JPS5990003A - 干渉測定装置 - Google Patents
干渉測定装置Info
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- JPS5990003A JPS5990003A JP58159126A JP15912683A JPS5990003A JP S5990003 A JPS5990003 A JP S5990003A JP 58159126 A JP58159126 A JP 58159126A JP 15912683 A JP15912683 A JP 15912683A JP S5990003 A JPS5990003 A JP S5990003A
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- interference
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- measurement
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02007—Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光電式距離測定のための干渉測定による装置に
関する３、 近代の距１〜ｆＬＩｉｌｌｌ定装置は一般に−）’（Ｓ
パルスの走行時間の測定または電気う゛Ｃ学的に変調さ
れた−）”Ｃ波の位相比較の原理に基づいている。この
ようなすべての方法が光を単に変調担体としてのみ使用
しており、その結実現在到達することができる測定波長
は１１ｎの大きさのオーダにある。非常に屯（＋（ｌｉ
な光電的な測定方法が米国時９′「明細゛用第４０６８
９５１号に記載されている３、 干渉測定による装置はこの装置よりも正確である。Ｖ−
ザ・ビームが測定ビームと参照ビームに分割される。１
測定ビームは、測定区間の通過および測定反射器におけ
る反射の後で、「１■び参照ビームと一緒にされる。測
定ビームと参照ビームの間の相対的な位相角位置に対応
して、測定反射器が移動するとき、干渉点には明暗の信
号が発生し。
関する３、 近代の距１〜ｆＬＩｉｌｌｌ定装置は一般に−）’（Ｓ
パルスの走行時間の測定または電気う゛Ｃ学的に変調さ
れた−）”Ｃ波の位相比較の原理に基づいている。この
ようなすべての方法が光を単に変調担体としてのみ使用
しており、その結実現在到達することができる測定波長
は１１ｎの大きさのオーダにある。非常に屯（＋（ｌｉ
な光電的な測定方法が米国時９′「明細゛用第４０６８
９５１号に記載されている３、 干渉測定による装置はこの装置よりも正確である。Ｖ−
ザ・ビームが測定ビームと参照ビームに分割される。１
測定ビームは、測定区間の通過および測定反射器におけ
る反射の後で、「１■び参照ビームと一緒にされる。測
定ビームと参照ビームの間の相対的な位相角位置に対応
して、測定反射器が移動するとき、干渉点には明暗の信
号が発生し。
そｈ−が９′自検出器によって記録され、電気的に数え
１うれる。個々の計数パルスの加算が波長の値と一緒に
なって反射器の全移動距離ｆ６：カえ、このようにして
長さおよび距離が波長の大きさのオーダの分解能で、ま
た適当な内挿を使えばそ〕１．以下の分解能で測定され
ることができる１゜ しかし、なかもこの種の干渉測定による装置は限定的な
ある一定の距離測定にのみ適当である。パスの増分を力
計ψｆする必要から、いかなるビームの中１析も許され
ず、その結果、ビームのふらつきを妨げるために、測定
反射器が・ζスの区間に沿・つてガイドの軌道に結ばさ
れなければならないからである。
１うれる。個々の計数パルスの加算が波長の値と一緒に
なって反射器の全移動距離ｆ６：カえ、このようにして
長さおよび距離が波長の大きさのオーダの分解能で、ま
た適当な内挿を使えばそ〕１．以下の分解能で測定され
ることができる１゜ しかし、なかもこの種の干渉測定による装置は限定的な
ある一定の距離測定にのみ適当である。パスの増分を力
計ψｆする必要から、いかなるビームの中１析も許され
ず、その結果、ビームのふらつきを妨げるために、測定
反射器が・ζスの区間に沿・つてガイドの軌道に結ばさ
れなければならないからである。
米国特許明、Ｎ１１１期第４，００５，９３６号には、
二つの異なった周波数ｆ１およびｆ２ヲ放射する可干渉
性の光源を含む、干渉測定による方法が記載されている
。各出力ビームは二つの部分に分割され、それらのうち
それぞｉｌ、一つのビーム成分は持味な装置によってそ
）１ぞれｄｆ、およびｄｆ２の周波数のずれ金受ける。
二つの異なった周波数ｆ１およびｆ２ヲ放射する可干渉
性の光源を含む、干渉測定による方法が記載されている
。各出力ビームは二つの部分に分割され、それらのうち
それぞｉｌ、一つのビーム成分は持味な装置によってそ
）１ぞれｄｆ、およびｄｆ２の周波数のずれ金受ける。
変化しないまＮの周波数ｆ＋およびｆ２を持ったビーム
の部分は関心がある距離に区って導かれ、測定反射器で
反対方向に反射される。
の部分は関心がある距離に区って導かれ、測定反射器で
反対方向に反射される。
光検出器は、周波数が変化させられている部分子１−１
− ｄｆ＋ ｋ有する周波数ｆ＋のビーム成分と、対応
する成分子２−１− ｄｆ２を有する周波数ｆ２のビー
ム成分がコヒーレントに干渉するように、すべての部分
ビームを受、）°Ｃする。周波数（ｄｆ＋ ｄｆｚ
）の信号が検出器から導き出される。その位相は二つの
個々の位相角の差に対応し、通過Ｊ−る距離のｉ＝ｌめ
の尺度である１、 この干渉測定による方法は、レーザ・ビームのそり、ぞ
れ一つの部分成分において出１−」の周波数を変えるた
めの附加の装置全必要とする。そのうえ、とができる距
離分解能をもっては、非常に小さな一義的な距離ｄ（す
定範囲を作り出すことしができないρ 大きな距離測定範囲（例えば１００＋ｎ）が得られるよ
うな、干渉測定による装置は知られていない。
− ｄｆ＋ ｋ有する周波数ｆ＋のビーム成分と、対応
する成分子２−１− ｄｆ２を有する周波数ｆ２のビー
ム成分がコヒーレントに干渉するように、すべての部分
ビームを受、）°Ｃする。周波数（ｄｆ＋ ｄｆｚ
）の信号が検出器から導き出される。その位相は二つの
個々の位相角の差に対応し、通過Ｊ−る距離のｉ＝ｌめ
の尺度である１、 この干渉測定による方法は、レーザ・ビームのそり、ぞ
れ一つの部分成分において出１−」の周波数を変えるた
めの附加の装置全必要とする。そのうえ、とができる距
離分解能をもっては、非常に小さな一義的な距離ｄ（す
定範囲を作り出すことしができないρ 大きな距離測定範囲（例えば１００＋ｎ）が得られるよ
うな、干渉測定による装置は知られていない。
本発明の目的は、公知の干渉測定によるレーザーバス測
定システムを変更することによって達成され、干渉測定
による測定方法のための新しい技術的な使用分野を開く
ことができる、光電式距離測定のための干渉測定による
装置を開発することである。
定システムを変更することによって達成され、干渉測定
による測定方法のための新しい技術的な使用分野を開く
ことができる、光電式距離測定のための干渉測定による
装置を開発することである。
本発明は、大きな操作範囲に亘る光電的な距離測定のた
めの装置６．全干渉測定による原理に基づいて達成する
という課題を設定する。公知の干渉測定による装置は現
在のところ長さを測定するという課題を満足しているが
、小さな操作範囲に亘っでしか距離測定全可能にしない
からであるρ本発明によればこの課題は、９０°だけず
れた偏光面を有する異なった周波数ｆ＋およびｆ２のな
る・べく二つのレーザ・モードのそれぞれ二つの直線偏
光されたンＬ波を放射する単数または複数のレーザ光源
から成り、その際〔・−ド間隔がそれぞれのレーザでレ
ーザ鏡の距離が変化する結果１菫かに変化する装置が選
ばｉｌ、るときに解決される１、そのほか、その装置ｉ
ｊｊ、は、測定ビームと参照ビームのル畳によって生じ
る位相をずらされた複数の干渉信号全発生する長さ測定
のための公知のレーザ干渉計から成っている。干渉計ブ
ロックは、受光器から成る変換器ユニットのほかに、同
様な第２の変換器ユニットおよび単数または複数の偏光
分割器を含んでおり、その偏光分割器は光ビームの偏光
面の方向に依存して干渉ｎ１ブロツクの中で発生させら
れた干渉信号がいずれかの変換器二ニットの土に落ちる
ように作用する。本発明による装置のエレクトロニソク
スによる部分はアナログ信号前処理および中間メモリー
の、２めの装置、アナログ−ディジクル変換器、および
出力媒体金石する計算ユニットから成っている９、 レーザによって発生させられるビームは、偏光光された
モードを含んでいる。二つの）ＹＬ周波数は。
めの装置６．全干渉測定による原理に基づいて達成する
という課題を設定する。公知の干渉測定による装置は現
在のところ長さを測定するという課題を満足しているが
、小さな操作範囲に亘っでしか距離測定全可能にしない
からであるρ本発明によればこの課題は、９０°だけず
れた偏光面を有する異なった周波数ｆ＋およびｆ２のな
る・べく二つのレーザ・モードのそれぞれ二つの直線偏
光されたンＬ波を放射する単数または複数のレーザ光源
から成り、その際〔・−ド間隔がそれぞれのレーザでレ
ーザ鏡の距離が変化する結果１菫かに変化する装置が選
ばｉｌ、るときに解決される１、そのほか、その装置ｉ
ｊｊ、は、測定ビームと参照ビームのル畳によって生じ
る位相をずらされた複数の干渉信号全発生する長さ測定
のための公知のレーザ干渉計から成っている。干渉計ブ
ロックは、受光器から成る変換器ユニットのほかに、同
様な第２の変換器ユニットおよび単数または複数の偏光
分割器を含んでおり、その偏光分割器は光ビームの偏光
面の方向に依存して干渉ｎ１ブロツクの中で発生させら
れた干渉信号がいずれかの変換器二ニットの土に落ちる
ように作用する。本発明による装置のエレクトロニソク
スによる部分はアナログ信号前処理および中間メモリー
の、２めの装置、アナログ−ディジクル変換器、および
出力媒体金石する計算ユニットから成っている９、 レーザによって発生させられるビームは、偏光光された
モードを含んでいる。二つの）ＹＬ周波数は。
干渉引区間を含めて、共通して全）を路を同時に通して
測定する。干渉旧ブロックの中で発生さぜら：１１．た
干渉信号は適切に配置された偏）゛Ｌ分割器によって各
周波数成分の偏）′Ｃの方向に対応して空間的に分離さ
れ、二つの別個の変換器ユニットの方に向けられる。各
変換器ユニットには、擾乱の影響を除去するためのエレ
クトロニソクスによる前処理段が含まれている１、二つ
の変換器ユニットの発生させられた電気的な信号は、そ
７１．に基づいて、同時に、乱流の結果透過されるう°
Ｃ学的媒体の測定できる程の変化が起る時間よりも遥に
短い記憶時間、エレクトロニツクス的に中間的にメモリ
される。
測定する。干渉旧ブロックの中で発生さぜら：１１．た
干渉信号は適切に配置された偏）゛Ｌ分割器によって各
周波数成分の偏）′Ｃの方向に対応して空間的に分離さ
れ、二つの別個の変換器ユニットの方に向けられる。各
変換器ユニットには、擾乱の影響を除去するためのエレ
クトロニソクスによる前処理段が含まれている１、二つ
の変換器ユニットの発生させられた電気的な信号は、そ
７１．に基づいて、同時に、乱流の結果透過されるう°
Ｃ学的媒体の測定できる程の変化が起る時間よりも遥に
短い記憶時間、エレクトロニツクス的に中間的にメモリ
される。
中間メモリされたアナログ信号はアナログ−ディジタル
変換器を使ってディスクリートな直にされ、言１算ユニ
ットに導かＩｔ、そして公知の関数関係全；１じてＶ−
ザ周波数に対応する二つの干渉信号の谷々の位相角の計
算が行なわれる。他の位相；’−，’＋ｉ＋’ｌｌｌ定
法におけると同様に、二つの位相角の差は測−リ 定される丸角ＩＬに比例ｊ−る値を供給し２、そノ上が
既知の定数を掛けて表示さ、１１．る。
変換器を使ってディスクリートな直にされ、言１算ユニ
ットに導かＩｔ、そして公知の関数関係全；１じてＶ−
ザ周波数に対応する二つの干渉信号の谷々の位相角の計
算が行なわれる。他の位相；’−，’＋ｉ＋’ｌｌｌ定
法におけると同様に、二つの位相角の差は測−リ 定される丸角ＩＬに比例ｊ−る値を供給し２、そノ上が
既知の定数を掛けて表示さ、１１．る。
二つのレーザ・モードによって発生さぜられる距ｎ１１
の尺度は、二つのモードの可能な周波数間隔の物理的な
制限の結果０１７ｎの大きさのオーダーの長さしが持っ
てオ６らず、その結果一義的な距離の測定はこの範囲に
おいてのみ可能である。しかしながら、その長さで僅が
しか異なっていない複数の尺度を組み合わせることによ
って、遥に大きな一義的な距＋’Ｊ、 Ｌｌ（１１定範
囲を達成することができる。
の尺度は、二つのモードの可能な周波数間隔の物理的な
制限の結果０１７ｎの大きさのオーダーの長さしが持っ
てオ６らず、その結果一義的な距離の測定はこの範囲に
おいてのみ可能である。しかしながら、その長さで僅が
しか異なっていない複数の尺度を組み合わせることによ
って、遥に大きな一義的な距＋’Ｊ、 Ｌｌ（１１定範
囲を達成することができる。
レーザ鏡距離のイ苗がな変化によってモード間隔が異な
っている、複数のレーザ光源の使用は、したがって、各
レーザ光源全便った相つぃで行なわれる測定および閘々
の３１算さｉｔだ距離の測定１直の対応する組合せで１
．を較的大きな操作範囲に亘って一義的な距離の決定全
可能にするｅ 本発明全以下に実施例を用いて説明する。。
っている、複数のレーザ光源の使用は、したがって、各
レーザ光源全便った相つぃで行なわれる測定および閘々
の３１算さｉｔだ距離の測定１直の対応する組合せで１
．を較的大きな操作範囲に亘って一義的な距離の決定全
可能にするｅ 本発明全以下に実施例を用いて説明する。。
第１図に示Ｊ−装置は同様なレーザ光源１ａ、１ｂ。
１ｃか１う成っている。それらのレーザ光源は９ｏ０ド
の形の、異なつ几周波数ｆ、およびｆ２ のそれぞれ二
つの直線偏）“ＣされたｙＣ波を放射し、その際モード
間隔はレーザの中でレーザ鏡の距離の僅かな変化によっ
てそれぞれ僅かに異なっている。鏡６゜するビーム分割
器４ａ 、 ４ｂ によって、すべてのレーザ拳ビーム
は強度が等しいように一緒に導がｈ、干渉泪区間に向け
られる。光学シャッタ２ａ 、 ２ｂ 。
の形の、異なつ几周波数ｆ、およびｆ２ のそれぞれ二
つの直線偏）“ＣされたｙＣ波を放射し、その際モード
間隔はレーザの中でレーザ鏡の距離の僅かな変化によっ
てそれぞれ僅かに異なっている。鏡６゜するビーム分割
器４ａ 、 ４ｂ によって、すべてのレーザ拳ビーム
は強度が等しいように一緒に導がｈ、干渉泪区間に向け
られる。光学シャッタ２ａ 、 ２ｂ 。
２ｃはその時７々に一つのレーザラ゛０源の光のみがそ
の光学的な区間を通して測定するように作用する。
の光学的な区間を通して測定するように作用する。
レーザ・ビームは結合・プリズム５ヶ通って干渉ｎブロ
ツク乙に達１−１そこで測定ビームと参照ビームへの分
割が行なわれる。参照ビームは固定の参照レフレクタ７
に到達１〜、そこで干渉ｈ１ブロックの方に反則し返さ
ｉｌ、る１、測定ビームは同様にして可動の測定レフレ
クタ８で反射を受ける。両方のビームは干渉ａ−１ブロ
ックの中で干渉させられ、その際四つの分割器層から成
る公知の装置によって、それぞれ９０°位相がずれた干
渉信号が発生させらの分割が行なわれる。二つの充電式
変換型ユニット１０ａ、１０ｂばそノ゛Ｌぞれ四つの信
号ケ受ける１、それらの信号の時間−・ｒ均値はつぎの
形金持っている。
ツク乙に達１−１そこで測定ビームと参照ビームへの分
割が行なわれる。参照ビームは固定の参照レフレクタ７
に到達１〜、そこで干渉ｈ１ブロックの方に反則し返さ
ｉｌ、る１、測定ビームは同様にして可動の測定レフレ
クタ８で反射を受ける。両方のビームは干渉ａ−１ブロ
ックの中で干渉させられ、その際四つの分割器層から成
る公知の装置によって、それぞれ９０°位相がずれた干
渉信号が発生させらの分割が行なわれる。二つの充電式
変換型ユニット１０ａ、１０ｂばそノ゛Ｌぞれ四つの信
号ケ受ける１、それらの信号の時間−・ｒ均値はつぎの
形金持っている。
】
Ｂ１＝ Ａ： （Ｈ（１，−１−ｍ２） −１−ｒｎ
Ｃ０８（ｌＪＩ ｒＪ２ ］ Ｂ２ ＝ Ａｏ Ｃ因（］ ＋ｍ２） ＋ｍ５ｉ
ｎ （ＩＪＩ ｒ Ｊ１ Ｂ３ ＝ Ａｏ （１）ｌ （１−１−ｍ”）
−ｍｃｏｓ ｔｉノ、 τ 〕こ〜で、Ａｇは放射され
るレーザ）“Ｃの強度、ｍは干渉ａ１区間を透過する際
の強度変調の程度で、その時間依存１テ１ミは大気の乱
流によって条件づけられる０ τは測定ビームと参照ビ
ームの間の走行時間の差である１、 両方の変換器ユニットの各々にはそれぞれｍ一つの差形
成器１１ａ、１１ｂおよび１１ｃ、１１ｄが接続されて
おり、その、結果それぞれの分校の出力にＧ」、つぎΔ
Ｂ＋３ ＝ Ｂ＋ −Ｂ３ ＝ ２Ａ： ｍ ｃｏｓ
Ｃ１ｒΔＢ２４ ＝ １３２− Ｂ４ ＝ ２
Ａ、； ｍ ｓｉｎ （１７１Ｔそれぞれ二つの走
査停止手段１２ａ 、 １２ｂおよび１２ｃ。
Ｃ０８（ｌＪＩ ｒＪ２ ］ Ｂ２ ＝ Ａｏ Ｃ因（］ ＋ｍ２） ＋ｍ５ｉ
ｎ （ＩＪＩ ｒ Ｊ１ Ｂ３ ＝ Ａｏ （１）ｌ （１−１−ｍ”）
−ｍｃｏｓ ｔｉノ、 τ 〕こ〜で、Ａｇは放射され
るレーザ）“Ｃの強度、ｍは干渉ａ１区間を透過する際
の強度変調の程度で、その時間依存１テ１ミは大気の乱
流によって条件づけられる０ τは測定ビームと参照ビ
ームの間の走行時間の差である１、 両方の変換器ユニットの各々にはそれぞれｍ一つの差形
成器１１ａ、１１ｂおよび１１ｃ、１１ｄが接続されて
おり、その、結果それぞれの分校の出力にＧ」、つぎΔ
Ｂ＋３ ＝ Ｂ＋ −Ｂ３ ＝ ２Ａ： ｍ ｃｏｓ
Ｃ１ｒΔＢ２４ ＝ １３２− Ｂ４ ＝ ２
Ａ、； ｍ ｓｉｎ （１７１Ｔそれぞれ二つの走
査停止手段１２ａ 、 １２ｂおよび１２ｃ。
１２ｄｔ便って四つの合成差信号の同時の記憶が行なわ
れる。記憶過程の後でマルチプレックス・スイッチ１３
がそれらのアナログ１３号金相ついでアナログ−ディジ
タル変換器１４に供給し、それにディジタル化された匝
の計算ユニット１５の中での記憶が続（。割算ユニット
の内部では適当なアルゴリズム全便・つてつぎの二つの
位相角の計算が行なわれる３、 Ｌ ψ１＝ω１τ＝２πｆ１− および Ｌ ψ２二ω２τ；２πｆ２− に 又で、２Ｌは測定レフレクタと干渉旧ブロックの間の往
復のバス、Ｃは光の伝播速度である。それに続（差り形
成 ψ１− ψ２−４πΔｆ− は得ようとする距離の測定値 Ｌ−圃（ψじψ２） を供給する３、その測定値は、個々のレーザ光源をスイ
ッチ・オンすることによって相・′〕いて実現される他
のすべての測定過程の結果と組み合わさノア、５大きな
距離測定範囲に亘る一義的な距離のｆ−タとなり、その
表示が出力媒体１６に４Ｕｉ・つて行なわれる。
れる。記憶過程の後でマルチプレックス・スイッチ１３
がそれらのアナログ１３号金相ついでアナログ−ディジ
タル変換器１４に供給し、それにディジタル化された匝
の計算ユニット１５の中での記憶が続（。割算ユニット
の内部では適当なアルゴリズム全便・つてつぎの二つの
位相角の計算が行なわれる３、 Ｌ ψ１＝ω１τ＝２πｆ１− および Ｌ ψ２二ω２τ；２πｆ２− に 又で、２Ｌは測定レフレクタと干渉旧ブロックの間の往
復のバス、Ｃは光の伝播速度である。それに続（差り形
成 ψ１− ψ２−４πΔｆ− は得ようとする距離の測定値 Ｌ−圃（ψじψ２） を供給する３、その測定値は、個々のレーザ光源をスイ
ッチ・オンすることによって相・′〕いて実現される他
のすべての測定過程の結果と組み合わさノア、５大きな
距離測定範囲に亘る一義的な距離のｆ−タとなり、その
表示が出力媒体１６に４Ｕｉ・つて行なわれる。
第１図は本発明による装置の図式的ブよ構成図である。
１ａ、１ｂ、１ｃ −レーザ元ｉ原
２ａ、２ｂ、２ｃ・・・光学シャッタ、 ６−鏡４ａ
・・・ ５０係ビ一ム分割器 ４ｂ・・・ ろろに係反射１１ヒ金有′ｊ−るビーム分
割器５ ・結ばプリーダｌ１、 ６・・・干渉泪ブロッ
ク７・・参照レフレクタ、 ８・・・測定レフレクタ
９・偏尤分割器、 １０ａ、１０ｂ ・変換器１ニ
ツｉ・１１ａ、 １ ｌｂ、 １１ｃ、 １１ｄ ＝差
形成器１２ａ、 １２ｂ、 １２ｃ 、 １２ｄ −・
・走査停止手段１ろ・・・マルチプレックス・スイッチ
１４・・・アナログ−ディジタル変換器１５・・・割算
ユニット、 １６・・・出力媒体特許出願人 ベブ・
カール・ノアイス・イエーナ代理人弁理士 松 １
） 省 躬−Ｖ’ ｒＰｉ’Ｙ ｒｌｌｌ ｊ、
ｌ−Ｆ”ｉ （白１’ｒ ＞１．１目′１の表示 昭和５０ｉ１ ｌ°＋ ｇ’ｌ 片ｒｌ 第１
！ｉ ９ ’Ｉ ’ｔ’ Ｃ３ｆ”Ｈ２、花明の名ｆ
ｒ ■渉測定駅買 ３、補正をする右 事１′１との間係 特ｙ’ｒ ｆｌｔ ！ｉ′１人名
称 ベア’ ／Ｊ ル ツー？（ス （１’
Ｊ４、代理人 １１ 所 中１；Ｉ都ン１１１３西斬悟２ ＋１
１１−．７白 ダＴ５ ６、補正の月や 図面＋１．： Ｈｐｅ ｌ （払（ｒＪ７ （？ ｆ、
ｌ ）７、補正の内容 別紙の通（） １７−
・・・ ５０係ビ一ム分割器 ４ｂ・・・ ろろに係反射１１ヒ金有′ｊ−るビーム分
割器５ ・結ばプリーダｌ１、 ６・・・干渉泪ブロッ
ク７・・参照レフレクタ、 ８・・・測定レフレクタ
９・偏尤分割器、 １０ａ、１０ｂ ・変換器１ニ
ツｉ・１１ａ、 １ ｌｂ、 １１ｃ、 １１ｄ ＝差
形成器１２ａ、 １２ｂ、 １２ｃ 、 １２ｄ −・
・走査停止手段１ろ・・・マルチプレックス・スイッチ
１４・・・アナログ−ディジタル変換器１５・・・割算
ユニット、 １６・・・出力媒体特許出願人 ベブ・
カール・ノアイス・イエーナ代理人弁理士 松 １
） 省 躬−Ｖ’ ｒＰｉ’Ｙ ｒｌｌｌ ｊ、
ｌ−Ｆ”ｉ （白１’ｒ ＞１．１目′１の表示 昭和５０ｉ１ ｌ°＋ ｇ’ｌ 片ｒｌ 第１
！ｉ ９ ’Ｉ ’ｔ’ Ｃ３ｆ”Ｈ２、花明の名ｆ
ｒ ■渉測定駅買 ３、補正をする右 事１′１との間係 特ｙ’ｒ ｆｌｔ ！ｉ′１人名
称 ベア’ ／Ｊ ル ツー？（ス （１’
Ｊ４、代理人 １１ 所 中１；Ｉ都ン１１１３西斬悟２ ＋１
１１−．７白 ダＴ５ ６、補正の月や 図面＋１．： Ｈｐｅ ｌ （払（ｒＪ７ （？ ｆ、
ｌ ）７、補正の内容 別紙の通（） １７−
Claims (6)
- （１）特に長さ測定に適ｒる。可干渉性の測定ビームお
よび参照ビームの重畳によって／−１−しる、四つのぞ
ノ１．ぞり、 ９ ［］０だけ位相がずれている干渉信
号を発生さぜるための光電変換ニジＪを含め、レーザ光
源忙よび１゛渉３１ケ有１−るレーザ干渉語ゾスデノ、
において、４個の受）“Ｃ器から成る変換器１ニツ］・
のｄかに５同り１？な第２の変換器ユニットおよび少く
とも一飼のＩＪ ）Ｙ、分割）（汁が干渉ｄ１区間を通
過した後に発生さぜらＪｌ、る直線偏光さり、たレーザ
・ビームの干渉信号が一方の変換器ユニットの上に落ち
るか９００のｆｆｆｉ ｊＹ；面の回転の後で他方の変
換器ユニットの上に落し）るように、適切に配置に、さ
ｉｌ−ていること全特徴とする装置１り。 - （２） レーザ光源がそれ自体または対応する装置全
便って、直交する偏光方向成ｆｉＩ＜二つのレーザ・モ
ードを有する異なった周波数の二つの直線偏ｊ−ホされ
た光波を故旧し、それらの光波が同じ）ｒ、路を共通し
て走り、その個々の干渉信号が干渉旧ブロックの中に設
けられた口吊元分割器によって分離して二つの変換器コ
、ニットに向げらｈることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の装置。 - （３）光電変換器ユニットの中で発生させられた電気信
号が目的に合致１〜たアナログ処理の後で、乱流の結果
透過される光学媒体の測定できる程の変化が起る時間よ
りも遥に短い記憶時間て゛同時に記憶されることを！１
テｒＮ、どする、特許請求の範囲第１項または第２項記
載の装置。 - （４）記１．醸された信号（直がアナログ−ディジタル
変換器を通じて泪多つユニットに力えもれ、そこで公：
／：ｆｌのアルゴリズムケ便って二つの互に直交する偏
光されたレーザ・ビーｊ、の各々の測定ビームと参照ビ
ームの間のｊ＼ｒ相角の語算およびそれらの差の形成が
行なわれ、それらが既知の常１ｙ、全掛り′て表示さり
、ること全特徴とする、％ Ａ’「Ｍ〆ｊ求の１・α間
第１ψかも第６項までのいずれか１項記載の装置。 - （５） ：’ｊだ一つのレーザの代りにいろいうのレ
ーザ鏡の距１ηＩｎ （７）結果互に僅かなモード間隔
の変化金有する複数のレーザー）’ｒＳ源の相・ついだ
使用が行なわれることを１１！ｆ敵とする、特許請求の
範囲；耶１項から第４項までのいずれか１項に記載の装
置。 - （６）・一義的な距離の決定が大きな取扱い範囲に亘っ
て１１Ｊ能なように、相ついで得１ろれる測定値が組み
合わされること全特徴とする、４１斤ｄ′ト請求の範囲
第１項から第５項までのいずれかＩ Ｘｉに記載の装置
６、。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD82242947A DD209263A1 (de) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | Interferometrische anordnung zur optoelektrischen distanzmessung |
| DD01C/24294 | 1982-09-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990003A true JPS5990003A (ja) | 1984-05-24 |
Family
ID=5540970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58159126A Pending JPS5990003A (ja) | 1982-09-01 | 1983-09-01 | 干渉測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990003A (ja) |
| DD (1) | DD209263A1 (ja) |
| DE (1) | DE3328773A1 (ja) |
| FR (1) | FR2532417A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62135703A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-18 | Yokogawa Electric Corp | 測長器 |
| JPS62204103A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-08 | Yokogawa Electric Corp | 測長器 |
| JPS62204106A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-08 | Yokogawa Electric Corp | ３次元形状測定装置 |
| JPH01128109U (ja) * | 1988-02-24 | 1989-09-01 | ||
| US5351663A (en) * | 1992-08-20 | 1994-10-04 | Mazda Motor Corporation | V-type engine |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7365858B2 (en) | 2001-12-18 | 2008-04-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for phase measurements |
| US7557929B2 (en) | 2001-12-18 | 2009-07-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for phase measurements |
| US6934035B2 (en) | 2001-12-18 | 2005-08-23 | Massachusetts Institute Of Technology | System and method for measuring optical distance |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1472894A (en) * | 1974-03-15 | 1977-05-11 | Nat Res Dev | Interferometric methods and apparatus for measuring distance to a surface |
| DD158187A3 (de) * | 1980-06-30 | 1983-01-05 | Karlheinz Bechstein | Zweistufeninterferometer |
-
1982
- 1982-09-01 DD DD82242947A patent/DD209263A1/de not_active IP Right Cessation
-
1983
- 1983-08-10 DE DE3328773A patent/DE3328773A1/de not_active Withdrawn
- 1983-08-25 FR FR8313708A patent/FR2532417A1/fr not_active Withdrawn
- 1983-09-01 JP JP58159126A patent/JPS5990003A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62135703A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-18 | Yokogawa Electric Corp | 測長器 |
| JPS62204103A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-08 | Yokogawa Electric Corp | 測長器 |
| JPS62204106A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-08 | Yokogawa Electric Corp | ３次元形状測定装置 |
| JPH01128109U (ja) * | 1988-02-24 | 1989-09-01 | ||
| US5351663A (en) * | 1992-08-20 | 1994-10-04 | Mazda Motor Corporation | V-type engine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DD209263A1 (de) | 1984-04-25 |
| FR2532417A1 (fr) | 1984-03-02 |
| DE3328773A1 (de) | 1984-03-01 |
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