JPS60107850U - フオトマスク用防塵カバ−体 - Google Patents

フオトマスク用防塵カバ−体

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JPS60107850U
JPS60107850U JP1983194023U JP19402383U JPS60107850U JP S60107850 U JPS60107850 U JP S60107850U JP 1983194023 U JP1983194023 U JP 1983194023U JP 19402383 U JP19402383 U JP 19402383U JP S60107850 U JPS60107850 U JP S60107850U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dustproof cover
photo mask
frame
cover
adhesive
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983194023U
Other languages
English (en)
Inventor
桑原　積
福光　保典
Original Assignee
旭化成株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の防塵カバ一体の斜視図であり、第２図は
第１図のＡ−Ａ’断面図である。第３図は本考案の防塵
カバ一体の斜視図であり、第４図は第３図の１３−Ｂ’
断面図である。又、第５図１゜２は本考案の防塵カバ一
体の各種形状の例を示す斜視図である。第６図は本考案
の防塵カバ一体をマスクに貼り付けた側断面図である。 １・・・膜状物、２・・・マスク貼り付は用粘着層、３
・・・枠、４・・・薄膜、５・・・空間部、７・・・マ
スク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 枠の一方の面に接着剤にて薄膜を枠に固着せしめ、枠の
    他面に粘着剤を介し、剥離可能な膜状物が面全体を覆う
    よう貼られたフォトマスク用防塵カバ一体。
JP1983194023U 1983-12-19 1983-12-19 フオトマスク用防塵カバ−体 Pending JPS60107850U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002333703A (ja) * 2001-05-11 2002-11-22 Asahi Kasei Electronics Co Ltd ペリクル用枠体

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002333703A (ja) * 2001-05-11 2002-11-22 Asahi Kasei Electronics Co Ltd ペリクル用枠体
JP4601204B2 (ja) * 2001-05-11 2010-12-22 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル用枠体

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