JPS5983116A - 光学系の調整装置 - Google Patents
光学系の調整装置Info
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- JPS5983116A JPS5983116A JP19306782A JP19306782A JPS5983116A JP S5983116 A JPS5983116 A JP S5983116A JP 19306782 A JP19306782 A JP 19306782A JP 19306782 A JP19306782 A JP 19306782A JP S5983116 A JPS5983116 A JP S5983116A
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- JP
- Japan
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- light
- optical axis
- prism
- incident
- light source
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、平行光学系のビームの平行度及び光軸の傾き
を高精度で検出し且つ調整し得るようにした光学系の調
整装置に関する。
を高精度で検出し且つ調整し得るようにした光学系の調
整装置に関する。
であるときは第１図（Ａ）に示したように入射光は該レ
ンズの焦点Ｆ′に集束するが、入射光が該レンズの光軸
上の光源から出る集束光または発散光であるときは第１
図（Ｂｌまたは（０）に示したように入射光は焦点Ｆ′
に対して各々前方または後方で光軸上に集束し、捷だ入
射光が該レンズの光軸に対して平行で々い平行ビームで
あるときは第１図（Ｄ）に示したように焦点Ｆ′を含む
焦点面内で光軸から離れた位置に集束する。これを利用
して入射光の集束位置を検出して、集束位置の焦点Ｆ′
からの光軸方向のずれ量２を測定することにより入射光
の平行度を、集束位置の光軸からの距離りを測定するこ
とにより光軸の傾きを各々検出し、二つの量ｚ、ｈを各
々セロにすることにより、光軸に対して平行す平行ヒー
ムヲ得る方式が従来行なわれている。
ンズの焦点Ｆ′に集束するが、入射光が該レンズの光軸
上の光源から出る集束光または発散光であるときは第１
図（Ｂｌまたは（０）に示したように入射光は焦点Ｆ′
に対して各々前方または後方で光軸上に集束し、捷だ入
射光が該レンズの光軸に対して平行で々い平行ビームで
あるときは第１図（Ｄ）に示したように焦点Ｆ′を含む
焦点面内で光軸から離れた位置に集束する。これを利用
して入射光の集束位置を検出して、集束位置の焦点Ｆ′
からの光軸方向のずれ量２を測定することにより入射光
の平行度を、集束位置の光軸からの距離りを測定するこ
とにより光軸の傾きを各々検出し、二つの量ｚ、ｈを各
々セロにすることにより、光軸に対して平行す平行ヒー
ムヲ得る方式が従来行なわれている。
しかしながら、この方式は、光学レンズの調整がかなり
難しく而もビームの測定及び調整の精度が低い（平行度
で±２′、傾きで±２ｏ“程度の測定精度である）等の
欠点があυ、特に半導体レーザーを使用した光デイスク
用ピックアップ等の超精密分野に属する光学系の場合に
は実用上間頃があった。
難しく而もビームの測定及び調整の精度が低い（平行度
で±２′、傾きで±２ｏ“程度の測定精度である）等の
欠点があυ、特に半導体レーザーを使用した光デイスク
用ピックアップ等の超精密分野に属する光学系の場合に
は実用上間頃があった。
本発明は、以上の点に鑑み、平行光学系のビームの平行
度及び光軸の傾きを高精度で検出し且つ調整し得るよう
にしたレンズ系の調整装ｆｖを提供せんとするものであ
る。
度及び光軸の傾きを高精度で検出し且つ調整し得るよう
にしたレンズ系の調整装ｆｖを提供せんとするものであ
る。
先づ第２図により本発明の詳細な説明する。第２図にお
いて、１はプリズムで、面１ａ及び１ｂのなす角が該プ
リズムを構成するガラスの空気に対する臨界角に設定さ
れていると共に面１ｂは反射膜を施すことにより反射鏡
になっている。２及び３はプリズム１の面１ａを透過し
た光を検出する受光素子でちる。最初にプリズム１内に
入射し面】ａで反射した後面１ｂに垂直に入射する光線
ａ、を考える。この光線ａがプリズム１内に入射した後
面１ａに入射する角度、即ち光線ａ。の面１ａへの入射
角、はθＣであるから、光線ａ。は面１ａで全反射する
。面１ａで全反射された光線ａ１は面１ｂに対して垂直
に入射し、面１ｂで反射された光線ａ２は光＠ａ１と同
じ径路をとって再び面１ａに入射角Ｏｃで入射して全反
射され、面１ａで全反射された光線ａ３は光線ａ。と同
じ径路をとってプリズム１の外へ出て再び光源へ戻る。
いて、１はプリズムで、面１ａ及び１ｂのなす角が該プ
リズムを構成するガラスの空気に対する臨界角に設定さ
れていると共に面１ｂは反射膜を施すことにより反射鏡
になっている。２及び３はプリズム１の面１ａを透過し
た光を検出する受光素子でちる。最初にプリズム１内に
入射し面】ａで反射した後面１ｂに垂直に入射する光線
ａ、を考える。この光線ａがプリズム１内に入射した後
面１ａに入射する角度、即ち光線ａ。の面１ａへの入射
角、はθＣであるから、光線ａ。は面１ａで全反射する
。面１ａで全反射された光線ａ１は面１ｂに対して垂直
に入射し、面１ｂで反射された光線ａ２は光＠ａ１と同
じ径路をとって再び面１ａに入射角Ｏｃで入射して全反
射され、面１ａで全反射された光線ａ３は光線ａ。と同
じ径路をとってプリズム１の外へ出て再び光源へ戻る。
従ってこの場合、光線ａ。も光線ａ２も面１ａで全反射
し全く透過しないので、受光素子２及び３には光が入射
せず、その検出値はゼロである。次に光線すを考えると
、この光線すがプリズム１内に入射しだ後面１ａに入射
する角度、即ち光線す。の面１ａへの入射角はθＣより
大きいので、光線す。は面１ａで全反射する。
し全く透過しないので、受光素子２及び３には光が入射
せず、その検出値はゼロである。次に光線すを考えると
、この光線すがプリズム１内に入射しだ後面１ａに入射
する角度、即ち光線す。の面１ａへの入射角はθＣより
大きいので、光線す。は面１ａで全反射する。
而１ａで全反射された光線ｂ□は面１ｂに対してほぼ垂
直に入射し、面１ｂで反射された光線ｂ２は再び面１ａ
に入射するが、このときの光線ｂ２の面１ａに対する入
射角はθＣより小さいので、光線ｂ２の一部が透過して
光線ｂ３′として受光素子３に入射して、面１ａで反射
された光線ｂ３はプリズム１の外へ出る。従ってこの場
合受光素子３のみが検出を行なう。また光線Ｃの場合に
は、この光線Ｃがプリズム】内に入射した後面１ａに入
射する角度、即ち光線Ｃ８の面１ａの入射角がθＣより
小さいだめ、光線Ｃ６は一部が光線Ｃ工′として“透過
して受光素子２に入射し、面１ａで反射された光線Ｃ１
は面゛１ｂ・で反射され光＠Ｃ２として再び面１ａに入
射するが、このときの光線Ｃ２の面１ａに対する入射角
はθＣより大きいので全反射され、面１ａで全反射され
た光線Ｃ３はプリズム１の外へ出る。従ってこの場合受
光素子２のみが検出を行なう。さらに何れの場合にも面
１ ａ、への入射角が臨界角θＣより小さい場合、入射
角が小さい程面１ａにおける透過率が犬きくなるので、
受光素子２及び３の検出値が大きい。
直に入射し、面１ｂで反射された光線ｂ２は再び面１ａ
に入射するが、このときの光線ｂ２の面１ａに対する入
射角はθＣより小さいので、光線ｂ２の一部が透過して
光線ｂ３′として受光素子３に入射して、面１ａで反射
された光線ｂ３はプリズム１の外へ出る。従ってこの場
合受光素子３のみが検出を行なう。また光線Ｃの場合に
は、この光線Ｃがプリズム】内に入射した後面１ａに入
射する角度、即ち光線Ｃ８の面１ａの入射角がθＣより
小さいだめ、光線Ｃ６は一部が光線Ｃ工′として“透過
して受光素子２に入射し、面１ａで反射された光線Ｃ１
は面゛１ｂ・で反射され光＠Ｃ２として再び面１ａに入
射するが、このときの光線Ｃ２の面１ａに対する入射角
はθＣより大きいので全反射され、面１ａで全反射され
た光線Ｃ３はプリズム１の外へ出る。従ってこの場合受
光素子２のみが検出を行なう。さらに何れの場合にも面
１ ａ、への入射角が臨界角θＣより小さい場合、入射
角が小さい程面１ａにおける透過率が犬きくなるので、
受光素子２及び３の検出値が大きい。
かくして受光素子２及び３の検出値が共にゼロの場ａに
のみ、入射光はンＣ軸に平行な平行ビームであることに
なる。
のみ、入射光はンＣ軸に平行な平行ビームであることに
なる。
次に、上述の原理を用いた本発明の詳細な説明する。第
３図及び第４図において、１０はプリズムで、これを構
成するガラスの臨界角付近の入射角の光線に対する反射
防止膜を施した面１０ａと反射膜を施すことにより反射
鏡になっている面１０ｂとを備えており、載面１０ａ及
び１０１）のなす角が該プリズム１０を構成するガラス
の空気に対する臨界角θＣに設定されている。１１及び
１２は面１ａからの透過光を検出する受光素子で、プリ
ズム１０に対して固定的に配設されている。１３は被検
光学系でレンズ１４を有している。１５は被検光学系１
３０基準面１３ａ、により所定の方向に被検光学系１３
を取付ける装着部、１６は装着部１５を基準面１３ａに
平行な面内で光軸Ｏの周りに回転可能に保持する固定部
材で、回転方位を読取るだめの目盛りを備えていると共
に被検光学系１３．装着部１５と一体的に光軸０に対し
て第４図紙面内で俯仰可能に構成されており、さらにこ
の俯仰角を読取るための目盛りを有している。
３図及び第４図において、１０はプリズムで、これを構
成するガラスの臨界角付近の入射角の光線に対する反射
防止膜を施した面１０ａと反射膜を施すことにより反射
鏡になっている面１０ｂとを備えており、載面１０ａ及
び１０１）のなす角が該プリズム１０を構成するガラス
の空気に対する臨界角θＣに設定されている。１１及び
１２は面１ａからの透過光を検出する受光素子で、プリ
ズム１０に対して固定的に配設されている。１３は被検
光学系でレンズ１４を有している。１５は被検光学系１
３０基準面１３ａ、により所定の方向に被検光学系１３
を取付ける装着部、１６は装着部１５を基準面１３ａに
平行な面内で光軸Ｏの周りに回転可能に保持する固定部
材で、回転方位を読取るだめの目盛りを備えていると共
に被検光学系１３．装着部１５と一体的に光軸０に対し
て第４図紙面内で俯仰可能に構成されており、さらにこ
の俯仰角を読取るための目盛りを有している。
１７は光軸０上で光軸方向に移動可能に配設された光源
である。尚、光源１７から出て光軸Ｏに沿つて進む光が
被検光学系１３のない場合プリズム１０に入射し面１０
ａに臨界角θＣなる入射角で入射して全反射せしめられ
面］、 Ｏｂに垂直に入射するように、各部材が配置さ
れている。１８は受光素子１１ど受光素子１２との感度
を同一レベルにするだめの補正回路で、入力に対し面１
０１）での反射率をかけた値に対応する信号を出力する
。１９は減算回路、２０は絶対値回路、２１はピーク検
出器、２２はモータ駆動回路、２３は伝動機構を介して
装着部１５を光軸０の周りに回動せしめるモータ、２４
は最小値検出回路、２５は俯仰角制御装置、２６は加算
回路、２７は最小値検出回路、２８はモ・−夕駆動回路
、２９は光源１７を光軸Ｏに沿って移動せしめるモータ
である。
である。尚、光源１７から出て光軸Ｏに沿つて進む光が
被検光学系１３のない場合プリズム１０に入射し面１０
ａに臨界角θＣなる入射角で入射して全反射せしめられ
面］、 Ｏｂに垂直に入射するように、各部材が配置さ
れている。１８は受光素子１１ど受光素子１２との感度
を同一レベルにするだめの補正回路で、入力に対し面１
０１）での反射率をかけた値に対応する信号を出力する
。１９は減算回路、２０は絶対値回路、２１はピーク検
出器、２２はモータ駆動回路、２３は伝動機構を介して
装着部１５を光軸０の周りに回動せしめるモータ、２４
は最小値検出回路、２５は俯仰角制御装置、２６は加算
回路、２７は最小値検出回路、２８はモ・−夕駆動回路
、２９は光源１７を光軸Ｏに沿って移動せしめるモータ
である。
本発明実施例は以上のように構成されているから、被検
光学系１３を装着部１５に取付けて光源１７をＯＮにす
れば、モータ２３が始動して被検光学系１３のし／ズ１
４が光軸０の周りに回動せしめられ、このとき光源１７
からの光はレンズ１４を介してプリズム１０に入射し、
光軸０に対して被検光学系１３のレンズ１４の光軸が傾
いているか光源１７がレンズ１４の焦点位置にないとき
即ちプリズム１０に入射する光が光軸０に平行な平行光
でない場合には前述の本発明原理に基づき受光素子１１
及び／または１２に光が入射するため、受光素子１１．
１２から信号が出力される。補正回路１８で補正された
受光素子１１からの出カニ。
光学系１３を装着部１５に取付けて光源１７をＯＮにす
れば、モータ２３が始動して被検光学系１３のし／ズ１
４が光軸０の周りに回動せしめられ、このとき光源１７
からの光はレンズ１４を介してプリズム１０に入射し、
光軸０に対して被検光学系１３のレンズ１４の光軸が傾
いているか光源１７がレンズ１４の焦点位置にないとき
即ちプリズム１０に入射する光が光軸０に平行な平行光
でない場合には前述の本発明原理に基づき受光素子１１
及び／または１２に光が入射するため、受光素子１１．
１２から信号が出力される。補正回路１８で補正された
受光素子１１からの出カニ。
と受光素子１２からの出力■２とは減算回路１９に人力
され、さらに絶対値回路２０でｌｒ□−工２１が演算さ
れる。ピーク検出器２１で１工１−Ｉ２１の最大値が検
出されるとモータ駆動回路２２に信号が出力されてモー
タ２３が停止せしめられる。かくして、プリズム１０へ
の入射ビームが傾いている場合面１０ａへの入射角はビ
ーム傾きの方位が第４図において紙面内にあるときに最
大または最小となるため受光素子１１及び１２の出力の
差即ちｌ Ｔｔ−１，１１ノー最大値をとることから、
ビームの傾き方位が第４図において紙面内に調整される
。次に、俯仰角制御装置２５を作動させて固定部材１６
をあおりレンズ１４を光軸０に対して俯仰させながら、
絶対値回路２０からの信号が人力されている最小値検出
回路２４により１工１−Ｉ２１の最小値を検出しこのと
き該俯仰角制御装置２５を停止せしめる。かくして、第
２図において面１ｂに垂直に入射する光線ａに対して互
いに逆方向に同じ角度だけ傾斜している光線す及びＣに
関して光線ｂ２の面１ａへの入射角と光線Ｃ６の面１ａ
への入射角が等しいので受光素子２及び３の出力の差が
０となることから、被検光学系１３のレンズ１４の光軸
が光軸Ｏと一致するように調整される。さらに、算回路
２６に人力して（工、 ＋ Ｉ２）を演算して、最小値
検出回路２７により（Ｉ＋ ＋ Ｉ２ ）の最小値を検
出してモータ駆動回路２８に信号を出力し、モータ２９
を停止せしめる。かくして光源１７がレンズ１４の焦点
位置に位置せしめられ、光源１７かう出７’ｃ 光はレ
ンズ】４により光軸０に平行す平行光となってプリズム
１０に入射する。
され、さらに絶対値回路２０でｌｒ□−工２１が演算さ
れる。ピーク検出器２１で１工１−Ｉ２１の最大値が検
出されるとモータ駆動回路２２に信号が出力されてモー
タ２３が停止せしめられる。かくして、プリズム１０へ
の入射ビームが傾いている場合面１０ａへの入射角はビ
ーム傾きの方位が第４図において紙面内にあるときに最
大または最小となるため受光素子１１及び１２の出力の
差即ちｌ Ｔｔ−１，１１ノー最大値をとることから、
ビームの傾き方位が第４図において紙面内に調整される
。次に、俯仰角制御装置２５を作動させて固定部材１６
をあおりレンズ１４を光軸０に対して俯仰させながら、
絶対値回路２０からの信号が人力されている最小値検出
回路２４により１工１−Ｉ２１の最小値を検出しこのと
き該俯仰角制御装置２５を停止せしめる。かくして、第
２図において面１ｂに垂直に入射する光線ａに対して互
いに逆方向に同じ角度だけ傾斜している光線す及びＣに
関して光線ｂ２の面１ａへの入射角と光線Ｃ６の面１ａ
への入射角が等しいので受光素子２及び３の出力の差が
０となることから、被検光学系１３のレンズ１４の光軸
が光軸Ｏと一致するように調整される。さらに、算回路
２６に人力して（工、 ＋ Ｉ２）を演算して、最小値
検出回路２７により（Ｉ＋ ＋ Ｉ２ ）の最小値を検
出してモータ駆動回路２８に信号を出力し、モータ２９
を停止せしめる。かくして光源１７がレンズ１４の焦点
位置に位置せしめられ、光源１７かう出７’ｃ 光はレ
ンズ】４により光軸０に平行す平行光となってプリズム
１０に入射する。
第５図には本発明による第二の実施例が示されており、
第３図に示した実施例と同じ構成要素には同じ符号を付
してその説明を省略すれば、３０はプリズムで、面３０
ａ及び３０ｂのなす角はプリズム１０を構成するガラス
の空気に対する臨界角である必要はなく、例えば直角プ
リズムでもよい。３１は反射鏡で、光源から面３０ａに
対して該プリズム３０を構成するガラスの空気に対する
臨界角にはソ等しい入射角で入射した光が面３０ａで全
反射された後肢反射ｉ３１に垂直に入射するように調整
可能に配置されている。３２は例えば偏光ビームスプリ
ッタと１／４波長板の組合せから成る光アイソレータで
光源への戻り光を遮断すると共に例えば光源が半導体レ
ーザーの場合にノイズを低減させるために役）γつ。
第３図に示した実施例と同じ構成要素には同じ符号を付
してその説明を省略すれば、３０はプリズムで、面３０
ａ及び３０ｂのなす角はプリズム１０を構成するガラス
の空気に対する臨界角である必要はなく、例えば直角プ
リズムでもよい。３１は反射鏡で、光源から面３０ａに
対して該プリズム３０を構成するガラスの空気に対する
臨界角にはソ等しい入射角で入射した光が面３０ａで全
反射された後肢反射ｉ３１に垂直に入射するように調整
可能に配置されている。３２は例えば偏光ビームスプリ
ッタと１／４波長板の組合せから成る光アイソレータで
光源への戻り光を遮断すると共に例えば光源が半導体レ
ーザーの場合にノイズを低減させるために役）γつ。
この第二の実施例によれば、その作用は第３図に示した
実施例と同様であり、プリズム３０の面３０ａと３０ｂ
のなす角を臨界角に仕上げる代りに反射鏡３１を調整す
ることにより同様の作用を得るようにしである。
実施例と同様であり、プリズム３０の面３０ａと３０ｂ
のなす角を臨界角に仕上げる代りに反射鏡３１を調整す
ることにより同様の作用を得るようにしである。
以上述べたように本発明によれば、プリズムの臨界角を
利用して平行光学系のビームの平行度及び光軸の傾きを
極めて容易且つ高精度で検出し且つ調整することができ
るので、非常に効果的である。さらに第二の実施例の場
合には戻り光が光アイソレータ３２により光源１７に戻
らないようにしであるので、半導体レーザーのように戻
り光が出力に影響を与えるような場合には極めて有効で
ある。
利用して平行光学系のビームの平行度及び光軸の傾きを
極めて容易且つ高精度で検出し且つ調整することができ
るので、非常に効果的である。さらに第二の実施例の場
合には戻り光が光アイソレータ３２により光源１７に戻
らないようにしであるので、半導体レーザーのように戻
り光が出力に影響を与えるような場合には極めて有効で
ある。
尚、以」二の説明では、調整の操作をモータにより行な
っているが、受光素子の出力を観察しながら手動により
各調整操作を行なってもよく、特に振動によって悪影響
が生じやすい場合には手動による調整が好ましい。また
受光妻子は、一つを分割して使用するようにすれば一個
でもよい。さらに第二の実施例においては而３０ａに反
射防止膜を施していないが、特に高精度を要しない場合
には実用上十分である。
っているが、受光素子の出力を観察しながら手動により
各調整操作を行なってもよく、特に振動によって悪影響
が生じやすい場合には手動による調整が好ましい。また
受光妻子は、一つを分割して使用するようにすれば一個
でもよい。さらに第二の実施例においては而３０ａに反
射防止膜を施していないが、特に高精度を要しない場合
には実用上十分である。
また、本発明装置により光軸合せを行なった後、被検光
学系を取付けるべき他の装置の光軸を光軸Ｏと予め一致
させておいて、被検光学系を該装置に取Ｎけると、非常
に高精度に光軸合せしだ状態で被検光学系を組込むこと
が可能となる。
学系を取付けるべき他の装置の光軸を光軸Ｏと予め一致
させておいて、被検光学系を該装置に取Ｎけると、非常
に高精度に光軸合せしだ状態で被検光学系を組込むこと
が可能となる。
第１図は入射光の平ｒテ度とレンズによる結像状態を示
す説明図、第２図は本発明の原理を示す説明図、第３図
及び第４図は本発明による第一の実施例を示す概略図、
第５図は本発明による第二の実施例を示す図である。 １．１０，３０・・・・プリズム、２，３，１１゜１２
・・・・受光素子、１３・・・・被検光学系、１４・・
・・レンズ、１５・・・・装着部、１６・・・・固定部
材、１７・・・・光源、１８・・・・補正装置、１９・
・・・減算回路、２０・・・・絶対値回路、２１・・・
・ピーク検出器、２２，２８・・・・モータ駆動回路、
２３，２９・・・・モータ、２４，２７・・・・最小値
検出回路、２５・・・・俯仰角制御装置、２６・・・・
加算回路、３１□・・・・反射鏡、３２・・・・光アイ
ソレータ。 代理人 篠原泰司 １１図 （Ａ） （Ｂ）→ゴ （Ｃ） （Ｄ）第３図 一 第４図 ２６ ２７ ２８ 第５図 手続補正書（自発） （３５００円） 昭和５７年１２月２
４日特許庁長 官 殿 １、事件の表示 特願昭５７−１９３０６７号 公昭 −号 ２、発明の名称 光学系の調整装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人東
京都渋谷区幡ケ谷２の４３の２ 代表取締役 北 村 茂 男 ４、代 理 人 〒１０５東京都港区新橋５の１９ 電話東京（４３２） ４ ５ ７ ６ （６５８２）弁理士篠原泰司 ５、補正により増加する発明の数 ６、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄及び発明の詳細な説明の欄
。 ７、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙添付の通シ訂正する。 （２） 明細書第２頁２０行目の「二つの量ｚ 、
’ｈ Ｊを「二つの量Ｚ 、 ｈ」と訂正する。 （３）明細書簡６頁８行目の１而１ａＪを「面１０ａ」
と訂正する。 （４）明細書第７頁６行目の「するだめの」を「する即
ち光源からの光が各受光素子１１゜１２に達するまでの
反射率の差を補正するだめの」と訂正する。 （５）明細書第１１頁８行目の１ある。」の次に下記文
章を挿入する。 「ここで、全反射面（面１ａ、１０ａ、３０ａ）はプリ
ズムの一面である必要はなく、単にガラス板等の透明板
であってもよい。」（６） 明細書第１１頁１４行目
の「でもよい。」を「でもよく、他の光電変換装置でも
差し支えない。」と訂正する。 特許請求の範囲 （１）光軸上に配設された光源と、該光軸に沿って該光
源から出た光が臨界角で入射するように該光軸に対して
斜設された反射屈折面と、該反射屈折面で全反射した前
記光軸に沿う光が垂直に入射するように配設された反射
面と、前記反射屈折面を直接透過した光と該反射屈折面
で全反射されさらに前記反射面で反射された後肢反射屈
折面を透過する光とを個々に検出し得るように該反射屈
折面の後方に配設された光電変換装置と、前記光源と反
射屈折面との間に被検光学系を保持する保持機構とを備
えていることを特徴とする、光学系の調整装置。 （２）光軸上に配設された光源と、該光軸に沿って該光
源から出た光が臨界角で入射するように該光軸に対して
斜設された反射屈折面と、該反射屈折面で全反射した前
記光軸に沿う光が垂直に入射するように配設された反射
面と、前記反射屈折面を直接透過した光と該反射屈折面
で全反射されさらに前記反射面で反射された後肢反射屈
折面を透過する光とを個々に検出し得るように該反射屈
折面の後方に配設された光電変換装置と、前記光源と反
射屈折面との間に被検光学系を光軸の周シに調整可能に
且つ光軸に対して俯仰方向に調整可能に保持する保持機
構と、前記光電変換装置の二つの入射光に対する出力の
差の最大値を検出する装置と、該出力の和の最小値を検
出する装置とを備えていて、被検光学系の光軸のずれを
検出し得るようにしたことを特徴とする、光学系の調整
装置。 （３）光電変換装置の二つの入射光に対する出力の差の
最小値を検出する装置を備えていて、被検光学系の光軸
のずれ及び焦点位置を検出し得るようにしたことを特徴
とする特許請求の範囲（２）にｉｉ−載の光学系の調整
装置。
す説明図、第２図は本発明の原理を示す説明図、第３図
及び第４図は本発明による第一の実施例を示す概略図、
第５図は本発明による第二の実施例を示す図である。 １．１０，３０・・・・プリズム、２，３，１１゜１２
・・・・受光素子、１３・・・・被検光学系、１４・・
・・レンズ、１５・・・・装着部、１６・・・・固定部
材、１７・・・・光源、１８・・・・補正装置、１９・
・・・減算回路、２０・・・・絶対値回路、２１・・・
・ピーク検出器、２２，２８・・・・モータ駆動回路、
２３，２９・・・・モータ、２４，２７・・・・最小値
検出回路、２５・・・・俯仰角制御装置、２６・・・・
加算回路、３１□・・・・反射鏡、３２・・・・光アイ
ソレータ。 代理人 篠原泰司 １１図 （Ａ） （Ｂ）→ゴ （Ｃ） （Ｄ）第３図 一 第４図 ２６ ２７ ２８ 第５図 手続補正書（自発） （３５００円） 昭和５７年１２月２
４日特許庁長 官 殿 １、事件の表示 特願昭５７−１９３０６７号 公昭 −号 ２、発明の名称 光学系の調整装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人東
京都渋谷区幡ケ谷２の４３の２ 代表取締役 北 村 茂 男 ４、代 理 人 〒１０５東京都港区新橋５の１９ 電話東京（４３２） ４ ５ ７ ６ （６５８２）弁理士篠原泰司 ５、補正により増加する発明の数 ６、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄及び発明の詳細な説明の欄
。 ７、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙添付の通シ訂正する。 （２） 明細書第２頁２０行目の「二つの量ｚ 、
’ｈ Ｊを「二つの量Ｚ 、 ｈ」と訂正する。 （３）明細書簡６頁８行目の１而１ａＪを「面１０ａ」
と訂正する。 （４）明細書第７頁６行目の「するだめの」を「する即
ち光源からの光が各受光素子１１゜１２に達するまでの
反射率の差を補正するだめの」と訂正する。 （５）明細書第１１頁８行目の１ある。」の次に下記文
章を挿入する。 「ここで、全反射面（面１ａ、１０ａ、３０ａ）はプリ
ズムの一面である必要はなく、単にガラス板等の透明板
であってもよい。」（６） 明細書第１１頁１４行目
の「でもよい。」を「でもよく、他の光電変換装置でも
差し支えない。」と訂正する。 特許請求の範囲 （１）光軸上に配設された光源と、該光軸に沿って該光
源から出た光が臨界角で入射するように該光軸に対して
斜設された反射屈折面と、該反射屈折面で全反射した前
記光軸に沿う光が垂直に入射するように配設された反射
面と、前記反射屈折面を直接透過した光と該反射屈折面
で全反射されさらに前記反射面で反射された後肢反射屈
折面を透過する光とを個々に検出し得るように該反射屈
折面の後方に配設された光電変換装置と、前記光源と反
射屈折面との間に被検光学系を保持する保持機構とを備
えていることを特徴とする、光学系の調整装置。 （２）光軸上に配設された光源と、該光軸に沿って該光
源から出た光が臨界角で入射するように該光軸に対して
斜設された反射屈折面と、該反射屈折面で全反射した前
記光軸に沿う光が垂直に入射するように配設された反射
面と、前記反射屈折面を直接透過した光と該反射屈折面
で全反射されさらに前記反射面で反射された後肢反射屈
折面を透過する光とを個々に検出し得るように該反射屈
折面の後方に配設された光電変換装置と、前記光源と反
射屈折面との間に被検光学系を光軸の周シに調整可能に
且つ光軸に対して俯仰方向に調整可能に保持する保持機
構と、前記光電変換装置の二つの入射光に対する出力の
差の最大値を検出する装置と、該出力の和の最小値を検
出する装置とを備えていて、被検光学系の光軸のずれを
検出し得るようにしたことを特徴とする、光学系の調整
装置。 （３）光電変換装置の二つの入射光に対する出力の差の
最小値を検出する装置を備えていて、被検光学系の光軸
のずれ及び焦点位置を検出し得るようにしたことを特徴
とする特許請求の範囲（２）にｉｉ−載の光学系の調整
装置。
Claims (1)
- 光軸上に配設された光源と、該光軸に沿って光源から出
た光がプリズム内に透過した後読プリズムを構成するガ
ラスの臨界角で入射して全反射せしめられるように配置
された面を有するプリズムと、プリズムの前記面で全反
射された光が垂直に入射するように該プリズムの他の一
つの面として構成された捷たはプリズムの外部に配設さ
れた反射鏡と、プリズムの前記面を直接透過した光と該
面で全反射されさらに反射鏡で反射されだ後読面を透過
する光とを個々に検出し得るように該面の後方に配設さ
れた受光素子と、プリズムと光源の間に被検光学系を光
軸の周りに調整可能に且つ光軸に対して俯仰方向に調整
可能に保持する保持機構とを備えていて、受光素子の二
つの入射光に対する出力を比較して被検光学系の光軸の
ずれ及び焦点位置を検出し得るようにした、光学系の調
整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19306782A JPS5983116A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学系の調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19306782A JPS5983116A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学系の調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983116A true JPS5983116A (ja) | 1984-05-14 |
| JPS632087B2 JPS632087B2 (ja) | 1988-01-16 |
Family
ID=16301649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19306782A Granted JPS5983116A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学系の調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983116A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355145U (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-13 | ||
| CN104296654A (zh) * | 2014-09-26 | 2015-01-21 | 中国科学院光电研究院 | 激光跟踪仪位置探测器零位安装误差的检测装置和方法 |
| CN117073586A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-17 | 青岛迈朗格智能制造有限公司 | 一种同轴双轴转台机械轴平行度检测装置及方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884626A (ja) * | 1972-02-08 | 1973-11-10 | ||
| JPS567246A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | Method and unit for focus detection |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP19306782A patent/JPS5983116A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS4884626A (ja) * | 1972-02-08 | 1973-11-10 | ||
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| JPS6355145U (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-13 | ||
| JPH0512753Y2 (ja) * | 1986-09-30 | 1993-04-02 | ||
| CN104296654A (zh) * | 2014-09-26 | 2015-01-21 | 中国科学院光电研究院 | 激光跟踪仪位置探测器零位安装误差的检测装置和方法 |
| CN117073586A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-17 | 青岛迈朗格智能制造有限公司 | 一种同轴双轴转台机械轴平行度检测装置及方法 |
| CN117073586B (zh) * | 2023-10-17 | 2024-01-09 | 青岛迈朗格智能制造有限公司 | 一种同轴双轴转台机械轴平行度检测装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632087B2 (ja) | 1988-01-16 |
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