JPS60108726A - 低温ヘリウムリ−ク試験装置 - Google Patents
低温ヘリウムリ−ク試験装置Info
- Publication number
- JPS60108726A JPS60108726A JP21613183A JP21613183A JPS60108726A JP S60108726 A JPS60108726 A JP S60108726A JP 21613183 A JP21613183 A JP 21613183A JP 21613183 A JP21613183 A JP 21613183A JP S60108726 A JPS60108726 A JP S60108726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid nitrogen
- container
- inner container
- gas
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、被試験体のガスリークを試験するための低温
ヘリウムリーク試験装置に関する。
ヘリウムリーク試験装置に関する。
低温機器においてはガスの漏洩（リーク）を無くすこと
は重要であり、特に真空断熱を採用しているＭｌ器にお
いてはリークを極力少なくする必要がある。微少リーク
の発見には、通常ヘリウムガスによるヘリウムリーク試
験が行なわれている。
は重要であり、特に真空断熱を採用しているＭｌ器にお
いてはリークを極力少なくする必要がある。微少リーク
の発見には、通常ヘリウムガスによるヘリウムリーク試
験が行なわれている。
この場合、低温状岬で使用される低温機器のＩＪ−り試
験は、その使用さ１．る状態に近い状態で行なうのがよ
Ｉ）良い方法と言える。
験は、その使用さ１．る状態に近い状態で行なうのがよ
Ｉ）良い方法と言える。
従来のこの種の試験は、被試験体を液体窒素により低温
に冷却し、実使用状剪での温度に冷却後被試験体を液中
より持上げ、スプレーガン等によ６）被試験体にヘリウ
ムガスを吹きつけ、この際に被試験体内に吸入されるヘ
リウムガスを検出器（ヘリウムリークディテクタ）によ
１〕検出するという方法で実施されてきた。
に冷却し、実使用状剪での温度に冷却後被試験体を液中
より持上げ、スプレーガン等によ６）被試験体にヘリウ
ムガスを吹きつけ、この際に被試験体内に吸入されるヘ
リウムガスを検出器（ヘリウムリークディテクタ）によ
１〕検出するという方法で実施されてきた。
しかし、この方法は、被試験体を液体窒素中から外部に
持上げ、そしてヘリウムガスを吹きつけるため、被試験
体の濡度十昇となる他、窒素ガス雰囲気の中での試験と
なるので被試験体に吸入されるヘリウムガス濃度が希薄
になるという問題を残している。したがって、実使用状
況下での精度の高いリーク試験を行なっているとは言い
難い面がある。
持上げ、そしてヘリウムガスを吹きつけるため、被試験
体の濡度十昇となる他、窒素ガス雰囲気の中での試験と
なるので被試験体に吸入されるヘリウムガス濃度が希薄
になるという問題を残している。したがって、実使用状
況下での精度の高いリーク試験を行なっているとは言い
難い面がある。
本発明の目的は、実使用状胛の濃度での精度の高いガス
リーク試験を行なうことのできる低温ヘリウムリーク試
験装置を提供することである。
リーク試験を行なうことのできる低温ヘリウムリーク試
験装置を提供することである。
未発明は、液体窒素容器と、その容器の内部に内部容器
と、μ内部容器の上部をカバーする上部カバーとを有し
、丈に該内部容器に液体窒素で冷却された低温ヘリウム
ガスを供給する導管と、該内部容器からガスを放出する
導管とを設け、該内部容器内に被試験体を納めてリーク
試験を行なうことを特徴とする。
と、μ内部容器の上部をカバーする上部カバーとを有し
、丈に該内部容器に液体窒素で冷却された低温ヘリウム
ガスを供給する導管と、該内部容器からガスを放出する
導管とを設け、該内部容器内に被試験体を納めてリーク
試験を行なうことを特徴とする。
以下、本発明を具体的な実施例に基づき詳細に説明する
。
。
′？ｐ、１図は、未発明の一実施伊１を示す。この図に
おいて、１は液体窒素を貯めた液体窒素容器、２はこの
液体窒素容！＃１のカバーをする容器カバー板、３は蒸
発窒素ガスを放出する窒素ガス放出管である。４は容器
カバー板２からの輻射熱をシールドするためのシールド
板、５は低温下でのガスリーク試験を行なう被試験・体
である。６はヘリウムガスを通過させるための孔を有す
る多孔板、７は容器の土部をカバーするＦ部カバーで８
）る。８は内部容器であ１１．下部に多孔板６を有し、
上部に上部カバー７を有しておＣ）、この容器内に被試
験体５を格納する構成となっている。９は液体窒素を導
入するための液体窒素導入管、】０はバルブ、１５は液
体窒素供給のための供給管である。】１は熱′ｇ換器で
あ１）、内部を通過するｌ＼リウムガスの温度を低下さ
せる。、１２はヘリウムガスを内部容器８に供給するた
めの導管であり、途中に熱交検器１１を有する構成とな
っている。したがって、内部容器８には低温ヘリウムガ
スが伊給される。
おいて、１は液体窒素を貯めた液体窒素容器、２はこの
液体窒素容！＃１のカバーをする容器カバー板、３は蒸
発窒素ガスを放出する窒素ガス放出管である。４は容器
カバー板２からの輻射熱をシールドするためのシールド
板、５は低温下でのガスリーク試験を行なう被試験・体
である。６はヘリウムガスを通過させるための孔を有す
る多孔板、７は容器の土部をカバーするＦ部カバーで８
）る。８は内部容器であ１１．下部に多孔板６を有し、
上部に上部カバー７を有しておＣ）、この容器内に被試
験体５を格納する構成となっている。９は液体窒素を導
入するための液体窒素導入管、】０はバルブ、１５は液
体窒素供給のための供給管である。】１は熱′ｇ換器で
あ１）、内部を通過するｌ＼リウムガスの温度を低下さ
せる。、１２はヘリウムガスを内部容器８に供給するた
めの導管であり、途中に熱交検器１１を有する構成とな
っている。したがって、内部容器８には低温ヘリウムガ
スが伊給される。
】３はバルブであ番）、液体窒素を内部容器８に伊給す
る場合に用いられる。】４は内部容器８内のガスを放出
するためのｉ管であ１１．３６はその導管の途中に設け
られたバルブである。】７は被試験林濡度測だ用の温度
センサ、】８は液体窒素のｉｖｉム１イウ測定用の液面
センサである。
る場合に用いられる。】４は内部容器８内のガスを放出
するためのｉ管であ１１．３６はその導管の途中に設け
られたバルブである。】７は被試験林濡度測だ用の温度
センサ、】８は液体窒素のｉｖｉム１イウ測定用の液面
センサである。
続いて、第１図に示す実施例の動作について説明する。
まず、被試験体５は、内部容器８内に納められ、上部カ
バー７で図のようにおおわれる。
バー７で図のようにおおわれる。
被試験体５内のガスは導管】９を介して真空ポンプによ
り抜かれる。この導管１９にヘリウムリークディテクタ
が接続されており、被試験体５の内部にリークされたヘ
リウムガスを検出することができるようになっている。
り抜かれる。この導管１９にヘリウムリークディテクタ
が接続されており、被試験体５の内部にリークされたヘ
リウムガスを検出することができるようになっている。
試験に際しては、液体窒素導入管９からバルブ】０、供
給管１５を介して液体窒素を液体窒素容！８！】に供給
する。この液体窒素の液位が一定の値に達したら液面セ
ンサ】８の指示によりバルブ１０を閉じ、Ｓ！ｌ！１内
・＼の液体窒素の供給を停止する。なお、液面センサＪ
８の指示が定められた液位以下となったときにはバルブ
１０を開いて液体窒素を容＃１内に補給する液位一定制
御が構成されているものとする。液体窒素が容ｔｉｌｌ
に供給され始めるのと同時、あるいはその後、バルブ】
３が開けられ、液体窒素は導管】２を通って内部容器８
内・＼も供給される。これは、内部容ｌ１ｌＢ内を冷却
して被試験体５を急速に低温状態にするためである。被
試験体５が試験すべき温度に低下したとき、バルブ】３
を閉じ、液体窒素の供給を停止する。そして、導管】４
の途中に設けられたバルブ】６を開いて内部容器８内の
液体窒素および窒素ガスを放出する。被試験体５が予定
の温度まで低下したかどうかは、温度セッサ１７ｉこよ
って検出することができる。窒素が内部容器８から放出
されると、こんどはヘリウムガスを導管１２を介して内
部容器８に導びく。この場合、熱交換Ｍ￥１１により。
給管１５を介して液体窒素を液体窒素容！８！】に供給
する。この液体窒素の液位が一定の値に達したら液面セ
ンサ】８の指示によりバルブ１０を閉じ、Ｓ！ｌ！１内
・＼の液体窒素の供給を停止する。なお、液面センサＪ
８の指示が定められた液位以下となったときにはバルブ
１０を開いて液体窒素を容＃１内に補給する液位一定制
御が構成されているものとする。液体窒素が容ｔｉｌｌ
に供給され始めるのと同時、あるいはその後、バルブ】
３が開けられ、液体窒素は導管】２を通って内部容器８
内・＼も供給される。これは、内部容ｌ１ｌＢ内を冷却
して被試験体５を急速に低温状態にするためである。被
試験体５が試験すべき温度に低下したとき、バルブ】３
を閉じ、液体窒素の供給を停止する。そして、導管】４
の途中に設けられたバルブ】６を開いて内部容器８内の
液体窒素および窒素ガスを放出する。被試験体５が予定
の温度まで低下したかどうかは、温度セッサ１７ｉこよ
って検出することができる。窒素が内部容器８から放出
されると、こんどはヘリウムガスを導管１２を介して内
部容器８に導びく。この場合、熱交換Ｍ￥１１により。
ヘリウムガスは低温となるので、内部容器８内には多孔
板６を通って低温ヘリウムガスが供給される。したがっ
て、内部容器Ｂ内は、外部からその側面を液体窒素で冷
却され、また内部には低温ヘリウムガスが供給されるの
で、低温状態が保たれる。このため、被試験体５は低温
状態を維持することができる。また、被試験体５の周囲
は、ヘリウムガスで覆われ、窒素ガスによるヘリウムガ
スの濃度の低下はない。多孔板６は、ヘリウムガスを通
過させることで内部容器８内体のヘリウムガス濃度を均
一にするために設けられている。
板６を通って低温ヘリウムガスが供給される。したがっ
て、内部容器Ｂ内は、外部からその側面を液体窒素で冷
却され、また内部には低温ヘリウムガスが供給されるの
で、低温状態が保たれる。このため、被試験体５は低温
状態を維持することができる。また、被試験体５の周囲
は、ヘリウムガスで覆われ、窒素ガスによるヘリウムガ
スの濃度の低下はない。多孔板６は、ヘリウムガスを通
過させることで内部容器８内体のヘリウムガス濃度を均
一にするために設けられている。
この実施例では、液体窒素によって被試験体を収める内
部容器の外側を覆うことにより外部侵入熱を遮断し、ま
た内部容器の内側にも液体窒素および低温ヘリウムガス
を供給することにより内部の状態を被試験体の使用状態
に近い状態に維持させることができ、実際の試験中は多
孔板を通し均一化されたヘリウムガスの雰囲気の中に被
試験体をおくことができる。したがって、実使用状態の
温度での精度の高いガスリーク試験を行なうことができ
る。
部容器の外側を覆うことにより外部侵入熱を遮断し、ま
た内部容器の内側にも液体窒素および低温ヘリウムガス
を供給することにより内部の状態を被試験体の使用状態
に近い状態に維持させることができ、実際の試験中は多
孔板を通し均一化されたヘリウムガスの雰囲気の中に被
試験体をおくことができる。したがって、実使用状態の
温度での精度の高いガスリーク試験を行なうことができ
る。
以上説明したように本発明によれば、低温状襲を保持す
ることも、ヘリウムガスの濃度を高濃度に保つことも容
易に可能となり、実使用状態の温度での精度の高いガス
リーク試験を行なうことができる。
ることも、ヘリウムガスの濃度を高濃度に保つことも容
易に可能となり、実使用状態の温度での精度の高いガス
リーク試験を行なうことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す図面である。
１・・・・・・液体窒素容器、２・・・・・・容器カバ
ー板、３・・・・・窒素ガス、４・・・・・・シールド
板、５・・・・・・被試験体、６・・・・・・多孔板、
７・・・・・・上部カバー、８・・・・・・内部容器、
９・・・・・液体？索導入管、】０・・・・／（ルブ、
］】・・・・・・熱文換詐、１２・・・・・導管、】３
・・・・・・バルブ、１４・・・・・導管、】５・・・
・・供給管、】６・・・・バルブ、１７・温度センサ、
１８・・・・・・液面センサ。
ー板、３・・・・・窒素ガス、４・・・・・・シールド
板、５・・・・・・被試験体、６・・・・・・多孔板、
７・・・・・・上部カバー、８・・・・・・内部容器、
９・・・・・液体？索導入管、】０・・・・／（ルブ、
］】・・・・・・熱文換詐、１２・・・・・導管、】３
・・・・・・バルブ、１４・・・・・導管、】５・・・
・・供給管、】６・・・・バルブ、１７・温度センサ、
１８・・・・・・液面センサ。
Claims (1)
- １ 液体窒素容器と、該容器中に設置される内部容器と
、該内部容器の上部をカバー可能な上部カバーとを有し
ており、該内部容器に液体窒素で冷却された低温ヘリウ
ムガスを供給する導管と、該内部容器からガスを放出す
る導管とを設け、該内部容器中に被試験体を納めてリー
ク試験を行なうことを特徴とする低連ヘリウムリーク試
験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21613183A JPS60108726A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 低温ヘリウムリ−ク試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21613183A JPS60108726A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 低温ヘリウムリ−ク試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108726A true JPS60108726A (ja) | 1985-06-14 |
Family
ID=16683745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21613183A Pending JPS60108726A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 低温ヘリウムリ−ク試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108726A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110068429A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-07-30 | 中南大学 | 一种航天复合材料构件在低温环境下的渗漏性测试方法 |
| CN113196028A (zh) * | 2018-11-27 | 2021-07-30 | 西部制药服务有限公司 | 用于深冷温度下密封容器的封闭完整性测试的系统和方法 |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP21613183A patent/JPS60108726A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113196028A (zh) * | 2018-11-27 | 2021-07-30 | 西部制药服务有限公司 | 用于深冷温度下密封容器的封闭完整性测试的系统和方法 |
| CN110068429A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-07-30 | 中南大学 | 一种航天复合材料构件在低温环境下的渗漏性测试方法 |
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