JPS598763B2 - 超音波パルス反響厚み及び速度測定装置 - Google Patents

超音波パルス反響厚み及び速度測定装置

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JPS598763B2
JPS598763B2 JP51115725A JP11572576A JPS598763B2 JP S598763 B2 JPS598763 B2 JP S598763B2 JP 51115725 A JP51115725 A JP 51115725A JP 11572576 A JP11572576 A JP 11572576A JP S598763 B2 JPS598763 B2 JP S598763B2
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pulse
timing
thickness
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フイリツプ・エイ・ウオーカー
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Krautkramer Branson Inc
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H5/00Measuring propagation velocity of ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. of pressure waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/02Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/04Analysing solids
    • G01N29/07Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
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    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S73/00Measuring and testing
    • Y10S73/901Digital readout

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、超音波パルス反響による厚さ及び速度を測定
する装置に係り、特に所定の時間間隔をもつパルスを供
給し、既知の厚さを有する被加工物の音響速度を測定す
るかあるいは周知の音響的速度を有する被加工物の厚さ
を測定する装置を包含する回路に関する。
従来の超音波パルス反響測定装置においては、被加工物
の厚さと音響的速度を測定するのに複雑且つ高価な回路
を必要としていた。
ある従来装置では、例えば時間平均回路、複数のクロツ
クパルス発生器、デジタルカウンタ及び記憶装置を使用
5して厚さ及び音響的速度の測定を行つている。他の
装置では、操作員はブラウン管を観察しながら較正しな
ければならない。本発明のより好ましい実施例では、固
定パルス巾パルス発生器とスイツチとを従来の電気回路
と 1組合せて使用し、より安価で簡単な超音波パルス
反響厚み及び速度測定装置を提供する。
本発明では、他の超音波装置と同様に、被加工物に適当
に結合された送信受信変換器プローブが周期的に被加工
物に超音波探索信号を送出し、そこから音響的不連続反
響信号を受ける。
変換器プローブに電気的に接続された受信回路は入射表
面及び後部壁の反響応答電気信号を受け、上記2つの信
号の受信に一致したビデオパルスを供給する。該ビデオ
パルスを周知構造のタイミング装置に導き、入射表面の
応答反響の受信と後部壁の応答反響の受信との間の時間
間隔に等しいパルス巾を有するタイミング信号が発生さ
れる。好ましい実施例ではタイミング信号は時間−アナ
ログ変換回路に加えられ、この回路はタイミング信号の
デユーテイ比に相応したアナログ電圧を出力する。既知
の厚みを有する被加工物の音響的速度を測定するには、
時間−アナログ変換回路をその出力アナログ電圧が』:
記既知の被加工物の厚みに相応するよう調・整する。所
定パルス巾及び繰返し周波数を有するパルス信号を変換
回路の入力のタイミング信号に置き換えると、時間−ア
ナログ変換回路の出力は被加工物の音響的速度に対応す
る。別の実施例では、タイミング信号はデジタル変換回
路に加えられ、この回路はタイミング信号のパルス巾に
相応した出力デジタル信号を発生する。
デジタル変換回路に加えられるクロツク入力信号は出力
デジタル信号が既知の被加工物の厚みに相応する様に調
整される。固定パルス巾のパルスをタイミング信号の代
りにデジタル変換回路に加えると、出力デジタル信号は
被加工物の音響的速度を示す。本発明の主な目的は、既
知の厚みを有する被加工物の音響的速度を示す信号を出
力する超音波パルス反響測定装置に使用する電気回路を
提供することにある。
本発明の別の目的は、既知の音響的速度を有する被加工
物の厚みを示す信号を出力する超音波パルス反響測定装
置に使用する電気回路を提供することにある。
本発明のさらに別の目的は、超音波パルス反響厚み及び
音響的速度の測定装置に使用する固定パルス巾発生装置
を有する電気回路を提供することにある。
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する。
第1図には本発明による電気回路をプロツク図で示して
ある。
クロツク10は50Hzから20KHzの範囲の周波数
のタイミングパルスを導線12を介してパルサ回路14
に供給する。パルサ回路14はタイミングパルスを受け
て周期的に送信受信変換器プローブ16を付勢する。プ
ローブ16は水、油あるいは他の適当な結合媒体を介し
て被加工物Wに音響的に結合され、被加工物Wに超音波
エネルギ探索信号を送出する。送出されたエネルギの一
部は例えば被加工物Wの表面18の様な音響的不連続に
妨げられてプローブ16に向けて反射される。探索信号
は被加工物Wの厚さを通し後部壁20に妨害されるまで
被加工物の音響的速度に等しい速度で進行し続ける。後
部壁20において、探索信号の第2部分が反射され、被
加工物Wを介してプローブ16にもどる。上述の2つの
反孔反響信号はプローブ16により反響応答電気信号に
変換され、この電気信号は受信回路22に供給される。
受信回路22は、導線24を介してフリツプフロツプか
らなるタイミング装置26に第2図に示す1対の反響応
答ビデオ信号を供給する。第2図のaにおいて、パルス
28と30は、それぞれ被加工物Wの入射表面18と後
部壁20に妨害された探索信号に対応する。タイミング
装置26は、導線32を介してパルス巾PWを有するタ
イミング信号をスイツチ44の接点S1に供給する。タ
イミング装置26は対応する探索信号の送出に先立つて
クロツク信号発生器10から受ける信号によりりセツト
される。第2図のbに示す様に、タイミング信号パルス
は入射表面反響応答ビデオ信号28をタイミング装置2
6が受けることにより開始され、後部壁の反響応答ビデ
オ信号30を受けることにより終了する。従つて、パル
ス巾PWは超音波探索信号が被加工物の音響的速度で進
行して被加工物Wの厚さの2倍を横切るのに必要な時間
に相当する継続時間を有する。固定パルス巾発生器42
の様なパルス発生装置は、パルサ回路14と同時にトリ
カーされ、スイツチ14の接点S2に第2図のcに示す
様なクロツタパルス発生器」0の周波数により決定され
る繰返し周波数を有しかつ所定時間間隔あるいはパルス
巾を示すパルスを供給する。
時間−アナログ変換回路34は、第3図に詳細に示す様
に、タイミング装置26からのタイミング信号かあるい
は発生器42から固定パルス巾信号をスイツチ44を介
して導線36から受け、その出力端子38に入力信号の
〉テイ比に相応したアナログ電圧を供給する。
例えばデイスプレイ装置やレコーダの様な読み出し装置
40はアナログ電圧信号を受けて、測定された被加工物
の特性の指示を与える。
読み出し装置40は、アナログ電圧を速度や厚さの単位
に変換する目盛装置とともに測定値をメートル法からア
ート・ポンド法又はその逆に変換する装置を有する。次
に回路の動作について説明する。
以下に述べることは、予め知られた厚さを有する被加工
物の音響的速度を測定する場合である。当業者であれば
、これとは逆の装作によつて予め知られた音響的速度を
有する被加工物の厚さを測定することができることは明
らかであろう。スイツチ44は、当初導線32を介して
タイミング装置26からのタイミング信号を受ける様に
接点S1の位置にされ、導線36は時間一アナログ変換
器34に結合している。
タイミング信号は第3図に示すダイオード46の陰極に
加えられる。ダイオード46の陽極はダイオード48の
陽極及び定電流発生器50に結合される。ダイオード4
8の陰極は可変抵抗器52とコンデンサ54の並列回路
に結合されるとともに出力端子38に結合される。上記
並列回路の他端は接地電位に接続される。第2図のbに
示す導線36のタイミング信号が「低」状態のときは、
ダイオード46は導通状態となりスイツチ44を介して
タイミング装置26に電流発生器の電流を導き、タイミ
ング信号が「高」状態のときはダイオード46は非導通
状態となる。
電流発生器50は矢印56の方向に定電流1を供給する
。ダイオード46が導通状態になると、電流1はダイオ
ード46を流れ、ダイオード46が非導通になると、電
流1はダイオード48と抵抗器52を流れる。ダイオー
ド48及び抵抗器52を流れる平均電流oはo=PWX
IXPRF・・・・・・(式2)となる。
ここで、PRFは超音波パルス反響測定装置のパルス繰
り返し周波数であり、パルス/秒の単位を有する。時間
一アナログ変換回路34の出力端子38に生じるアナロ
グ電圧Vは、平均電流10と抵抗器52の抵抗Rとの積
となる。
すなわち、V=PWXIXPRFXR・・・・・・(式
3)パルス巾PWは予め厚さと音響的速度が知られてい
る被加工物に対して固定される。
従つて、電流発生器50からの一定電流1、抵抗器52
の抵抗Rあるいはパルス繰り返し周波数PRFは、出力
アナログ電圧Vが読み出し装置40により被加工物厚さ
に一致した値を表示するように調節されなければならな
い。好ましい実施例では、電流発生器50からの電流1
は粗く調整され、そして測定装置の較正中可変抵抗器5
2の抵抗Rは精度良く調整される。
上述のパラメータのどれか1つだけを調整できることは
明らかである。簡単のために、以下の説明では、可変抵
抗器52の抵抗Rのみを町変とする。読み出し装置40
は、アナログ電圧Vに相応した値を表示する。表示され
た値は次の関係が成立する既知の被加工物厚さに等しい
。厚さ=PWXIXR′×PRF・・・・・・(式4)
ここで、wは既知の被加工物厚さに相応した表示をなす
可変抵抗器52の調整値である。
式4に式1を代入するととなる。
式5を数学的に変形すると、.屯轟ム一d′11?L?
直 可変抵抗器52を抵抗値wに設定した後、スイツチ44
を切換えて接点S2により導線36を介して時間−アナ
ログ変換回路34に固定パルス巾信号が加わるようにす
る。
好ましい実施例では固定パルス巾信号は2′0マイクロ
セコンドの巾を有し、1KHzのパルス繰返し周波数を
もつ。時間−アナログ変換器34の出力端子38におけ
るアナログ電圧VはV=20XIXPRFXW・・・・
・・(式7)となり、式6を式7に代入してすなわち V=10×音響的速度 となる。
読み出し装置40は自動的に10で除算する様に構成さ
れており、アナログ電圧応答信号を速度の単位で直接表
示する。
前記においては20マイクロセコンドのパルス巾が使わ
れているが、読み出し装置40あるいは一般に含まれる
装置が適正な目盛を与えるために発生器42によつて発
生し得るあらゆる固定パルス巾のパルスが供給される。
薄い被加:[物の厚さを測定するには、クロツクパルス
発生器10からのタイミングパルスの周波数、従つてタ
イミング信号のパルス繰返し周波数は約10KHzに増
大される。電流発生器50からの電流1及び可変抵抗器
52の抵抗Rは上述の様に設定され、スイツチ44がS
1のポジシヨンにあるとき読み出し装置40に被加工物
の厚さに等しい値を表示させる。式3におけるパルス繰
返し周波数(PRF)は10倍に増加するので、高い繰
返し周波数の固定パルス巾パルスがスイツチ44の接点
S2に供給されるときはパルス巾(PW)は1/10に
減小されねばならない。2マイクロセコンドのパルス巾
及び10KHzの繰返し率のパルス信号を発生する必要
をなくすために、元の固定パルス巾信号がスイツチ44
の接点S2に供給される。
すなわち、装置の繰返し率が10KHzに増加するにも
かかわらず、1KHzの繰返し周波数を有する20マイ
クロセコンドのパルスがスイツチ接点S2に供給される
。別の実施例では、クロツクパルス発生器10はタイミ
ングパルスの繰返し率を調整するノブ58を有する。
測定装置のパルス繰返し率を変化させることにより、第
2図のbのタイミング信号のデユーテイ比及び第2図の
cの固定パルス巾信号のデユーテイ比が変化する。電流
発生器50からの電流1及び可変抵抗器52の抵抗Rを
変化させないでおいた場合、スイツチがS1の位置にあ
る時ノは、回転ノブ58により測定装置のパルス繰返し
周波数PRFを変化させることにより読み出し装置40
は被加工物の既知の厚さに一致した値を表示するように
できる。
同様に、読み出し装置40は、スイツチ44がS2にあ
るときは被加工物の既知の音響的速度に一致した値を表
示するようにできる。上記説明では、電流発生器50か
らの電流1及び可変抵抗器52の抵抗Rは好ましい実施
例の様に調整し、パルス繰返し周波数(PRF)を本発
明の別の実施例の様に調整する。
可変パラメータ(1,RあるいはPRF)を単独にある
いは組合わせて変化させることにより本発明の所望の目
的、すなわち、被加工物の厚さ及び音響的速度を測定す
る超音波パルス反響測定装置を提供することができる。
上述の説明は、予め知られた厚さを有する被加工物の音
響的速度の測定についてであるが、当初スイツチ44を
位置S2として可変パラメータ,(1,RあるいはPR
F)を調整し読み出し装置40が被加工物の既知の音響
的速度に等しい値を表示させ、そしてスイツチ44を位
置S1として被加工物の厚さを表示させることもできる
のは明らかである。
更に他の変形例では、スイツチ44が位置S2にあると
き、読み出し装置が1,000と表示するように装置の
パラメータが調整される。
そして、スイツチがS1に切換わつたときに、読み出し
装置が被加工物中を進行する超音波探索信号の走行時間
をマイクロセコンドの単位で表示する。第4図には、時
間−アナログ変換器34がデジタル変換回路60に置換
された別め実施例が示されている。デジタル変換回路6
0はゲート付カウンタが構成されるのが好ましく、すな
わち、導線62における出力デジタル信号は、導線32
、スイツチ44及び導線36により供給されるタイミン
グ信号(第2図のb)によつて決定される時間間隔の間
、導線64の高周波クロツクパルス発生器68から受信
されるクロツクパルス量に一致する。既知の厚さを有す
る被加工物Wの音響的速度を測定するためには、クロツ
クパルス発生器10からのタイミングパルスがデジタル
変換回路60をりセツトする。
第2図のbのタイミング信号はタイミング装置26から
導線32、スイツチ44及び導線36を介してデジタル
変換回路60に送出される。導線64に送出されるクロ
ツクパルスの周波数は、導線62の出力信号の読み出し
装置66により表示される値が周知の被加工物の厚さに
一致するようにノブ70を回転して調整される。スイツ
チ44がS2に切換わると、第2図のcの固定パルス巾
パルスが代わつてデジタル変換回路60の入力に加えら
れる。導線62の出力デジタル信号は被加工物Wの音響
的速度に相応し、読み出し装置66は被加工物の音響的
速度を示す値を表示する。読み出し装置66は導線62
の出力デジタル信号をデイスプレイ装置に適合した信号
に変換する解読装置を包含する。
上述の例では、デジタル変換回路60の特別の実施例を
述べた。
しかし、時間平均化回路を有する他のパルス巾−デジタ
ル変換回路をデジタル変換器60の代わりにしてもよい
。また、タイミング信号は入射表面応答反響信号の受信
に応じて発生される。もちろん、タイミングパルスに同
期してタイミング装置に電気的に信号を送出してタイミ
ング信号を開始させ、超音波探索信号がプローブ16か
ら結合媒体あるいは遅延装置を介して被加工物Wの入射
表面18に達するに十分な時間間隔だけ遅らせることが
できる。タイミング信号は常に後部壁応答反響信号に応
じて終了する。パルス反響厚さ測定装置は、被加工物W
の入射表面18から音響的不連続部19までの距離を測
定するのにも使用できる。この様な場合、ビデオ信号3
0は音響的不連続部19からの反射反響信号の受信に応
答する。プローブが被加工物の欠陥部でない箇所に超音
波探索信号を送出している間は、スイツチ44は位置S
2にあり、読み出し装置は被加工物の既知の音響速度を
表示する。次に、スイツチ44が位置S1にあり、超音
波探索信号が欠陥部19を傍受すると、読み出し装置が
入射表面18と音響的不連続部19との間の距離を表示
する。上記説明では、本発明による超音波パルス反響測
定装置の好ましい実施例といくつかの変形例を述べたが
、当業者には、特許請求の範囲によつてのみ制限される
本発明の本質から離れることなく種々の変形がなし得る
のは明らかであろう。
τ
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の好ましい実施例である電気回路を示す
プロツク図、第2図は第1図の回路内において発生する
電気信号を示す説明図、第3図は第1図の回路の一部を
示す電気回路図、第4図は9本発明の別の実施例を示す
プロツク図である。 10,68・・・・・・クロツク信号発生器、14・・
・・・・パルサ回路、16・・・・・・プローブ、18
・・・・・・被加工物の入射表面、19・・・・・・欠
陥部、20・・・・・・後部壁、22・・・・・・受信
回路、26・・・・・・タイミング装置、ノ34・・・
・・・時間−アナログ変換器、40・・・・・・読み出
し装置、42・・・・・・固定パルス巾パルス発生器、
44・・・・・・スイツチ、60・・・・・・デジタル
変換器、66・・・・・・読み出し装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 超音波パルス反響測定装置において、イ)タイミン
    グ・パルスを周期的に供給するクロックと、ロ)前記タ
    イミング・パルスを受けるように結合されておりかつこ
    れに応じて信号を電気音響変換器に与えて該電気音響変
    換器が超音波探索信号を被加工物へ周期的に送出するよ
    うにさせるパルサ装置と、ハ)前記被加工物への各探索
    信号の送出に応答する前記変換器からの反響応答信号を
    受けるように結合された受信装置と、ニ)前記クロック
    と及び前記受信装置とに結合されており、探索信号の送
    出に応答する第1信号を周期的に受けかつ引き続いて反
    響応答信号に応答する第2信号を受けて前記第1信号と
    前記第2信号との間の時間間隔を有するタイミング信号
    を発生するタイミング装置と、ホ)前記クロックに結合
    されており前記タイミング・パルスの発生に応答して所
    定の時間間隔を有する出力パルスを供給するパルス発生
    装置と、ヘ)前記タイミング装置と及び前記パルス発生
    装置とに結合しており前記タイミング信号又は前記の所
    定時間間隔を有する出力パルスを選択的に出力するスイ
    ッチ装置と、ト)該スイッチ装置の前記出力を受けるよ
    うに結合されており、被加工物の厚さあるいは被加工物
    の音響速度を示す出力信号へ前記スイッチ装置の前記出
    力をある変換関数で変換する変換装置と、及びチ)被加
    工物の厚さが既知でありかつその音響速度が未知である
    とき、前記タイミング信号を受け取る前記変換装置の前
    記出力信号が被加工物の前記既知の厚さを示すように前
    記変換関数を調節しそれによつて前記変換装置が前記の
    所定時間間隔を有するパルスを受けるとき被加工物の前
    記未知の音響速度を表わす前記出力信号を発生させ、か
    つ被加工物の厚さが未知でありかその音響速度が既知で
    あるとき、前記の所定時間間隔を有するパルスを受け取
    る前記変換装置の前記出力信号が被加工物の前記既知の
    音響速度を示すように前記変換関数を調節しそれによつ
    て前記変換装置が前記タイミング信号を受けるとき被加
    工物の前記未知の厚さを表わす前記出力信号を発生させ
    る、調節装置と、から成る超音波パルス反響測定装置。 2 特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記調
    節装置は前記クロックのパルス反復速度を変化させるこ
    とを特徴とする、装置。 3 特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記変
    換装置は時間−アナログ・コンバータ装置から成ること
    を特徴とする、装置。 4 特許請求の範囲第3項記載の装置において、前記時
    間−アナログ・コンバータ装置は電流発生器と及び抵抗
    器とを含むことを特徴とする、装置。 5 特許請求の範囲第4項記載の装置において、前記調
    節装置は前記電流発生器の電流の大きさを変化させるこ
    とを特徴とする、装置。 6 特許請求の範囲第4項記載の装置において、前記調
    節装置は前記抵抗器の抵抗値を変化させることを特徴と
    する、装置。 7 特許請求の範囲第4項記載の装置において、前記調
    節装置は前記電流発生器の電流の大きさと及び前記抵抗
    器の抵抗値との両方を変化させることを特徴とする、装
    置。 8 特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記変
    換装置は時間−デジタル・コンバータ装置から成り、該
    コンバータ装置は該装置へクロック・パルスを提供する
    別のクロックを有することを特徴とする、装置。 9 特許請求の範囲第8項記載の装置において、前記調
    節装置は前記別のクロックのパルス反復速度を変化させ
    ることを特徴とする、装置。
JP51115725A 1975-09-30 1976-09-27 超音波パルス反響厚み及び速度測定装置 Expired JPS598763B2 (ja)

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