JPS60119054A - 螢光面の金属膜形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は蒸着による螢光面の金属膜形成方法において
、特にメタルバック構造とするカラー受像管の螢光面上
に光反射金属薄膜を真空蒸着により形成する方法に関す
るものである。

〔従来技術〕

通常のカラー受像管の螢光面は、受像管の管体の一部を
構成するガラスフェースプレート（バネ／Ｌ／）の内面
に被着した螢光体膜上に、この螢光体膜から発した光を
有効にカラー受像管ｉｔＪ方へ取シ出すための光反射性
金属薄膜を形成することによシ実現されるのが一般的で
あシ、これはメタルバック構造と称されるものである。

このメタルバック螢光面は、カフ−受像管の輝度を増加
させるとともに、イオン焼けの現象を防止するという利
点を有していて、その製造工程を第１図を参照しながら
説明する。

第１図はカラー受像管の螢光面部の製造工程を説明する
だめの断面図である。第１図において、Ｉｌ）はガラス
フェースプレート、（２）はこのプレート（υの内面に
被着された螢光体膜、（３）はこの螢光体膜（２）の表
面を平滑にするための有機物質を主成分とするフィルム
用ラッカー材料にょ多形成された中間膜、（４）はアル
ミニウム薄膜である。螢光体膜（２）はプレート（υの
内面に一様の厚さに塗布され、これを乾燥させることに
よシ形成される。また、テルミニウム薄膜（４）は、中
間膜（３）上にアルミニウムを真空中で蒸着させて形成
されるもので必シ、しかる後にベーキング処理により中
間膜（３）は除去される。

第２図は従来の蒸着装置の一例を示す。この図に示すよ
うに、従来、アルミニウム薄膜を蒸着によシ形成するに
は、中間膜（３）を形成したガラスフェースグレート（
１）を、真空外囲器（６）内の所定の位置に支持した状
態で配置する。真空外囲器（６）には、タングステン線
の３本または４本撚り線によりバスケット状とした１個
または火数個の蒸発源（５）が設けられ、１ｇ　’ｒ：
ｏｒｒの真空状態に保たれる。

このようにして、中間膜（３）上にアルミニウムを蒸ｊ
ａさせる方法が用いられているが、蒸発源（５）として
タングステン線からなるコイルを用いているので、寿命
が短いという欠点があった。

この欠点を除去するために、タングステン線コイμにか
えて、抵抗加熱体を使用する方法が提案され、すでに実
用に供されている。抵抗加熱体としては、窒化硼素を主
成分とするものが一般に用いられている。この種の抵抗
加熱体の一例は、第３図に斜視図としてボされる。この
図に示すように、直方体状の抵抗加熱体（７）の上面に
は、四部（７ａ）が形成されていて、いわゆるポート状
の構造となっている。なお、前記凹部（７ａ）を設けず
、単なる平面としたものもある。この窒化硼素を主成分
とするポート状抵抗加熱体蒸発源（以下、「窒化硼素加
熱体」と称する。）を使用した場合の蒸着膜製作方法を
第４図を参照して説明する。

第４図は窒化硼素加熱体を用いた蒸着装置の一例を概略
的に示す構成図である。第４図において、前述した各図
に示す部分に相当の部分は同様の参照符号を付し、その
説明は省略する。ここに示す蒸着装置は、入口室（６ａ
）、アルミニウム蒸着室（６ｂ）および出口室（６Ｃ）
を備える真空外囲器を含む。

蒸着室（６０）には、アルミニウム線自動挿入器（８）
が設けられ、それによってアルミニウム線（９）が供給
される。また、入口室（６ａ）と出口室（６（・）には
、外部雰囲気との間を仕切るだめの仕切弁（１０、（１
０が設けられ、アルミニウム蒸着室（６ｂ）と入口室（
６ａ）および出口室（６Ｃ）との間を仕切るために仕切
弁０υ。

Ｑ号が設けられる。

上述のような構成において、中間膜（現を形成したガラ
スフェースプＶ−）　（１）を真空外囲器の入口室（６
ａ）に搬入し、図示しない真空ポンプなどの排気機器に
よシ、真空外囲器入口室（６ａ）および出口室（６Ｃ）
を０．０５−０．０１　ＴＯｒｒの真空に、７　／Ｌ’
　ミ＝　’７ム蒸着室（６ｂ）ｉ　１〜２　ｘ　１０　
Ｔｏｒｒノ真空にそれぞれ保持する。つぎに、仕切弁ａ
ηのみを開いて、ガラスフェースプレート（１）をアル
ミニウム蒸着室（６ｂ）の所定の位置に搬送し、仕切弁
ａυを閉じる。

つぎに、入口室（６氏）を大気圧にし、仕切弁００を開
いて、中間膜（３）全形成した別の、すなわちつぎに蒸
着処理されるべきガラスフェースプレー）　（１）　全
搬入し、再び入口室（６ａ）と出口室（６ｃ）は０．０
５〜Ｑ、Ｑ　Ｉ　ＴＯｒｒの真空度に、アルミニウムＬ
　ｔｒ　室（６ｂ）は１〜２　×１０　Ｔｏｒｒの真空
度に保持される。

窒化硼素加熱体（７）はアルミニウム蒸着室（６ｂ）内
の底部の所定の位置に設置されていて、これは通電によ
シ約１３５０〜１５００℃に加熱されるものである。こ
の窒化硼素加熱体（力の四部（蒸着物質載置部）（７ａ
）に、蒸着物質であるアルミニウム＃！　（９）を自動
挿入器（８）により挿入し、アルミニウム線（９）を加
熱体（７）の発熱による温度上昇によシ蒸発させ、これ
は上方に飛散する。この蒸発により、中間膜（３）上に
アルミニウム薄膜（４）が形成されることになる。

蒸着が完了すると、仕切弁Ｑυ、　（１１）を開き、ア
ルミニウム蒸着室（６ｂ）のガラスフェースグレート（
すは出口室（６Ｃ）へ、入口室（６ａ）に待機している
ガラスフェースグレート＋ＩＪ　ｕアルミニウム蒸着室
（６ｂ　）に搬送する。また、入口室（５ａ）、Ｉ、−
よび出１」室（６０）を大気圧とし、出口室（６Ｃ）の
ガラスフェースプレート（υは真空外囲器外に搬出し、
蒸着工程を完了する。同時に、入口室（６ａ）には、別
のガラスフェースグレート（υが搬入され、上述したよ
うな工程が繰シ返される。

以上のような工程において、蒸着室（６ｂ）の真空度は
常に０．０５　’ｌ“ｏｒｒ　以上に保たれているので
、蒸着の完了したガラスフェースプＶ−ト（１）の搬送
または未蒸着のガラスフエーヌグレート（１１の搬入時
でも、特に加熱体（７）の温度を室温近くまで下げる必
要がなく、むしろ昇温時間を短縮するために、非蒸着時
にも電力を供給して一定温度に保つのが好ましい。しだ
がって、実際的に窒化硼素加熱体（７）は常時ｘｏｏｏ
−ｃｍＪ後の温度に加熱されていて、蒸着する時に約１
３５０〜１５００°Ｃに昇温する方法をとっている。

一方、この加熱体（７）の凹部（７ε、）へのアルミニ
ウム線（９）の供給は、昇温と同時に目動挿入器（８）
から繰り出しを開始し、螢光面として必要なアルミニウ
ム蒸着量に達すると電化硼素加熱体（７）の温度は約１
ｏｏｏ’ｃまで急激に低くされるが、この間にもアルミ
ニウム線（９）はアルミニウム線自動挿入器（８〕によ
シ窒化硼素加熱体（７）の加熱温度降下中においてアル
ミニウム線（９）は溶融しなくなる直前まで挿入された
後、一旦わずかに引きもどされる。これは再度蒸着時に
アルミニウム線（９）が窒化硼素加熱体（７）によって
容易に溶融されるよう加熱体凹部（７ａ）にアルミニウ
ム溶融液を残存させておくためである。

しかしながら、このように抵抗加熱体（７）の温度を蒸
着時と非蒸着時の高低二準位にて行なうとき、蒸着時用
Ｐ（Ｍ、度から非蒸着時パ１熱温度に降下する過程で電
化イＭ累加熱体四部（７ａ）に残存するアルミニウム溶
融液が蒸発する。また、非蒸着時から蒸着時までの再加
熱時間短縮のため非蒸着時の加熱温度を１０００〜１１
５０℃にすると、非蒸着時に少しずつではあるがアルミ
ニウム溶融液が蒸発する。

後者の場合、非蒸着時から蒸着時、すなわち蒸着を開始
するまでの真空度の充分でない時に蒸着がなされると、
蒸着膜は褐色に着色してしまい螢光体から発した光を有
効に受像管＋ｊｆｆ方へとり出す目的が低下する現象と
なっていた。この褐色に着色したものは正常に蒸着され
たものに比べ約５％の発光効率低下となっていた。近日
カラー受像管においては１％でも発光効率を上昇させる
努力がなされている折、著しく品質を低下させる原因と
なっていた。

〔発明の概要〕

この発明は」二記の欠点に鑑みてなされたもので、抵抗
加熱体を蒸発源として用いた場合に、蒸着膜の品質、す
なわち螢光面の光出力を増大させるだめの反射率のよい
金属膜形成方法全提供することを目的とするものである
。上述のり１」き問題は、本来蒸着を必要としない時間
帯、条件においても抵抗加熱体の加熱効率化を目的とし
て、常時いくらか低温ではあるものの加熱を行なうため
に生じる二次的１８１題ではある。そしてこれをさらに
克服する方法が種々考えられるわけである。最も一般的
なものとして抵抗加熱体の直上であって抵抗加熱体の近
房にシャッターを用いることが考えられるが、発明者等
の実施結果によれば、駆動による分離で生じる過熱める
いはシャッターに被着する蒸着物質の落下、形状の制約
等種々問題のあるものであった。したがって発明者等は
さらに検討実験を続けた結果、パネル載置用パレット底
部に遮蔽板τ配置し、蒸着時にのみ遮蔽板を移動させる
方法に想到し、実験の結果極めて有効でらることを確か
めてこの発明を完成させるに至ったものである。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の実施例を図面にしたがって説明する。

第５図はこの発明の実施に必要な装置の一例を概略的に
示す正面図であう、同図において＠は受像′ｇ搬入パレ
ットで、これに受像管、つま勺ガフスフエーヌグレート
（υが下向に載置されて蒸着室（６ｂ）に間欠的に搬入
され、所定の蒸着を完了した時点で蒸着室（６０）から
搬出される。受像管搬入パレット■の底部には開口（１
２ａ）が形成され、この開口（１２ａ）が遮蔽板ｕ３に
よって開閉されるようになっている。

光反射性金属、つまりこの実施例に用いるアルミニウム
薄膜（４）の真空蒸着は従来と同じ手１１１０によって
なされるが、蒸着処理されるべきガフスフエーヌグレー
ト（υがアルミニウム蒸着室（６０）に搬入された時点
においては、蒸着室（６ｂ）の真空度が低く、また抵抗
加熱体（７）の温度は約１０００−Ｃ前後でめる。この
ように真空度が充分でないのにもかかわらず、蒸発源（
５）である抵抗加熱体（７）の凹部（７ａ）に残存して
いるアルミニウム溶融液が蒸発して中間膜（３）の内面
に蒸着されると、上述のような好ましくな一蒸着膜が形
成される。

しだがって、上記ガラスフェースバネ／ｌ／ｌυがアル
ミニウム蒸着室（６ｂ）に搬入された時点では、遮蔽板
９１ヲ第６図で示すように受像管搬入バＶット＠の開口
（１２ａ）を閉塞させ、遮蔽板ａ葎によってガラスフェ
ースグレート（１，１の螢光面、つまり中間膜（３）と
蒸発源（５）と全遮蔽する。そのため四部（７ａ）内に
残存しているアルミニウム溶融液が蒸発しても遮蔽板α
］の下面に蒸着し、螢光面には蒸着しない。

アルミニウム蒸着室（６ｂ）の馬空度が上シ、蒸発開始
値に近づくと、抵抗加熱体（７〕に高準位電圧を印加し
て昇温させる。つづいて、遮蔽板Ｕ、ｆを上記第６図の
遮蔽位置から退避させて第５図のように受像管搬入バレ
ン）１２の開口（１２ａ）を開放し、蒸発ｔＡｔｂ＞と
螢光面とが対向する状態にする。つづいて、アルミニウ
ム線（９）の供給が開始されるとともに、高真空下にお
いて所定時間過圧に蒸着される。

蒸着完了時には、まず抵抗加熱体（７）に印加される篭
圧會低準位の電圧に下げ、アルミニウム線（９）の供給
を中止する。そして遮蔽板Ｑ４をふたたび第６図の状態
に回動させる。その後、アルミニウム蒸着室（６０）の
真空度を落し処理ずみのガフスフエースプレート（υを
出口室（６Ｃ）へ移動させ、つぎに処理されるガラスフ
ェースプＶ−）　（１）　カアルミニウム蒸着室（６ｂ
）に搬入される。以後は上記同様の作動が反復される。

なお、この実施例における遮蔽板Ｑ１としては厚さ２ｆ
ｌのステンレス版を用い、受像管搬入パレット＠に対し
て回動自在かつ着脱自在に取付けられている。

上記実施例ではアルミニウム薄膜の類１θ法の場合につ
いて説明したが、この発明の方法は抵抗加熱体（７ンを
蒸発源（５）とし、低真空でたとえば黒化アルミニウム
膜を蒸着する蒸着膜の形成においても適用することが可
能である。又過去実施している抵抗加熱体（７）の直上
にシャッターを配置した時に比べ、蒸着室（６ｂ）にシ
ャッター冷却設備を備える必要もなく、蒸着装置を長時
間稼動するために、シャッターに付着した蒸着物質が落
下する問題がなくなる。すなわち、遮蔽板口に蒸着物が
付盾し、落下する以前に遮蔽板口を交換出来る。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、受像管搬入パレ
ットに装備されている遮蔽板を作動させることで、蒸着
膜の着色が防止でき、螢光体膜力１゜ら発した光を有効
にカラー受像管の前方へ取り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はカラー受像管の螢光面部の製造工程を説明する
ための断面図、第２図は従来の蒸着装置の一例を７ＲＬ
／　、蒸発源にタングステンコイルを用いた場片の概略
的構成図、第３図は輩化硼紫金主成分とするボート状抵
抗加熱体の斜視図、第４図は蒸発源に屋化０１１１累を
主成分とするポート状抵抗加熱体を用いた蒸着装置の一
例を概略的に示す構成図、第５図はこの発明の実施に必
要な装置の一例を概略的に示す正面図、第６図は遮蔽板
の閉塞状態を示す正面図である。 （１）・・・ガラスフェースプレート、（２）・・・螢
光体膜、（３）・・・中間膜、（４）・・・アルミニウ
ム薄膜、（５ン・・・蒸発源。 （６ｂ）・・・蒸着室、（７）・・・抵抗層１熱体、ｕ
２・・・受像Ｉ庁搬入パレット、（Ｊｌ・・・遮蔽板。 なお、図中同一符号は同一もしくは相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）蒸発物質が載置される載置部を有する抵抗加熱体
   を蒸発源とする蒸着室に量大搬入される受像管の螢光面
   上に光反射性金属膜を真空蒸着して形成する螢光面の金
   属膜形成方法において、上記蒸発物質が上記受像管の螢
   光面に適正蒸着可能時にのみ受像管を載置した受像管搬
   入パレットに装備されている遮蔽板を螢光面と蒸発源と
   を遮蔽する位置から退避させ、適正蒸着可能時以外は遮
   蔽板で螢光面と蒸発源とを遮蔽させることを特徴とする
   螢光面の金属膜形成方法。