JPS60105147A - 線形カソ−ド形電子銃装置 - Google Patents
線形カソ−ド形電子銃装置Info
- Publication number
- JPS60105147A JPS60105147A JP21136683A JP21136683A JPS60105147A JP S60105147 A JPS60105147 A JP S60105147A JP 21136683 A JP21136683 A JP 21136683A JP 21136683 A JP21136683 A JP 21136683A JP S60105147 A JPS60105147 A JP S60105147A
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- JP
- Japan
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- cathode
- voltage
- linear
- linear cathode
- grid electrode
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- Granted
Links
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 8
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- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 abstract description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）利用分野
この発明は、断面線状またはテープ状の電子ビームを放
出する線形カソード形電子銃装置に関する。
出する線形カソード形電子銃装置に関する。
（０）従来技術
線形カソード形電子銃装置はフィラメントを直線状に延
設して形成した長い線状のカソードを有しておシ、この
フィラメントが加熱電流を供給されることで高温となっ
て線状に熱電子の放出を行う。放出された熱電子は、カ
ソードの近傍に設置された引出電極で一方向に進行する
電子ビームに形成される。
設して形成した長い線状のカソードを有しておシ、この
フィラメントが加熱電流を供給されることで高温となっ
て線状に熱電子の放出を行う。放出された熱電子は、カ
ソードの近傍に設置された引出電極で一方向に進行する
電子ビームに形成される。
しかし、長い線状のフィラメントに加熱電流を供給する
ことから、必然的にフィラメントの一端と他端の間に電
位勾配を生じ、それはカソードと引出電極間の電子引出
電圧がカソードの位置によって異なることを意味する。
ことから、必然的にフィラメントの一端と他端の間に電
位勾配を生じ、それはカソードと引出電極間の電子引出
電圧がカソードの位置によって異なることを意味する。
そこて形成される電子ビームは、カソードの位置に影響
されて変化し、均一とならないことになる。
されて変化し、均一とならないことになる。
また通常フィラメントは交流電源により加熱電流を供給
されるが、これはカソードと引出電極間の引出電圧が時
間的に変ることを意味し、つまシ紘形成される電子ビー
ムが時間的に変化することになる。
されるが、これはカソードと引出電極間の引出電圧が時
間的に変ることを意味し、つまシ紘形成される電子ビー
ムが時間的に変化することになる。
上記のような問題点を解消するための提案が、たとえば
特公昭５０−１１１２０ ’ｉｊにおいて開示されてい
るが、この提案ではカソードと引出電極の間に仙慣用の
電極を新たに追加する必要があシ、構造的に複雑である
。
特公昭５０−１１１２０ ’ｉｊにおいて開示されてい
るが、この提案ではカソードと引出電極の間に仙慣用の
電極を新たに追加する必要があシ、構造的に複雑である
。
（／υ発明の目的
この発明は、フィラメントに加熱電流を供給することに
よシ生じる位置的もしくは時間的な電子ビームの変化を
簡単な構造で補償して均一な電子ビームを形成できるよ
うにした線形カソード形電子銃装置を提供することを目
的とするものである。
よシ生じる位置的もしくは時間的な電子ビームの変化を
簡単な構造で補償して均一な電子ビームを形成できるよ
うにした線形カソード形電子銃装置を提供することを目
的とするものである。
（→発明の構成
この発明の線形カソード形電子銃装置は、フィラメント
を実質的に直線状に延設して形成した線形カソード、そ
の線形カソードへの加熱電流供給用電源、前記線形カソ
ードの近傍に導線を数鱈ピッチでジグザグさせかつ前記
線形カソードと並行に延設して形成したグリッド電極、
そのグリッド電極に電子引出電圧を印加する引出電圧印
加用電源および前記線形カソードの両端の電位差と同じ
電位差を前記グリッド電極の両端に生じさせるように前
記グリッド電極に電流を供給しうる電位差形成用電源を
具備して構成される。
を実質的に直線状に延設して形成した線形カソード、そ
の線形カソードへの加熱電流供給用電源、前記線形カソ
ードの近傍に導線を数鱈ピッチでジグザグさせかつ前記
線形カソードと並行に延設して形成したグリッド電極、
そのグリッド電極に電子引出電圧を印加する引出電圧印
加用電源および前記線形カソードの両端の電位差と同じ
電位差を前記グリッド電極の両端に生じさせるように前
記グリッド電極に電流を供給しうる電位差形成用電源を
具備して構成される。
上記において線形カソードは、フィラメントを直線状に
張ったものであってもよいし、短い距離でジグザグさせ
ながら長く延設したものであってもよい。
張ったものであってもよいし、短い距離でジグザグさせ
ながら長く延設したものであってもよい。
上記加熱電流供給用電源は、直流であってもよいし、交
流であってもよい。
流であってもよい。
上記グリッド電極の導体は、耐熱性のある導体を用いる
べきであシ、具体的にはタングステンやニクロムやステ
ンレスが挙げられる。このような導体線を耐熱性のある
絶縁物たとえば窒化ポーンやセラミックの支持枠に間隔
をらけてコイμ状にもしくはたすき状に巻き付けてグリ
ッドを形成する。グリッド電極の両端の電位差は、線形
カソードの両端の電位差と合致させるのが望ましい。一
方、グリッド電極での発熱は小さいのが望ましい。
べきであシ、具体的にはタングステンやニクロムやステ
ンレスが挙げられる。このような導体線を耐熱性のある
絶縁物たとえば窒化ポーンやセラミックの支持枠に間隔
をらけてコイμ状にもしくはたすき状に巻き付けてグリ
ッドを形成する。グリッド電極の両端の電位差は、線形
カソードの両端の電位差と合致させるのが望ましい。一
方、グリッド電極での発熱は小さいのが望ましい。
そこでグリッド電極の抵抗値は線形カソードに比べて数
十〜数百倍に充分大きくするべきである。
十〜数百倍に充分大きくするべきである。
上記引出電圧印加用電源は、従来公知のものを用いるこ
とができる。
とができる。
上記電位差形成用電源は、上記加熱電流供給用電源と同
様のものとする。
様のものとする。
体）実施例
第１図に示す（１）は、この発明の線形カソード形電子
銃装置の一実箆例である。
銃装置の一実箆例である。
線形カソード（２）は、たとえば線径０２〜ｏｂ、。
のタングステン・フィラメントを長さｏｈ〜２ｍに直線
的に張設したもので Ｃりはカソードザボート、（り線
セラ之ツク製のフィラメント支持プレートである。この
線形カソード（２）は、加熱電流供給用電源（５）から
たとえに１００ボμトの交流電圧Ｅｌを両端（２ａ）
（２ｂ）間に加えられている。
的に張設したもので Ｃりはカソードザボート、（り線
セラ之ツク製のフィラメント支持プレートである。この
線形カソード（２）は、加熱電流供給用電源（５）から
たとえに１００ボμトの交流電圧Ｅｌを両端（２ａ）
（２ｂ）間に加えられている。
上記線形カソード（２ンはコｐナシー〃ド管（６）の内
部に収容され、そのコロナシーμド管（６）にはグリッ
ド電極（７）が取シ付けられている。
部に収容され、そのコロナシーμド管（６）にはグリッ
ド電極（７）が取シ付けられている。
グリッド電極（１）は、たとえけ線径０，０５〜０１鱈
のタングステン線をセラミック製のグリッド支持枠（８
）にピッチ３〜５ｍで巻き付けたもので、長手方向に線
形カソード（２）と平行に設置されている。このグリッ
ド電極（７）は、引出電圧印加用電源（９）から供給さ
れる直流電圧烏によって線形カソード（２）に対して数
百ボμト高い電位に置かれると共に、電位差形成用電源
（１０）から加熱電流供給用電源（５）と同相同電圧の
交流電圧Ｅ２を加えられている。
のタングステン線をセラミック製のグリッド支持枠（８
）にピッチ３〜５ｍで巻き付けたもので、長手方向に線
形カソード（２）と平行に設置されている。このグリッ
ド電極（７）は、引出電圧印加用電源（９）から供給さ
れる直流電圧烏によって線形カソード（２）に対して数
百ボμト高い電位に置かれると共に、電位差形成用電源
（１０）から加熱電流供給用電源（５）と同相同電圧の
交流電圧Ｅ２を加えられている。
さて、線形カソード（２）の一端（２ａ）の電位は外部
から与えられる電位ｖｏに一定となっておシ、それを基
準にして他端（２ａ）の電位は、加熱電流供給用電源（
５）から加えられる交流電圧Ｅｌで変化する。一方、グ
リッド電極（））の一端（１ａ）の電位は引出電圧印加
用電源（９）の出力電圧Ｅ３だけ線形カソード（２）の
一端（２ａ）よシ高い電圧で一定であシ、それを基準に
して他端（７ｂ）の電位は電位差形成用電源（１０）か
ら加えられる交流電圧４で変化する。ところが交流電圧
Ｅ１と島は同相同電圧であるから、線形カソード（２）
の他端（２ｂ）とグリッド電極（））の他端（）ｂ）の
それぞれの電位の変化分は相殺され、結局のところ線形
カソード（２）とグリッド電極（））の間の電位差は長
さ方向の位置によっては変化せず、また時間的にも変化
せず、引出電圧印加用電源（９）の出力電圧為で一定と
なる。
から与えられる電位ｖｏに一定となっておシ、それを基
準にして他端（２ａ）の電位は、加熱電流供給用電源（
５）から加えられる交流電圧Ｅｌで変化する。一方、グ
リッド電極（））の一端（１ａ）の電位は引出電圧印加
用電源（９）の出力電圧Ｅ３だけ線形カソード（２）の
一端（２ａ）よシ高い電圧で一定であシ、それを基準に
して他端（７ｂ）の電位は電位差形成用電源（１０）か
ら加えられる交流電圧４で変化する。ところが交流電圧
Ｅ１と島は同相同電圧であるから、線形カソード（２）
の他端（２ｂ）とグリッド電極（））の他端（）ｂ）の
それぞれの電位の変化分は相殺され、結局のところ線形
カソード（２）とグリッド電極（））の間の電位差は長
さ方向の位置によっては変化せず、また時間的にも変化
せず、引出電圧印加用電源（９）の出力電圧為で一定と
なる。
なお、線形カソード（２）のタングステン・フィラメン
ト径を０４ ｍ ＋長さを１ｍとし、グリッド電極（マ
）のタングステン線径をＯユ！Ｉｌ＋グリッド文持枠（
８）の幅を３ａ１＠きピッチを３１１１１とすると、グ
リッド電極（７）の抵抗値は線形カソード（２）の抵抗
値の約３２０倍となる。そこで発熱量は約３’ｓａｏと
なり、グリッド電極（マ）での発熱が実際上問題となる
仁とはない。
ト径を０４ ｍ ＋長さを１ｍとし、グリッド電極（マ
）のタングステン線径をＯユ！Ｉｌ＋グリッド文持枠（
８）の幅を３ａ１＠きピッチを３１１１１とすると、グ
リッド電極（７）の抵抗値は線形カソード（２）の抵抗
値の約３２０倍となる。そこで発熱量は約３’ｓａｏと
なり、グリッド電極（マ）での発熱が実際上問題となる
仁とはない。
（へ）発明の効果
この発明の線形カソード形電子銃装置によれば、カソー
ドの長さ方向の位置によシ変化せずかつ時間的にも変化
しない均一な電子ビームを形成することができる。また
グリッド電極が電子引出機能とカソードフィラメントの
加熱電流による電位変化を補償する機能とを併せもって
いるから、構造的に簡単である。
ドの長さ方向の位置によシ変化せずかつ時間的にも変化
しない均一な電子ビームを形成することができる。また
グリッド電極が電子引出機能とカソードフィラメントの
加熱電流による電位変化を補償する機能とを併せもって
いるから、構造的に簡単である。
第１図はこの発明の線形ビーム形電子銃装置の一実施例
の構成説明図である。 （１）・・・線形ビーム形電子銃装置、（２）・・・線
形カソード、 （５）・・・加熱電流供給用電源、 （））・・・ グリッド電極、 （９）・・・引出電圧印加用電源、 （ｌＯ）・・電位差形成用電源。
の構成説明図である。 （１）・・・線形ビーム形電子銃装置、（２）・・・線
形カソード、 （５）・・・加熱電流供給用電源、 （））・・・ グリッド電極、 （９）・・・引出電圧印加用電源、 （ｌＯ）・・電位差形成用電源。
Claims (1)
- １、 フィラメントを実質的に直線状に延設して形成し
た線形カソード、その線形カソードへの加熱電流供給用
電源、前記線形カソードの近傍に導線を＠ｍｍピッチで
ジグザグさせかつ前記線形カソードと並行に延設して形
成したグリッド電極、そのグリッド電極に電子引出電圧
を印加する引出電圧印加用電源および前記線形カソード
の両端の電位差と同じ電位差を前記グリッド電極め両端
に生じさせるように前記グリッド電極に電流を供給しう
る電位差形成用電源を具備してなることを特徴とする線
形カソード形電子銃装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21136683A JPS60105147A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 線形カソ−ド形電子銃装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21136683A JPS60105147A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 線形カソ−ド形電子銃装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60105147A true JPS60105147A (ja) | 1985-06-10 |
| JPH0552022B2 JPH0552022B2 (ja) | 1993-08-04 |
Family
ID=16604774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21136683A Granted JPS60105147A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 線形カソ−ド形電子銃装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60105147A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0363900U (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-21 |
-
1983
- 1983-11-09 JP JP21136683A patent/JPS60105147A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0363900U (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0552022B2 (ja) | 1993-08-04 |
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