JPS5989882A - 流体装置用の弁組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は流体装置用の弁ｍ文体に関する。

特に、石油化学薬品および炭化水素を処理する化学処理
産業においては、揮発性有機炭化水素と揮発性有機炭化
ガスとが大気中に放出することが１つの問題であった。

揮発性有機化合物放出規制が現在環境保護機関により立
案されている。

大気中への揮発性有機流体の１つの漏洩源は処理装置に
使用した弁のあるものかすべてからである。当業界に良
く知られているように多くの弁はステムバッキングを設
けて作る。弁を作用させるには、ステム全回わす必要が
ありステムを回ゎすとパ″ツキングとステムとの間に高
度の摩擦接触を生じ、弁の作用を困難にする。

原子蒸気発電所に使用する弁のステムに沿い放射性蒸気
が漏洩することもまた１つの環境問題であった。原子蒸
気発電所におけるそのような漏洩を抑制するため、米国
特許第８，９７９，１０４では蝶番を使用することを提
案している。この特許に記載した構造では、汚染された
蒸気の圧力よυ高い圧力を有する未汚染蒸気のバッファ
層をシール面とベローとの外方のシール室に導入してソ
ールを通り汚染蒸気が漏洩しないようにする。

本発明は好葦しくないが汚染した流体がもしくはその両
方の流体が大気に放出する問題をががえた産業に使用す
る改良された弁組１体（Ｃ係るものである。弁ステムに
沿い大気に放出するのを実質的に排除するため、弁には
弁ステムを取り巻Ｇ）てベロー型のメカニカルシール装
置を設ける。通常の弁バッキングは使用しない。

本発明の１つの好ましい具体例では、低放出量弁は非上
昇回転弁ステムを設けたゲート弁から成る。弁ステムの
一端はゲートに接続され他端がロータの一端に接続され
、このロータは弁ノ・ウジングに接続された＃２Ｃ＞７
一ル部に設けたシール空所に位置決めされている。ロー
タの他端は操作把手が接続されているステムの上部に接
続されてＧ）る。従つ−Ｃ１弁ステムは操作把手にそれ
と共に回転するよう接続されている。ロータは円形の金
属製ベローが錬金術で溶接されている１対の反対方向に
向いた半径面を有している。各ベローはまたシールリン
グにも錬金術で射接されている。シールリングに接続さ
れた向かい合ったシールリングのラップ仕上げしたシー
ル面に接触するラップ仕上げしたシール面を有している
。従って、２つの間隔をあけた金属製ベローのメカニカ
ルシール装置かある。本発明によれば、各シール装置は
他方のものと独豆して機能を果すことができる。

一般に製品流体と融和するが非反応性で非腐蝕性のバッ
ファ流体の自足供給源がシール装置の外部に設けである
。端部が閉じている金属製ベローがバッファ流体供給源
に位置決めされ流体の熱膨張を補償しまた弁ゲートから
最も遠くに位置したシール装置に弁ハウジング内の圧力
を伝達する。

シール空所内のニードル軸受が７−ルロータを弁を閉じ
ることによる力に抵抗とまだ液圧の負荷とにさからい支
持し、シール空所内のブッシングがロータを案内しＲｆ
定位置に保持する。

本発明の別の具体例では、第３の金属製ベローの代りに
可撓の金属製ベローを使用しこの可撓のベローは第３の
ベローと同様に機能する。

本発明を実施する１つの方法が唯一の特定の具体例を示
す添付図面を参照して以下に詳細に説明する。

第１図と第２図とには本発明による低放出量弁１０の一
般的構造が示しである。弁１０は総体的に適当な配管（
図示せず）に凄続する入口および１」月コノランジ１４
．１６−と有する本体１２で構成された弁ノ・ウジング
１１とボルト２０により本体１１イに接ｉ読したボンネ
ット１８と？備えている。

メカニカルシール部ノ・ウジング２２がボンネット１８
とヨーク２４とにボルト２６で接続されている。弁用の
操作把手２８がナラ）３１てより弁ステム３０に接続さ
れている。適当なガスケットを必要に応じて継手に設け
る。入口および出口フランジはそれぞれ入口および出口
通路３４．３６を包囲し２ている。

第３図に示した如く本体１２とボンネット１８とは内部
（Ｃゲート４０が配置されている弁室３８を形成してい
る。弁４０を閉じるにはゲー　ト４０を下方に動かし入
口および出口通路３４．８６に設けた弁座４２．４２（
第１図）に着座させる。

ゲート４０は垂直に可動で内面にねじ山４４が設けてあ
ゃ、このねじ山はステム組合わせ体８０のねし山利きの
回転可能な下方のステム部品４６に係合している。本体
１２に形成されたスプラインすなわちキイ４８にはゲー
ト４０６で設けたスロツ　　　　　゛ト５０が係合して
ゲートの垂直運動を案内しゲートが回転するのを防止し
従って弁が閉じている時ゲート４ｏ全弁座４２に適当（
で着座させる。空所３８の上部はボンネット４０内にヤ
ンυ後方弁座５２が設けてあり、弁が広く開いている時
、すなわち、ゲート４０がその最上位置にあるさゲート
４０の上端５４がこの弁座５２に着座できる。この後方
ブ〔座５２は弁室を密封する手段を形成］〜、従って、
メカニカルシール部ハウジング２２吉その内部との部品
は修理または取替えもしくはその両方の目的に取り外せ
る。ボンネット１８は下方のステム部品４６が通る中心
開口６６＊＊し、この開口５６には環状のスラスト軸受
６０’に収容する空所５８が設けである。スラスト＋１
ｉｌｌ受６ｏは下方のステム部品４６の拡大部分６２ｆ
ｆ：支持している。

メカニカルシール部ハウジング２２は第４図に詳細に示
しである。メカニカルシール部ハウジング２２はビール
部組合わせ体すなわちシール組立体６４を含み、このシ
ール部組合わせ体はキイ６８により下方のステム部品４
６に接続されキイ７０により上方のステム部品７２に接
視された円形のロータ６６　’ｔ１ｉ＃えている。キイ
６８はロータさ下方のステム部品さに設けたキイ溝７４
．７６に収容され、キイ７０はロータき上方のステム部
品とに設けたキイ溝７８．８０＆で収容されている。

スリーブ８２．８４がそれぞれロータの円筒形下部８６
および下方のステム部品と、ロータの円筒形上方部品８
８および上方のステム部品とを包囲している。スリーブ
８２．８４は上方および下方のステム部品７２．４６全
並べ駆動キイ６８．７０を封じ込める。

ロータ６６は下面９０に位置決めされ環状ブッシング９
２により支持され、このブッシングはハウジング２２に
設けたシール空所９３に収容されている。ロータはニー
ドル軸受９４にまり液圧負荷に抗して支持されている。

ニードル軸受９４は間に痕数の二−ヒ゛ル１００が位置
している１対の向かい合ったレース９６．９８から成る
。レース９６はロータの上面］０２＆て位置決めされレ
ース９８はロータ支持ブッシング９２用の閉鎖部材を形
成する環状部材１０４に接続されている。

ブッシング９２の内方でロータ６６の下面１０６には第
１の金属製ベロー１０８　；％接続され、このベローに
はまた下方の７−ルリング１０９が接続すしている。ベ
ロー１０８とシールリング１０９とはステムスリーブ８
２さ共働して下方の内部帯域すなＡ′：）、ち室１１０
’ｉ形成している。室１１０はハウジング２２の孔１１
１に開放しこの孔１１１には弁空所３８からステム部品
４４（で沿い流体が流入する。従って、空ｊ！ｌ’　１
１１　Ｋは製品の圧力が存在する。シールリング１０９
はシール部）・ウジフグ２２内に支持されたシールリン
グ１１６のラップ仕上げしたシール面１１４（て係合す
るラップ仕上げしたシール面１１２’ａ＝ＮＬ−ている
。ロータ６６、ベロー１０８およびシールリング１０９
．１１６は従って内方すなわち下方のメカニカルシール
１１７を形成する。第２の金属製ベロー１１８がロータ
６６の上面１２０と上方のシールリング１２２とに接続
されている。ベロー１１８とシールリング１２２ともま
たステムスリーブ８４と共働して上方の内方帯域すなわ
ち室１２３を形成している。室１２３は必須的（（大気
に開放した大気圧にある。シールリング１２２はシール
リング１２８のラップ仕上げしたシール面１２６に係合
するラップ仕上げしたシール面１２４　：を有し、シー
ルリング１２８は閉鎖部材１（１４と上方のステム部品
７２を包囲し７ているシールリング２２用の頂部閉鎖部
材１３０とにより支持されている。ロータ６６、ベロー
１１８訃よびシールリング１２２．１２８は従って外方
すなわち上方のメカニカルノール１３１を形成する。メ
カニカルシ・−ル１１７．１３１は大体は静止シールで
あり、シールリングは弁ステムを回わす時にのみ相対的
に回転する。

金属性ベロー１０８．１１８はステンレス鋼、真もうま
たはその他の金属で作られ当業界知知られているように
内周と外周とをそれに一体にか複数の環状板を交互にろ
う伺けすることにより波形にできる。いづれの場合にも
ベローは向かい合つたシールリングとそのシール面と全
互いに接近するよう弾性的に押すような長さと硬さとに
しである。

ロータ６６とその支持ブッシングとの形状により、下方
のシール１１３は上方のシール１３１とは独立している
。

メカニカルシールハウジング２２はまだ閉鎖部材すなわ
ちプラグ１３４によジ閉じられ第３の金属製ベロ、−１
８６が内部に配置されている空所１３２も有している。

ベロー１３６は上・瑞が閉じ下端が空所１３２の肩部１
４０に衝合１−でいるリング１３８に接続されている。

空７３１Ｔ１８６は下方のメカニカルシール１１７のま
わりに位置し７た環状空所１４２に通路１４４により連
通しまた上方のメカニカルシール１３１のまわりに１ｘ
Ｔ置した環状空所１４６に通路１４８により連通してい
る。

ベロー１３６と空所１３２．１４２．１４６の壁との間
のスペースにはバッファ流体が完全に満たされている。

ベロー１３６の内部はシールハウジング２２の孔、従っ
て弁室３８に通路１５０により連通している。ベロー１
３６はシール間の流体の熱膨張全補償しまた弁内の製品
流体の圧力を上下のシール１１７．１３１に関係した空
所１４２．１４６に伝達する。下方すなわち内方のシー
ル１１７がその両側で、すなわち、シール空所１１０．
１４２でほぼ同じ圧力（Ｃさらされるので、シールは両
・側がほぼゼロの圧力で浮動する。しかしながら、内方
空ｉｙ［１２８内の圧力がほぼ大気圧であるのに空所１
４６内のバッファ流体が大気圧以上の圧力であるので−
ヒカすなわち外方のシール１３１の両面間に微小な差圧
がある。

ヨーク２４ばごみの侵入しない水蜜のシール１５２用の
カバーに形成してメカニカルシールに異物が侵入するの
を防止する１、シール１５２は上方のステム部品７２の
溝１５６内にはまり頂部閉鎖部材１３０の円筒形延長部
１５８に衝合しているＯ−リングシール１５４を備えて
いる。このシールは空気が内方のシール空所１２３に多
少漏入できるよ−）にする。

ドレンスロット１６６がヨーク２４に設けてあジョーク
２４とステム部分７２との間のスペースから流体を排出
する。ヨーク２４（第３図）には垂直のスロット１６８
が設けてあり、このスロットを通り上方のステム部品７
２にねし受けされた位置表示器１７２の一部品１７．０
が延ひている。

リング１７’４が部品１７０に接続されヨーク２４−と
取り巻いている。位置表示器１７２は部品１７０がスロ
ツＪ　１６８の側部に係合しているので回転を防止され
る。スロット１６８の上下端はゲート４０の開閉位置を
示し適当な表示を付すことができる。上方のステム部品
７２が回転すると、位置表示器はこの部品に沿い運動し
てリング１７４の位置が弁室３８内のゲート４０の位置
を示す。

両面における差圧により上方のシール１８１が破損して
も下方のシール１１７はその両面が差圧がほぼゼロであ
るので残る。ハウジング２２をチーむメカニカルシール
、組合わせ体は弁が作用していても修理吐たは取替えの
ため弁から取り出せる。

このことはゲート４０をその最上位ｆｔＫ′！２で動か
してその端部５４を弁座５２に着座させ次いでヨークと
上方のステム部品次にノ・ウジング２２を動かすことに
よりできる。

第５図には本発明の変形例の第３図に示した下部に似た
部分が示しである。この変形例の・構造は一般に大型弁
に使用し弁体１２Ａに平たいボンネット１８Ａがボルト
留めされ従って弁空所８８Ａの全体が弁体１２Ａ内に位
置決めされている点が第３Ａ図の具体例と相違している
。この具体例の弁の残部の構造は第３図に示しだ対応す
る部分とほとんど同じである。

第６図には弁を上昇型に似たものにする変形例のヨーク
と上方ステム部品とが示しである。ヨーク２４Ａは符号
１８０で示した如く内面にねし山が設けてあシ内部孔１
８４および細長い垂直のスロツ）１８６ｅ’ｌＶする上
方のステム部品１８２を含み、ステム部品１８６は把手
８２Ａに接続されている。゛ねじ状従動子１９０が取り
付けである桿１８８が孔１８４Ｖｃ収容されている。従
動子１９０はヨーク２４Ａの内面ねじ山１８０に係合す
るねじ状部分１９２をＭしている。把手２８Ａとステム
部品１８２とを回わすと、桿１８８は上下動して弁内の
ゲートの位置を示す。この具体例の組合わせ体すなわち
メカニカルシール組合わせ体と弁との残部は第３図まだ
は第５図の具体例の対応する部品とほぼ同じである。

第７図に示した変形例のメカニカルシール組合わせ体は
ベロー１３６の代り（テ金属のダイヤフラム２００．を
使用し従って一層こぢんまりした組合わせ体となる点が
第３図と第４図（！：に示しまたものと相違するがしか
も前記した組合わせ体と同じ機能を果す。第７図の対応
する部品は第４図に使用したと同じ符号が付しであるが
説明は前記２つの具体例と相違するものにのみ限定する
。第７図に示したシール組合わせ体６４は第３図と第４
図とに示しこれらの図に関連してｍｌ記に説明した如く
接続されているロータ６６を収容（−だシール部］・ウ
ジング２２を備えている。

ハウジング２２の下方部品は空ｒ’ｉ　２０４を有し、
この空所内にはベローｌθ８．１１８の一方か両方に使
用したと同じ材料で作ったダイヤフラム２００が泣１６
−決めされている。ボンネットの上端もまたダイヤフラ
ム、２００の向ＺＩｓい合い側に開放（−でいる空ｊ９
ｒ２０６’ｃ有している。空θｒ２０６は油路１５０に
より弁空所８８に連通している。空ノツ１２（１４１１
こはバッファ流体力扁１４たさ九、この０１ｖ体は一般
に製品流体に融和するが非反応性で非腐蝕性で、このバ
ラノア流体は〕・ウジング部品２０２に設けた入口２０
８と、部材１０４に設けた通路２１０と、ロータ６１：
設けた通路２１２と、ブッシング９２に設けた通路２１
４とハウジング２２に設けた通路２１６とを経て空所２
０６に満たされる。バッファ流体はニードル軸受１００
間の空所１４６とブッシング９２０通路２２０とを通り
空Ｐａｆ１４２とに流入する。第４図の具体例のベロー
１３６と同様にダイヤフラム２００はシール間の熱膨張
を補償しまだ弁内の製品流体の圧力を下方と」三方のシ
ール１１７．１３１に関係しまた空ｒ５ｆＴ１４２．１
４６に伝達する。従って、下方すなわち内方のシール１
１７はその両面のほぼゼロの差圧で浮動し、他方上方す
なわち外方のシール１３１０両面に僅か々差圧がイＴ在
する。

各シール組合わせ体のシールリングの１つはセラミック
、炭化タングステン等で作れ他方のリングはステンレス
鋼まだは表面を硬化した合金で作るこさができる。ロー
タは一般に＃接ＷＪ能な鋼すなわちステンレス鋼である
。もちろん、材料は製品流体と反応しないものを選択す
る。

【図面の簡単な説明】

・第１図はある部分を詳細に示すため本発明の低放出量
弁の１つの好ましい具体例の（ｆｉｌ１面図、第２図は
第１図の弁の上面図、第８図は第２図の３−３線に沿い
切断して示した断面図、第４図は第３図に示したメカニ
カル・シール組立体の拡大断面図、第５図は第３図に似
ているが変形例の低放出量弁を示す断面部分図、第６図
は本発明の低放出量弁の変形したステムとヨークとの配
置を示す断面部分図、第７図は第４図に似ているが本発
明の変形したメカニカルシール組豆体の拡大断面図であ
る。 １１；弁ハウジング　　１２：本体 ２２　メカニカルシール組立体　４０：可動部／オ６６
；ローク　　　　１２２．１２８．シールリング１２４
．１２６．シール面　　１１８−接続手段１２３．１４
６：帯域　　　　１３２：空所１３６：ベロー　　　　
　　１５０９通路時許出願人　　ボーク・ワーナー・コ
ーポレーション（外４名） −二■ζ〃 −，４−Ｊ ェヨニ易モ）

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）弁ハウジング（１２）内に位置決めされ該ハウジ
   ングを通る夷品流体の流れを制御するよう可動の部材（
   ４０）に接続された回転可能なステム手段と、接触する
   シール面を有し製品流体がステム手段に沿い接触シール
   面を横切シ弁組立体の外部に逸出するのを減少しまたほ
   ぼ防止するメカニカルシール組π体（２２）とを有する
   流体装置用の弁組π体ににおいて、該メカニカルシール
   組文体が、ステム手段にそれと共に回転するよう接続さ
   れたロータ（６６）と、 ステム手段を取り巻く１対のシールリング（１２２，１
   ２８）であり、それぞれのシールリングが他方の７一ル
   面に接触するシール面（１２４，１２６）を有し一方の
   シールリング（１２８）がロータとステム手段とに関し
   て固定で他方のリング（１２２）がロータに接続されて
   いる１対のシールリング（１２２，１２８）と、 他方のシールリングをロータに接続し該シールリングを
   固定のシールリングに向は弾性的に押圧する手段（１１
   ，８）であり、該接続手段が一端がロータに接続され他
   端が他方のリングに接続されたほぼ円筒形のベローから
   成シ、該ベローがステム手段を取り巻き１対の帯域を形
   成し、一方の帯域が（１２８）ベローの内方に位置決め
   され他方の帯域（１４６，）がベローの外方に位置決め
   されロータの一部分によジ形成されている接続手段（１
   １８）と、 他方の帯域にバッファ流体を供給する手段（１８２）と
   、 前記他方の帯域内のバッファ流体を前記一方の帯域内の
   圧力以上の圧力に加圧し弁ノ・ウジング内の製品流体に
   より制御される手段（１３６，１５０）と、を備えて成
   ることを特徴とする流体系統用の弁組π体。
2. （２）弁ハウジング内に位置決めされノ・ウジングを遡
   る製品流体の流れを制御する可動な部材に接続されだ回
   転可能なステ人手段と、接触するシール面をＭし製品流
   体がステム手段に沿い接触するシール面を横切シ弁組立
   体の外部に逸出するのを減少しまたほぼ防止するメカニ
   カルシール組Ｖ体とを有する流体装置用の弁組立体にお
   いて、該メカニカルノール組立体が、 ステ人手段にそれと共に回転するよう接続されたロー　
   タ（６６）と、 ステム手段を取シ巻いている１対のシールリング（１１
   ０，１１６）であり、それぞれ他方のシール面に接触す
   るシール面（１１２，１１４）ｅ有し一方のシールリン
   グ（１１６）がロータとステム手段とングテ＝弄を固定
   のシールリングに向は弾性的に押圧する手段（１０８）
   であシ、一端がロータに接続され他端が他方のシールリ
   ングに接続されたほぼ円筒形のベローから成り、ベロヘ
   ーがステム手段を取９巻き１対の帯域を形成し、一方の
   帯域（１１１）がベローの内方に位置決めされ他方の帯
   域（１４２）がベローの外方にｆ位置決めされロータの
   一部分Ｇてより形成されている接続手段（１０８）と、 バッファ流体を他方の帯域に供給する手段（１８２）と
   、 他方の帯域内のバッファ流体金一方の・暦域内の圧力に
   は、ぼ等しい圧力に加圧し且弁ハウジング内の製品流体
   により制御される手段（１８６，１５０）と、を備えて
   成ることを特徴とする流体装置用の弁ｍＴ１．体。
3. （３）弁ハウジング内に位置決めされハウジングに流入
   する製品流体の流れを制御するよう可動な部材に接続さ
   れた回転可能なステム手段と、接触するシール面を有し
   製品流体がステム手段に沿い」Ｙ触するシール面を横切
   シ弁組立体の外部に逸出するのを減少しまたほぼ防止す
   るメカニカルシール組立体とを有する流体装置用の弁組
   ″１１４ｉ：において、該メカニカルシール組旦体が、 ステム手段にそれと共に回転するよう接続された上下面
   を有するロータと、 ステム手段を取９巻く１対の上方ゾールリング（１２２
   ，１２８）であり、それぞれが他方のシールリングの７
   一ル面に接触するシール面を有し、一方の上方シールリ
   ングがロータと他方のシールリングとに関して固定で他
   方のシールリングがロータの上方に接続されている１対
   の上方シールリング（１２２，１２８）と、 ステム手段を取り巻く１対の下方シールリング（１１０
   ，１１６）であり、それぞれが他方のシール面に接触す
   るシール面孕石し、一方の下方シールリングがロータと
   他方のシールリングとに関して固定で他方のシールリン
   グがロータの下面に接続されている１対の下方シールリ
   ング（１１０，１１６）と、 ロータの上下面にシールリングの他方のものを接続し該
   他方のリングシールを対応する固定のシールリングに向
   は弾性的へ抑圧する接続手段であり、該接続手段がほぼ
   円筒形のベローから成９、各ベローが一端でロータに接
   続され他端でシールリングの他方のものに接続され、ベ
   ローがステム手段を取り巻きそれぞれ１対の帯域を形成
   し、一方の帯域がベローの内方に位置決、Ｙ）され他方
   のイ１；１域がベローの外方に位置決めされまたロータ
   の一部分により形成されている接続手段と、？、ミツフ
   ァ流体源と・ 他方の帯域のそれぞれにバッファ流体を供給する手段と
   、 他方の帯域におけるバッファ流体を一方の帯域内の圧力
   より高い圧力および他方の帯域における圧力にほぼ等し
   い圧力に加圧しかつ弁ハウジング、内の製品流体の圧力
   により制御される手段とを備えて成ることを特徴とする
   流体装置用の弁組立体。
4. （４）更にまたロータを支持するブッシング（９２）を
   備え、該ブッシングが外方に位置決めした帯域を分離し
   該帯域をバッファ流体源に連通ずる通路（１４６，１４
   ８）が設けである特許請求の範囲第３項に記載の弁組立
   体。
5. （５）内方に位置決めした帯域を大気に連ｊ＋２１する
   手段が設けである特許請求の範用第３項に記載の弁ｔｔ
   ｉ立体。
6. （６）更にまだロータを支持するプツシフグ（９２）ｔ
   ＝み、該グツンングが他方の帯域のそれぞれにバッファ
   流体を供給する前記手段を備えている通路（１６８，１
   ４８）を有しているｒｆＵ、、許請求の範囲第３頃Ｇで
   記載の弁組文体。
7. （７）弁ハウジング内に位置決めされブッシング全通る
   製品流体の流れを制御するよう可動な部材に接続された
   回転可能なステ人手段と製品流体がステ人手段に沿い接
   触するシール面を横切り弁組立体の外部に逸出するのを
   減少しまたほぼ防止するメカニカルシール組立体とを有
   する流体装置用の弁組文体（において、該メカニカルシ
   ール組立体が、上下面に’Ｆｑ−しステム手段にそれと
   共に回転するよう接続され／辷ロータと、 ステム手段を取り巻く第１の対のシールリングであり、
   それぞれが他方のシール面に接触するシール面を有し、
   第１の一方のシールリングがロータとステム手段とに関
   して固定で第１の他方のシールリングがロータの上面に
   接続されている第１の対のシールリングと、 ステム手段を取り巻いている第２の対のシールリングで
   あり、それぞれが他方のシール面に接触するシール面を
   有し、第２の一方のシールリングがロータとステム手段
   とに関し固定で他方の第２のシールリングがロータの下
   面に接続されている第２の対のシールリングと、 第１おでよび第２の対のシールリングのうちのそれぞれ
   他方のシールリング全ロータの上面と下面とにそれぞれ
   接続しこれら他方の７−ルリングを対応する固定のシー
   ルリングに向は弾性的に押圧する手段であり、該手段が
   ほぼ円筒形のベローから成り、各ベローが一端でロータ
   に接続され他端でシールリングの他方のものに接続され
   でいる接続手段と、 第２の対のシールリングのシール面をほぼゼロの差圧に
   保持する手段と、全備えて成り、該手段が弁ハウジング
   内の製品流体の圧力により制御されることを特徴とする
   流体装置用の弁組ユ体。
8. （８）第２の対のソールリングのシール面間をほぼゼロ
   の差圧に保持する手段が製品流体とは異なるバッファ流
   体Ｃで浸漬した感圧ベロ一手段（１３６−）から成り、
   該バッファ流体が接触するシール面の片側にあり製品流
   体が接触するシール面の他方の側にある特許請求の範囲
   第７項に記載の弁組立体。
9. （９）第１の対のシールリングの接触するシール面間の
   差圧が内向き方向ではほぼゼロである特許請求の範囲第
   ７項に記載の弁組立体。
10. （１０）第２の対のシールリングの接触するシール面間
    にほぼゼロの差圧を保持する手段が片側でバッファ流体
    にさらされ他方の側で製品流体にさらされる感圧ダイヤ
    フラム（２００）から成る特許請求の範囲第７項に記載
    の弁組文体。