JPS59902A - 湿度センサの製造方法 - Google Patents
湿度センサの製造方法Info
- Publication number
- JPS59902A JPS59902A JP57110290A JP11029082A JPS59902A JP S59902 A JPS59902 A JP S59902A JP 57110290 A JP57110290 A JP 57110290A JP 11029082 A JP11029082 A JP 11029082A JP S59902 A JPS59902 A JP S59902A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- sintered
- moisture
- sensitive body
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分舒
この＠明は金属酸化物粉の焼結体を感湿体として利用し
たセラミック湿度セシデの製造方法に関し、煙草の４に
暴露することに対する提案である。
たセラミック湿度セシデの製造方法に関し、煙草の４に
暴露することに対する提案である。
背景技術
湿度変化を抵抗＋ｖｉ尿化で検出するセラミック湿Ｒ−
＋１シｆは一般ＫＴｉＯ２、Ｌ１２０、ＭｇＯ、Ｖ２ｏ
５などの金１！＠酸化物を混合して仮焼結した仮焼粉を
粉砕ｆｉ泣して薄板状にプレス成形したものｔ焼結した
多孔質の感湿体に電極を付した構造で、良好な湿度−抵
抗匝特性や応答特性を有し、また量産化や、小形化が可
能であるといった多くの特長ｔ−蕾するが、１草の煙に
弱いという大きな欠点がある・例えば上記昏領で形成さ
れた感湿体の良好な状態における湿度−抵抗匝特性が第
１図の実線グクツ亀に示すものであるとすると、この感
湿体が一度煙草の１に暴露されるフ゛第１図の破線グラ
ブｏに示すように湿度−抵抗匝特性が大きく変化するこ
とが矧られている。これは多孔質の感湿体内に１草の１
の粒子（０、ｊ〜ｏ、ｏｓｓｍ’ａ度の大Ｓさ〕が入っ
て焼結粒子に付着するためであり、このよりに特性が大
きく変化すると湿度セシｔとしての用をなさないことが
ある。
＋１シｆは一般ＫＴｉＯ２、Ｌ１２０、ＭｇＯ、Ｖ２ｏ
５などの金１！＠酸化物を混合して仮焼結した仮焼粉を
粉砕ｆｉ泣して薄板状にプレス成形したものｔ焼結した
多孔質の感湿体に電極を付した構造で、良好な湿度−抵
抗匝特性や応答特性を有し、また量産化や、小形化が可
能であるといった多くの特長ｔ−蕾するが、１草の煙に
弱いという大きな欠点がある・例えば上記昏領で形成さ
れた感湿体の良好な状態における湿度−抵抗匝特性が第
１図の実線グクツ亀に示すものであるとすると、この感
湿体が一度煙草の１に暴露されるフ゛第１図の破線グラ
ブｏに示すように湿度−抵抗匝特性が大きく変化するこ
とが矧られている。これは多孔質の感湿体内に１草の１
の粒子（０、ｊ〜ｏ、ｏｓｓｍ’ａ度の大Ｓさ〕が入っ
て焼結粒子に付着するためであり、このよりに特性が大
きく変化すると湿度セシｔとしての用をなさないことが
ある。
そこで通草の燻の暴４対策として様々な提案がなされて
いるが、効果的なもめには次のフィルター防ＩＩＩｔＩ
形のものと加熱形のものがある。フィルター防御形は空
気を通すが煙草の遁は通さないフィルタで感湿体ｔ−ｆ
ｆ１囲したもので、仁のようにすると感湿体は煙草の１
に晒される心配がなくて特性が安定する。しかし、フィ
ルクーの目は煙草の煙ｔＸｆＩｉさないだけの非常に小
さなものであるためフィルターでの空気の流通性が極め
て悪く、外界の湿度変化に対する感湿性の抵抗筺変化の
応答性が悪くなる欠点があった。
いるが、効果的なもめには次のフィルター防ＩＩＩｔＩ
形のものと加熱形のものがある。フィルター防御形は空
気を通すが煙草の遁は通さないフィルタで感湿体ｔ−ｆ
ｆ１囲したもので、仁のようにすると感湿体は煙草の１
に晒される心配がなくて特性が安定する。しかし、フィ
ルクーの目は煙草の煙ｔＸｆＩｉさないだけの非常に小
さなものであるためフィルターでの空気の流通性が極め
て悪く、外界の湿度変化に対する感湿性の抵抗筺変化の
応答性が悪くなる欠点があった。
実際、第７図の実線グラブ１の特性を持つ感湿体ｔ−前
記フイルターで包囲して４度にθ憾の雰囲気から湿度９
０俤の雰囲気に変化したところ、り０幅の湿度に対する
抵抗１１１ｔ−示すまでに約３０分以上も必要とする。
記フイルターで包囲して４度にθ憾の雰囲気から湿度９
０俤の雰囲気に変化したところ、り０幅の湿度に対する
抵抗１１１ｔ−示すまでに約３０分以上も必要とする。
また加熱形の湿度セシサは感湿体ｔコイル状のヒータの
中に配置して、煙草の煙の粒子が感湿体に付着してもこ
れをζ−夕への通電による加熱で″焼１１切って特性の
劣下を阻止するものである。この加熱形は高ａｐｒで再
現性に誕れる反面、と−夕装着によってかなり層側とな
り、また大形化する傾向にあって狭い範囲の用途にしか
使用できない欠点があった。
中に配置して、煙草の煙の粒子が感湿体に付着してもこ
れをζ−夕への通電による加熱で″焼１１切って特性の
劣下を阻止するものである。この加熱形は高ａｐｒで再
現性に誕れる反面、と−夕装着によってかなり層側とな
り、また大形化する傾向にあって狭い範囲の用途にしか
使用できない欠点があった。
発明の開示
本発明の目的は上記各問題点ｔ−解消した安価で応答性
の良い且つ煙草の遁の暴露に対して特性の変化率が少な
い１度セシテの製造方法を提供するにある。
の良い且つ煙草の遁の暴露に対して特性の変化率が少な
い１度セシテの製造方法を提供するにある。
本発明は煙草の煙に暴露することに対する対米として、
焼結されて電極が付嘔れた感湿体をシクシカップリング
剤で処理することを特徴とする。このシフシカプリシダ
剤は通常の無機物と何機物との接着助剤として使用され
るもので、こ九での処理はシラシカブリシダ剤溶液に感
°湿体ｔ″ｉ！ｌ漬してから熱ｔ１理することで裏打さ
れる。このような処理な施すと感湿体の湿度−抵抗値特
性は１草の煙に暴４されても少ししか変化せず、特性的
に十分に使用で＄る輻囲内で安定であることがけかった
。従って、ヒータやフィルターなどの特別な部材を使っ
て感湿体ｔ−煙草の燻から保護する必要が黒くなシ、上
記目的が容易に達成される。
焼結されて電極が付嘔れた感湿体をシクシカップリング
剤で処理することを特徴とする。このシフシカプリシダ
剤は通常の無機物と何機物との接着助剤として使用され
るもので、こ九での処理はシラシカブリシダ剤溶液に感
°湿体ｔ″ｉ！ｌ漬してから熱ｔ１理することで裏打さ
れる。このような処理な施すと感湿体の湿度−抵抗値特
性は１草の煙に暴４されても少ししか変化せず、特性的
に十分に使用で＄る輻囲内で安定であることがけかった
。従って、ヒータやフィルターなどの特別な部材を使っ
て感湿体ｔ−煙草の燻から保護する必要が黒くなシ、上
記目的が容易に達成される。
発明を実施するための最良の形態
６１図に本発明による感湿体の製造工程を示し、以下こ
れ金具体内に説明する。先ずｒｉｏ、、シｉにＯ、Ｍｇ
Ｏ、Ｖ２Ｏ５などの複数の金属酸化物の粉末（１）ｔ−
所定量秤量して混合し、これを仮焼結Ｌ テＴｉＯａ−
ＬＬＭｇＶＯ４ＯｆｆＬ焼扮１２） ｔ−４る。次に仮
焼粉１２Ｊを粉砕して７〜２μｍの粒僅にしてからこれ
をプレス成形し馬匹ようにｇｉｉｌＪとパイシダに混ぜ
て溶剤を飛ばしながら造粒して約コＯμｍの大＠福に備
え、これｔ−ｆＩｌえば円板状にプレス成形する。次に
プレス成形品１１）’を約１０００Ｇの高温で焼結して
所望の感湿体１４）ｔ−得る。この感湿体１４）はＪ〜
ｊμｍ程度の粒子の焼結体てパイシダを飛ばすことによ
って十分に多孔質なものが優られる。次に感湿体（４）
の２を面と裏面に７リツトガクスを含む金ペーストｔ−
塗看して約にθ０Ｑ（２で熱も理して７リツトガラスを
溶かし、感湿体（４１０両面は電極ｔｓ） ｔ６３ ｋ
形成する。而してから、本発明は感湿性１４１ｔ−シラ
シカグリジグ剤ｙＪＪＩ理する。例えばトルニジにカプ
リシダ剤ｔｉｓ＊優混合梧せた液中に１ｉｔｌ己感湿体
（４）を浸漬した後、これｔ’ｊｌき上げて約、７００
Ｃの雰囲５Ｌ内で約１時間乾＃ＩＩ盲せる０する七感湿
休（４）の焼結粒子表面にシラシカプリシダ剤のａ膜が
牧ｆ程度で極（４（形成基れる。
れ金具体内に説明する。先ずｒｉｏ、、シｉにＯ、Ｍｇ
Ｏ、Ｖ２Ｏ５などの複数の金属酸化物の粉末（１）ｔ−
所定量秤量して混合し、これを仮焼結Ｌ テＴｉＯａ−
ＬＬＭｇＶＯ４ＯｆｆＬ焼扮１２） ｔ−４る。次に仮
焼粉１２Ｊを粉砕して７〜２μｍの粒僅にしてからこれ
をプレス成形し馬匹ようにｇｉｉｌＪとパイシダに混ぜ
て溶剤を飛ばしながら造粒して約コＯμｍの大＠福に備
え、これｔ−ｆＩｌえば円板状にプレス成形する。次に
プレス成形品１１）’を約１０００Ｇの高温で焼結して
所望の感湿体１４）ｔ−得る。この感湿体１４）はＪ〜
ｊμｍ程度の粒子の焼結体てパイシダを飛ばすことによ
って十分に多孔質なものが優られる。次に感湿体（４）
の２を面と裏面に７リツトガクスを含む金ペーストｔ−
塗看して約にθ０Ｑ（２で熱も理して７リツトガラスを
溶かし、感湿体（４１０両面は電極ｔｓ） ｔ６３ ｋ
形成する。而してから、本発明は感湿性１４１ｔ−シラ
シカグリジグ剤ｙＪＪＩ理する。例えばトルニジにカプ
リシダ剤ｔｉｓ＊優混合梧せた液中に１ｉｔｌ己感湿体
（４）を浸漬した後、これｔ’ｊｌき上げて約、７００
Ｃの雰囲５Ｌ内で約１時間乾＃ＩＩ盲せる０する七感湿
休（４）の焼結粒子表面にシラシカプリシダ剤のａ膜が
牧ｆ程度で極（４（形成基れる。
このように１＆終的にシフシカプリシブ＠処理梧れた感
湿体は上ε被膜が極薄いもので島るので十分に多孔質の
ままでありて通気性が漠々われることが黒く、１度−抵
抗１直特性はシフシカプリシダ剤処理しないものに比べ
ると若干の抵抗１［のレベルアップはあるが同じように
直線性の良好なものが得られ、湿度セシｔとして十分に
効果を発譚するものが得られた。いま第３図の′４１４
線グクツ・にシフシカプリシダ剤処理した感湿体の湿度
−抵抗値特性の一膚−例を示し、この感湿体ｔａ草の燻
に暴露させた時の特性を第３図のｔｆｆｌｄグラフａに
示す。この両グクク０、ａから汁るように、煙草の４に
４ｍされる七特性はグラ７表上でほぼ千行移呻するだけ
で十分良好なＩＩｉ線性を持続し、而も七゛の変化率は
少なく（ＩＲでに憾弱〕、従りて１草の燗に暴露格れて
も十分に実用に供され得ることが分る◎この３ＡＪｉ！
は感湿体の焼結粒子に被看したνりンカプリジグ被膜が
１草の煙の粒子から焼結粒子を保−するためで、煙草の
煙の粒子が感湿体の焼結粒子にＩｉ！接付看しないため
焼結粒子が化学変化を受けず湿度に対する電気的特性の
安定化が得られるものと推定される。
湿体は上ε被膜が極薄いもので島るので十分に多孔質の
ままでありて通気性が漠々われることが黒く、１度−抵
抗１直特性はシフシカプリシダ剤処理しないものに比べ
ると若干の抵抗１［のレベルアップはあるが同じように
直線性の良好なものが得られ、湿度セシｔとして十分に
効果を発譚するものが得られた。いま第３図の′４１４
線グクツ・にシフシカプリシダ剤処理した感湿体の湿度
−抵抗値特性の一膚−例を示し、この感湿体ｔａ草の燻
に暴露させた時の特性を第３図のｔｆｆｌｄグラフａに
示す。この両グクク０、ａから汁るように、煙草の４に
４ｍされる七特性はグラ７表上でほぼ千行移呻するだけ
で十分良好なＩＩｉ線性を持続し、而も七゛の変化率は
少なく（ＩＲでに憾弱〕、従りて１草の燗に暴露格れて
も十分に実用に供され得ることが分る◎この３ＡＪｉ！
は感湿体の焼結粒子に被看したνりンカプリジグ被膜が
１草の煙の粒子から焼結粒子を保−するためで、煙草の
煙の粒子が感湿体の焼結粒子にＩｉ！接付看しないため
焼結粒子が化学変化を受けず湿度に対する電気的特性の
安定化が得られるものと推定される。
また第Ｖ図に応答特性の実験デークを示す。
これはシフシカプリシダ剤処理した感湿体を湿Ｎ、ｔ０
９ｋから湿度２θ彊の雰囲気へ、またその逆への移動を
行りた時のもので、どちらも移動した虚のａ度に応じる
抵抗１１に示すまでの時間は約１０〜９０秒であり、従
来のフィルクー防御クイプのものが約３０号であったの
に比べ著しく応答性の同上が図れることが分った。この
応答は煙草の煙に−ｓ４西れた後でもほぼ同じ結果が得
られた。
９ｋから湿度２θ彊の雰囲気へ、またその逆への移動を
行りた時のもので、どちらも移動した虚のａ度に応じる
抵抗１１に示すまでの時間は約１０〜９０秒であり、従
来のフィルクー防御クイプのものが約３０号であったの
に比べ著しく応答性の同上が図れることが分った。この
応答は煙草の煙に−ｓ４西れた後でもほぼ同じ結果が得
られた。
以上の１うに、本発明によれ／ｉ′フィルターやピーク
など特別な４対蔵部材を用いることなく虜対策が裏打さ
れるので、小形化、量産化が容易になり、大幅なコスト
ダクシが実現できる。
など特別な４対蔵部材を用いることなく虜対策が裏打さ
れるので、小形化、量産化が容易になり、大幅なコスト
ダクシが実現できる。
また焼結し九感湿体と同じ応答性が得られ、また煙に４
露さ・れても特性の質化率が示さくて十分に使用続行が
可能であり、高信頼度の湿度セシデが提供で纏る。
露さ・れても特性の質化率が示さくて十分に使用続行が
可能であり、高信頼度の湿度セシデが提供で纏る。
第７図は湿度セシナの一般的な湿度−抵抗値特性図、第
一図は本発明の製造方法を説明する工惺図、＠Ｊ図及び
第Ｖ図は本発明の方法で得九゛感湿体の湿度−抵抗筐特
性図及び応答特性図である。
一図は本発明の製造方法を説明する工惺図、＠Ｊ図及び
第Ｖ図は本発明の方法で得九゛感湿体の湿度−抵抗筐特
性図及び応答特性図である。
Claims (1)
- １１２ 金属酸化物粉仮焼粉ｔ−粉砕造泣して所望形
状にプレス成形して焼結した感湿体ｔシフシカプリシブ
剤溶液に浸漬後熱ｙＪＪ１理したことを特徴とする湿度
セシサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110290A JPS59902A (ja) | 1982-06-26 | 1982-06-26 | 湿度センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110290A JPS59902A (ja) | 1982-06-26 | 1982-06-26 | 湿度センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59902A true JPS59902A (ja) | 1984-01-06 |
Family
ID=14531942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57110290A Pending JPS59902A (ja) | 1982-06-26 | 1982-06-26 | 湿度センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59902A (ja) |
-
1982
- 1982-06-26 JP JP57110290A patent/JPS59902A/ja active Pending
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