JPS60125505A - 長さ測定装置 - Google Patents
長さ測定装置Info
- Publication number
- JPS60125505A JPS60125505A JP59236891A JP23689184A JPS60125505A JP S60125505 A JPS60125505 A JP S60125505A JP 59236891 A JP59236891 A JP 59236891A JP 23689184 A JP23689184 A JP 23689184A JP S60125505 A JPS60125505 A JP S60125505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- scanning
- scanning plate
- plate
- piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 3
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、スケールが保持体に取り付けられ、光電子走
査装置が走査板と照明装置と感光受信機とを持ち、この
走査装置が、測定検出器を形成する係合片を介してスケ
ールの縦方向に移動可能であり、スケールに従う走査方
向を得るために補助案内部が設けられ、保合片との結合
部が測定方向に対して直角に撓むことができるように構
成されている長さ測定装置、特に包囲された長さ測定装
置に関する。
査装置が走査板と照明装置と感光受信機とを持ち、この
走査装置が、測定検出器を形成する係合片を介してスケ
ールの縦方向に移動可能であり、スケールに従う走査方
向を得るために補助案内部が設けられ、保合片との結合
部が測定方向に対して直角に撓むことができるように構
成されている長さ測定装置、特に包囲された長さ測定装
置に関する。
従来の技術
この種の構成はドイツ連邦共和国特許出願公告第234
9944号明細書および同第2510219号明細書か
ら公知である。測定が、スケール自体の経過により予め
決められた測定方向において行なわれるので、例えば工
作機械の主軸と連結されている測定検出器の横偏差によ
り生ずる測定誤差が除去され、特に走査板がスケールか
ら履れまたは走査板とスケールとの間隔が変わることが
防止されるようにしなければならない。公知の長さ測定
装置においては走査板、照明装置および感光受信機が走
査装置の内部で大抵付加ハウジング内に収納される回定
的f!置になるように結合されており、この走査装置と
測定検出器との間に測定方向に対して直角に撓むことが
できる結合部が設けられている。この結合部は押圧ばね
も持っており、この押圧ばねが、摺動片あるいはローラ
を持つ走査装置を、大抵互いに垂直になっている2つの
案内面から成る補助案内部に押し付ける。これらの補助
案内部のうち1つがスケール自体によって形成される場
合は、摺動片あるいはローラは走査板から比較的大きい
間隔を置いて走査装置に設けられなければならない。そ
れによって走査装置全体の正確な案内しか実現されず、
スケールに対する走査板の正確な案内は実現されず、そ
して案内面の形成のためにスケールを過度に広くするこ
とが必要になる。検出器に移動可能に支持すべき走査装
置は、比較的大iい自重を持っている。したがって長さ
測定装置を工作機械に取り付ける際に回il!’rきな
いような振動あるいは衝撃が発生した場合にも走査装置
の摺動片あるいはローラを確実に補助案内部に係合させ
るために、比較的大きく寸法設定されたばねが必要であ
る。
9944号明細書および同第2510219号明細書か
ら公知である。測定が、スケール自体の経過により予め
決められた測定方向において行なわれるので、例えば工
作機械の主軸と連結されている測定検出器の横偏差によ
り生ずる測定誤差が除去され、特に走査板がスケールか
ら履れまたは走査板とスケールとの間隔が変わることが
防止されるようにしなければならない。公知の長さ測定
装置においては走査板、照明装置および感光受信機が走
査装置の内部で大抵付加ハウジング内に収納される回定
的f!置になるように結合されており、この走査装置と
測定検出器との間に測定方向に対して直角に撓むことが
できる結合部が設けられている。この結合部は押圧ばね
も持っており、この押圧ばねが、摺動片あるいはローラ
を持つ走査装置を、大抵互いに垂直になっている2つの
案内面から成る補助案内部に押し付ける。これらの補助
案内部のうち1つがスケール自体によって形成される場
合は、摺動片あるいはローラは走査板から比較的大きい
間隔を置いて走査装置に設けられなければならない。そ
れによって走査装置全体の正確な案内しか実現されず、
スケールに対する走査板の正確な案内は実現されず、そ
して案内面の形成のためにスケールを過度に広くするこ
とが必要になる。検出器に移動可能に支持すべき走査装
置は、比較的大iい自重を持っている。したがって長さ
測定装置を工作機械に取り付ける際に回il!’rきな
いような振動あるいは衝撃が発生した場合にも走査装置
の摺動片あるいはローラを確実に補助案内部に係合させ
るために、比較的大きく寸法設定されたばねが必要であ
る。
したがってこれらの補助案内部に対する大きな押圧力が
生ずる。対象の種類の公知の長さ測定装置の別の決定的
な欠点は、しばしば信号用の増編器あるいはその他の処
理装置と同じに白板に取り付けられる照明装置および感
光受信機へ至る導線が、保合片に対する走査装置の横移
動を許容するように構成されなければならないことにあ
る。
生ずる。対象の種類の公知の長さ測定装置の別の決定的
な欠点は、しばしば信号用の増編器あるいはその他の処
理装置と同じに白板に取り付けられる照明装置および感
光受信機へ至る導線が、保合片に対する走査装置の横移
動を許容するように構成されなければならないことにあ
る。
他のamの解決のために、すなわち測定の訂正、例えば
ピッチ誤差の補償のための保合片に対する走査装置の相
対移動のために、走査装置を保合片に対してスケールの
縦方向に移動可能あるいは傾斜可能に構成しかつ訂正案
内部を設けることは公知であり、この訂正案内部は大抵
訂正興形断lを持ち、この訂正異形断面が、上位にある
測定装置との比較測定の際に決められかつ走査器を介し
て走査され、この走査器が走査装置を前進あるいは後退
または揺動させる。
ピッチ誤差の補償のための保合片に対する走査装置の相
対移動のために、走査装置を保合片に対してスケールの
縦方向に移動可能あるいは傾斜可能に構成しかつ訂正案
内部を設けることは公知であり、この訂正案内部は大抵
訂正興形断lを持ち、この訂正異形断面が、上位にある
測定装置との比較測定の際に決められかつ走査器を介し
て走査され、この走査器が走査装置を前進あるいは後退
または揺動させる。
同様の構成がドイツ連邦共和国特許出願公告第3208
591号明細書および同第3210962号明1III
1から公知である。ドイツ連邦共和1持許出顕公告第3
210962号明細書にょる揺動可能な構成において、
走査板だけを揺動させ、しかし走査装置の池の部分を揺
動シこ関係なくスケールの縦方向に案内することも公知
である。それにも拘らず、走査装置が所定の測定方向に
おいてスケールに従うようにしようとする場合は、走査
装置全体を再び上述のやり方で案内しかつ測定検出器と
結合しなければならない。原則として、走査板の傾斜移
動を可能にするために、この走査板とスケールとの比較
的大きい間隔の厳守が必要であり、この間隔は傾斜する
際少なくとも個々の格子範囲において変動するので、信
号ひずみが発生し、これらの信号ひずみは再び補償され
なければならない。スケールに従う測定方向を保証する
場合は全構戎が、すべての欠点が維持されている、冒頭
に挙げたMMの長さ測定装置より高価になる。ドイツ連
邦共和国特許出願公告第3208591号明細府による
構成も同じ欠点を持っている。この構成においては走査
板が走査装置の池の部分に対して、平行4辺形リンクを
形成するばねに、この走査板自体に対して平行に移動1
能に案内され、この移動のために、ゲージを走査する検
出器bS設けられあるいは移動が適当な制御信号の発生
により圧電式に行なわれる。この場合、開示されていな
いことであるが、走査装置が必然的にスケールに従うよ
うに案内される場合でも、走査板の相対縦移動の際にこ
の板とスケールとの間隔が変化するに至る。
591号明細書および同第3210962号明1III
1から公知である。ドイツ連邦共和1持許出顕公告第3
210962号明細書にょる揺動可能な構成において、
走査板だけを揺動させ、しかし走査装置の池の部分を揺
動シこ関係なくスケールの縦方向に案内することも公知
である。それにも拘らず、走査装置が所定の測定方向に
おいてスケールに従うようにしようとする場合は、走査
装置全体を再び上述のやり方で案内しかつ測定検出器と
結合しなければならない。原則として、走査板の傾斜移
動を可能にするために、この走査板とスケールとの比較
的大きい間隔の厳守が必要であり、この間隔は傾斜する
際少なくとも個々の格子範囲において変動するので、信
号ひずみが発生し、これらの信号ひずみは再び補償され
なければならない。スケールに従う測定方向を保証する
場合は全構戎が、すべての欠点が維持されている、冒頭
に挙げたMMの長さ測定装置より高価になる。ドイツ連
邦共和国特許出願公告第3208591号明細府による
構成も同じ欠点を持っている。この構成においては走査
板が走査装置の池の部分に対して、平行4辺形リンクを
形成するばねに、この走査板自体に対して平行に移動1
能に案内され、この移動のために、ゲージを走査する検
出器bS設けられあるいは移動が適当な制御信号の発生
により圧電式に行なわれる。この場合、開示されていな
いことであるが、走査装置が必然的にスケールに従うよ
うに案内される場合でも、走査板の相対縦移動の際にこ
の板とスケールとの間隔が変化するに至る。
また強制的に走査板とスケールとの大きい間隔を厳守し
なければならない。
なければならない。
発明の目的
本発明の!I!題は、冒頭に挙げた種須の長さ測定装置
の全構成を開帳にしかつその際痔命および作動確実性を
高めることである。
の全構成を開帳にしかつその際痔命および作動確実性を
高めることである。
目的を達成するための手段
この課題は、走査板だけが補助案内部で案内され、これ
らの浦助案内部のうちの一方がスケール自体であり、し
かし走査装置の照明装置および感光受信機が係合片に取
り付けられ、測定方向に対して直角に撓むことができる
結合部が保合片と走査板との間に設けられていることに
よって解決される。
らの浦助案内部のうちの一方がスケール自体であり、し
かし走査装置の照明装置および感光受信機が係合片に取
り付けられ、測定方向に対して直角に撓むことができる
結合部が保合片と走査板との間に設けられていることに
よって解決される。
本発明は、特に、定間隔(間隙の大きさ)が保証され、
またはスケールから走査板が灘れることが確実に防止さ
れかつ走査板がスケールに正確に従うm、6に、スケー
ルに対する走査板の正確な案内が重要であるという認識
に基づいている。移動中に測定検出器に従う照明装置と
受信機との通常小さい相対移動は、測定結果を誤云する
信号変化を生ぜしめない。実際上、互いにピッチの数分
の1および全ピッチの任意の数だけずらされた、別体の
感光受信機および別体のあるいは共通の照明装置が付属
する複数の走査格子を持つ走査板を使用して増分スケー
ルを走査する場合は、測定過程にお′J)て、感光受信
機の出力端に生ずる、大抵正弦波に似た、互いに移相さ
れた信号の信号強度または直流竜主成分の変化が容易に
補償可能になる。この場合感光受信機および照明装置の
導入線を、検出器の構成要素を形成する構成部材に固定
的に組み付けることができる。比較的小さい自重を持つ
走査板だけがスケールに沿って補助案内部に案内され、
その際小さい押圧力で充分である。押圧装置および走査
板の案内素子用に簡拳な構造を選ぶことができる。走査
板自体はスケールで案内されるから、間隙の大きさは一
定であり、スケールを公知の構造の場合より狭く構成す
ることができ、かつ必要な作動確実性が保証される。
またはスケールから走査板が灘れることが確実に防止さ
れかつ走査板がスケールに正確に従うm、6に、スケー
ルに対する走査板の正確な案内が重要であるという認識
に基づいている。移動中に測定検出器に従う照明装置と
受信機との通常小さい相対移動は、測定結果を誤云する
信号変化を生ぜしめない。実際上、互いにピッチの数分
の1および全ピッチの任意の数だけずらされた、別体の
感光受信機および別体のあるいは共通の照明装置が付属
する複数の走査格子を持つ走査板を使用して増分スケー
ルを走査する場合は、測定過程にお′J)て、感光受信
機の出力端に生ずる、大抵正弦波に似た、互いに移相さ
れた信号の信号強度または直流竜主成分の変化が容易に
補償可能になる。この場合感光受信機および照明装置の
導入線を、検出器の構成要素を形成する構成部材に固定
的に組み付けることができる。比較的小さい自重を持つ
走査板だけがスケールに沿って補助案内部に案内され、
その際小さい押圧力で充分である。押圧装置および走査
板の案内素子用に簡拳な構造を選ぶことができる。走査
板自体はスケールで案内されるから、間隙の大きさは一
定であり、スケールを公知の構造の場合より狭く構成す
ることができ、かつ必要な作動確実性が保証される。
基本構造を維持しながら、走査ゲージなどに従う検出器
により走査板を走査装置の池の部分に対して縦移動させ
ることによって訂正を行なうことができ、この場合にも
間隙の大きさが厳守されかつ走査がスケールの縦方向に
行なわれる。
により走査板を走査装置の池の部分に対して縦移動させ
ることによって訂正を行なうことができ、この場合にも
間隙の大きさが厳守されかつ走査がスケールの縦方向に
行なわれる。
補力案内部をスケール自体とスケールに対して垂直に保
持体に設けられた摺動面とから構成することができ、こ
の摺動■は締め付けられた金属帯により形成され、この
金属帯の経過は、間隔を置いて取り付けられかつ保持体
の中で案内される調節ねじにより調節可能である。
持体に設けられた摺動面とから構成することができ、こ
の摺動■は締め付けられた金属帯により形成され、この
金属帯の経過は、間隔を置いて取り付けられかつ保持体
の中で案内される調節ねじにより調節可能である。
簡単な構成によれば、走査板が摺動片によりスケールお
よび摺動面に支持され、かつ案内面のなす角度のピッチ
面円で作用する共通の圧縮ばねを介して走査装置の他の
部分と結合されている。この場合唯1つのばねが走査板
の摺動片を両方の案内面に係合させている。
よび摺動面に支持され、かつ案内面のなす角度のピッチ
面円で作用する共通の圧縮ばねを介して走査装置の他の
部分と結合されている。この場合唯1つのばねが走査板
の摺動片を両方の案内面に係合させている。
実施例
本発明対象の実施例が図1面に示されている。
長さ測定装置は、下方にスリット2を持つ方形管の形を
した、大抵押出し成形異形材から成る保持体lを持って
おり、この方形管の上側壁は必要な曲げ強さを得るため
に非常に厚くされている。実施例においては保持体lの
空所3の中にガラススケール4が、一方の縁が溝5には
め込まれかつそこにおいて弾性帯6、締付は片などによ
りその位置で抜は止めされているように、取り付けられ
ている。スケール4の空所3の中へ突き出ている主要部
は測定ピッチ、例えば線格子から成る増分ピッチを持っ
ている。
した、大抵押出し成形異形材から成る保持体lを持って
おり、この方形管の上側壁は必要な曲げ強さを得るため
に非常に厚くされている。実施例においては保持体lの
空所3の中にガラススケール4が、一方の縁が溝5には
め込まれかつそこにおいて弾性帯6、締付は片などによ
りその位置で抜は止めされているように、取り付けられ
ている。スケール4の空所3の中へ突き出ている主要部
は測定ピッチ、例えば線格子から成る増分ピッチを持っ
ている。
測定すべき物体に対応した測定検出器は、例えば刃保持
体と共に工作機械の主軸8上に案内される結合片7と、
スリット2を通される刀状片9と、空所3の中に収納さ
れた、測定車とも称せられる走査装置lOとを持ってい
る。部分?、9.10は互いに固定的に結合されている
。刀状片9は、防塵に役立つ密尉悪片のMJ fこある
スリット2に係合するので、スケール4および走査装H
10は空所3の中に包まれている。
体と共に工作機械の主軸8上に案内される結合片7と、
スリット2を通される刀状片9と、空所3の中に収納さ
れた、測定車とも称せられる走査装置lOとを持ってい
る。部分?、9.10は互いに固定的に結合されている
。刀状片9は、防塵に役立つ密尉悪片のMJ fこある
スリット2に係合するので、スケール4および走査装H
10は空所3の中に包まれている。
測定車IOに、発光ダイオード12を持つ台板11およ
びフォトトランジスタ14を持°つ台板13が互いに対
向してねじ15によって取り付けられている。各ダイオ
ード12にトランジスタ14が間隔を置いて対向してい
る。ダイオード12とトランジスタI4との間)こスケ
ール4および走査板16が存在する。走査板16は、互
いにずらされかつダイオード−トランジスタ対12.1
4に対応した読取り区域を持っており、それぞれのダイ
オード12がスケール4と走査板16の付属の読取り区
域とを通って付属のフォトトランジスタ14を照らす、
フォトトランジスタの照度はスケール4に対する走査板
16の読取り区域の相対位置の変化と共に変化するので
、トランジスタの出力端に、照度および相対移動に応じ
て変化する信号が発生し、これらのは号が評価vM置へ
供給され、この評価装置が、互いに移相された信号から
スケールに対する測定車IOの移動方向を弁別しかつ全
信号列、例えば信号列の零点通過の計数によりかつ(あ
るいは)電子的細分あるいは補間計算によって、基準ピ
ッチにより与えられるスケールのそれ以上の部分を行な
い、かつ必要の場合には計算機により出力信号を発生さ
せ、これらの出力信号が測定結果として表示されあるい
は(かつ)工作機械の$1HII装置へ供給される。
びフォトトランジスタ14を持°つ台板13が互いに対
向してねじ15によって取り付けられている。各ダイオ
ード12にトランジスタ14が間隔を置いて対向してい
る。ダイオード12とトランジスタI4との間)こスケ
ール4および走査板16が存在する。走査板16は、互
いにずらされかつダイオード−トランジスタ対12.1
4に対応した読取り区域を持っており、それぞれのダイ
オード12がスケール4と走査板16の付属の読取り区
域とを通って付属のフォトトランジスタ14を照らす、
フォトトランジスタの照度はスケール4に対する走査板
16の読取り区域の相対位置の変化と共に変化するので
、トランジスタの出力端に、照度および相対移動に応じ
て変化する信号が発生し、これらのは号が評価vM置へ
供給され、この評価装置が、互いに移相された信号から
スケールに対する測定車IOの移動方向を弁別しかつ全
信号列、例えば信号列の零点通過の計数によりかつ(あ
るいは)電子的細分あるいは補間計算によって、基準ピ
ッチにより与えられるスケールのそれ以上の部分を行な
い、かつ必要の場合には計算機により出力信号を発生さ
せ、これらの出力信号が測定結果として表示されあるい
は(かつ)工作機械の$1HII装置へ供給される。
走査板16はプラスチック摺動片18aによりスケール
4の対応する側)こ支持されている。さらに走査板16
は、走査区域をあけておく保持体17と結合されており
、この保持体は、上面に設けられた摺動左18aにより
銅帯18に支持されており、この調帯は上方において溝
5の側で管空所3の中にはめ込まれかつ縦方向に締め付
けられている。スケール4の走査板16に向いた面およ
び調帯18の下方へ向いた面が、走査板16の摺動片1
8aの案内面を形成している。
4の対応する側)こ支持されている。さらに走査板16
は、走査区域をあけておく保持体17と結合されており
、この保持体は、上面に設けられた摺動左18aにより
銅帯18に支持されており、この調帯は上方において溝
5の側で管空所3の中にはめ込まれかつ縦方向に締め付
けられている。スケール4の走査板16に向いた面およ
び調帯18の下方へ向いた面が、走査板16の摺動片1
8aの案内面を形成している。
走査装置の池の部分を含む測定車lOにばね19がはま
っており、このばわが端部に玉20を持ら、この玉が遊
隙なしに保持体17の凹所に係合する。ばね19は初応
力をかけられかつほぼ対角線方向に、上述の両案内面に
より形成された縁に向かって押圧する。それによっては
ね19は玉20により走査板16を付属の案内部4.1
8に係合させている。これらの案内部および走査板15
の′WP動方向に対して測定車10L/たがってまた検
出器全体7,9.10の高さ方向および側方への多動が
可能である。
っており、このばわが端部に玉20を持ら、この玉が遊
隙なしに保持体17の凹所に係合する。ばね19は初応
力をかけられかつほぼ対角線方向に、上述の両案内面に
より形成された縁に向かって押圧する。それによっては
ね19は玉20により走査板16を付属の案内部4.1
8に係合させている。これらの案内部および走査板15
の′WP動方向に対して測定車10L/たがってまた検
出器全体7,9.10の高さ方向および側方への多動が
可能である。
帯18により形成された案内面の経過を正確に決めるた
めに、保持体lに間隔を置いてねじ穴22が設けられて
おり、これらのねじ穴の中で、ウオームねじとして構成
されかつ帯18に向かって接近可能な調節ねじ23が案
内されている。
めに、保持体lに間隔を置いてねじ穴22が設けられて
おり、これらのねじ穴の中で、ウオームねじとして構成
されかつ帯18に向かって接近可能な調節ねじ23が案
内されている。
本発明の範囲を逸脱することなしに構造上の変更が可能
であることは勿論のことであり、特に、走査板、照明装
置および感光受信機が同じスケール面に配置され、かつ
受信機が、スケールピッチから走査板を通って反射され
る光を受けまたはスケールが裏側で反射しかつ受信機お
よび光源がスケールに対して直角方角にずらされている
、入射光方式で動作する走査装置においても、適当な構
造を実現することができる。
であることは勿論のことであり、特に、走査板、照明装
置および感光受信機が同じスケール面に配置され、かつ
受信機が、スケールピッチから走査板を通って反射され
る光を受けまたはスケールが裏側で反射しかつ受信機お
よび光源がスケールに対して直角方角にずらされている
、入射光方式で動作する走査装置においても、適当な構
造を実現することができる。
案内面、係合片および押圧ばねを、図示されたものと別
様に構成することができる。走査板16をスケールの縦
方向に測定車10に対して相対移動可能に設けかつ調整
装置を設けることができ、この調整装置はこのような相
対移動を訂正異形断面に関係して行なう。
様に構成することができる。走査板16をスケールの縦
方向に測定車10に対して相対移動可能に設けかつ調整
装置を設けることができ、この調整装置はこのような相
対移動を訂正異形断面に関係して行なう。
第1図は本発明による長さ測定装置の正面図、第2図は
第1図による長さ測定装着の側面刃である。 1・・・保持体、4・・・スケール、7・・・結合片、
8・・・主軸、9・・・刀−状片、10・・・走査装置
、11.13・・・台板、12・・・発光ダイオード、
14・・・フォトトランジスタ、 16・・・走査板、
18・・・銅帯、19・・・ばね、20・・・玉第1頁
の続き 0発 明 者 マックス・シュヴアイ オーストゲル
第1図による長さ測定装着の側面刃である。 1・・・保持体、4・・・スケール、7・・・結合片、
8・・・主軸、9・・・刀−状片、10・・・走査装置
、11.13・・・台板、12・・・発光ダイオード、
14・・・フォトトランジスタ、 16・・・走査板、
18・・・銅帯、19・・・ばね、20・・・玉第1頁
の続き 0発 明 者 マックス・シュヴアイ オーストゲル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 l スケール(4)が保持体(Hに取り付けられ、光電
子走査装置が走査板(16)と照明装置(11゜12)
と感光受信機(13,14)とを持ち、この走査装置が
、測定検出器を形成する係合片(7゜8.9)を介して
スケール(4)の縦方向に移動可能であり、スケールに
従う走査方向を得るために補助案内部(4,18)が設
けられ、保合片との結合部が測定方向に対して直角に撓
むことができるように構成されている長さ測定装置にお
いて、走査板(16)だけが補助案内M(4゜18)で
案内され、これらの補助案内部のうちの一方がスケール
(4)自体であり、しがし走査装置の照明装置(11,
12)および感光受信機(13,14)が保合片(7,
9,10)に取り付けられ、測定方向に対して直角に撓
むことができる結合部(19,20,21)が保合片(
7,9,10)と走査板(I6)との間に設けられてい
ることを特徴とする、長さ測定装置。 2 補助案内部(4,18)がスケール(4)自体とス
ケールに対し垂直に保持体(1)に設けられた摺動面(
18)とから成り、この摺動面が、竺め付けられた金属
帯(18)により形成され、この金属帯の経過が、間隔
を置いて取り付Hjられかつ保持体の中で案内される調
節ねじ(23)により調節可能であることを特徴とする
特許請求の範囲第1項に記載の長さ測定装置。 3 走査板(16)が!M動片(18a)によりスケー
ル(4)および摺111ff(18)に支持され、かつ
案内面(4,18)のなす角度のピッチ面内で作用する
共通の圧縮はね(19)を介して走査装置の池の部分(
10)と結合されていることを特徴とする特許請求の範
囲第1項および第2項のうち1つに記載の長さ測定装置
。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT4087/83 | 1983-11-22 | ||
AT0408783A AT395070B (de) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60125505A true JPS60125505A (ja) | 1985-07-04 |
JPH0360369B2 JPH0360369B2 (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=3559485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59236891A Granted JPS60125505A (ja) | 1983-11-22 | 1984-11-12 | 長さ測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4550505A (ja) |
EP (1) | EP0143773B1 (ja) |
JP (1) | JPS60125505A (ja) |
AT (1) | AT395070B (ja) |
DE (1) | DE3475950D1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT379449B (de) * | 1984-07-03 | 1986-01-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Laengenmesseinrichtung |
AT393909B (de) * | 1985-01-11 | 1992-01-10 | Rsf Elektronik Gmbh | Laengenmesseinrichtung |
AT397309B (de) * | 1992-11-02 | 1994-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Messwagen für ein lineares messsystem |
US5837981A (en) * | 1997-07-24 | 1998-11-17 | Wang; Chin-Yuan | Signal outputting device of optical ruler |
DE19943729A1 (de) * | 1999-09-03 | 2001-03-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Wegmeßsystem |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH398098A (de) * | 1961-05-27 | 1965-08-31 | Wenczler & Heidenhain | Vorrichtung zur Bestimmung der Relativlage zweier Teile |
US3833303A (en) * | 1972-10-06 | 1974-09-03 | Bausch & Lomb | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement |
DE2510219C3 (de) * | 1975-03-08 | 1978-05-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
US4152837A (en) * | 1975-03-08 | 1979-05-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh. | Length measuring device |
US4031595A (en) * | 1975-09-02 | 1977-06-28 | Bausch & Lomb Incorporated | High precision incremental distance measuring system |
DE2611459C3 (de) * | 1976-03-18 | 1978-09-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DE2643304B2 (de) * | 1976-09-25 | 1980-01-31 | Fagor Electrotecnica, Sdad.Coop., Mondragon, Guipuzcoa (Spanien) | Photoelektrische Einrichtung zum Messen der relativen Lage von Gegenständen |
DE2724858A1 (de) * | 1977-06-02 | 1978-12-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
DE2735154C2 (de) * | 1977-08-04 | 1984-04-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßsystem |
DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
DE3016908C2 (de) * | 1980-05-02 | 1982-04-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Präzisionslängenmeßeinrichtung |
DE3208591C2 (de) * | 1982-03-10 | 1986-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
DE3210962A1 (de) * | 1982-03-25 | 1983-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
-
1983
- 1983-11-22 AT AT0408783A patent/AT395070B/de not_active IP Right Cessation
-
1984
- 1984-11-05 EP EP84890206A patent/EP0143773B1/de not_active Expired
- 1984-11-05 DE DE8484890206T patent/DE3475950D1/de not_active Expired
- 1984-11-08 US US06/669,608 patent/US4550505A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-11-12 JP JP59236891A patent/JPS60125505A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AT395070B (de) | 1992-09-10 |
US4550505A (en) | 1985-11-05 |
JPH0360369B2 (ja) | 1991-09-13 |
DE3475950D1 (en) | 1989-02-09 |
ATA408783A (de) | 1992-01-15 |
EP0143773A3 (en) | 1986-07-23 |
EP0143773A2 (de) | 1985-06-05 |
EP0143773B1 (de) | 1989-01-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4170829A (en) | Correction apparatus for longitudinal or angular measuring system | |
US3816002A (en) | Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members | |
US4031595A (en) | High precision incremental distance measuring system | |
US20030140509A1 (en) | Apparatus for monitoring the rails of a railway or tramway line | |
US4273447A (en) | Pivotable mount for scanning unit | |
EP0470420B1 (de) | Optoelektronische Abtasteinrichtung | |
US3815125A (en) | Photoelectric encoder assembly | |
US4095903A (en) | Measuring apparatus | |
US4152837A (en) | Length measuring device | |
JPS60125505A (ja) | 長さ測定装置 | |
US4689485A (en) | Optoelectronic displacement measuring apparatus using color-encoded light | |
US4184262A (en) | Device for determining the exact position of two members linearly displaceable relative to each other | |
JPH04369409A (ja) | 光学式厚さ測定装置 | |
US4430799A (en) | Error compensation system | |
JP2561676B2 (ja) | 光電測長又は測角装置 | |
US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
US3910703A (en) | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement | |
US4687003A (en) | Dental device | |
AT394111B (de) | Inkrementales messsystem | |
EP0381633A2 (en) | System to automatically compensate the transversal oscillation of the scanning plane in a laser scanner for profile measurement by means of a special device | |
EP0177273A2 (en) | Camera for visual inspection | |
USRE29282E (en) | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement | |
JPH062088Y2 (ja) | 路面高さ計測装置 | |
USRE29281E (en) | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement | |
JPS6321509A (ja) | 測長装置 |