JPS5991734U - クライオスタツト用試料搭載部 - Google Patents

クライオスタツト用試料搭載部

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Publication number
JPS5991734U
JPS5991734U JP18717682U JP18717682U JPS5991734U JP S5991734 U JPS5991734 U JP S5991734U JP 18717682 U JP18717682 U JP 18717682U JP 18717682 U JP18717682 U JP 18717682U JP S5991734 U JPS5991734 U JP S5991734U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cryostat
loading section
sample loading
section
sample mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18717682U
Other languages
English (en)
Inventor
啓太郎 森
強 望月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Original Assignee
SPC Electronics Corp
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Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp filed Critical SPC Electronics Corp
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Publication of JPS5991734U publication Critical patent/JPS5991734U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のクライオスタットの縦断面図、第２図は
本考案に係る試料搭載部の実施例を内蔵したクライオス
タットの一例を示す縦断面図、第３図は本実施例で用い
ている発熱部の分解斜視図である。 ４・・・・・・試料槽、５・・・・・・試料搭載部、Ｓ
・・・・・・ウェーハ状試料、６・・・・・・脚、７・
・・・・・冷却部、８・・・・・・発熱部、２４・・・
・・・試料搭載面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 発熱部の上に電気絶縁して冷却部が重ねて設けられ、前
    記冷却部の表面が試料搭載面となっていることを特徴と
    するクライオスタット用試料搭載部。
JP18717682U 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部 Pending JPS5991734U (ja)

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JP18717682U JPS5991734U (ja) 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部

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JP18717682U JPS5991734U (ja) 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5991734U true JPS5991734U (ja) 1984-06-21

Family

ID=30404100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18717682U Pending JPS5991734U (ja) 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部

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JP (1) JPS5991734U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57160141A (en) * 1981-03-27 1982-10-02 Nec Kyushu Ltd Device for inspecting semiconductor substrate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57160141A (en) * 1981-03-27 1982-10-02 Nec Kyushu Ltd Device for inspecting semiconductor substrate

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