JPS5984485A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

ガスレ−ザ装置

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Publication number
JPS5984485A
JPS5984485A JP19427882A JP19427882A JPS5984485A JP S5984485 A JPS5984485 A JP S5984485A JP 19427882 A JP19427882 A JP 19427882A JP 19427882 A JP19427882 A JP 19427882A JP S5984485 A JPS5984485 A JP S5984485A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
output
power
laser device
head
Prior art date
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Pending
Application number
JP19427882A
Other languages
English (en)
Inventor
Isao Kobayashi
功 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS5984485A publication Critical patent/JPS5984485A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/0014Monitoring arrangements not otherwise provided for

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は放電励起で動作するガスレーザ装置に係る。
大部分のガスレーザは、レーザ媒質であるガスの放電励
起により動作する。通常ガスレーザはレーザ肯と共振器
とを収納したレーザヘッド部分と、レーザヘッドに電力
全供給する電源装置部分とで構成される。
電源装置との間は、通常1対のケーブルだけで接続され
、冷陰極放電用の高圧直流電圧だけがケーブルにより供
給される。アルゴンイオンレーザでは陽極用の直流電圧
以外に、陰極用電源、電磁石用電源などが電源装置から
レーザヘッドに供給され、レーザヘッドから電源装置に
は光フイードバツク制御用信号などが送られる。
Ne−Neレーザでは、電源装置には高圧直流発生回路
しか存在せず通常レーザ出力パワーの値を読み取る電子
回路を備えたパワーモニターは附属せず、レーザ出力パ
ワーの測定は、レーザヘッドからのレーザ光を別に用意
したパワーモニターで測定する。
アルゴンイオンレーザの場合は、元フィードバック用信
号を利用して電tM装蓋の中で信号を増幅し、パワー表
示を行うことが可能である。しかしながらレーザヘッド
で得られるレーザ出力パワーに比例した光フィードバッ
ク用イ百号は、レーザ光の−Nl太陽電池などの光起電
力形検出器で光電る。通常は太陽電池の出力信号を増幅
せずにケーブルで電源装置に導き、電源装置内で増幅す
る。
光フイードバツクルーズの制御性能を上げるには、光フ
イードバツク信号のS/Nが重要であって、太陽電池の
出力信号をその場で増幅することが望ましいが増幅用の
供給電源の準備、レーザヘッドと電源装置とを接続する
ケーブル芯数の増加などの経済上の問題があり、レーザ
ヘッド内に増幅回路全段けることは難かしかった。
本発明の目的は、特別の電源とケーブルを用いずに、レ
ーザ出力パワーモニターをレーザヘッド内に備えたガス
レーザ装置を提供することにある。
本開明のほかの目的は、特別の電源を用いずにレーザ出
力パワーに比例した信号全レーザヘッド内で増幅する手
段金偏えたガスレーザ装置を提供すること1Cある。
すなわち木祐明によれば、レーザ管の放電光の一部を太
陽電池で受光して光電変換し、レーザへ、ド内で独自に
電力全発生し、この電力を用いて別の太陽電池で受光し
たレーザ出力パワー信号を電子回路により増幅し、ある
いはパワーC(比例した信号を表示する機能を備えたガ
スレーザ装置を得る。
以下自白を参照して不発明の詳細な説明する。
第1図は本発明に基づくガスレーザ装置の一実方丙例で
ある。
本発明によるJ−le−Neレーザ装置は、従来のHe
−Neレーザ装置と同様に、1対の共振器ミラー1.1
′とレーザ管2と、レーザ管2には陰極3と陽極4とを
備え、陽極4には安定抵抗5が接続されレーザヘッド6
を形成し、1対のケーブル7で電源装置8から放電電力
のみを供給して成る。
本発明による)le−Neレーザ装置は、以上に加えて
出力レーザ光の一部を分割するビームスプリッタ9と、
分割されたレーザ光10を受光する第1の太陽電池11
を備えている。太陽電池11の光電変換出力12は、レ
ーザ出力パワーに比例した信号であり、この信号をレー
ザヘッド6から外部に導いて別に設けた増幅器により増
幅すればパワーモニターとなり得るが、本発明では光電
変換出力12を、レーザヘッド内に設けた電子回路によ
る増幅器13に導く。増幅器13用の直流電源には、レ
ーザ管2の近くに置かれて、放電光を受光する第2の太
陽電池14の出力電流15を用いる。増幅器13の出力
信号16は、例えばレーザヘッドに設けられた液晶表示
器17に接続され、レーザ出力パワーに比例した表示あ
るいは、レーザ出力パワー値のデジタル表示を行う。
こうして電源装置1t8内邪に特別の電子回路用直流電
源を用7惺することなく、またレーザヘッドと電源装置
とを結ぶケーブルの芯数を増加させることなく、またレ
ーザ装置の周囲の明るさに影響されず、レーザ管を動作
させているときには常にレーザヘッドにおいて、レーザ
出力パワー全モニターすることができる。
レーザ′Hの放電光からレーザ元撮動作に全く影響を与
えずに太陽電池により電力を得ることは可能であり、太
陽電池の出力パワーで液晶表示器および液晶表示器を駆
動する増幅器? ((!IJがせ得ることは良く知られ
ている。
またここではHe−Neレーザのパワーモニターを例に
説明を行ったが、冒頭ll′I:記したように、アルゴ
ンイオンレーザの光フィードバック信4fレーザヘッド
内で前記増幅するにも有効である。
さらに他のはとんどのガスレーザに適用できることは、
以上の説明から明らかである。また太陽電池14の位置
はレーザ細管周辺、カンードバルプ周辺等放電光が存在
する場所ならばどこでもよく、太陽電池の面積、数量も
、レーザ管と必要な増幅器の所要電力とに合せて加減で
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による一実施例である。 ■1e−Ne
レーザの構成図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザ管の放電光の一部を太陽電池で受光して電力に変
    換し、この電力を用いてレーザ出力パワー信号を処理1
    −ることを特徴とするガスレーザ装置k。
JP19427882A 1982-11-05 1982-11-05 ガスレ−ザ装置 Pending JPS5984485A (ja)

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JP19427882A JPS5984485A (ja) 1982-11-05 1982-11-05 ガスレ−ザ装置

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JPS5984485A true JPS5984485A (ja) 1984-05-16

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ID=16321948

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JP (1) JPS5984485A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1990008415A1 (en) * 1989-01-23 1990-07-26 Fanuc Ltd High-frequency discharge-excited laser

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1990008415A1 (en) * 1989-01-23 1990-07-26 Fanuc Ltd High-frequency discharge-excited laser

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