JPS5986968A - ビ−ムスポツト径計測方法および計測装置 - Google Patents
ビ−ムスポツト径計測方法および計測装置Info
- Publication number
- JPS5986968A JPS5986968A JP19867582A JP19867582A JPS5986968A JP S5986968 A JPS5986968 A JP S5986968A JP 19867582 A JP19867582 A JP 19867582A JP 19867582 A JP19867582 A JP 19867582A JP S5986968 A JPS5986968 A JP S5986968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam spot
- spot diameter
- coil
- wave current
- square wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、受像管の螢光面に電子ビームが射突すること
によシ生じる輝点すなわちビームスポットの大きさを４
測するだめのビームスポット径言（測方法および開側装
置に関するものである。
によシ生じる輝点すなわちビームスポットの大きさを４
測するだめのビームスポット径言（測方法および開側装
置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
カラー受像管またはモノクローム受像管における解像度
は、ビームスポットの形状および大きさに大きく依存し
、良好な解像度特性を得るためにｄｌ、ビームスポット
はできるだけ真円に近くかつ径小であることが重要とな
る。そこで、受像管の製造における検査工程で、ビーム
スポット径を計測することが行なわれているが、測微側
等を用いる従来の計測方法では、かなりの熟練と時間と
を要するのみならず、目の疲労が激しく、高い測定精度
を得る仁とが困難であった。
は、ビームスポットの形状および大きさに大きく依存し
、良好な解像度特性を得るためにｄｌ、ビームスポット
はできるだけ真円に近くかつ径小であることが重要とな
る。そこで、受像管の製造における検査工程で、ビーム
スポット径を計測することが行なわれているが、測微側
等を用いる従来の計測方法では、かなりの熟練と時間と
を要するのみならず、目の疲労が激しく、高い測定精度
を得る仁とが困難であった。
発明の目的
したがって本発明の目的は、ビームスポット径を簡便か
つ正確に計測でき、しかも計測結果の自動記録が容易な
ビームスポット径計測方法および計測装置を提供するこ
とにある。
つ正確に計測でき、しかも計測結果の自動記録が容易な
ビームスポット径計測方法および計測装置を提供するこ
とにある。
発明の構成
本発明によると、コイルを巻装した磁性体片を供試受像
管のフェースパネル外面上の中央領域に置き、前記中央
領域に対応する螢光体膜領域に向かって進行する電子ビ
ームを前記コイルに可変矩形波電流を通じることによツ
振動させ、これにより時分割的に２個所に生じる２つの
ビームスポットを外接させたときの前記矩形波電流の大
きさを測定するのであって、この電流値にもとづいてビ
ームスポット径を把握する。
管のフェースパネル外面上の中央領域に置き、前記中央
領域に対応する螢光体膜領域に向かって進行する電子ビ
ームを前記コイルに可変矩形波電流を通じることによツ
振動させ、これにより時分割的に２個所に生じる２つの
ビームスポットを外接させたときの前記矩形波電流の大
きさを測定するのであって、この電流値にもとづいてビ
ームスポット径を把握する。
実施例の説明
つぎに、本発明を図面に示した実施例とともに詳しく説
明すると、第１図には供試カラー受像管１とビームスポ
ット径計測装置２とが示されている。ビームスポット径
計測装置２は、コ字状磁性体片３と、その２脚部ｓａ、
ｓｂに巻装されたコイル４と、コイル４に接続された可
変矩形波電流発生源５と、拡大レンズ６とを備え、珪素
鋼板からなるコ字状磁性体片３は、その２脚部３ａ、３
ｂが供試カラー受像管１のガラス製フェースパネル７の
外面に略垂直となるように同外面上の中央領域に置かれ
ている。まだ、コ字状磁性体片３の２脚部３ａ、３ｂを
つなぐブリッジ部３Ｃには透孔が設けられており、第２
図図示のようにこの透孔を貫通して設定された透視光路
の光軸８上に、拡大レンズ６が同軸的に設けられている
。
明すると、第１図には供試カラー受像管１とビームスポ
ット径計測装置２とが示されている。ビームスポット径
計測装置２は、コ字状磁性体片３と、その２脚部ｓａ、
ｓｂに巻装されたコイル４と、コイル４に接続された可
変矩形波電流発生源５と、拡大レンズ６とを備え、珪素
鋼板からなるコ字状磁性体片３は、その２脚部３ａ、３
ｂが供試カラー受像管１のガラス製フェースパネル７の
外面に略垂直となるように同外面上の中央領域に置かれ
ている。まだ、コ字状磁性体片３の２脚部３ａ、３ｂを
つなぐブリッジ部３Ｃには透孔が設けられており、第２
図図示のようにこの透孔を貫通して設定された透視光路
の光軸８上に、拡大レンズ６が同軸的に設けられている
。
可変矩形波電流発生源５は矩形波発振器からなシ、パネ
ル幅０．１６マイクロ秒、繰り返し周波数６０Ｈｚのビ
ーム変調電源９に接続されて３０ Ｈｚの振幅調整可能
な矩形波電流をコイル４に供給する。コ字状磁性体片３
の２脚部３ａ、３ｂ間に生じた交番偏向磁界１０は、′
フェースパネル７を透過してその内面側へ及ぶから、供
試カラー受像管１の電子銃１１から放射された１本の電
子ビーム１２は、螢光体膜１３に射突する直前において
振動し、しだがって、螢光体膜１３に生じるビームスポ
ットは時分割的に場所を変え、みかけ上２個となる。
ル幅０．１６マイクロ秒、繰り返し周波数６０Ｈｚのビ
ーム変調電源９に接続されて３０ Ｈｚの振幅調整可能
な矩形波電流をコイル４に供給する。コ字状磁性体片３
の２脚部３ａ、３ｂ間に生じた交番偏向磁界１０は、′
フェースパネル７を透過してその内面側へ及ぶから、供
試カラー受像管１の電子銃１１から放射された１本の電
子ビーム１２は、螢光体膜１３に射突する直前において
振動し、しだがって、螢光体膜１３に生じるビームスポ
ットは時分割的に場所を変え、みかけ上２個となる。
これをさらに詳しく説明すると、前記矩形波電流が正極
性のとき、交番偏向磁界１０は第３図に破線矢印で示す
向きとなり、第１の位置にビー・ムスポット１４が生じ
る。そして、次の瞬間には第４図に破線矢印で示す向き
の偏向磁界となるので、第２の位置にビームスポット１
５が生じ、これの繰り返しにより２個のビームスポット
が眺められることになる。
性のとき、交番偏向磁界１０は第３図に破線矢印で示す
向きとなり、第１の位置にビー・ムスポット１４が生じ
る。そして、次の瞬間には第４図に破線矢印で示す向き
の偏向磁界となるので、第２の位置にビームスポット１
５が生じ、これの繰り返しにより２個のビームスポット
が眺められることになる。
前記２個のビームスポット１４．１５を拡大レンズ６を
通じて観察しつつ、可変矩形波電流発生源５の出力電流
を加減すると、前記２個のビームスポットが離隔しまた
は接近するのが判るから、両ビームスポットが外接する
ように電流値を調整する。そして、前記外接が得られた
ときの電流値を電流値測定器１６で測定すると、この測
定値は第５図の距離ｅに対応しており、距離ｌはビーノ
・スポット径ｄとみなし得るから、前記電流値に一定の
定数を掛けるとビームスポット径が得られる。
通じて観察しつつ、可変矩形波電流発生源５の出力電流
を加減すると、前記２個のビームスポットが離隔しまた
は接近するのが判るから、両ビームスポットが外接する
ように電流値を調整する。そして、前記外接が得られた
ときの電流値を電流値測定器１６で測定すると、この測
定値は第５図の距離ｅに対応しており、距離ｌはビーノ
・スポット径ｄとみなし得るから、前記電流値に一定の
定数を掛けるとビームスポット径が得られる。
また、前記電流値を必要により自動記録する。
このようにして、第１の電子ビームによるビームスポッ
ト径を計測したのち、第２およα第３の電子ビームによ
るビームスポット径を計測するのであるが、ビーム変調
電源９により電子ビームをパルス変調していることと相
いまって、ビームスポット径削測時に偏向ヨーク１７に
よるビーム偏向を停止し−（も、螢光体膜１３の中央部
にいわゆる焼けを生じることはない。なお、１８は直流
電源であ、る。
ト径を計測したのち、第２およα第３の電子ビームによ
るビームスポット径を計測するのであるが、ビーム変調
電源９により電子ビームをパルス変調していることと相
いまって、ビームスポット径削測時に偏向ヨーク１７に
よるビーム偏向を停止し−（も、螢光体膜１３の中央部
にいわゆる焼けを生じることはない。なお、１８は直流
電源であ、る。
発明の効果
本発明のビームスポット径割測方法およびｈ１測装置は
前述のように構成されるので、計測作業が飛躍的に簡便
となり、作業能率の向上が得られるのみならず、測定精
度も向上し、しかも目の疲労が少なく、かつまだ、計測
値（電流値）をそのま脣自動記録することが容易になる
というすこぶるすぐれた実用的効果が得られる。
前述のように構成されるので、計測作業が飛躍的に簡便
となり、作業能率の向上が得られるのみならず、測定精
度も向上し、しかも目の疲労が少なく、かつまだ、計測
値（電流値）をそのま脣自動記録することが容易になる
というすこぶるすぐれた実用的効果が得られる。
第１図は供試受像管と本発明に係るビームスポット径計
測装置との関係を示す模型図、第２図は同装置の要部の
斜視図、第３図ないし第５図は同装置の動作原理を説明
するだめの図である。 ＝ １・・・・・・供試カラー受像管、３・・・・・・
コ字状磁性体片、４・・“°・・コイル、６・・・・・
・拡大レンズ、８・・・・・・光軸、１３・・・・・・
螢光体膜、１４．１５・・・・・・ビームスポット。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 μ 第２０ Ｊの ５４５−
測装置との関係を示す模型図、第２図は同装置の要部の
斜視図、第３図ないし第５図は同装置の動作原理を説明
するだめの図である。 ＝ １・・・・・・供試カラー受像管、３・・・・・・
コ字状磁性体片、４・・“°・・コイル、６・・・・・
・拡大レンズ、８・・・・・・光軸、１３・・・・・・
螢光体膜、１４．１５・・・・・・ビームスポット。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 μ 第２０ Ｊの ５４５−
Claims (2)
- （１） コイルを巻装した磁性体片を供試受像管のフ
ェースパネル外面上の中火領域に置き、前記中央領域に
対応する螢光体膜領域に向かう電子ビームを前記コイル
に可変矩形波電流を通じることによシ振動させ、これに
より時分割的に２個所に１しる２つのビームスポットを
外接させたときの前記矩形波電流の大きさを測定するこ
とを特徴とするビームスポット径計測方法。 - （２）供試受像管のフェースパネル外面に略垂直に置か
れる２脚部を有するコ字状磁性体片に巻装されたコイル
を可変矩形波電流発生源に接続するとともに、前記２脚
部間に設定した透視用光路の光軸上に拡大レンズを設け
たことを特徴とするビームスポット径計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19867582A JPS5986968A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | ビ−ムスポツト径計測方法および計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19867582A JPS5986968A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | ビ−ムスポツト径計測方法および計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986968A true JPS5986968A (ja) | 1984-05-19 |
| JPH0160994B2 JPH0160994B2 (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=16395171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19867582A Granted JPS5986968A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | ビ−ムスポツト径計測方法および計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5986968A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146831A (ja) * | 1974-10-21 | 1976-04-21 | Tokyo Shibaura Electric Co | Shadomasukugatakaraajuzokanno kensahoho |
-
1982
- 1982-11-11 JP JP19867582A patent/JPS5986968A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146831A (ja) * | 1974-10-21 | 1976-04-21 | Tokyo Shibaura Electric Co | Shadomasukugatakaraajuzokanno kensahoho |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0160994B2 (ja) | 1989-12-26 |
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