JPS5987641U - 流体圧力センサ - Google Patents

流体圧力センサ

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Publication number
JPS5987641U
JPS5987641U JP18453882U JP18453882U JPS5987641U JP S5987641 U JPS5987641 U JP S5987641U JP 18453882 U JP18453882 U JP 18453882U JP 18453882 U JP18453882 U JP 18453882U JP S5987641 U JPS5987641 U JP S5987641U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid pressure
pressure sensor
piezoelectric vibrator
oscillation
fluid
Prior art date
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Pending
Application number
JP18453882U
Other languages
English (en)
Inventor
俊夫 阿部
守矢　滋
Original Assignee
ティーディーケイ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ティーディーケイ株式会社 filed Critical ティーディーケイ株式会社
Priority to JP18453882U priority Critical patent/JPS5987641U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る流体圧力センサの一実施例を示す
断面図、第２図は同センサにおける圧電振動子を示す平
面図、第３図は同センサで構成する自励振発振回路の一
例を示す回路図、第４及び５図は圧電振動子の振動周波
数と帰還量との関係を示すグラフ、第６及び第７図は流
体圧力と振動周波数の変化率との関係を示すグラフであ
る。 １：圧電振動子、３ｂ＝帰還電極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流体圧力を印加可能に流体通路に組込み配置する流体圧
    力センサであって、帰還電極を有する圧電振動子で自励
    振発振回路を形成し、その圧電振動子に印加する流体圧
    力の変化を圧電振動子の発振周波数変化として検出する
    よう構成したことを特徴とする流体圧力センサ。
JP18453882U 1982-12-06 1982-12-06 流体圧力センサ Pending JPS5987641U (ja)

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JP18453882U JPS5987641U (ja) 1982-12-06 1982-12-06 流体圧力センサ

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JP18453882U JPS5987641U (ja) 1982-12-06 1982-12-06 流体圧力センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5987641U true JPS5987641U (ja) 1984-06-13

Family

ID=30399101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18453882U Pending JPS5987641U (ja) 1982-12-06 1982-12-06 流体圧力センサ

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JP (1) JPS5987641U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5039392A (ja) * 1973-08-14 1975-04-11

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5039392A (ja) * 1973-08-14 1975-04-11

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