JPS598761B2 - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS598761B2 JPS598761B2 JP1148178A JP1148178A JPS598761B2 JP S598761 B2 JPS598761 B2 JP S598761B2 JP 1148178 A JP1148178 A JP 1148178A JP 1148178 A JP1148178 A JP 1148178A JP S598761 B2 JPS598761 B2 JP S598761B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- origin
- magnetic yoke
- detector
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は位置検出装置、特に磁気スケール装置用の絶対
原点検出装置として好適な位置検出装置の改良に関する
。
原点検出装置として好適な位置検出装置の改良に関する
。
ディジタル磁気スケール装置はインクリメンタル測長方
式をとつているので、絶対原点の検出機能を付加させる
ことが望ましい。
式をとつているので、絶対原点の検出機能を付加させる
ことが望ましい。
絶対原点検出装置として従来から磁気センサーを用いる
ことが考えられているが、この場合、特に要求される事
項は、定点検出の精度が高いこと、検出位置が常に一定
であること、周囲環境の変化に対して安定した検出能を
有すること、小型であること及び安価であること等であ
る。ところでこのような原点検出装置を磁気スケール装
置に組み込む場合、従来装置には次のような問題があつ
て、これが解決を強く要望されている。
ことが考えられているが、この場合、特に要求される事
項は、定点検出の精度が高いこと、検出位置が常に一定
であること、周囲環境の変化に対して安定した検出能を
有すること、小型であること及び安価であること等であ
る。ところでこのような原点検出装置を磁気スケール装
置に組み込む場合、従来装置には次のような問題があつ
て、これが解決を強く要望されている。
即ち従来の磁気スケール装置に原点検出器を組み込む場
合、問題となるのはまず外部磁場の影響を受け易いこと
である。例えばチャンネルの外側にマグネットスタンド
のベースを磁気吸着させると原点位置がずれる。この原
点検出位置のずれ量はマグネットの位置により大きく異
なるが、５０−１５０μｍ程度が実測されている。また
チップホルダー８のあおりによつて、原点検出器１を構
成するセンサー（磁電変換器）と発磁体との間隔が変化
し、この結果によつても原点位置がずれる。
合、問題となるのはまず外部磁場の影響を受け易いこと
である。例えばチャンネルの外側にマグネットスタンド
のベースを磁気吸着させると原点位置がずれる。この原
点検出位置のずれ量はマグネットの位置により大きく異
なるが、５０−１５０μｍ程度が実測されている。また
チップホルダー８のあおりによつて、原点検出器１を構
成するセンサー（磁電変換器）と発磁体との間隔が変化
し、この結果によつても原点位置がずれる。
この種の原点検出器はセンサーと発磁体との間隔変化に
伴なう検出位置の変動が少ないことを特徴としているの
で、検出位置の変動を数μｍ以下にするには、上記間隔
変化を士数１０Ｐｍ程度におさえることが望ましい。本
発明はかかる従来装置の問題点を改良するため、コの字
形の第１及び第２の磁気ヨーク部材を使用し、第１の磁
気ヨーク部材には発磁体を、第２の磁気ヨーク部材には
位置検出器を夫々配設し、両磁気ヨーク部材を相対的に
移動可能でかつ外部磁場に対し閉磁路を形成するように
組み合わせることにより、外部磁場の影響を受けにくい
、耐磁性に富む検出位置の少ない位置検出装置を提供す
るものである。
伴なう検出位置の変動が少ないことを特徴としているの
で、検出位置の変動を数μｍ以下にするには、上記間隔
変化を士数１０Ｐｍ程度におさえることが望ましい。本
発明はかかる従来装置の問題点を改良するため、コの字
形の第１及び第２の磁気ヨーク部材を使用し、第１の磁
気ヨーク部材には発磁体を、第２の磁気ヨーク部材には
位置検出器を夫々配設し、両磁気ヨーク部材を相対的に
移動可能でかつ外部磁場に対し閉磁路を形成するように
組み合わせることにより、外部磁場の影響を受けにくい
、耐磁性に富む検出位置の少ない位置検出装置を提供す
るものである。
以下図面に示す実施例を参照して本発明を説明すると、
第２図において１３はコの字形の第１の磁気ヨーク部材
で、その両内側面の頂部には発磁体１４、１５が取り付
けられている。
第２図において１３はコの字形の第１の磁気ヨーク部材
で、その両内側面の頂部には発磁体１４、１５が取り付
けられている。
１６はコの字形の第２の磁気ヨーク部材で、その頂面の
ほぼ中央部には位置検出器１７が保持されている。
ほぼ中央部には位置検出器１７が保持されている。
位置検出画１Ｔは例えば特開昭５２−４８３４８号公報
に開示されたような２個の磁電変換器とバイアス磁石か
ら成る。第１の磁気ヨーク部材１３は第２の磁気ヨーク
部材１６に対し相対的で移動可能で、外部磁場に対して
閉磁路を形成するように組み合わされる。
に開示されたような２個の磁電変換器とバイアス磁石か
ら成る。第１の磁気ヨーク部材１３は第２の磁気ヨーク
部材１６に対し相対的で移動可能で、外部磁場に対して
閉磁路を形成するように組み合わされる。
従つて位置検出時には両磁気ヨーク部材は第３図に示す
如き組み合わせ状態になる。即ち第１の磁気ヨーク１３
は発磁１４，１５の磁路となり、位置検出器１７に流入
する漏洩磁束φを増大せしめる効果がある。またこの時
に外部磁束グが印加されると、前述のように第１の磁気
ヨーク１３と第２の磁気ヨーク１６とで閉磁路が形成さ
れているので、外部磁束ヴはこの閉磁路を環流して、信
号磁界φ、即ち位置検出に影響を及ぼすことがなく、位
置検出器」７の信号出力は変化せず安定している。第１
図は本発明の他の実施例で、１は２個の磁電変換器から
成る原点検出器、２は発磁体、２′はマグネツトスタン
ド、３は案内棒、４はスライダ部材、５は検出器ホルダ
ー、６は磁気シールド板、７はチツプ、８はチツプホル
ダ一、９はカバー、１０はチヤンネル、１１は磁気スケ
ール、１２は検出ヘツドである。
如き組み合わせ状態になる。即ち第１の磁気ヨーク１３
は発磁１４，１５の磁路となり、位置検出器１７に流入
する漏洩磁束φを増大せしめる効果がある。またこの時
に外部磁束グが印加されると、前述のように第１の磁気
ヨーク１３と第２の磁気ヨーク１６とで閉磁路が形成さ
れているので、外部磁束ヴはこの閉磁路を環流して、信
号磁界φ、即ち位置検出に影響を及ぼすことがなく、位
置検出器」７の信号出力は変化せず安定している。第１
図は本発明の他の実施例で、１は２個の磁電変換器から
成る原点検出器、２は発磁体、２′はマグネツトスタン
ド、３は案内棒、４はスライダ部材、５は検出器ホルダ
ー、６は磁気シールド板、７はチツプ、８はチツプホル
ダ一、９はカバー、１０はチヤンネル、１１は磁気スケ
ール、１２は検出ヘツドである。
第４図は本発明の他の実施例を示しており、第１及び第
２の磁気ヨーク１３，１６の底面及び頂面のほぼ中央部
に、発磁体１８及び位置検出器１９が夫々保持されてい
る。
２の磁気ヨーク１３，１６の底面及び頂面のほぼ中央部
に、発磁体１８及び位置検出器１９が夫々保持されてい
る。
この場合発磁体１８及び位置検出器１９は両磁気ヨーク
に対して直接に固定せず、第５図に示す如く適当な非磁
性部材２０，２１を介して保持せしめるようにして、間
隙を設けることが望ましい。次に上述した位置検出器を
磁気スケール装置に組み込んで外部磁場に影響されない
安定した原点検出機能を附与した実施例を第５図及び第
６図に示す。
に対して直接に固定せず、第５図に示す如く適当な非磁
性部材２０，２１を介して保持せしめるようにして、間
隙を設けることが望ましい。次に上述した位置検出器を
磁気スケール装置に組み込んで外部磁場に影響されない
安定した原点検出機能を附与した実施例を第５図及び第
６図に示す。
第５図は磁気スケール装置の主として原点検出器の周辺
部分を示しており、同図において２２はコの字形の磁気
シールド板で、前記位置検出器と同様の構成の原点検出
器２３がこの磁気シールド板の頂面の中央部に配設され
ている。
部分を示しており、同図において２２はコの字形の磁気
シールド板で、前記位置検出器と同様の構成の原点検出
器２３がこの磁気シールド板の頂面の中央部に配設され
ている。
２４は導磁性材から成るコの字形のガイドバーで、その
両側壁の内側の所定位置に発磁体２５，２６が埋設され
ている。
両側壁の内側の所定位置に発磁体２５，２６が埋設され
ている。
磁気スケール装置での測定時の移動に伴ない原点検出器
２３はガイドバー２４の内溝部２７内を移動せしめられ
、発磁体２５，２６の位置を通過した時、原点信号を発
生する。本実施例では磁気シールド板２２が前記第２の
磁気ヨーク部材に、カー゜ドバ一２４が前記第１の磁気
ヨーク部材に夫々相当していること明らかである。第６
図の実施例においては、ガイドバー２９の凹部２８に発
磁体３０，３１を設け、原点検出器３２のホルダーを併
用するシールドケース３３が位置検出時にこのガイドバ
ーの部分を被覆する構造となつている。なお３４及び３
５は発磁体支持用の台座である。第６図の実施例でマグ
ネツトをチヤンネルに付着させて外部磁場を与えた場合
、原点位置の偏位を実測した所、数μｍ以下であり、外
部磁場の影響を充分に回避できることが確認された。
２３はガイドバー２４の内溝部２７内を移動せしめられ
、発磁体２５，２６の位置を通過した時、原点信号を発
生する。本実施例では磁気シールド板２２が前記第２の
磁気ヨーク部材に、カー゜ドバ一２４が前記第１の磁気
ヨーク部材に夫々相当していること明らかである。第６
図の実施例においては、ガイドバー２９の凹部２８に発
磁体３０，３１を設け、原点検出器３２のホルダーを併
用するシールドケース３３が位置検出時にこのガイドバ
ーの部分を被覆する構造となつている。なお３４及び３
５は発磁体支持用の台座である。第６図の実施例でマグ
ネツトをチヤンネルに付着させて外部磁場を与えた場合
、原点位置の偏位を実測した所、数μｍ以下であり、外
部磁場の影響を充分に回避できることが確認された。
第７図は本発明の更に他の実施例で、３５は位置検出器
、３６は発磁体、３７は非磁性案内部材、３８は磁気ヨ
ーク、３９及び４０は磁気シールド用磁気ヨークである
。
、３６は発磁体、３７は非磁性案内部材、３８は磁気ヨ
ーク、３９及び４０は磁気シールド用磁気ヨークである
。
また発磁体と原点検出器とをガイドバーの内溝に収容す
る構造としたことにより、チツプホルダ一の変動に対す
る発磁体と原点検出器の間隔変化を減少せしめることが
でき、従来のスケール構成と違つて安定した原点位置の
検出が可能である。
る構造としたことにより、チツプホルダ一の変動に対す
る発磁体と原点検出器の間隔変化を減少せしめることが
でき、従来のスケール構成と違つて安定した原点位置の
検出が可能である。
第１図１，２及び３は本発明の磁気スケール装置を示す
概略図、第２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第３
図はその正面図、第４図１及び２は本発明の他の実施例
を示す図、第５図１，２及び３は更に本発明の他の実施
例を示す概略図、第６図１，２及び３は夫々本発明の更
に他の実施例を示す上面図、Ａ−Ａ゛断面図及びＢ−Ｂ
″断面図、第７図は本発明の更に他の実施例を示す断面
図である。 １３：第１の磁気ヨーク部材、１４，１５：発磁体、１
６：第２の磁気ヨーク部材、１７：位置検出器。
概略図、第２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第３
図はその正面図、第４図１及び２は本発明の他の実施例
を示す図、第５図１，２及び３は更に本発明の他の実施
例を示す概略図、第６図１，２及び３は夫々本発明の更
に他の実施例を示す上面図、Ａ−Ａ゛断面図及びＢ−Ｂ
″断面図、第７図は本発明の更に他の実施例を示す断面
図である。 １３：第１の磁気ヨーク部材、１４，１５：発磁体、１
６：第２の磁気ヨーク部材、１７：位置検出器。
Claims (1)
- １ コの字形の第１及び第２の磁気ヨーク部材を設け、
第１の磁気ヨーク部材は発磁体を、第２の磁気ヨーク部
材には位置検出器を夫々配設し、上記両磁気ヨーク部材
を相対的に移動可能でかつ少くとも位置検出時に外部磁
場に対して閉磁路を形成するように組み合わせたことを
特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148178A JPS598761B2 (ja) | 1978-02-06 | 1978-02-06 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148178A JPS598761B2 (ja) | 1978-02-06 | 1978-02-06 | 位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54104869A JPS54104869A (en) | 1979-08-17 |
| JPS598761B2 true JPS598761B2 (ja) | 1984-02-27 |
Family
ID=11779237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1148178A Expired JPS598761B2 (ja) | 1978-02-06 | 1978-02-06 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598761B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1240482B (it) * | 1990-07-04 | 1993-12-17 | Skf Ind Spa | Dispositivo atto a permettere la rilevazione della velocita' di rotazione tra due organi in rotazione relativa quali gli organi di sopporto di una ruota di un veicolo. |
| JPH0455720A (ja) * | 1990-06-26 | 1992-02-24 | Makome Kenkyusho:Kk | 変位検出装置 |
-
1978
- 1978-02-06 JP JP1148178A patent/JPS598761B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54104869A (en) | 1979-08-17 |
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