JPS59189643U - ペリクル装着装置 - Google Patents

ペリクル装着装置

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JPS59189643U
JPS59189643U JP1983083114U JP8311483U JPS59189643U JP S59189643 U JPS59189643 U JP S59189643U JP 1983083114 U JP1983083114 U JP 1983083114U JP 8311483 U JP8311483 U JP 8311483U JP S59189643 U JPS59189643 U JP S59189643U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pellicle
attachment device
pellicle membrane
forming surface
frame body
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983083114U
Other languages
English (en)
Inventor
雅史 井上
Original Assignee
シャープ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by シャープ株式会社 filed Critical シャープ株式会社
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Publication of JPS59189643U publication Critical patent/JPS59189643U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のペリクルの装着状況を示す断面図、第２
図は本考案実施例の縦断面図、第３図および第４図は本
考案の他の実施例の縦断面図である。 １・・・レチクルフォトマスク、２・・・ペリクル膜、
３・・・接着剤、４・・・パターン、１１，２１．３１
・・・台座、１２，２２．３２・・・枠体、ｌｌａ・・
・雌ねじ、１２ａ・・・雄ねじ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ペリクル膜の外縁部を貼着してこれを支持する枠体と、
    レチクルフォトマスクのパターン形成面上に当該パター
    ンを取り囲むよう固着され、上記枠体を着脱自在に支持
    する枠台塵とから成り、レチクルフォトマスクのパター
    ン形成面と略平行に、かつ、所定間隔をあけて上記ペリ
    クル膜を着脱自在に装着し得るよう構成されたペリクル
    装着装置。
JP1983083114U 1983-05-31 1983-05-31 ペリクル装着装置 Pending JPS59189643U (ja)

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JP1983083114U JPS59189643U (ja) 1983-05-31 1983-05-31 ペリクル装着装置

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Publications (1)

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JPS59189643U true JPS59189643U (ja) 1984-12-15

Family

ID=30213073

Family Applications (1)

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JP1983083114U Pending JPS59189643U (ja) 1983-05-31 1983-05-31 ペリクル装着装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014228868A (ja) * 2013-05-21 2014-12-08 上海和輝光電有限公司Ｅｖｅｒｄｉｓｐｌａｙ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ （Ｓｈａｎｇｈａｉ） Ｌｉｍｉｔｅｄ ペリクルフレーム、フォトマスク、及びその取り付け方法
JP2018194841A (ja) * 2017-05-15 2018-12-06 アイメック・ヴェーゼットウェーＩｍｅｃ Ｖｚｗ リソグラフィレチクルシステム

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