はＡ、Ｂ間の直線部を用いて受光器１５の
出力信号から反射光とナイフエッヂ１６の相対位置、す
なわち両者のずれを演算することによシ、回転する各反
射面１４の傾斜角（すなわち倒れ）を順次求めることが
できるのである。
第５図は８個の反射面１４を有する回転多面鏡１３の測
定例を示すもので、各反射面１４における光出力の最大
値を結んだ包絡線部Ｃが各反射面の倒れを示【７、それ
以外は反射光が多面鏡１３の回転方向に移動して受光器
１５に入射していないことにより生じている。このよう
に記録装置１７は第４図Ａ、Ｂ間の直線部を用いて第５
図の包結線部から反射光の位置変動をめ反射面の倒れを
測定しているため、例えば、光出力変化（すなわち受光
器１４の出力変化）１チに対し約５μ是の反射光の位置
変動が測定可能となり、この５μｍの変位は反射面１４
の倒れに換算すると約５秒となり、従って精度よく倒れ
を測定できる。しかも回転多面鏡１３を回転させながら
倒れの測定が行えるため、測定工数が大幅に低減できる
。
定例を示すもので、各反射面１４における光出力の最大
値を結んだ包絡線部Ｃが各反射面の倒れを示【７、それ
以外は反射光が多面鏡１３の回転方向に移動して受光器
１５に入射していないことにより生じている。このよう
に記録装置１７は第４図Ａ、Ｂ間の直線部を用いて第５
図の包結線部から反射光の位置変動をめ反射面の倒れを
測定しているため、例えば、光出力変化（すなわち受光
器１４の出力変化）１チに対し約５μ是の反射光の位置
変動が測定可能となり、この５μｍの変位は反射面１４
の倒れに換算すると約５秒となり、従って精度よく倒れ
を測定できる。しかも回転多面鏡１３を回転させながら
倒れの測定が行えるため、測定工数が大幅に低減できる
。
なお、上記実施例における光源１２は、平行光線１１を
放射できるものであればよく、従って例えばランプとレ
ンズを用いた構造の光源でもよい。
放射できるものであればよく、従って例えばランプとレ
ンズを用いた構造の光源でもよい。
〔５〕 発明の詳細
な説明した通シ、本発明の回転多面鏡の倒れ測定装置に
よれば、回転多面鏡の各反射面からの反射光を受光する
受光器の前面にナイフエッヂを設け、各反射光の位置変
化？光出力の変化として読みとれるようにしたため、回
転多面鏡を回転しつつ各反射面の倒れ全簡易的確に測定
することができる。
よれば、回転多面鏡の各反射面からの反射光を受光する
受光器の前面にナイフエッヂを設け、各反射光の位置変
化？光出力の変化として読みとれるようにしたため、回
転多面鏡を回転しつつ各反射面の倒れ全簡易的確に測定
することができる。
第１図はレーザ記録装置等に用いられる回転多面鏡の説
明図、第２図は本発明の一実施例に係る回転多面鏡の倒
れ測定装置の概略構成図、第３図は第２図中の平行光の
断面の強度分布を示す図、第４図は第３図に示す平行光
全ナイフエッヂが遮ぎったときの光出力を示す図、第５
図は第２図における測定結果の一例を示す図である。 符号の説明 ４．１３・・・回転多面鏡、１２・・・光源、１４・・
・反射面、 １５・・・受光器、 １６・・・ナイフエ
ッヂ、 １７・・・記録装置。 特許出願人 富士ゼロックス株式会社 代理人 弁理士 松 原 伸 ２ 同 弁理士 村 木 清 旬 間 弁理士 平 １） 忠 離 間 弁理士 上 島 淳 − 同 弁理士 鈴 木 均 第１歯 第２図 ６ 第３図 第４図 °″ｑ″″′。″′斥々１−め
明図、第２図は本発明の一実施例に係る回転多面鏡の倒
れ測定装置の概略構成図、第３図は第２図中の平行光の
断面の強度分布を示す図、第４図は第３図に示す平行光
全ナイフエッヂが遮ぎったときの光出力を示す図、第５
図は第２図における測定結果の一例を示す図である。 符号の説明 ４．１３・・・回転多面鏡、１２・・・光源、１４・・
・反射面、 １５・・・受光器、 １６・・・ナイフエ
ッヂ、 １７・・・記録装置。 特許出願人 富士ゼロックス株式会社 代理人 弁理士 松 原 伸 ２ 同 弁理士 村 木 清 旬 間 弁理士 平 １） 忠 離 間 弁理士 上 島 淳 − 同 弁理士 鈴 木 均 第１歯 第２図 ６ 第３図 第４図 °″ｑ″″′。″′斥々１−め
Claims (1)
- 回転多面鏡の各反射面からの反射光を受光してその受光
量に応じた電気信号を出力する受光器と、前記各反射面
の倒れにより変化する反射光の向きと略垂直にその反射
光の一部ヲ遮断するように前記受光器の前面に配設され
たナイフエッヂとを備え、前記受光器の出力に基いて前
記反射光の位置変化をめて前記各反射面の倒れを測定す
るようにしたことを特徴とする回転多面鏡の倒れ測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23559783A JPS60127442A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 回転多面鏡の倒れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23559783A JPS60127442A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 回転多面鏡の倒れ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60127442A true JPS60127442A (ja) | 1985-07-08 |
Family
ID=16988358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23559783A Pending JPS60127442A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 回転多面鏡の倒れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60127442A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010059922A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Toyota Motor Corp | 内燃機関のｅｇｒ装置 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP23559783A patent/JPS60127442A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010059922A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Toyota Motor Corp | 内燃機関のｅｇｒ装置 |
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