JPS60121646A - 電子管の製造方法 - Google Patents
電子管の製造方法Info
- Publication number
- JPS60121646A JPS60121646A JP22848983A JP22848983A JPS60121646A JP S60121646 A JPS60121646 A JP S60121646A JP 22848983 A JP22848983 A JP 22848983A JP 22848983 A JP22848983 A JP 22848983A JP S60121646 A JPS60121646 A JP S60121646A
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- JP
- Japan
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- electron
- exhaust
- tube
- coil
- adsorbed gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/39—Degassing vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/38—Control of maintenance of pressure in the vessel
- H01J2209/389—Degassing
- H01J2209/3893—Degassing by a discharge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分！ｌＩＪ］
本元明は電子管の製造方法に係り、特に映像管の製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
［発明の技術的背景］
電子管例えば映像管の製造工程においては、いくつかの
熱処理工程がある。即ち、シャドウマスクの焼鈍、及び
黒化、フレームの焼鈍、パネルとシャドウマスク栢体と
の組合せ時の焼鈍、螢光面焼き、封崩および排気工程な
どが王な熱処理工程である。
熱処理工程がある。即ち、シャドウマスクの焼鈍、及び
黒化、フレームの焼鈍、パネルとシャドウマスク栢体と
の組合せ時の焼鈍、螢光面焼き、封崩および排気工程な
どが王な熱処理工程である。
現在は省エネルギーが映像管の製造工程においてもめら
れており、生産性の向上、エネルギー節減のために熱処
理工程の時間短縮および熱処理温度の低温化などの試み
が行なわれている。このことは排気工程においても同様
であるが、この排気工程は特に映像管の管内壁に吸着し
たガスを放出、排気させるために時間短縮および低温排
気には限界がある。
れており、生産性の向上、エネルギー節減のために熱処
理工程の時間短縮および熱処理温度の低温化などの試み
が行なわれている。このことは排気工程においても同様
であるが、この排気工程は特に映像管の管内壁に吸着し
たガスを放出、排気させるために時間短縮および低温排
気には限界がある。
即ち、十分な排気が行われず、ガスが内壁に吸着したま
まになっていると映像管の動作中に吸着ガスが脱出し、
特に酸化物隘極に悪影響を及はし、映像管の寿命を短く
することになる。
まになっていると映像管の動作中に吸着ガスが脱出し、
特に酸化物隘極に悪影響を及はし、映像管の寿命を短く
することになる。
次に現在実施されている映像管の排気工程を図により説
明する。
明する。
即ち、映像管は通常ガラスパルプに電子銃を封止した後
に排気される。排気工程では第１図に示すように映像管
は排気台（２）に取り旬けられた後に排気炉（１）中に
送り込まれ、真空ポンプにより排気されながら、約４０
０℃程度まで加熱される。この排気工程における加熱は
映像管の製造工程において不可欠であり、もしも加熱し
ないと管内壁に吸着したガスが排気されず、映像管を完
成後もガスが放出な絖りることになり、その結果映像管
内の真空度が悪くなり、寿命が短かくなる結果をまね〈
Ｏ 上述の排気台（２Ｊは第２図に示すように通常拡散ポン
プ（句とロータリーポンプ（５）を備え、映像管α切の
υ）、気相軸管（８）を気密に排気口に取付り排気する
。
に排気される。排気工程では第１図に示すように映像管
は排気台（２）に取り旬けられた後に排気炉（１）中に
送り込まれ、真空ポンプにより排気されながら、約４０
０℃程度まで加熱される。この排気工程における加熱は
映像管の製造工程において不可欠であり、もしも加熱し
ないと管内壁に吸着したガスが排気されず、映像管を完
成後もガスが放出な絖りることになり、その結果映像管
内の真空度が悪くなり、寿命が短かくなる結果をまね〈
Ｏ 上述の排気台（２Ｊは第２図に示すように通常拡散ポン
プ（句とロータリーポンプ（５）を備え、映像管α切の
υ）、気相軸管（８）を気密に排気口に取付り排気する
。
また排気終了佐に排気用細管（８ンを溶断し封止する／
（、めのヒータ（６）とｖ１気工程後半において電子銃
を加熱し、ガス出しを行なう畠周波加熱コイル（７）を
備えている。映像１（殉は支持枠（９）により支持され
ており、制気炉（１）内外で爆縮した時にガラス破片が
フ良叡するのを防止１−る金網（］ηで榎われている。
（、めのヒータ（６）とｖ１気工程後半において電子銃
を加熱し、ガス出しを行なう畠周波加熱コイル（７）を
備えている。映像１（殉は支持枠（９）により支持され
ており、制気炉（１）内外で爆縮した時にガラス破片が
フ良叡するのを防止１−る金網（］ηで榎われている。
ガり常、１」［気炉（１）中には映像管四）本体のみ入
り、排気炉（１）により加熱される。
り、排気炉（１）により加熱される。
「背景技術の問題点」
排気炉（１）中を映像管−が通過するのに要する時間は
約１２０分であり、その間に映像管−は加熱さ１１、所
定時間一定温度に保持された後に徐冷される。従って排
気時間を短かくすると映像管００）の昇温降温の速度か
速くなる。映像管α０）は通常ガラスで作られており、
ある程度以上の昇温、降温の速度を速くすることはでき
ない。昇温、降温速度を上げると歪により、ガラスパル
プが爆縮する。すなわち、排気炉（１）中で映像管（１
）の管内は真空に近くなっているため、排気炉（］、）
の入口例近ではガラスバルブ内面の微細な傷により割れ
、排気炉（１）の出口付近では、ガラスパルプ外曲の微
細な傷により割れる可能性が大きくなるためである。
約１２０分であり、その間に映像管−は加熱さ１１、所
定時間一定温度に保持された後に徐冷される。従って排
気時間を短かくすると映像管００）の昇温降温の速度か
速くなる。映像管α０）は通常ガラスで作られており、
ある程度以上の昇温、降温の速度を速くすることはでき
ない。昇温、降温速度を上げると歪により、ガラスパル
プが爆縮する。すなわち、排気炉（１）中で映像管（１
）の管内は真空に近くなっているため、排気炉（］、）
の入口例近ではガラスバルブ内面の微細な傷により割れ
、排気炉（１）の出口付近では、ガラスパルプ外曲の微
細な傷により割れる可能性が大きくなるためである。
従って、従来の排気炉（１）では、める程度以上排気速
度を上けることは不可能であった。これが映像管の生産
速度を制限する原因の１つ４二なっている。また排気炉
（１）は温度を一定に管理するため、一定板上の大きさ
を備えなければならないし、常に加熱状態を制御しなけ
ればならないため、時間。
度を上けることは不可能であった。これが映像管の生産
速度を制限する原因の１つ４二なっている。また排気炉
（１）は温度を一定に管理するため、一定板上の大きさ
を備えなければならないし、常に加熱状態を制御しなけ
ればならないため、時間。
人員、場所が必要となる問題点がある。
し発明の目的］
本発明は前述した問題点に鑑みなされたものであり、排
気炉を必要としない電子管の製造方法を提供することを
目的としている。
気炉を必要としない電子管の製造方法を提供することを
目的としている。
［発明の概吸］
即ち１本発明は管内に１１１．子線発生極ｖＬを備え、
排気工程において、この電子線発生装置を動作させて電
子線を発生させ、この電子線を管内壁の吸着ガスに側梁
させ、この吸着ガスを離脱させることを特徴とする電子
線の製造方法であり、電子管を排気炉などで加熱するこ
となく、良好な排気を杓なうことを口Ｊ能とした。
排気工程において、この電子線発生装置を動作させて電
子線を発生させ、この電子線を管内壁の吸着ガスに側梁
させ、この吸着ガスを離脱させることを特徴とする電子
線の製造方法であり、電子管を排気炉などで加熱するこ
となく、良好な排気を杓なうことを口Ｊ能とした。
［発明の実施例］
従来からＡ便状態を作り出すための“ガス出し”として
加熱（以下ベーキングと云う）が様々な真空装置で行わ
れている。特に高真空になれはなる程、吸水ガスによる
真空度の低下が大となり、例えはベーキング無しでは１
０−５＋ｗＨｙ以下の真空度を得ることは難しい。
加熱（以下ベーキングと云う）が様々な真空装置で行わ
れている。特に高真空になれはなる程、吸水ガスによる
真空度の低下が大となり、例えはベーキング無しでは１
０−５＋ｗＨｙ以下の真空度を得ることは難しい。
ところで″電子イオンビームハンドフ゛ツク”；二よれ
は、金属表面に電子ビームを射突させて吸着ガスを全綱
表面から離脱させ、吸着ガスの種類を調介することが可
能であり、またステンレスおよび銅表面に電子を射突さ
せることにより吸湘分子が〜１０−６分子／電子離脱さ
せられることが６己載されている。従って例えは１０−
’ａ＊Ｈｙの真空度で約２００ 、ｘ８の気体が真空装
置の内壁に吸水していると仮定すると 、’、（６Ｘ１０”）ｘｌｏ−１０／１ｇ−６−（６ｘ
１０２Ｂ）ｘｌＱ−４個の電子が必要であり、これには
９．６ Ｘ １０’ ｘ １０−’＝９．６クーロンの
電荷があれは吸着分子を離着させることが可能となる。
は、金属表面に電子ビームを射突させて吸着ガスを全綱
表面から離脱させ、吸着ガスの種類を調介することが可
能であり、またステンレスおよび銅表面に電子を射突さ
せることにより吸湘分子が〜１０−６分子／電子離脱さ
せられることが６己載されている。従って例えは１０−
’ａ＊Ｈｙの真空度で約２００ 、ｘ８の気体が真空装
置の内壁に吸水していると仮定すると 、’、（６Ｘ１０”）ｘｌｏ−１０／１ｇ−６−（６ｘ
１０２Ｂ）ｘｌＱ−４個の電子が必要であり、これには
９．６ Ｘ １０’ ｘ １０−’＝９．６クーロンの
電荷があれは吸着分子を離着させることが可能となる。
すなわちＩＡの°電流ならば、約１０秒間という非常に
短時間で脱ガスが可能であることになる。
短時間で脱ガスが可能であることになる。
本発明は上述した電子線による脱ガスが行なわれると云
う理論を基にしてなされたものである。
う理論を基にしてなされたものである。
次に本発明の一実施例を第３図により説ゆ］する。
即ち映像管−はガラスパルプ（１８）のネック都（１４
−１に封入された電子＠０５八及びこの電子銃（１５）
−二ｍ圧を印加するビン（１６）を備え、ガラスパルプ
Ｃｌ１１）の内聞に塗布された図示しない螢光体膜に′
電子銃θ段より射出された電子静−を躬突発元させるよ
うになっているのは従来と同様であるが、本笑施例では
ガラスバルブ（靭に電子線発生装備としてのコイルｔ１
’７）を封入し、映像管００）の抽気工程の後半でコイ
ル（１ηを通電加熱して熱電１子をか射させる。この排
気工程では螢光体膜には数ＫＶ乃至十数ＫＶの高電位を
印加し、コイル０７）は接地しておくことが好ましい。
−１に封入された電子＠０５八及びこの電子銃（１５）
−二ｍ圧を印加するビン（１６）を備え、ガラスパルプ
Ｃｌ１１）の内聞に塗布された図示しない螢光体膜に′
電子銃θ段より射出された電子静−を躬突発元させるよ
うになっているのは従来と同様であるが、本笑施例では
ガラスバルブ（靭に電子線発生装備としてのコイルｔ１
’７）を封入し、映像管００）の抽気工程の後半でコイ
ル（１ηを通電加熱して熱電１子をか射させる。この排
気工程では螢光体膜には数ＫＶ乃至十数ＫＶの高電位を
印加し、コイル０７）は接地しておくことが好ましい。
また熱餉；子を放射させる除には、ガラスバルブ（１’
ｌ）内の各部分に′電子ＩｖＩ！が側欠する様にコイル
１１７）と螢光体族あるいけ内部導電膜の８１）分、電
子銃邸ン部分には磁気偏向装置を餉えるのが好ましい。
ｌ）内の各部分に′電子ＩｖＩ！が側欠する様にコイル
１１７）と螢光体族あるいけ内部導電膜の８１）分、電
子銃邸ン部分には磁気偏向装置を餉えるのが好ましい。
捷たＮ４３図ではガラスバルブ（１８）に電子銃■）と
は別にコイル（１７）を取りイッけたが、電子銃（１５
）により電子線を発生させることも口」能である。この
場合は酸化物陰極を用いる仁とも可能であるが、映像管
の寿命を劣化させないためには、電子に電極の１部を加
熱し、この加熱した部位を熱′電子放射源とするのが好
適でを）す、この加熱にはρ４周波加熱を使用する。′
また第３図のコイル（１７）も通′亀加熱を用いず高周
波加熱による方法でも十分加熱が可能である。
は別にコイル（１７）を取りイッけたが、電子銃（１５
）により電子線を発生させることも口」能である。この
場合は酸化物陰極を用いる仁とも可能であるが、映像管
の寿命を劣化させないためには、電子に電極の１部を加
熱し、この加熱した部位を熱′電子放射源とするのが好
適でを）す、この加熱にはρ４周波加熱を使用する。′
また第３図のコイル（１７）も通′亀加熱を用いず高周
波加熱による方法でも十分加熱が可能である。
次に本発明の他の実施例を第４図及び第５図により説明
する。
する。
即ち、電子銃邸少の集束電極ｆ１９）にコイル状の熱電
子放射用部材（以下熱電極と云う） ｇｅｌを設け、こ
の熱電極（１８）は集束電極（１９）と等電位になるよ
うに接続されたのち接地されている。図において（２１
）は絶縁支持棒、（社）は加速電極であり、他の′小極
は図示していない。
子放射用部材（以下熱電極と云う） ｇｅｌを設け、こ
の熱電極（１８）は集束電極（１９）と等電位になるよ
うに接続されたのち接地されている。図において（２１
）は絶縁支持棒、（社）は加速電極であり、他の′小極
は図示していない。
次に上述した熱電極刑を排気工程で加熱し、熱′…、子
線を放出させ、この熱電子線により管内壁の吸着ガスを
離脱式せる方法を第５図により説明する。
線を放出させ、この熱電子線により管内壁の吸着ガスを
離脱式せる方法を第５図により説明する。
即ち、映像管四）のガラスバルブ（ｌｌａ）のネック部
０（転）に第３図に示す電子銃（１５） （第５図では
集束電極と熱電極のみを示している）を装着し、排気用
細管（８）から矢印方向に図示しない真空ポンプにより
排気する。この時、熱電極（四及び集束電極（１のを接
地すると共に螢光面咬、内部導を膜（２０１）を接地す
ると共に熱電極μｓ）に対設するようにネック部ＣＩ→
外部に高周波加熱コイル叫、偏向装置ｋＬ−を配設して
おく。
０（転）に第３図に示す電子銃（１５） （第５図では
集束電極と熱電極のみを示している）を装着し、排気用
細管（８）から矢印方向に図示しない真空ポンプにより
排気する。この時、熱電極（四及び集束電極（１のを接
地すると共に螢光面咬、内部導を膜（２０１）を接地す
ると共に熱電極μｓ）に対設するようにネック部ＣＩ→
外部に高周波加熱コイル叫、偏向装置ｋＬ−を配設して
おく。
次に、ガラスバルブ（１Ｂ）内が１９ｒ定の真空になっ
た時点で尚周波加熱コイル−により熱電極（ト）を加熱
し、熱′電子線を放出させると共にこの熱電子線を偏向
装置ｔｘ＋で偏向させガラスバルブ（１８１の内壁の全
面にわたり霜１子服を射突させ、鉄層ガスを内壁か ｌ
らｘ１＋脱させながら更に排気を続け、ガラスバルブ（
１８）内が筒兵をになった時に排気用軸’＃ （８１を
封止して映ｆＷ管を完成する。
た時点で尚周波加熱コイル−により熱電極（ト）を加熱
し、熱′電子線を放出させると共にこの熱電子線を偏向
装置ｔｘ＋で偏向させガラスバルブ（１８１の内壁の全
面にわたり霜１子服を射突させ、鉄層ガスを内壁か ｌ
らｘ１＋脱させながら更に排気を続け、ガラスバルブ（
１８）内が筒兵をになった時に排気用軸’＃ （８１を
封止して映ｆＷ管を完成する。
上述した実ｈｉｕ例では螢光体スクリーン（社）及び内
部４電膜（２０１）を接地電極としたがこれに限定され
るものでｔＪなく、数ＫＶ乃至十数ＫＶの電位を印加し
てもよい。また加速電極−に熱電子によるガス出し効果
を上けるために数ＫＶの正電位を与えてもよい。
部４電膜（２０１）を接地電極としたがこれに限定され
るものでｔＪなく、数ＫＶ乃至十数ＫＶの電位を印加し
てもよい。また加速電極−に熱電子によるガス出し効果
を上けるために数ＫＶの正電位を与えてもよい。
史に、加運霜、惨ｔ２１１１を強く加熱することにより
吸着ガスを射脱させると共にネック部ｏ４の内壁の加速
１１１１極勾）に対設する部位にネック部に）の内壁の
′電位安定用の全組被膜を形成することもｔｉＪ能であ
る〇［発明の効果］ 上述のように本発明によれば排気炉を用いることなく電
子管の排気が可能となり、製造価格の低減、製追時間の
短縮が可能となる。また超大型管等の加熱により破壊し
易い電子管や加熱が困難な材料を用いた管などの製造が
可能となる。
吸着ガスを射脱させると共にネック部ｏ４の内壁の加速
１１１１極勾）に対設する部位にネック部に）の内壁の
′電位安定用の全組被膜を形成することもｔｉＪ能であ
る〇［発明の効果］ 上述のように本発明によれば排気炉を用いることなく電
子管の排気が可能となり、製造価格の低減、製追時間の
短縮が可能となる。また超大型管等の加熱により破壊し
易い電子管や加熱が困難な材料を用いた管などの製造が
可能となる。
第１図及び第２図は従来の電子管の製造方法を示す図で
あり、第１図は排気台と排気炉の関係を示す説明図、第
２図は排気台と甑像管及び排気炉の簡略説明用断面図、
第３図は本発明の一実施例の簡略断（５）図、第４図及
び第５図は本発明の他の実施例を示す図であり、第４図
は電子勧、の要部側面図、第５図は排気工程を示す説明
用断面図である０ １・・・排気台 ２・・・排気台 ４・・・拡散ポンプ ５・・・ロータリーポンプ６・・
・加熱コイル ７，２２・・・高周波コイル８・・・排
気用細管 川・・・状像管 １３・・・ガラスバルブ １４・・・ネック部１５・・
・小、子勧■７・・・コイル Ｉ８・・・熱化、忰 ■９・・・集束霜、極２０・・・
加速′屯４ｉｉ＜ ２４・・・偏向装闘代理人 弁理士
井 上 −男 第 １ 図 ？ 第 ２ 図 、！ 第 ３ 図 第 ４ 図 第 ５ 図
あり、第１図は排気台と排気炉の関係を示す説明図、第
２図は排気台と甑像管及び排気炉の簡略説明用断面図、
第３図は本発明の一実施例の簡略断（５）図、第４図及
び第５図は本発明の他の実施例を示す図であり、第４図
は電子勧、の要部側面図、第５図は排気工程を示す説明
用断面図である０ １・・・排気台 ２・・・排気台 ４・・・拡散ポンプ ５・・・ロータリーポンプ６・・
・加熱コイル ７，２２・・・高周波コイル８・・・排
気用細管 川・・・状像管 １３・・・ガラスバルブ １４・・・ネック部１５・・
・小、子勧■７・・・コイル Ｉ８・・・熱化、忰 ■９・・・集束霜、極２０・・・
加速′屯４ｉｉ＜ ２４・・・偏向装闘代理人 弁理士
井 上 −男 第 １ 図 ？ 第 ２ 図 、！ 第 ３ 図 第 ４ 図 第 ５ 図
Claims (1)
- 管内に電子Ｈ発生装置を備え、排気工程において、前記
電子線発生装置を動作して電子線を発生させ、この電子
柳を管内壁の吸着ガスに射突させることにより、前記吸
着ガスを離脱させることを特徴とする電子管の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22848983A JPS60121646A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 電子管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22848983A JPS60121646A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 電子管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121646A true JPS60121646A (ja) | 1985-06-29 |
Family
ID=16877259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22848983A Pending JPS60121646A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 電子管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60121646A (ja) |
-
1983
- 1983-12-05 JP JP22848983A patent/JPS60121646A/ja active Pending
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