JPS60108719A - 赤外線検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は例えば被検知部の温ＦＷを赤外線にて検知する
ための赤外線検出器に関する。

（ロ）従来技術 第１図ａ及びｂにおいて、近時の赤外線検出器（１）で
は、例えば焦電型の赤外線検出体が内蔵されている。斯
る赤外線検出体は入射赤外線の変化量に基ついて電荷を
発生する特性を有し、又上記赤外線検出体の検出精度は
入射赤外線量の変化が同期的である程向上し、従って上
記赤外線検出体に入射する赤外線を周期的に変化せしめ
る必要があり、このために赤外線検出器ｍの６）１方Ｋ
Ｉ−１向ＪＩＪＩモータ（２）によって周期的に回転駆
動される金属チョッパ（３）が配置されている。而して
、所るデー７７に バ（３）の回動にて、上記赤外線検出体〃検知Ａｆ１か
らの赤外線とチョッパ（３）からの赤外線とが置方に町
　゛期的に入射すると、赤外線検出体は入射赤外ｓｉｔ
が同期的に変化して電荷を発生する。斯る電荷は被検知
部の温度測定用として利用される。

しかし乍ら、上記構成においては、上記モータ（２）及
びチョッパ（３）幻かなり大きな形状を有し、スペース
上の問題などがある。

そこで、第２図に示す如き赤外線検出器（４）が考え出
されている。斯る赤外線検出器（４）は、外形寸法とし
て長さ、幅、高さが大々約２４．１５．１５ｍｍの小型
の直方体形状をなし、そして新規なチョッパ機構が内蔵
されており、よって上述の如キモータ（２）及びチョッ
パ＋３１が不要となり、スペース上の問題が解決されて
いる。

以下、第２図において、その赤外線検出器（４）の具体
的構造を説明する。金属製のヘッダ（６）及び赤外線透
過部（６）を有するキャップ（７）からなる外ケース（
８）の内部には、入射赤外線変化量に基づいて電が設け
られている。該チョッパ機構は、第３図にも示すが、一
対の圧電振動体（ｌｏ＋　、　（＋９及び該振動体の各
々の端部に固定された一対の対向体（１２１、０３）が
らなっている。斯る対向体（１２１、Ｑ３）には各々赤
外線を通過せしめる複数の同形状、同寸法のスリット＋
１４１　、　（１４）・・・が形成されている。

而して、上記振動体（＋ｏ＋　、　（Ｉｌｌは互いに逆
方向（Ａ又ｔ／−ｉＢ力方向に同期的に振動し、これに
より上記対向体Ｑ２１　、θ３）は相対的位置関係が周
期的に変化し、上記対向体θ２１　、　Ｈの各々のスリ
ン）　０４）　、　（１４）・・・が重畳し合って最も
、即ち完全に開放する状態と各々のスリット（１４１、
＋１４１が重畳し合わず最も、即ち全く閉塞する状態と
が繰返される。すると、上記重畳する状態においては被
検知部からの赤外線かケース（８）の赤外線透過部（６
）及び両対向体（１２１、（１３）のスリン）　（１４
１、（１４ｊ・・・を経て上記赤外線検出体（９）に入
射し、一方上記ｌ１畳しない状態においては対向体（＋
２１　、　（＋３）からの赤外線のみが上記赤外線検出
体（９）に入射し、よって赤外線検出体（９）は入射赤
外線量が同期的に変化し例えば被検知部の温度測定用と
しての電荷を発生する。

さて、上記赤外線検出器（４）において、上記振動体（
＋０＋　、　（川は周囲温度の影響を受け、周囲温度の
変化に基ついてＡ又はＢ方向への撓みを生じる。そして
、祈る撓みにより定常時、即ち非振動時における両対向
体＋１２）　、　（１３）の相対的位置関係が変化する
と、倣動時において上述の如き、スリン）０４）（ＩＩ
）・・・が完全に亘１畳する状態と全く重畳しない状態
との縫進しか行々われなくなり、赤外線検出体（９）に
入射する赤外線の変化量が減少し、よって周囲温度の変
化ｒｃ報ついて赤外線検出体（９）から発生する電荷の
針が減少し、正確な温度測定が行乃えなくなる。

そこで、周囲温度に変化が生じても非振動時における両
対向体（＋２１　、　（１３）の相対的位置関係が変化
しないようにする必要がある。そのだめの方法として２
つある。

第１の方法としては、両振動体＋１０１　、　（川が周
囲温度の変化に対してＡ、Ｂいずれの方向忙撓むのかを
予め調べ向一方向への撓みが生じるように両振動体（１
０３，（川を配置し、更に両振動体（ｔｅｌ　、　（Ｉ
ｌｌとしては、険１−措成をなし、且つ個々に温度係数
が微妙に変化する中であってほぼ同じ温度係数を有する
ものを選択することである。すると、周囲温度の変化に
対しては両振動体（＋０１　、　（ＩＩ）は同一方向に
ほぼ同一量たけ撓み、従って両対向体（１２１、０３１
の相対的位置関係Ｉ′ｉ実質的に変化しないのである。

次ニ、第２の方法としては、各振ｆｃｌｌＣ＋　ｈ＋　
、　（ｍに、その固四温度変化にて生じ得る撓みとは逆
方向且つ同量だけの撓みを与えるべく、各振動体（＋ｏ
＋　、　ｆｌｉｔに対し最適なバイアス信号を印加する
ことである。

これにより、各振動体ｔｌｆｌ＋　、　（１１は同曲温
度変化にて生じ得る撓みが相殺され、よって両対向体（
＋２１　、　（＋３）の相対的位置関係は伺ら変化しな
いのである。

しかるに、前者の場合は両振動体１ｏ＋　、　ｌ＋）と
してほぼ同じ温度係数を有するものを選択するのにかな
りの困難さを伴い、又後者の場合には最適々バイアス信
号を見出すのにかなりの困難さを伴うと云う欠点がある
。

（ハ）発明の目的 オ発明の目的は、Ｆ２１１［２Ｂ温度の変化により一対
の対同体の相対的位置関係が変化するのを防止する対策
を講じなくとも、正確な温度測定等を行なえる赤外線検
出器を得ることにある。

（ニ）発明の構成 白ｑ 本発明の構成Ｐｙ１．は、上記目的を達成すべく、入射
赤外線変化量に応じて電荷を発生する赤外線検出体、該
検出体への赤外線の入射域に配置され、投数の赤外線通
過部と赤外線非通過部とを有する一対の対向体、駆動信
号が印加され、上記両対向体の相対的位１位関係を周期
的に変位せしめるべく少なくとも一方の対向体を振動せ
しめる振動体を備え、該振動体に印加される上記駆動信
号としてに、上記両対向体の相対的位置関係の変位にお
いて、上記両対向体の赤外線通過部が重畳し合ってる 最も開放す状態と、一方の対向体の赤外線通過部ハ と他方の対向体の赤外線非通過部とが重畳し合って両対
向体の赤外線通過部が最も閉塞する状態とが周期的に繰
返される場合の振幅値に対し、小さい振幅値を選択した
ことＫある。

（ホ）実施例 第４図及び第５図は不発ＦＪＡ実施例の赤外線検出器０
５）を示し、該検出器は第２図の赤外線検出器（４）と
同様に小型化されている。

金属製のヘッダ（１６）と赤外線透過フィルタ（＋７）
にて閉塞された赤外線入射口（１８１を有するキャップ
（ＩＩとからなる外ケース（財））の内部には、赤外線
検出部シ１）とチョッパ機構部（２シとが配Ｉｆ＆され
ている。

上記赤外線検出部（２１）において、表、裏面電極（２
３］、　（２４１を有し、入射赤外ｉＩＪ！変化量に応
じて電荷を発生するタング）Ｖ酸リチウム（ＬｉＴａＯ
２）単結晶からなる焦電型赤外線検出体（２５）が設け
られ、該検出体は燐青銅などからなる企ＰＡｍ支持台岡
上に導電性接着剤伐ηにて接着固定されている。そして
、上記赤外線検出体（２均は赤外線入射ロシ約を有する
シールド体（２９）Ｉｃより外来ノイズに対してシール
ドされている。更に、上記表面電極ｆ２３ｉは上記ヘッ
ダ（１６）に絶縁材を介して植設された借上端子（刻に
インピーダンス変換回路（後述する）を通して電気的に
連なり、上記裏面電＆　（２，１；　ｔｒＪ接着剤し７
）支持台し６）及びヘッダ（１６）を介してアース端子
０υに電気的に連々っている。

次に、上記チョッパ機構部（２匈において、上記検出体
め）への赤外線の入射域、即ち上記検出体（２５１と開
口θ８）との間には互いに平行状急に配置された平面状
の一対の第１、第２対向体＠峙が位置している。該第１
、第２対向体は夫々第６図ａ及びｂに示す如く、アルミ
ニウムなどの赤外線非透過材料からなり、扇形線状に延
設された複数のスリットとしての赤外線通過部■及び（
至）が形成され、該通過部の各々の間には夫々赤外線非
通過部（至）及び（ロ）か位置している。上記通過部（
至）（勺と非通過部（ト）、＠は共に同一寸法、形状を
有し、＃Ａｗ１、ｗ２け夫々１００μｍ、２００μｍで
ある。

そして、上記第１、第２対向体（２）、儲は夫々第１、
第２振動体曽、（２）の右端に固定されている。

該第１、第２振動体の構成は第７図に詳細に示す。

即ち、燐青銅などからなる中央電極−，＠υが存し、該
中火電極の各々の両側ＶＣハ、チタン酸バリウム、ジル
コン酸チタン酸鉛などからなり単一方向（矢印ｐ）に分
極された圧電体は’；Ａｌ４３が、その分極方向が同一
と々るように設けられ、そして上記各圧電体（４２、（
４３）の外側表面には銀なとから々る表面電極＋４４）
　、　（４均が形成されている。

上記第１、第２振動体（ハ）、ｃｌｌは上記ヘッダ（Ｉ
［ｉ）上に絶Ｒ層（４ηを介して内定された金属製の第
１．第２同定台（４１％’　、　Ｑ９）にて挾持固定さ
れている。この場合、上記第１゜第２ｈ定台（４８ｉ　
、　ｔ−１９＋には表面電極（４勇、（伺が電気的に桜
触する。そして、上記第１振動体（至）の中央電＃ｉに
）及び上記第２固定台（４９）は上記ヘッダ（１６）に
絶縁材を介して植設された第１振動端子イ０）に接紙さ
れ、又上記第２振動体Ｉ３’Ｊの中央電極（４１）及び
上記第１粘１定台（４８１は上記ヘッダ（１６）に絶縁
材を介して同様にｗ１投された第２振動端子（５１）　
Ｋ接続されている。

而して、上記第１．負′占２振動端子（５ｏ）　、　（
５１）間の電位差としては、十■ボｐト（第１振動端子
（５０）の方が第２振動端子（５りより電圧が高い）と
−■ボルト（第２振動端子（５すの方か第１振動端子（
５０）より電圧が高い）とがＮ期的（周波数３Ｈｚ　）
に交互に繰返される。後者の電位差の場合、上記第１振
動体（ハ）においては下側（第７図）の圧電体０２）が
縮むと共に上側の圧電体（４匂が伸び、従って第１振動
体（至）は矢印Ａ方向に撓む。又、上記第２振動体Ｃ３
１においては下側の圧電体（４□□□が伸ひると共に上
側の圧電体−が縮み、従って第２振動体ζ（！茅はＢ方
向に撓む。

一方、前者の電位差の場合、第１、第２振動体缶（イ）
は大々上述とは逆にＢ、Ａ方向に撓む。

これにより、上記第１、第２振動体（至）、鵜は互いに
逆方向に同期的に振動し、斯る振動に基ついて」−４第
１、第２対向体（２）、＆ｌけ相対的位置関係か変位し
、両対向体０４．α１の赤外線通過部（至）、（至）ど
うしが重畳する状態と、第１対向休Ｏｅの赤外線ｊｉＴ
８過部０１と第２対向体（至）の赤外線非通過部−とが
で１１畳する状＃（第１対向体図の赤外線非通過部（至
）と第２対向体−の赤外線通過部（至）とが重畳する状
態でもある）と、が周期的に繰返される。すると、上記
赤外線検出体ｆ２Ｊ３Ｉけ、フィルタ０７）を透過して
外ケース−円建入ってくる被検知物からの赤外線と対向
体ａａ　、　ｃｗからの赤外線とに基ついて、入射赤外
線量が変化し、よって被検知物の温ｐＩＫ応じた電荷、
更に詳しくは被検知物と対向体ｏａ、岐、＝の温度差に
対応した信りを出力する。

上記外ケース−〈は、更に対向体（至）、Ｃ（３の温度
を検知するための測温ダイオード（１１２）が内蔵され
ている。該ダイオードのアノードは上記ヘッダ０６）に
絶耗゛材を介して植設されたダイオード端子（ＩＩＢ）
に接続さね、カソードｋｔ接地されている。

第８図は上記赤外線検出器（＋５１を雷む回路を示す。

上記赤外約検出体（２５１の俵面電秋（７ｔ）は赤外線
検出体（２均と共にシールド体Ｑ１１１内に前面された
インピーダンス変換回路Ｈに接続されている。該変換回
路は１０１０〜１０　Ωの尚入力析抗輝）と、Ｆ　Ｅ　
Ｔ　（５６）と、約１０にΩの出力抵抗（６７）とから
なり、Ｆ　Ｅ　Ｔ　（＋１６）のソースが上記信号端子
（列に接続され、又ドレインは直流電圧印加端子（５８
）に接続されている。

而して、上記第１、第２振動端子い０）　、　（５１）
間には、発振器（ω）からの出力が増幅回路（ω）を介
して増幅され、上記±Ｖボμトの電位差力、第９図ａの
如く交互に発生するようになっている。これにより、上
記第１、第２振動体（５０）＠りけ土カ１Σの如く振動
し、祈る振動時には、被検知物と対向体（イ）、勢との
温度差に応じた＠づが上記インピーダンス変換回路（隙
）を通して上記信勺端子（＊））より検出器（１５）外
部へ埠出される。祈る信号は実際は第９図すの如き交流
ｅをなし、その振幅が上記温瓜差に応じたものとなって
いる。そして、上記信３端子（３０，ｉからの信′５＝
ｊはフィルり増幅器（６１）を介して同期検波器（６２
）に入力される。

斯る検ａλ）−）は、上記交流佑りｅと上記発振器（［
Ｂ）の出力との同期をと９、被検知物の温度か対向体６
３．（ハ）の温度より高い場合はその１品度差に応じた
正の直流信号を検波出力し、被検知物のｌ晶度が対向ｎ
’ｃ（′４．Ｃ！４の温度より低い場合はその温度差に
応じた負の直流信号を検波出力する。即ち、上記交流信
りとしては、被検知物の温序が対向体ｃ１′４゜＾ 体１の温１（より高いと正側半すイクＩｖｅ十が発振器
−）出力の電位数十■ポｐトに相当する部分と一致し、
被検知物の温度が対向体（２）、（至）の温度より低十
ｖに相当する部分と一致する。そして、上記検を 波器（６２１からは、前者の一致がとれると被検知物と
対向体（至）、（へ）との温度差に応じた正の直流信号
が出力され、後者の一致がとれると斯る温度差に応した
負の直流信号が出力される。

面して、上記検波器−からの出力は直流増幅器（ｇ８）
を介して合成回路（６）に入力される。該合成回路には
更に上記測温ダイオード（鵠）からの出力、即ち対向体
０′４．儲の温度に応じた信号が直流増幅器（６）を介
して入力される。そして、上記合成回路（＆りＵこれら
２つの入力を加質し実際の被検知物の温度に応じた＠す
°を出力する。断る出力は直流増幅器（６６）を介して
所望回路へ出力するだめの出力端子（６ηに導かれる。

さて、上記第１．第２振動体（至）、　Ｃ３’Ｊとして
は、周囲温度変化が生じると同一方向へ撓むように耐重
”されているか、はぼ回じ温度係数を有するものを敢え
て選択してはいない。よって、周囲温度変化に対しては
両振動体（至）、艶の撓み量に差が生じる。

ここで、今、上記第１、第２振動端子−１卜１）間の電
位差±Ｖボルトの其体的々餉を±６０ボルトとする。こ
の場合、周囲／２ｉＸ度変化かなく、それによる撓みか
両振動体（ハ）、　（３！Ｉに〈トじていないとすると
、第１．第２対向休０４．峙の相対的位置関係さしては
、両対向体（２）、＆Ｉの赤外線通過部（２）、（ハ）
が１１畳し合って最も、即ち完全に開放する状態と、第
１対向体０うの赤外線通過部（ロ）と第２対向体Ｑの赤
外線非通過部（ロ）とが１畳し合って両対向体（至）。

鏝の赤外線通過部（２）、０５がルも、即ち完全に閉塞
する状態と、が周期的に繰返されるものとする。

所る状態において、周囲温度変化による撓みが両振動体
缶、四に生じると、両振動体（至）、ｑ間の撓み量に差
が生じ、従来の如く上記赤外線通過部（’（Ｕ　、　Ｃ
Ｌ’ｍが完全に開放する状態と完全に閉塞する状態との
繰返しが実行されなくなり、正確な温度測定か行なλ々
くなる。

而して、被検知物の温度を１５０℃とし固四濡、度夕化
に対する出力端子（＠の出力電圧値の特性を具体的に表
わす（！：第１０図の曲線ａのようになる。

同曲線ａにおいて、周囲温度変化による撓みが生じない
場合、出力電圧はピーク値、５ポμトとなり、正確な温
度１５０℃が測定される。そして、周囲温度変化による
撓みが生じると、出力電圧はピークからすれ、例えば間
開温度が０℃〜７０℃の範囲傾おいて変化する場合は８
００ミリボルトの誤差が生じ正確な温度測定か行なえな
いのである。

ここに、異なった条件で、史に眺ｊ囲温ｌ徒食化に対す
る出力端子（（至）の出力＠１圧値の特性を考察するに
、上記電位差土Ｖホルトの伯を例えば±４０ボルトとす
ると第１０図の曲線ｌ）の如き特性となる。

この場合、町囲温７ｆ波化による撓みか生じない状態の
ピーク値に３．９ボルト（この値にて正確な温度１５０
℃が測定できる）となり１囲温度がθ℃〜７０°Ｃの範
囲において亥゛化する状態でｌｄ製誤差位差±Ｖの（ｌ
ｒ＋を例えは±３０ボルトとすると第１０図の曲線Ｃの
如き特性となる。この場合は、ピーク値１ｄ　２．６ボ
ルト（同様にこの伯にて正確な温度１５０℃が測定でき
る）となり誤差は県に５０ミリポ／＆）まで減少してい
る。

祈る結果において、上記第１．第２振動端子−１（５１
間の＠ｉ位差士■ボμト、即ち第１．第２振動体岐、ｇ
Ｊを振動せしめるだめの駆動信号の振幅値２ｖボμト（
第９図ａ）が、赤外線通過部［有］、（至）を完全に開
放する状態と完全に閉塞する状態とを繰返せしめるだめ
の振幅値１２０（＝２Ｘ６０）ボルトに較べて小さな振
幅値８０（＝２Ｘ４０）、６０（２Ｘ３０）ボルトにな
るに従って、誤差が小さくなっていることが分る。

次に断る点について詳細に説明するに、今、間開温度変
化による撓みが両振動体（至）、（至）に生じていない
状態で且つ振動が行なわれていない場合、両対向体（２
）、儲の相対的位置関係は第１１図ａの如く赤外線非過
部鋺、（至）が半分ずつ重畳開放する付加”にあるもの
とする。尚、以降の図において、祈る開放部分には斜線
を施している。そして、断る位置関係を基準とし、まず
上記振幅値１２０ポアｙトにて第１．第２振動体（２）
、（至）を振動すると、赤外線通過部（至）、（至）は
、第１１図すの如く赤外線通過部（２）、（至）が完全
に開放する状態と、第１１図Ｃの如く赤外線通過部（至
）、０５が完全に閉塞する状態とが繰返され、赤外線変
化量は最大となる。

而して、振動が行なわれない状態で且つ両振動体（至）
、に）に間開温度変化による撓みが生じた場合、両対向
休Ｃ切、　ｃ３３の相対的位置関係は第１２図ａの如き
であり、第１１図ａの位１〜関係からすれる。

そして、断る位置関係を基準とし、上記振幅値１２０ボ
ルトにて第１．第２振動体（至）、（７）を振動すると
、赤外線通過部（２）、Ｇ９は第１２図す及びＣの間で
開閉状態が変化し、この場合赤外線通過部■、６５は途
中全開放されるが完全閉塞されることはなく、開閉度の
差は上記完全な開閉の時と較べてかなり減少し、よって
赤外線ｙ化かがかなり減少するから、上述の如き８０　
（ｌ　ミ！ＪポＡ／）もの誤差を生じる。

一方、周囲温度変化による撓みが両振動体（至）。

（至）に生じていない状態で上記振幅値６０ボｐトにて
両振動体（２）、働を振動すると、赤外線通過部Ｑ４、
（ハ）は第１１図ａの位置関係を基準として第１３図ａ
及びｂのｆｆ１ｌで開閉状態が変化する。而して、周囲
温１隻変化による撓みが両振動体（ハ）、翰に生じた状
態で上記振幅値６０ボルトにて両振動体（至）。

−を振動すると、赤外線ｊＭ＋　ｉ＋ω部（２）、αν
は第１２図ａの位置関係を基準として第１４図ａ及びｂ
の聞で開閉状態が紫化する。ここに、赤外線通過部■、
（至）の第１３図ａ、ｂ間での開閉度の差は第１４しｉ
ａ、ｂ聞での開閉度の差と殆ど等しく、よって上述の如
き５０ミリポル）−１で誤差が抑えられている。

さて、」−記考察の鮎に、上記両振動端子＠Ｏ）　、　
（５１ｊ間の電位差±Ｖボルト、即ち両振動体（至）１
ｇＪを振動せしめるための駆動信号の振幅値２■ポルト
として、赤外線通過部（至）、（至）が完全に開放する
状態と完全に閉塞する状態とが繰返される場合の振幅１
２０ボルトに対し、小さい振幅値６０ボルトが選択出力
されるように、上８「・増幅回路−）ｑ調整されている
。これにより、内聞温度変化による誤差が抑制さ九、正
確な温度測定が行なえる。尚、上述のように出力端子（
６ηの出力電圧値のレベ〃も同時に低下するが、これは
上記誤差抑制による大なる効果に較べると重視されるも
のではない。

（へ）発明の効果 以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、周囲温
度変化によシ一対の対向体の相対的位置関係か）こ化す
るのを積極的に防止するだめの従来の如き面倒な対策を
講じなくとも、正確な温度測定等を行なうことができ、
極めて実用的な赤外線検出器を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１ン１ａ　、　ｂは仄々従来の赤外線検出後横の側面
図及び平面図、第２図は改良された従来の赤外線検出器
の断面図、第３図は同検出器の要部平面図、第４図乃至
第１４図は本発明実施例赤外線検出器を示し、第４図は
斜視図、第５図は断面図、第６図ａ、ｂは犬々第】、第
２対向体の平面図、第７図は要部平面図、第８図は回路
図、第９図ａ、ｂは夫々要部侶ち゛波形図、第１０図は
特性曲線図、第１１図ａ、　ｂ、　ｃ、第１２図ａ、　
ｂ、　ｃ。 第１３図ａ、ｂ、第１４図ａ、ｂＨいずれも第１、第２
対向体の相対的位置関係を表わす模式的平面図である。 （２５）・・・赤外線検出体、に）、（ト）・・・第１
、第２対向体、（２）、（至）・・・赤外線通過部、Ｑ
ν、６１）・・・赤外線非通過部、（至）、Ｃ（１・・
・第１、第２振動体、（６ｏ）・・・増幅回路。 第１９図 （ａ）　（ｂ） 手　続　補　正　書（方式） １゜ １、事件の表示 昭和５８年特許願第２１８２３５号 ２、発明の名称 赤外線検出器 ろ　補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　（１８８）三洋電機株式会社 ４代理人 住所　守口市京阪本通２丁目１８番地 ） ５、補正命令の日付（発送日） 昭和５９年２月２８日 ） 冒 ７、補正の内容 明細書中、第２０貞第１２行乃至＠１５行に記載された
［第９図ａ、ｂは夫々］を「第９図は」と補正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　入射赤外線変化歓に応じて電荷を発生する赤外
   線検出体、該検出体への赤外線の入射域に配置され、複
   数の赤外線通過部と赤外線非ｊｉｔｉ過部とを有する一
   対の対向体、駆動信号が印加きれ、上記両対向体の相対
   的位１ｈ関係を周期的に変位せしめるべく少なくとも一
   方の対向体を振動せしめる振動体を備え、該振動体に印
   加される上記駆動借りとしては、上記両対向体の相対的
   位置関係の変位において、上記両対向体の赤外線通過部
   が重畳し合って最も開放する状態と、一方の対向体の赤
   外線３Ａｒ過部と他方の対向体の赤外線非通過部とが重
   畳し合って両対向体の赤外線通過部が最も閉塞する状態
   とが同期的に繰返される場合の振幅値に対し、小さい振
   幅値を選択したことを特徴とする赤外線検出熱。