JPS5988801A - 軟磁性材料 - Google Patents
軟磁性材料Info
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- JPS5988801A JPS5988801A JP57198328A JP19832882A JPS5988801A JP S5988801 A JPS5988801 A JP S5988801A JP 57198328 A JP57198328 A JP 57198328A JP 19832882 A JP19832882 A JP 19832882A JP S5988801 A JPS5988801 A JP S5988801A
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- Japan
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- soft magnetic
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- magnetic material
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/147—Alloys characterised by their composition
- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15316—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals based on Co
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- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高透磁率の軟磁性材料に係り、特にアモルフ
ァス合金からなる軟磁性拐料に関する。
ァス合金からなる軟磁性拐料に関する。
従来エリ軟磁性材料として諸種の材質のものか研究、提
案嘔れ、各種の特性を有する軟磁性材料か得られている
。例えば鉄−ニッケル合金からなル二元系ハーマロイや
この二元糸バーマロイニ例えばクロム、モリブデン、銅
などの第３元素を添加した多元系パーマロイなどがある
が、パーマロイでは一般に占磁率ならびに飽和磁束密度
を十分に高くすることが難しかった。
案嘔れ、各種の特性を有する軟磁性材料か得られている
。例えば鉄−ニッケル合金からなル二元系ハーマロイや
この二元糸バーマロイニ例えばクロム、モリブデン、銅
などの第３元素を添加した多元系パーマロイなどがある
が、パーマロイでは一般に占磁率ならびに飽和磁束密度
を十分に高くすることが難しかった。
本発明者らは、スパッタリングなどによって得られるア
モルファス合金薄膜について種々研究した結果、コバル
）（Ｃｏ）を主成分とし、少量のジルコニウム（Ｚｒ
）とニオブ（Ｎｂ）を添加したＣｏ−Ｚｒ −Ｎｂの５
成分系のアモルファス合金のうちで、特にジルコニウム
とニオブのトータル含有率が約５〜２０に廿％の範囲に
規制され、さらに好ましくはそのうちのニオブの含有率
が約２．５３１ｊＪｄ％以上に規制されているものか、
軟磁性材料として優れた特性を有していることを見出し
た。
モルファス合金薄膜について種々研究した結果、コバル
）（Ｃｏ）を主成分とし、少量のジルコニウム（Ｚｒ
）とニオブ（Ｎｂ）を添加したＣｏ−Ｚｒ −Ｎｂの５
成分系のアモルファス合金のうちで、特にジルコニウム
とニオブのトータル含有率が約５〜２０に廿％の範囲に
規制され、さらに好ましくはそのうちのニオブの含有率
が約２．５３１ｊＪｄ％以上に規制されているものか、
軟磁性材料として優れた特性を有していることを見出し
た。
基板に結晶化ガラスを用い、コバルトティスフ（ｒＭ径
４インチ、厚さ５龍）上にジルコニウムのペレットとニ
オブのペレット（いずれのペレットも縦、横１０ｍｍ＋
厚さ１龍）を中心エリ放射状に交互に配置し、ターゲッ
ト上のペレットの数をｉ！７４ ’１にすることにより
合金組成が変えられるようにする。
４インチ、厚さ５龍）上にジルコニウムのペレットとニ
オブのペレット（いずれのペレットも縦、横１０ｍｍ＋
厚さ１龍）を中心エリ放射状に交互に配置し、ターゲッ
ト上のペレットの数をｉ！７４ ’１にすることにより
合金組成が変えられるようにする。
そして真空度か１ ｘ １０−’ Ｔｏｒｒ以下の高真
空にし、アルゴンの雰囲気中で、高周波電力２．ＤＷ／
ｃ１＋１”でスパッタリングを行ない、基板上にコノく
ルトを主成分とするＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂの３成分系のアモ
ルファス合金薄膜を作成する。このようにして作成芒れ
た各種組成の合金材料か後述の各特性試験に使用１れる
。
空にし、アルゴンの雰囲気中で、高周波電力２．ＤＷ／
ｃ１＋１”でスパッタリングを行ない、基板上にコノく
ルトを主成分とするＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂの３成分系のアモ
ルファス合金薄膜を作成する。このようにして作成芒れ
た各種組成の合金材料か後述の各特性試験に使用１れる
。
第１図は、合金中のＺｒ含有率が常に６．ｍｆｍ：％に
なるようにして、Ｎｂの含有率を和（々変え′ｆＣ，場
合の保磁力（Ｊ−１ｃ）の変化を測定した結果を示す特
性図である。従ってこの図においてＮｂの含有率が０重
−１％の場合は、Ｃ０９４重匍％−２ｒ６重量％の２成
分系合金となる。この合金も前述とほば同様の条件で作
成烙れる。
なるようにして、Ｎｂの含有率を和（々変え′ｆＣ，場
合の保磁力（Ｊ−１ｃ）の変化を測定した結果を示す特
性図である。従ってこの図においてＮｂの含有率が０重
−１％の場合は、Ｃ０９４重匍％−２ｒ６重量％の２成
分系合金となる。この合金も前述とほば同様の条件で作
成烙れる。
この図から明らかなように、ＣＯにＺｒを添加した２成
分糸合金ではまだＨｅが高いが、これに嘔らにＮｂを少
量添加することにより、すなわちＣｏ −Ｚｒ−Ｎｂの
３成分系合金になるとＨｃは急に低下する。符（こＮｂ
ｉ有率が約２１量％以上、好ましくは約５重量％以上に
なるとＨｅを０．１（Ｏｅ）付近まで下げることができ
る。Ｎｂの含有率が５重量％以上になるとＨＣＯ値はほ
とんど一定であり、含有率か１７血量％を越えると３成
分糸合金の飽和磁束密度ＢＳか低（なるため好１しくな
い。従って合金中におけるＮｂの含有率を約２〜１７軍
量％、好ましくけ約５〜１５重Ｖ％の範囲に規制する方
が良い。この、［５な傾向は、Ｚｒの含有率が多少変化
しても同様であることが実験で確認されている。このよ
うにＣｊＯ−Ｚｒ −Ｎｂの６成分系合金にすることに
よりｌ（＋単独あるいはＣｏ−Ｚｒの２成分系合金エリ
もＨｃを伶端に低（抑えることかでき、またＺｒとＮｂ
の添加は透磁率μにも太き（影響する。
分糸合金ではまだＨｅが高いが、これに嘔らにＮｂを少
量添加することにより、すなわちＣｏ −Ｚｒ−Ｎｂの
３成分系合金になるとＨｃは急に低下する。符（こＮｂ
ｉ有率が約２１量％以上、好ましくは約５重量％以上に
なるとＨｅを０．１（Ｏｅ）付近まで下げることができ
る。Ｎｂの含有率が５重量％以上になるとＨＣＯ値はほ
とんど一定であり、含有率か１７血量％を越えると３成
分糸合金の飽和磁束密度ＢＳか低（なるため好１しくな
い。従って合金中におけるＮｂの含有率を約２〜１７軍
量％、好ましくけ約５〜１５重Ｖ％の範囲に規制する方
が良い。この、［５な傾向は、Ｚｒの含有率が多少変化
しても同様であることが実験で確認されている。このよ
うにＣｊＯ−Ｚｒ −Ｎｂの６成分系合金にすることに
よりｌ（＋単独あるいはＣｏ−Ｚｒの２成分系合金エリ
もＨｃを伶端に低（抑えることかでき、またＺｒとＮｂ
の添加は透磁率μにも太き（影響する。
第２図はＺｒとＮｂのトータル含有率とμとの関係を測
定した結果を示す特性図で、ＺｒとＮｂとのｉｔ比か常
をこＺｒ：Ｎｂ−６，５：１０．Ｉ Ｇこなるよう調整
されている。この図から明らかなように、Ｃｏ中にＺｒ
とＮｂを添加することによりμが急激に高（なり、特に
ＺｒとＮｂのトータル含有率か約５〜２０１ｉｆｔ％の
範囲ではμを４０００以上にすることができ、その中で
も特に２ｒとＮｂのトータル含有率が約８〜１７亜量％
の範囲のものはμか一定しており、品質の安定した島透
磁率のアモルファス合金が得られる。第２図Ｇこ示すよ
うな特性は゛、ＺｒとＮｂの１量比を多少変化しても同
様の傾向を示す。
定した結果を示す特性図で、ＺｒとＮｂとのｉｔ比か常
をこＺｒ：Ｎｂ−６，５：１０．Ｉ Ｇこなるよう調整
されている。この図から明らかなように、Ｃｏ中にＺｒ
とＮｂを添加することによりμが急激に高（なり、特に
ＺｒとＮｂのトータル含有率か約５〜２０１ｉｆｔ％の
範囲ではμを４０００以上にすることができ、その中で
も特に２ｒとＮｂのトータル含有率が約８〜１７亜量％
の範囲のものはμか一定しており、品質の安定した島透
磁率のアモルファス合金が得られる。第２図Ｇこ示すよ
うな特性は゛、ＺｒとＮｂの１量比を多少変化しても同
様の傾向を示す。
第３図はＺｒとＮｂのトータル含有率とＢｓとの関係を
測定した結果を示す特性図で、第２図の場合と同様にＺ
ｒとＮｂとの１量比が常にＺｒ ： Ｎｂ ＝ ６，５
： １０．１ ＆こなるように調整されている。この図
から明らかなように、ＺｒとＮｂのトータル含有率が高
くなるに従ってＢｓは低くなる傾向にあり１特にＺｒと
Ｎｂのトータル含有率が約２０重量％を越えるとＢｓは
１０ＫＧ以下になってしまう。この特性は、ＺｒとＮｂ
の車量比が多少変化しても同様の傾向を示す。
測定した結果を示す特性図で、第２図の場合と同様にＺ
ｒとＮｂとの１量比が常にＺｒ ： Ｎｂ ＝ ６，５
： １０．１ ＆こなるように調整されている。この図
から明らかなように、ＺｒとＮｂのトータル含有率が高
くなるに従ってＢｓは低くなる傾向にあり１特にＺｒと
Ｎｂのトータル含有率が約２０重量％を越えるとＢｓは
１０ＫＧ以下になってしまう。この特性は、ＺｒとＮｂ
の車量比が多少変化しても同様の傾向を示す。
この第２図および第３図の特性曲線から明らかなように
、μならびにＢｓの高いアモルファス合金を得るために
は、ＺｒとＮｂのトータル含有率を約５〜２０重ｔ％の
範囲に規制する必要がある。
、μならびにＢｓの高いアモルファス合金を得るために
は、ＺｒとＮｂのトータル含有率を約５〜２０重ｔ％の
範囲に規制する必要がある。
このように２ｒとＮｂのトータル含有率を約５〜２０亜
門％の範囲に規制しても、その中のＺｒ含有率が低（過
ぎると１−１ｃの高いアモルファス合金となる。
門％の範囲に規制しても、その中のＺｒ含有率が低（過
ぎると１−１ｃの高いアモルファス合金となる。
第４図は、合金中のＮｂ含有率が常に１０重量％になる
ようにして、Ｚｒの含有率を細々変えた場合の１−１
ｃの変化を測定した結果を示す特性図である。従ってこ
の図においてＺｒの含有率がＯＭＥｆｉｒ、％の場合は
、Ｃｏ９０ｍ１：ｔ％−Ｎｂ１（］重ｉ％の２成分系合
金となる。この合金も前述とほは同様の条件で作成され
る。
ようにして、Ｚｒの含有率を細々変えた場合の１−１
ｃの変化を測定した結果を示す特性図である。従ってこ
の図においてＺｒの含有率がＯＭＥｆｉｒ、％の場合は
、Ｃｏ９０ｍ１：ｔ％−Ｎｂ１（］重ｉ％の２成分系合
金となる。この合金も前述とほは同様の条件で作成され
る。
この図から明らかなように、ＣＯにＮｂを添加した２成
分系合金ならびにＺｒの含有率が２１甘％１でのＣｏ−
Ｚｒ−Ｎｂの３成分糸冶金は、ＨＣが高い。
分系合金ならびにＺｒの含有率が２１甘％１でのＣｏ−
Ｚｒ−Ｎｂの３成分糸冶金は、ＨＣが高い。
ところがＺｒの含有率が約２．５Ｍ１１％を越えるとＩ
−Ｊｃは急激に低下し、約５１【量％以上になるとＩ（
ｃは０．１（Ｏｅ）以下にすることができる。このよう
にｃ。
−Ｊｃは急激に低下し、約５１【量％以上になるとＩ（
ｃは０．１（Ｏｅ）以下にすることができる。このよう
にｃ。
−ｚｒ−Ｎｂの３成分系アモルファス合金において、Ｚ
ｒを約２．５重量％以上含有することにエリ、ＦＩｃを
低く抑えることができるか、Ｚｒの含有率が余り高（な
ってもＨｃを低（抑える効果は同じであり、かえってＢ
ｓか低くなるため好ましくない。従ってＨｃを低く抑え
しがもＢｓを高＜ＫｌするためにはＺｒの含有率を約２
．５〜６．６重１％、好壕しくｄ約５〜６．５ｆｊ−）
ｔ＜％の範囲に規制する方か重甘しい。
ｒを約２．５重量％以上含有することにエリ、ＦＩｃを
低く抑えることができるか、Ｚｒの含有率が余り高（な
ってもＨｃを低（抑える効果は同じであり、かえってＢ
ｓか低くなるため好ましくない。従ってＨｃを低く抑え
しがもＢｓを高＜ＫｌするためにはＺｒの含有率を約２
．５〜６．６重１％、好壕しくｄ約５〜６．５ｆｊ−）
ｔ＜％の範囲に規制する方か重甘しい。
本発明はｎｕ述のようにＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂの３成分糸ア
モルファス合金において、特にＺｒとＮｂのトータル含
有率を約５〜２０重蓋％の範囲に規制することにエリ、
透磁率ならびに飽和磁束密度を高く維持することができ
、軟磁性旧料として優れた特性が発揮できる。
モルファス合金において、特にＺｒとＮｂのトータル含
有率を約５〜２０重蓋％の範囲に規制することにエリ、
透磁率ならびに飽和磁束密度を高く維持することができ
、軟磁性旧料として優れた特性が発揮できる。
本発明に係るアモルファス合金は前述のような特性を有
することから、磁気ヘッドのコア材や磁気記、録媒体な
どに使用することかできる。
することから、磁気ヘッドのコア材や磁気記、録媒体な
どに使用することかできる。
第１図はニオブの含有率と保磁力との氏係を示す特性図
、第２図はジルコニウムとニオブのトータル含有率と透
磁率との関係を示す特性図、第３図はジルコニウムとニ
オブのトータル含有率と飽和磁束密度との関係を示す特
性図、第４図はジルコニウムと保磁力との関係を示す特
性図である。 代理人弁理士武顕次部 第１図 ０ ５ １０ １５
２ＯＮｂ（ｗｔ％） 第２図 Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ％） 第３図 Ｑ ５ １０ １５
２Ｑ ２！Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ％）
、第２図はジルコニウムとニオブのトータル含有率と透
磁率との関係を示す特性図、第３図はジルコニウムとニ
オブのトータル含有率と飽和磁束密度との関係を示す特
性図、第４図はジルコニウムと保磁力との関係を示す特
性図である。 代理人弁理士武顕次部 第１図 ０ ５ １０ １５
２ＯＮｂ（ｗｔ％） 第２図 Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ％） 第３図 Ｑ ５ １０ １５
２Ｑ ２！Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ％）
Claims (1)
- （１）コバルトを主成分とし、少量のジルコニウムとニ
オブな添加した６成分系アモルファス合金からなり、前
記ジルコニウムとニオブのトータルで；有率が約５〜２
０重量％の範囲に規制されていることを特徴とする軟磁
性材料、 （２、特許請求の範囲第（１）項記載において％ ｎｉ
Ｉ記ジルコニウムの含有率が約２．５Ｍ量％以−ヒに規
ｒ１７１１されていることを特徴とする軟磁性材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57198328A JPS5988801A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | 軟磁性材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57198328A JPS5988801A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | 軟磁性材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5988801A true JPS5988801A (ja) | 1984-05-22 |
Family
ID=16389276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57198328A Pending JPS5988801A (ja) | 1982-11-13 | 1982-11-13 | 軟磁性材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5988801A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5684439A (en) * | 1979-12-13 | 1981-07-09 | Takeshi Masumoto | Cobalt based amorphous alloy having small magnetic strain and high permeability |
-
1982
- 1982-11-13 JP JP57198328A patent/JPS5988801A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5684439A (en) * | 1979-12-13 | 1981-07-09 | Takeshi Masumoto | Cobalt based amorphous alloy having small magnetic strain and high permeability |
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