JPS5979802A - 隙間の動的変化の測定装置 - Google Patents
隙間の動的変化の測定装置Info
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- JPS5979802A JPS5979802A JP18903282A JP18903282A JPS5979802A JP S5979802 A JPS5979802 A JP S5979802A JP 18903282 A JP18903282 A JP 18903282A JP 18903282 A JP18903282 A JP 18903282A JP S5979802 A JPS5979802 A JP S5979802A
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は２つの部材間、例えば磁気ディスク装置のディ
スクとヘッド間の隙間の動的変化を光学的に測定する装
置に関するものである。
スクとヘッド間の隙間の動的変化を光学的に測定する装
置に関するものである。
従来の光干渉を利用した微小隙間の測定方法の原理を用
いて、磁気ディスク装置のディスクとヘッド間の微小隙
間を測定する場合を第１図について説明する。
いて、磁気ディスク装置のディスクとヘッド間の微小隙
間を測定する場合を第１図について説明する。
第１図において、１は波長λの直線偏光されたレーザビ
ームを発するレーザ発振器、２はそのレーザ光（入射光
）Ｂｏの振動面を調節する↓波長板、３は入射光Ｂｏを
透過光と反射光に分割するビームスプリッタ、４は入射
光を、その振動面の方向に応じて、透過光と反射光に分
ける偏光ビームスプリッタ、５〜７は１波長板、８，９
は鏡面１０．１１を変位させて光路長を調節する調節器
、例えば電わい素子で、一方の電わい素子８は検出され
る干渉光強度に応じて鏡面１０を変位させることによシ
、フィードバック制御用として使用され、他方の電わい
素子９は鏡面１１を後述する高周波発振器からの出力信
号で変位させる搬送波用として使用される。１２は偏光
板、１３は干渉光をその強度に比例した電気信号に変換
する光検出器である。
ームを発するレーザ発振器、２はそのレーザ光（入射光
）Ｂｏの振動面を調節する↓波長板、３は入射光Ｂｏを
透過光と反射光に分割するビームスプリッタ、４は入射
光を、その振動面の方向に応じて、透過光と反射光に分
ける偏光ビームスプリッタ、５〜７は１波長板、８，９
は鏡面１０．１１を変位させて光路長を調節する調節器
、例えば電わい素子で、一方の電わい素子８は検出され
る干渉光強度に応じて鏡面１０を変位させることによシ
、フィードバック制御用として使用され、他方の電わい
素子９は鏡面１１を後述する高周波発振器からの出力信
号で変位させる搬送波用として使用される。１２は偏光
板、１３は干渉光をその強度に比例した電気信号に変換
する光検出器である。
１４．１５は対設された被測定物、すなわち不透明な実
物ディスクおよび実物ヘッドで、とのへラド１５には、
その中心部に小孔１５ａが設けられ、かつディスク１４
と対向する面に前記１波長板７が取付けられている。１
６は前記電わい素子８．９のフィードバック制御系で、
この制御系１６は高周波発振器１７、増幅器１８〜２０
、バントハスフィルタ２１、バンドパスフィルタ２１の
出力信号を高周波発振器１７の出力電圧を参照信号とし
て同期検波する同期検波回路２２およびローパスフィル
タ２３Ｖｃよシ構成されている。
物ディスクおよび実物ヘッドで、とのへラド１５には、
その中心部に小孔１５ａが設けられ、かつディスク１４
と対向する面に前記１波長板７が取付けられている。１
６は前記電わい素子８．９のフィードバック制御系で、
この制御系１６は高周波発振器１７、増幅器１８〜２０
、バントハスフィルタ２１、バンドパスフィルタ２１の
出力信号を高周波発振器１７の出力電圧を参照信号とし
て同期検波する同期検波回路２２およびローパスフィル
タ２３Ｖｃよシ構成されている。
上記の測定装置では、レーザ発振器１から発振された光
ＢＯは１波長板２を透過し、ビームスプリッタ３で反射
された後、ヘッド１５の小孔１５ａから１波長板７に入
射する。この入射光Ｂｏの一部は１波長板７の表面で反
射し、残部は１波長板４
４７を通過した後、ディスク
１４の表面で反射し再び１波長板７に入射する。以降は
前者の光’ｃ Ｂ １、後者の光をＢ２と呼ぶことにす
る。
ＢＯは１波長板２を透過し、ビームスプリッタ３で反射
された後、ヘッド１５の小孔１５ａから１波長板７に入
射する。この入射光Ｂｏの一部は１波長板７の表面で反
射し、残部は１波長板４
４７を通過した後、ディスク
１４の表面で反射し再び１波長板７に入射する。以降は
前者の光’ｃ Ｂ １、後者の光をＢ２と呼ぶことにす
る。
前者の光Ｂｌの振動面は紙面に対して垂直であるので、
光Ｂ１は偏光ビームスプリンタ４で反射され、ついで１
波長板５を透過した後に鏡面１０で反射され、再び１波
長板５を経て偏光ビームスプリンタ４に入射する。この
入射光Ｂ１は１波長板５を一往復し、その振動面が紙面
に対して平行となっているから、偏光ビームスプリッタ
４を透過して偏光板１２に入射する。
光Ｂ１は偏光ビームスプリンタ４で反射され、ついで１
波長板５を透過した後に鏡面１０で反射され、再び１波
長板５を経て偏光ビームスプリンタ４に入射する。この
入射光Ｂ１は１波長板５を一往復し、その振動面が紙面
に対して平行となっているから、偏光ビームスプリッタ
４を透過して偏光板１２に入射する。
一方、後者の光Ｂ２の振動面は紙面に対して平行である
ので、光Ｂ２は偏光ビームスプリッタ４１ を透過し、ついで−波長板６、鏡面１１．１波長板６お
よび偏光ビームスプリッタ４を経て偏光板１２に入射す
る。このように偏光板１２に入射した２つの光Ｂｌ、Ｂ
１１は、振動面の方向が９０度異なっているから干渉し
ないが、偏光板１２により透過軸方向の成分だけを透過
させると干渉を生する。
ので、光Ｂ２は偏光ビームスプリッタ４１ を透過し、ついで−波長板６、鏡面１１．１波長板６お
よび偏光ビームスプリッタ４を経て偏光板１２に入射す
る。このように偏光板１２に入射した２つの光Ｂｌ、Ｂ
１１は、振動面の方向が９０度異なっているから干渉し
ないが、偏光板１２により透過軸方向の成分だけを透過
させると干渉を生する。
この干渉光の強度は、干渉する２つの光Ｂｌ 。
Ｂ２の光路差に関連するが、鏡面１０．１１を偏光ビー
ムスプリンタ４から等距離の位置に配置しておけば、前
記光路差は被測定量であるヘッド１５に取付けた１波長
板７とディスク１４との間の隙間の２倍となる。この隙
間に応じた干渉光の強度は光検出器１３で電気信号に交
換され、ついで増幅器１９およびバンドパスフィルタ２
１を経て同期検波回路２２に入力する。この入力した電
気信号は同期検波回路２２において、電わい素子９に印
加された高周波発振器１７の出力電圧を参照信号として
同期検波された後、ローパスフィルタ２３および増幅器
２０を経て電わい素子８にフィードバックされる。
ムスプリンタ４から等距離の位置に配置しておけば、前
記光路差は被測定量であるヘッド１５に取付けた１波長
板７とディスク１４との間の隙間の２倍となる。この隙
間に応じた干渉光の強度は光検出器１３で電気信号に交
換され、ついで増幅器１９およびバンドパスフィルタ２
１を経て同期検波回路２２に入力する。この入力した電
気信号は同期検波回路２２において、電わい素子９に印
加された高周波発振器１７の出力電圧を参照信号として
同期検波された後、ローパスフィルタ２３および増幅器
２０を経て電わい素子８にフィードバックされる。
この場合、前記隙間の変化によシ光路差が変化しても、
その変化分に相当するだけ鏡面１０も変位し１光学系全
体としての光路差が常に一定になるように装置は動作す
る。したがって電わい素子８に印加する電圧と鏡面１０
の変位量の関係を予め校正しておけば、電わい素子８の
印加電圧から隙間の変化量を測定できる。
その変化分に相当するだけ鏡面１０も変位し１光学系全
体としての光路差が常に一定になるように装置は動作す
る。したがって電わい素子８に印加する電圧と鏡面１０
の変位量の関係を予め校正しておけば、電わい素子８の
印加電圧から隙間の変化量を測定できる。
ところが、一般に電わい素子の印加電圧と、その変位量
はヒステリシスのため１対１に対応しないので、電わい
素子の変位量を印加電圧から間接的に求めている。この
ためヒステリシスによる誤差によシ測定精度が低下し、
まだ電わい素子の変位量が増加するに伴って、前記誤差
も増加するので、精度を高めるには測定範囲を狭くする
ことを必要とする欠点がある。
はヒステリシスのため１対１に対応しないので、電わい
素子の変位量を印加電圧から間接的に求めている。この
ためヒステリシスによる誤差によシ測定精度が低下し、
まだ電わい素子の変位量が増加するに伴って、前記誤差
も増加するので、精度を高めるには測定範囲を狭くする
ことを必要とする欠点がある。
本発明は上記にかんがみフィードバック用素子に存在す
るヒステリシスに基因する測定誤差を排除し、２つの部
材間の微小隙間の動的変化を高精度に、かつ広範囲に測
定する装置を提供することを目的とするものである。
るヒステリシスに基因する測定誤差を排除し、２つの部
材間の微小隙間の動的変化を高精度に、かつ広範囲に測
定する装置を提供することを目的とするものである。
本発明は上記目的を達成するために、２つの部材からの
反射光の光路長差を調節する電わい素子に、前記部材間
の隙間の変化に対応する信号で変調した高周波電圧を印
加し、その振幅を変化させて光路長差を制御することに
ょシ、前記型わい素子のヒステリシスの影響を除いて、
前記部材間の隙間の変化を高精度で測定することができ
るようにしたものである。
反射光の光路長差を調節する電わい素子に、前記部材間
の隙間の変化に対応する信号で変調した高周波電圧を印
加し、その振幅を変化させて光路長差を制御することに
ょシ、前記型わい素子のヒステリシスの影響を除いて、
前記部材間の隙間の変化を高精度で測定することができ
るようにしたものである。
以下本発明の実施例を図面について説明する。
第２図および第４図に示す符号のうち、第１図と同一符
号は同一または該当する部分を示すものとする。
号は同一または該当する部分を示すものとする。
第２図において、２４は周波数てい倍回路で、搬送波用
高周波発振器１７の出力信号の２倍の周波数の信号を発
生する。２５は周波数てい倍回路２４の出力信号をロー
パスフィルタ２３の出力信号で振幅変調する変調回路、
２６は周波数てい倍回路２４の出力信号に同期して、バ
ンドパスフィルタ２１の出力信号をサンプリングするサ
ンプリング回路である。これらの機器２４〜２６は高周
波発振器１７、増幅器１８〜２０、バンドパスフィルタ
２１、同期検波回路２２およびローパスフィルタ２３と
共にフィードバック制御系１６Ａを構成している。その
他の構成は第１図に示す従来例と同一であるから説明を
省略する。
高周波発振器１７の出力信号の２倍の周波数の信号を発
生する。２５は周波数てい倍回路２４の出力信号をロー
パスフィルタ２３の出力信号で振幅変調する変調回路、
２６は周波数てい倍回路２４の出力信号に同期して、バ
ンドパスフィルタ２１の出力信号をサンプリングするサ
ンプリング回路である。これらの機器２４〜２６は高周
波発振器１７、増幅器１８〜２０、バンドパスフィルタ
２１、同期検波回路２２およびローパスフィルタ２３と
共にフィードバック制御系１６Ａを構成している。その
他の構成は第１図に示す従来例と同一であるから説明を
省略する。
次に上記のような構成からなる本実施例の作用について
説明する。
説明する。
レーザ発振器１から発振された光Ｂｏは第１図の従来例
と同様な光路を経て偏光板１２を通過して干渉を起すが
、この干渉光の強度はディスク１４の表面とヘッド１５
に取付けた１波長板７の表面との間の隙間に関連してい
る。その干渉光を光検出器１３によシミ気信号に変換し
、ついで増幅器１９を介して増幅した後にバンドパスフ
ィルタ２１に入力される。このバンドパスフィルタ２１
からの出力信号は、周波数てい倍回路２４の出力信号で
タイミングをとって、サンプリング回路２６により搬送
波周波数の２倍の周期でサンプリングされる。このサン
プリング回路２６の出力信号は、電匂い素子９に印加さ
れた高周波電圧を参照信号として同期検波回路２２で同
期検波されり後、ローパスフィルタ２３に入力してスペ
ーシング変化に対応する信号（以下スペーシング信号と
称す）となシ、このスペーシング信号は変調回路２５の
変調波の入力端子２５ａに入力する。
と同様な光路を経て偏光板１２を通過して干渉を起すが
、この干渉光の強度はディスク１４の表面とヘッド１５
に取付けた１波長板７の表面との間の隙間に関連してい
る。その干渉光を光検出器１３によシミ気信号に変換し
、ついで増幅器１９を介して増幅した後にバンドパスフ
ィルタ２１に入力される。このバンドパスフィルタ２１
からの出力信号は、周波数てい倍回路２４の出力信号で
タイミングをとって、サンプリング回路２６により搬送
波周波数の２倍の周期でサンプリングされる。このサン
プリング回路２６の出力信号は、電匂い素子９に印加さ
れた高周波電圧を参照信号として同期検波回路２２で同
期検波されり後、ローパスフィルタ２３に入力してスペ
ーシング変化に対応する信号（以下スペーシング信号と
称す）となシ、このスペーシング信号は変調回路２５の
変調波の入力端子２５ａに入力する。
一方、搬送波用高周波発振器１７の出力信号は、周波数
てい倍回路２４に入力し、ここで搬送波の２倍の周波数
の信号（以下第２搬送波信号と称す）が発生し、この第
２搬送波信号は変調回路２５の被変調波の入力端子２５
ｂに入力する。そして、その変調回路２５から出力され
る出力信号は、上記第２搬送波信号がスペーシング信号
で変調されたものである。なお上記周波てい倍回路２４
の出力の一部は、サンプリング回路２６に入力してタイ
ミング用として使用される。
てい倍回路２４に入力し、ここで搬送波の２倍の周波数
の信号（以下第２搬送波信号と称す）が発生し、この第
２搬送波信号は変調回路２５の被変調波の入力端子２５
ｂに入力する。そして、その変調回路２５から出力され
る出力信号は、上記第２搬送波信号がスペーシング信号
で変調されたものである。なお上記周波てい倍回路２４
の出力の一部は、サンプリング回路２６に入力してタイ
ミング用として使用される。
第３図は電わい素子に高周波電圧を印加したときの印加
電圧Ｅと、その電わい素子の変位量Ｘとの関係を示した
ものである。すなわち電わい素子のヒステリシス特性の
ため、印加電圧と変位量との関係は１対１に対応しない
。例えば印加高周波電圧の振幅がＥｌのときには、Ａｌ
−＋Ｂｌ→Ｃ１→Ｄ１→Ａ１のループを画くが、振幅が
Ｅ２＋Ｅ３のときには、Ａ２→Ｂ２→Ｃ２→Ｄ２→Ａ２
およびＡ３→Ｂ３→Ｃ３→Ｄ３→Ａ３のループをそれぞ
れ画く。これ上り印加電圧Ｅが極太値であるときの電わ
い素子の変位に注目すると、印加電圧Ｅおよび電わい素
子の変位’ｆｘｘは第３１図の破線で示すように１対１
に対応することが判る。
電圧Ｅと、その電わい素子の変位量Ｘとの関係を示した
ものである。すなわち電わい素子のヒステリシス特性の
ため、印加電圧と変位量との関係は１対１に対応しない
。例えば印加高周波電圧の振幅がＥｌのときには、Ａｌ
−＋Ｂｌ→Ｃ１→Ｄ１→Ａ１のループを画くが、振幅が
Ｅ２＋Ｅ３のときには、Ａ２→Ｂ２→Ｃ２→Ｄ２→Ａ２
およびＡ３→Ｂ３→Ｃ３→Ｄ３→Ａ３のループをそれぞ
れ画く。これ上り印加電圧Ｅが極太値であるときの電わ
い素子の変位に注目すると、印加電圧Ｅおよび電わい素
子の変位’ｆｘｘは第３１図の破線で示すように１対１
に対応することが判る。
したがって、変調回路２５の出力を増幅して電わい素子
８に印加し、電わい素子８の印加電圧が極大値である時
刻とサンプリングの時刻を一致させれば、サンプリング
の時刻ではスペーシング変化により発生する光路差を補
償するだけ鏡面１０が変位する。そこで、予め電わい素
子８について第３図に示すように印加電圧と変位量の関
係を校正しておけば、印加電圧Ｅの極大値を測定するこ
とにより、スペーシングの変化を求めることができる。
８に印加し、電わい素子８の印加電圧が極大値である時
刻とサンプリングの時刻を一致させれば、サンプリング
の時刻ではスペーシング変化により発生する光路差を補
償するだけ鏡面１０が変位する。そこで、予め電わい素
子８について第３図に示すように印加電圧と変位量の関
係を校正しておけば、印加電圧Ｅの極大値を測定するこ
とにより、スペーシングの変化を求めることができる。
本実施例では、印加電圧の最大値はローパスフィルタ２
３の出力電圧すなわちスペーシング信号に比例している
ので、このスペーシング信号全測定することによシ、デ
ィス？１４とヘッド１５との間の隙間の動的変化を測定
することができる。
３の出力電圧すなわちスペーシング信号に比例している
ので、このスペーシング信号全測定することによシ、デ
ィス？１４とヘッド１５との間の隙間の動的変化を測定
することができる。
第４図は本発明の他の実施例を示すもので、フィードバ
ック制御系１６Ｂを、搬送波用高周波発振器１７、増幅
器２０、ローパスフィルタ２３、変調回路２５、サンプ
リング回路２６および差動増幅器３０によシ構成し、ま
た偏光ビームスプリン−４に偏光ビームスプリッタ２７
を対設させると共に１ この偏光ビームスプリンタ２７
に光検出器２８，２９を対設させ、との両光検出器２８
゜２９からの電気信号を前記差動増幅器３０に入力する
ように構成した点が、第２図に示す実施例と異なシ、そ
の他の構成は同一であるから説明を省略する。
ック制御系１６Ｂを、搬送波用高周波発振器１７、増幅
器２０、ローパスフィルタ２３、変調回路２５、サンプ
リング回路２６および差動増幅器３０によシ構成し、ま
た偏光ビームスプリン−４に偏光ビームスプリッタ２７
を対設させると共に１ この偏光ビームスプリンタ２７
に光検出器２８，２９を対設させ、との両光検出器２８
゜２９からの電気信号を前記差動増幅器３０に入力する
ように構成した点が、第２図に示す実施例と異なシ、そ
の他の構成は同一であるから説明を省略する。
上記のような構成からなる本実施例では、偏光ビームス
プリッタ２７によシ、ヘッド１５に取付けた÷波長板７
からの反射光Ｂ１およびディスク１４からの反射光Ｂ、
は、その一部が透過および反射されて、互いに明暗が逆
の干渉波を発生する。
プリッタ２７によシ、ヘッド１５に取付けた÷波長板７
からの反射光Ｂ１およびディスク１４からの反射光Ｂ、
は、その一部が透過および反射されて、互いに明暗が逆
の干渉波を発生する。
これらの干渉波は光検出器２８．２９で電気信号に変換
された後、差動増幅器３０で増幅されて干渉信号の直流
分は除去される。
された後、差動増幅器３０で増幅されて干渉信号の直流
分は除去される。
°上記差動増幅器３０の出力信号は搬送波用発振器１７
の出力信号でタイミングをとって、サンプリング回路２
６によプリンプリングされた後、ローパスフィルタ２３
を経て変調回路２５に印加され、前記搬送用発振器１７
の出力信号を振幅変調する。前記変調回路２５の出力信
号を増幅して電わい素子８に印加すれば、ディスク１４
とヘッド１５の間の隙間の動的変化を、前記実施例（第
２図）と同様にローパスフィルタ２３の出力電圧から求
めることができる。
の出力信号でタイミングをとって、サンプリング回路２
６によプリンプリングされた後、ローパスフィルタ２３
を経て変調回路２５に印加され、前記搬送用発振器１７
の出力信号を振幅変調する。前記変調回路２５の出力信
号を増幅して電わい素子８に印加すれば、ディスク１４
とヘッド１５の間の隙間の動的変化を、前記実施例（第
２図）と同様にローパスフィルタ２３の出力電圧から求
めることができる。
以上説明したように本発明によれば、２つの部材からの
反射光の光路長差を調節する電わい素子に、前記部材間
の隙間の変化に対応する信号で変調した高周波電圧を印
加し、その振幅を変化させて光路長差を制御するとと如
よシ、前記電わい素子のヒステリシスに基因する測定誤
差を排除し、測定精度の向上および測定範囲の拡大をは
かることができる。
反射光の光路長差を調節する電わい素子に、前記部材間
の隙間の変化に対応する信号で変調した高周波電圧を印
加し、その振幅を変化させて光路長差を制御するとと如
よシ、前記電わい素子のヒステリシスに基因する測定誤
差を排除し、測定精度の向上および測定範囲の拡大をは
かることができる。
第１図は従来の隙間の動的変化測定装置の系統図、第２
図および第４図は本発明に係わる隙間の動的変化の測定
装置の一実施例を示す系統図、第３図は同実施例の電わ
□い素子の印加電圧と変位量の関係を示す図である。 １・・・レーザ発振器、４．２７・・・偏光ビームスプ
リッタ、ｉ３．２８．２９・・・光検出器ミ １４・・
・ディスク、１５・・・ヘッド、１６Ａ、１６Ｂ・・・
制御系、１７・・・搬送波用高周波発振器、１８〜２ｏ
・・・増幅器、２１・・・バンドパスフィルタ、２２・
・・同期検波回路、２３・・・ローパスフィルタ、２４
・・・周波数てい倍回路、２５・・・変調回路、２６・
・・サンプリング回路、３０・・・差動増幅器。 ’５１’ｉｌ 目 第 ２ 図 １
図および第４図は本発明に係わる隙間の動的変化の測定
装置の一実施例を示す系統図、第３図は同実施例の電わ
□い素子の印加電圧と変位量の関係を示す図である。 １・・・レーザ発振器、４．２７・・・偏光ビームスプ
リッタ、ｉ３．２８．２９・・・光検出器ミ １４・・
・ディスク、１５・・・ヘッド、１６Ａ、１６Ｂ・・・
制御系、１７・・・搬送波用高周波発振器、１８〜２ｏ
・・・増幅器、２１・・・バンドパスフィルタ、２２・
・・同期検波回路、２３・・・ローパスフィルタ、２４
・・・周波数てい倍回路、２５・・・変調回路、２６・
・・サンプリング回路、３０・・・差動増幅器。 ’５１’ｉｌ 目 第 ２ 図 １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 コヒーレントな光を発する光源と、その光を２つ
の部材に照射し、これらの部材からの反の検出信号によ
シ制御信号を発生する制御系と、前記反射光の間の光路
長差を調節する素子からなシ、前記部材間の隙間の光路
長差を前記素子によシ補償し、光学系全体の光路長差を
常に一定に保ち、前記素子に加えた制御信号の大きさを
測定することによシ、前記部材間の隙間の動的変化を測
定する測定装置において、前記制御系の制御信号は、高
周波信号を前記隙間の動的変化に関係する信号により振
幅変調したものを用いることを特徴とする隙間の動的変
化の測定装置。 ２、前記制御系は、搬送波用高周波発振器、増幅器、バ
ンドパスフィルタ、同期検波回路、ローパスフィルタ、
周波数てい倍回路、変調回路およびサンプリング回路か
らなることを特徴とするし←１枠寮古≠キ特許請求の範
囲第１項記載の隙間の動的変化の測定装置。 ３、前記制御系は、搬送波用高周波発振器、増。 幅器、ローパスフィルタ、変調回路、サンプリング回路
および差動増幅器からなることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の隙間の動的変化の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18903282A JPS5979802A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 隙間の動的変化の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18903282A JPS5979802A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 隙間の動的変化の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979802A true JPS5979802A (ja) | 1984-05-09 |
Family
ID=16234150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18903282A Pending JPS5979802A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 隙間の動的変化の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103969514A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-08-06 | 黑龙江大学 | 线性调频双光束激光外差测量电致伸缩系数的装置及其方法 |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP18903282A patent/JPS5979802A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103969514A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-08-06 | 黑龙江大学 | 线性调频双光束激光外差测量电致伸缩系数的装置及其方法 |
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