JPS5974887U - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPS5974887U JPS5974887U JP16867482U JP16867482U JPS5974887U JP S5974887 U JPS5974887 U JP S5974887U JP 16867482 U JP16867482 U JP 16867482U JP 16867482 U JP16867482 U JP 16867482U JP S5974887 U JPS5974887 U JP S5974887U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning tank
- cleaning equipment
- tank
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案を適用した洗浄装置の一実施例を示す外
観斜視図、第２図は同じく縦断面図である。 １・・・・・・洗浄装置、２・・・・・・洗浄槽、２Ａ
、 ２Ｂ。 ２Ｃ，２Ｄ・・・・・・洗浄槽の側面、４・・・・・・
底部注入口、８・・・・・・側部注入口。
観斜視図、第２図は同じく縦断面図である。 １・・・・・・洗浄装置、２・・・・・・洗浄槽、２Ａ
、 ２Ｂ。 ２Ｃ，２Ｄ・・・・・・洗浄槽の側面、４・・・・・・
底部注入口、８・・・・・・側部注入口。
Claims (1)
- 洗浄液が満たされる洗浄槽と、この洗浄槽に洗浄液を下
方から供給する底部注入口と、上記洗浄槽が洗浄液で満
たされたときにこの洗浄液表面に表面流を起こさせる側
部注入口とを有してなり、上記側部注入口と対向する洗
浄槽の側面の高さを少なくとも上記洗浄槽を形成する他
の側面より低くなし、この側面より洗浄液をオーバーフ
ローさせながら洗浄することを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16867482U JPS5974887U (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16867482U JPS5974887U (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5974887U true JPS5974887U (ja) | 1984-05-21 |
| JPS6231192Y2 JPS6231192Y2 (ja) | 1987-08-10 |
Family
ID=30368692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16867482U Granted JPS5974887U (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5974887U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3710450A (en) * | 1971-02-01 | 1973-01-16 | Allied Chem | Process and apparatus for removing liquids from solid surfaces |
| JPS5783036A (en) * | 1980-11-10 | 1982-05-24 | Seiichiro Sogo | Cleaning device for semiconductor material |
| JPS57160131A (en) * | 1981-03-30 | 1982-10-02 | Hitachi Ltd | Washing cell |
-
1982
- 1982-11-09 JP JP16867482U patent/JPS5974887U/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3710450A (en) * | 1971-02-01 | 1973-01-16 | Allied Chem | Process and apparatus for removing liquids from solid surfaces |
| JPS5783036A (en) * | 1980-11-10 | 1982-05-24 | Seiichiro Sogo | Cleaning device for semiconductor material |
| JPS57160131A (en) * | 1981-03-30 | 1982-10-02 | Hitachi Ltd | Washing cell |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6231192Y2 (ja) | 1987-08-10 |
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