JPS5977310A - 可変インダクタンス・コイル - Google Patents

可変インダクタンス・コイル

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JPS5977310A
JPS5977310A JP18707582A JP18707582A JPS5977310A JP S5977310 A JPS5977310 A JP S5977310A JP 18707582 A JP18707582 A JP 18707582A JP 18707582 A JP18707582 A JP 18707582A JP S5977310 A JPS5977310 A JP S5977310A
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JP
Japan
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coil
core
pipe
displacement
wire
Prior art date
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Pending
Application number
JP18707582A
Other languages
English (en)
Inventor
Saburo Uemura
植村 三良
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Macome Corp
Original Assignee
Macome Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5977310A publication Critical patent/JPS5977310A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/2013Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、変位検出器に用いて好適の可変インダクタン
ス・コイルにIgl −T ル。
機械製餡において、直線的な変位又は回転変位の測定に
摺動抵抗形のポテンショメータが広く使われている。か
かる抵抗形ポテンショメータは、構造が簡単で安定した
アナログ出力を生ずる利点がある反面、抵抗体の表面を
摺動子が接触して移動するため寿命が短(、また摺動に
伴うノイズが発生する欠点がある。このよ5な摺動形ポ
テンショメータの欠点を避けるため、永久磁石と磁気セ
ンサを組合わせた磁気形弁接触ポテンショメータ、或い
は光臨と光センサを組合わせた光学式非接触ポテンショ
メータ等が作られている。しかし、これらは、寿命と摺
動ノイズについては改善されているが、直線性が悪く、
特に変位幅の大きいもの(長いもの、角度の大きいもの
)で良い直線性を得るのが極めて困難である。
長さや角度の測定には、ポテンショメータに代わってデ
ジタル表示のスケールが用いられることも多い。かかる
光学式又は磁気式のスケールは、変位幅が大きいもので
も高精度のものが作れるが、高価で装置が大きく使用場
所が制限され、摺動形ポテンショメータの代替品には適
さない。
本発明は、上述の点に鑑み、摺動形ポテンショメータ又
はそれ以上に小形・堅牢で使い易く、非接触形のよ5に
長寿命で摺動ノイズがなく、且つデジタル表示スケール
のように直線性のよい変位検出用可変インダクタンス・
コイルを得ることを目的とする。
本発明によれば、使用場所に制限がなく1例えば油圧又
は空圧シリンダの中に組込んでピストンの変位真に比例
した直流電圧を生じさせることができ、また角度変位を
直流電圧に変えることもできる。
第1図は、本発明の基本的実施例を示す断面図である。
図において、(1)はコイルの巻芯となるガラス管、テ
フロン又はポリアセタール等のチューブ、(2)は巻芯
(1)の全長に亘って一様に巻線したコイル、(3)は
ステンレス・パイプ等より成るシールド管で、シールド
管(3)の中にコイル(2)を入れシリコン樹脂を充填
してコイル(2)を固定する。(4)は、コイル(2)
の後端を保護し磁心(コア)(刀を貫通させるキャップ
で、堅くて滑り易い例えはポリアセタール樹脂を使用す
る。(5)はシールド管(3)の前端に取付けた管で、
この部分で、ケーブル(6)の端部を固定しケーブル(
6)をコイル(2)のリード線に接続する。コア(7)
は、例えば弾性のある線を芯とし外側に高透磁率の細線
を巻付は合成樹脂で接着して1本の線の形にしたもので
ある。(8)はステンレス・パイプ等で作った外管で、
これをシールド管(3)の外側に嵌合して渭らかに出入
しうるよ5にする。
外管(8)の後端に、コア(刀を固定する金A (9)
を設ける。外管(8)をシールド管(3)より引抜いて
ゆくと。
引抜いた長さに比例してコイル(2)のインダクタンス
が変化する。したがって、これを従来のボデンショメー
タのように使用することができる。
参考までに第1図の可変インダクタンス・コイルの変位
長が400m1nの場合の具体例を示すと、次のとおり
である。コイル巻芯(1)・・・・・外径2闘、内径1
.2前、長さ+oomm以上のデフ口/・チューブ、コ
イル(2)・・・・・直径0.1藺のウレタン被覆銅線
を400mmの長さに亘って一層に巻線したもの、シー
/’ )’ ! (3)・・・・・外径4.6聴、内径
3.5間のステンレス・パイプ、コア(7)・・・・・
外径約0.81111111 (直径0.3mmのりん
1F11線を芯とし外側に直径0.12ffl11のパ
ーマロイ細線を8本巻付はエポキシ樹脂で接着したもの
)。
外H8)・・・・・外径6闘、内径5鯖のステンレス・
パイプ。
上記の如き可変インダクタンス・コイルを変位検出器(
センサ)に使用するには、インダクタンスの変化を直流
電圧に変換する一層の検波回路が必要となる。第2図は
、その検波回路の一例を示す回路図である。図において
、0(υは高周波発振器(例250KHz ) 、 (
11)は整流用ダイオードで、これと抵抗及びコンデ/
すとで整流器を構成する。(1りは変圧器(例5QVp
p、ppはピークからピークの意) 、(13+は高抵
抗(例5I(n ) 、 (2)は第1図の如き可変イ
ンダクタンス・コイル、(14)、(151は出力端子
である。直列抵抗(13)の抵抗値をコイル(2)のイ
ンピーダンスに比して十分大きくすれば、コイル(2)
を流れる電流は一定となり、コイル(2)の端子電圧は
コイル(2)のインダクタンス(インピーダンス)に比
例する。したがって、コイル(2)のインダクタンスが
コア(7)の変位に比例して変化すると、出力端子Q4
1 t 15)間の電圧も変位に比例して変化する。
≦1番3図はその状況を示す特性図で、横軸は、第1図
のコイル(2)を内蔵したシールド管(3)と外管(8
)の相対的変位Q(mm)を示し、縦軸は、コイル(2
)のインダクタンスL (ml()及び出力端子(14
)1(151間電圧lI](v )を示す。そして、線
りは変位eに対するインダクタンスLの変化、線Eは変
位量に対する出力電圧Eの変化を示す。ここに、Q =
 Q ranはコア(7)はコア(7)がコイル(2)
から完全圧抜けた状態に対応する。窮=0〜40011
1111の間、出力電圧Eは完全に変位量悲に比例し、
よい直線性を示している。第1図の例において、整流器
の応答周波数は4 KHzで、極めて早い変位にも良く
応答する。また、摺動形ポテンショメータのように摺動
ノイズを生ずることもない。
本発明の可変インダクタンス・コイルの第1の特徴は、
コイル(2)が細長いこと、すなわちコイルの直径りが
長さe′に比べ非常に小さいことである。
第1図の例では、D/g’は2/400 = 1/20
0になる。
しかも、直径りは常識では考えにくい程小さい。
第2の特徴は、コイルの巻芯(1)の中を出入させるコ
ア(7)K可撓性のある針金状のコアを使う点である。
かかるコアはs  400mmを越える長い場合には真
直でなく曲がるが、細いコイル巻芯の中に入った部分は
ほぼ真直とみられる。巻芯から外に出たコアの部分も、
11′(Ilい外管(8)の中にあるので、曲がりは僅
かであり長さのh1差は無視できる。
コイル(2)が細い巻芯(1)に巻いであることは重要
な意味がある。まず、可変インダクタンス・コイルとし
て外管(8)まで含めて細くできることである。
機械的強度も要るので細い程良いとはいえないが、外管
が4〜6繭位になるのが最も適した寸法である。コイル
が細いことは、もつと本質的な意味においても大切であ
る。一般に、中径がr、長さがgo、巻回数がNのコイ
ルのインダクタンスLは、L=、よr2N2/幅(H)
   ・・・・・(1)で表わせる。ここに、kは、長
岡係数でコイルの直径と長さの比’l、r/Q 6によ
って変化し2r/Qoが0.1以下ではほぼ一定値にな
る。μは、透磁率で空気中ではμ0としμo=4πx 
1o−7である。透磁率μは、コイル中にコアが入った
ときは実質的に増加してαμ0の形に宵ける。αの値は
、コアの寸法、透磁率及びコイルの寸法・形状で異なり
、計算式は示せないが実験的にコイルのインダクタ/ス
L’l実測して求めることができる。(1)式において
単位長当たりの巻回数をnoとすると、L = kμy
tr2nOJ、0      −°−°(2)となる。
コアが挿入されたコイル部分の長さをeo′とすると、
Qo−匂’の長さにはコアが入っていないので、 L = kπr2n02#(1((QOgO’)+α柿
′)= kπr2n02/jg (QO+(α−1) 
Qo’)   ”・(3)のようになり、Lはコアが挿
入されたコイル部分の長さ柿′に比例して変化する。前
記の実施例では、Lの最小値が0.152mH,最大値
が1.97m)1、αが13である。この値はシールド
管(3)がないコイル(2)についてのもので、コイル
(2)をシールド管(3)に入れると、最小値が0.1
40mH,最大値が0.840rnH1αが6である。
このように、シールド管(3)はコア(7)の効果を下
げてαを小さくしている。シールド管(3)によるαの
減少は、シールド管(3)の径がコイル(2)の径に接
近する程著しい。シールド管(3)はαを下げるが、コ
ア(7)の出入れに対するインダクタンス変化の直線性
には関係がな(、実験的に良い直線性を示した。
コイルの直径に比べて長さが大きくないと、長岡係数k
が一定でなく(3)式は成立しない。同じよ5に細長い
コイルでも、コイルの端では、磁束の乱れによりコアの
出入に対するインダクタンスの変化は直線から外れて曲
がりを生じる。この曲がりの範囲は、コイルの直径のお
よそ5倍位の長さであることが実験的に認められた(第
3図参照)。
しかし、細長いコイルでは、端の影響は全長に比べて無
視しつる程小さい。
本発明の第2の特徴について付言すると、非常に細いコ
イル巻芯の中に出し入れするにはコアを細い針金状にせ
ざるをえないが、機械的強度をもたせる必要があり、ま
た彎曲して用いるために可撓性も必要である。数巨KH
zのへ周波で使うコアとしては、渦流損失を少なくする
ためパーマロイの細線を比゛;り合わせたものが適して
いるが、パーマロイ線は軟らかく長い線にすると折れ曲
がる心配がある。上記実施例では、りん青銅線をはね線
として用い8本のパーマロイ細線をこれに巻付は樹脂で
固めたものを示したが、りん青銅は、透磁率を高める働
きはなく汗に機械的な強さと可撓性をもたせるだけであ
るが、インダクタンスの変化に対して悪い影響は与えな
い。
上記の如き可変インダクタンス・コイルは、変位の測定
だけでなく移動速度の検出にも用いることができる。す
なわち、変位置に比例する直流出力電圧を演算増幅器を
用いて時間的に微分すると。
速度に比例した電圧が得られる。上記実施例の如き変位
センサは、全変域に亘り良い直線性を示し、応答周波数
が茜(且つノイズが少ないので、速度計として優れてい
る。
また、本発明は、普通には第2図のような検波回路と組
合わせて直流出力を得るが、必ずしも直流出力に限らず
可変インダクタンスを別の方法で処理することもできる
。第4図は、その一方法を示す回路図である。図の例は
、コルピッツ形発振器の共振回路に本発明によるコイル
(2)を接続したもので、発振周波数fはコイル(2)
のインダクタンスLとコンデンサの容量Cで決まり、C
を一定とすればfは1///T:に比例する。第3図に
示したコイルを使用したとき、  116KI(zから
284KHzに変化する発振周波数を得た。このような
非直線的な周波数変化を変位に比例した直流電圧に変え
るのは困難であるが、現在ではマイクロプロセッサによ
るデジタル制御itが多(行なわれており、変位量に対
して周波数が変化する出力については扱い易い応用も考
えられる。つまり@ FA2図の回路の場合、直流電圧
罠変換の際誤差が入り易く、信号出力として伝達すると
きにも誤差を生じ易い。それゆえ、直流出力よりも周波
数としてのデジタル出力の方が優れている場合もある。
第5図は、本発明の第2の実施例を示す要部断面図であ
る。本発明コイルは、理論的には長さに制限がないが、
余り長いと、全長に対して積度安定度が仮に0.596
としても部分的には精度が悪くなる。これを避ける一方
法として、図示のようにコイル(2)の全長を幾つか(
図では3)の区間に分割し、各分割コイルにそれぞれ検
波回路Oeを設けることにより、高い精度のセンサとし
て使用できる。
第6図は、本発明の第3の実施例を示す要部断面図であ
る。ヂQ械装置の全変位域の中で検出位置が幾つかの離
れた区間に分かれているとき、同じコイル巻芯(1)に
各区間に応じて別々の巻17 (2+、 (2’)をし
別々に検波回路(16)を設けたものも考えられる。
第5及び第6図の例では、別々に作った口1変コイルを
それぞれ対応する場所に並べてもよいようにみえるが、
第1図に示すよ5なEiJ変コイルの構造では、巻線す
べき部分が短くてもコイル巻芯(1)及びコア(7)は
全変位域に対応して長いものが必要であるから、同じ巻
芯に別々のコイルを巻線した方がよい。
第7図は、第1図の如きコイルを油圧又は空圧シリンダ
”の中に組込んでピストンの位+4: &び変位速度を
検出するセンサとして用いた例を示す断面fflである
。図において、第1図と対応する部分には同一の符号な
付した。本発明の可変インタ′クタンス・センサは、直
径6胴程度の棒状であるから小形のシリング゛でもピス
トン・ロッド(17)K穴をあけてコア(7)を付けた
外管(8)を峡め込むことが容易である。コイルを入れ
たシールド管(3)は、シリンダの端板に固定できる。
場所があれは、端板に検波回路を取付けて直流比力を得
る(8造とするととも容易である。
第8図は、本発明の第4の実施例を示す略図である。本
例は、センサを円弧状に構成したものである。図におい
て、第1図と対応する部分には同一の符号にダッシュを
付けて示した。コイルの入ったシールド管(3′)の一
端C(イ)を固定し、これにコア作物の外管(8′)を
緩く嵌合させ楽に出入できるよ5にする。外!’ (8
’)の一端シυは回転体に固定する。本例では、コイル
巻芯にはポリアセテートのチューブが適している。なお
、外管(8′)に螺旋状のばね管を使用ずれば、コア(
7′)と同じように5J撓性をもち、コイルのシールド
管(3′)の出入が円滑になる。本例は、ロボット等に
おいて一定の角度範囲で回転する(角械装置の角度位置
の検出に有用である。
以上詳述したとおり、本発明によれは、小形・堅牢で使
用馬所に制限がなく長寿命で(V動ノイズのない、特に
変fik幅の大きい場合でも直線性の良い変位セ/す川
口■変イノダクタンス・コイルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の基本的実施例を示す断面図、第2図は
本発りJと併用する検波回路の例火示す回路図、第3図
は本発明の特性図、第4図は本発明と併用ロエ能な電気
回路のPAlを示す1す1路図、娼5図は本発明の第2
笑施例を示ず要部断面図、第6図は本発明の第3実施例
を示す装部断面図、第7図は第1図のものの使用例を示
す断面図、用8図は本発す」の第4実施例を示す略図で
ある。 (1)・・・・・コイルのを芯、(2) 、 (2’)
・・・・・巻線。 (711(7’)・・・・・コア。 代  埋  人   伊  u     11・′″′
i′ i卆′    松  隈  秀  盛  、1.  冒
・ 1、  ′& 、・、、、j。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 一様に巻線した細長い管状のコイル巻芯の中に可撓性を
    もつ釧金状のコアを出入させるようにした可変インダク
    タンス・コイル。
JP18707582A 1982-10-25 1982-10-25 可変インダクタンス・コイル Pending JPS5977310A (ja)

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JP18707582A JPS5977310A (ja) 1982-10-25 1982-10-25 可変インダクタンス・コイル

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JP18707582A JPS5977310A (ja) 1982-10-25 1982-10-25 可変インダクタンス・コイル

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5255654A (en) * 1975-08-13 1977-05-07 Ebes Ver Energie Schelde Linear deflection measuring device
JPS5713313A (en) * 1980-06-28 1982-01-23 Nippon Denso Co Ltd Sensor for linear displacement amount

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