JPS5973449A - 低温封着ガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は封着ガラス組成物、その使用法およびそれから
製造された物品に関する。更に詳しくは、本発明は超小
型電子回路（ｍ１ｃｒｏ＠１ｓｃｔｒｏｎｉｅｅｌｒｃ
ｕｉｔｒｙ　）のセラミック素子の結合に特に有用な封
着ガラス組成物に関する。

封着°またははんだガラスが、ガラス、セラミック、金
属等のような材料片を一緒に封着するのに有利な手段で
おることは以前から知られている。

従って、熱封着操作中の損傷を最小にするように、それ
らが結合すべき素子の変形温度より有意に低い温度で軟
化および流動する能力を有する多くのはんだガラスが開
発されて＠た。

７／ラスとガラス、ガラスと金属、ま′ｆｃはガラスと
セラミックの封着を形成する技術は多くの問題をはらん
でいる。該封着技術において直面する問題の中に、はん
だｊ２ス封着剤と、封着されうる基材ガラス、金属また
はセツミックとの熱膨張係数の、よくない不釣合な組合
せがおる。他の問題は、封着ガラス組成物が、セラミッ
ク、ガラスまたは金属でぬろうと該封着されうる基材の
変形またはひずみ温度よりも実質的に低い溶融温度で、
該封着されうる表面に緊密に融合し得ないことでめる。

従って、結合されるべき表面の膨張係数と本質的に等し
い有効膨張係数を有し、そして満足しうる封着中の製造
に適当なはんだ７！／ラスを提供することは封着技術に
価値める貢献となること〃五尚該孜術の熟達者には理解
されるであろう。

槌々の表面の封着において、封着中または封着された部
品の以後の処理中における失透に抵抗するように良好な
安定性を有することが重要でおる。

更に、−たん基材がガラスかけ（ｇｌａｚｅ　）または
封着されたら、該ガラスは、水および他の水浴液、特に
酸性のものの溶剤効果にさらされること力）ら生じうる
いかなる化学的攻撃にも満足に抵抗すべ礁であるや 良好な安定性を有することに加えて、曳好な封着が得ら
れることを確実にするために、封着ガラスが、：＃着さ
れる基材のそれにで鷺るだけ近い熱膨張係数を有するこ
とが重要である。熱膨張率が有意に異なると、最初に形
成された封着を冷却し１こ際に満足な結合が維持され得
す、そしてガラスと基材の間の結合が初期には満足であ
っても温度変動の結果として後に低ドし得る。

多くの、−合、はんだガラスが一緒に封着する基゛材索
子はしばしば、電子機器、超小型電子回路、陰極ルミネ
ッセント表面尋といりたｆ’Ｊケートな。

熱に感じやすい部品の包封に使用され、またはさもなけ
ればくれらと結合６れる。このような素子にとって、そ
れらの環境において経験１れるいかなるｍ度上昇も有害
でそして望ましくない。斯して熱封着はんだガラスの使
用は、その本来の性質によフ、系にとって害で、ｌ）得
る。これは勿論、感熱性の素子が存仕しない時でも真で
ある。というのは時間および温度の因子は経済的な性質
のものでもあるからである。他方、そして多くの場合。

はんだガラスを使用することの他の既知封着技法にまさ
る利点は、その上うな間ｍが北極の品質における必要な
制限として耐容もれるほど、熱封着の害を踏越える。い
かなる新しいはんだガラスの開発においても、その吻理
的特性を改良するばがシでなく、熱封着の時間および／
または温度を最小にすることも、勿論常に望まれる最終
結果である。そうなれば、明らかにいかなるはん７とガ
ラスの価値も、その結合強度、気密封着能力、再現性等
によってＶよか９でなく、最小の温度で最小の時間内に
熱封着される能力でも評価することができる。

過去において良好な封着組成物を提供する種々の試みが
なされてきた。Ｌｕ５ｈ＠ｒの米国特許第３．２ｊ　Ｏ
，乙３１号明細書は、熱的にデビトロ（失透）化しうる
（　ｄ＠ｖｉｔｒｌｆｉａｂｌ＊　）　ｍ、のものでア
夛、そしてその封着性に悪影響を及はすことな（、デビ
トロ化しうるはんだガラスの膨張ｆＩ数を減少させる耐
着組成ｖｌＪを開示している。この特許は、封着の性質
または封着形成に含筐れる因子に有害な影影を及ばずこ
となく、はんだガラスを個々の基材に釣合せる能力を提
供する。これは一般に、熱的にデビドロ化しうるはんだ
ガラスに、該はんだガラスの熱膨張係数を封着温就、流
動特性または他のはんだｆ！２スの封着性に重大な悪影
響を及はすことなく所望の釣合った値に低下させるに充
分な量の、不活性耐火性酸化物といった不活性耐火材料
を添加することにより達成とれる。米国特許第３．２　
ｊ　Ｏ，乙３／号はミクロ電子技術、に、これまでセラ
ミック（および特にアルミナ）素子到着に使用されてき
た既知はんだガラスにまさる有意な改善を提供する一方
、そこには明確な改善の必要がめった。この特許の技術
は、約≠、２３−’／−Ｊ−０℃の温度で約７時間また
はそれ以上で形成された時↑μ励する到着を提供する一
方、時間一温度因子は、時に超小′Ｂ１．鳴子回路技術
においては未だ比較的筒く、アルミナで篩品質封着を終
始一貫して再現する能力は比収的低かった。

Ｆｒａｎｃｅｌ等の米国％許第３．７７　とλμλ号は
、結晶化しうるガラスの装造に耐火材料および予備結晶
化したガラスを用いる他の封着用系を提供する。

該従来の開発にも拘らず、当該技術分野には、ＭＭ技術
一般における問題のいくつかを除去および／または低減
し、そして超小型゛陽子回路において存在する特別の問
題および困難を克服するのによシ良く適した新しいはん
たガラス組成物に対するニーズが尚存在する。超小型−
子回路をセラミ、り素子内に封着する技術は、特にセラ
ミ、り索子としてのアルミナの出現で、特殊な問題を提
起している。第一に、これらセラミックスは一般に非常
に低い熱膨張係数を有する（例えばアルミナセラミック
スはＱｏ−３００°Ｃでおよそ６０−♂Ｏ×／θ−７ｉ
ｎ／ｉｎ／℃から変化する）。更に、封着の小さな寸法
制限および要求される商い強度２よび気密性の故に、商
い強度、再現性および気密性に対する異常に厳しい必要
条件が使用ちれるいかなるはんだガラスにも課せられる
。加うるに、超小型電子回路は熱に非常に敏感でめシ、
貼してｆＡＭ層の時間一温度因子は、系に通常の害以上
のものを与える。

本発明は、低い封着温度条件即ちＩｌｔ、２θ℃よたは
それ以下、低い膨張特性、商い化学的抵抗性、および局
い愼械的および熱ｖＲ撃強度をＭする或櫨の新規なはん
だ、／７ラス組成物を提供する。これらのガラスは、強
い、堅固に気密な、高度に丹現住のおる封着【形成し、
そして超小型電子回路におけるアルミナセラミ、り素子
を一緒に結合するのに特に良く逸する。篤くべきことに
、そして全く急性にも、本元明のガラスは高温において
さえも硫酸に抵抗性であることが見出、された。東に、
封着δれた・！、ケージが硫酸溶液に曝露され′ｆｃ、
時、従来のガラスでは非常にしはしばみられ７′ｃ４ｉ
ｆ；、酸塩副生物の表面沈着が全く現れないことが見出
された。時にアルミナ戚のセラミック素子間に高度に８
現性のめる強固に気密な封着結合をフレ成する能力は、
超小ｍ電子回路技術および集積回路ノ９．ケーゾの電気
的信頼性に特に意義がある。

包封された超小型電子回路の装造において、包封された
アルミナパックーノから出る金属リードを錫メッキする
のが通常のグツタテイスでめる。

メッキ前の予備処理として、ｉ’？　ｙケージはしばし
はｒｆ２Ｓ０４中に反漬することによる洗＃または−洗
い沫作にかけられる。従来蚊術のセラミックスでは、曝
露された封着ガラスは戚に敏感で、ば反応生成＊、通當
不俗性の硫酸塩化智、が曝露された到着ガラス角面に形
成６れでいた。これは仮に問題奮起していた。何故なら
ば、メッキ工程中に錫に、既に沈着した硫酸塩の上に沈
着する傾向がお東、てしで包°封された回路の正常な作
動を妨讐または破壊する電気通専路を生ずるからでめる
。戚の攻撃に対する抵抗性の故に、本元明の組成物はこ
の問題を回避する。

本発明の一つの面においては、特別の充填剤がその中に
配された＃Ｊｍ鉛ｆ２スのＩフスマｌ−１ｊツクスを含
むはんだガラス組處物が提供される。

小光明の他の面においては、ｔクミックミクロ電子ノ臂
、ケーゾの包封に特に興味のめる特別の性買と特性を有
する〃ラス員封溜ガジスｔ−装遺するために、選ばれた
硼ＩＪｉＬ鉛基体ガラスのための充填剤として・、特別
のベータ・ニークリツタイトが微細に分割された形で用
いら１’Ｌる。

本発明の封着ガラスの基体成分ｔたはガラスマトリック
スは硼酸鉛ガラスマトリックスでめり、これはまた通常
それぞれの酸化物形で存在すると百及されているビスマ
ス、亜鉛、゛１ルミニクム、珪素、バリウム、砒素およ
びテルルといり九／またはそれ以上の他のガラス成分を
も一般に含有する。特にアルミツーセンミックスｔ−粕
合する場合に、本能側の目的に好適なガラスマトリック
スは、酸化ビスマスを含有する硼酸鉛型、Ｑものでるる
。本発明によシ使用しうる油体ガラス組成物Ｃよ、組成
物の全重重を基準にして酸化物として表わした次表に示
した成分を含有する。

弐　Ａ 成分　　重量％ ｐｂｏ　　　　７♂−タ０ Ｂ２０６　　　　ざ−１ｂ Ｂｉ２Ｏ，ノー！ ＳｔＵ□　　　０−　／ Ａｌ２Ｏ，０−／ ＺｎＯ０−２ Ｂａ００−　／ ’ｒｅ０２　　　０−≠ Ａｓ２０５０−．２ 使用される原料に依って、他の酸化物および物質も不純
物として存在しうる。この上りな不純智は、本発明の目
的のためにガラスに幾影響を及はすような倉およびｍ願
で存在Ｊ−べぎではない。〃２ス技術の熟達者には理解
されるであろう即く、商業的操作において大バッチ材料
で作業する場合、分析ペースの成分には上ｉ己の鉦から
、これら基体ガラスを本発明の目的に特に好、４なしし
める特性を受容し得ない程大きくはずれることなく、若
干変化しうる。

本発明によシ使用さｔしる。よυ好ましい基体ガラス組
ｈｙ、智は、全組成物のム一を基準にして酸化物として
六わした下記−での下ｄじ成分によシ特徴ずけられる： 成分　　ム蓋饅 ｋ”ｏＯざｉ、ｚ−ｉｓ ｓ２ｏ、　　　　　　／／　　−／ｊ Ｂｉ２Ｑ、　　　　　　　、Ｌｊ−３ＪＡ１２０．　　
　　　　　ｔ）　　−０，、ｆ８１０２０　−　　／ 成分　　ム量チ Ｚｎ０　　　０−／ ＢａＯＯ−／ ＴｅＯ□　　　０−　Ｊ Ａｌ１２０５０−　／ 硼酸鉛ガラス混合物と混合するために本発明で使用され
る充填剤は、超低膨張ベータ・ニークリゲタイト、即ち
平均線熱膨張係数−／、２３±５ｘｉｏ”’ｌｎ／ｋｎ
／Ｃ（０−３００℃）のベータ、ｉニークリゲタイトで
ある。このベータ・ニークリツタイトは、主として尚純
度酸化物であるように選ばれ′ｆｃ原料を用いて溶融法
によシ製造される。原料は、望ましくない結果を生ずる
ような有意な量の不純物を含有しない。典屋的には、超
低膨張ベータ・ニークリゲタイトの緘造に便用されるパ
ッチ成分は、化学量論的蓋で添加された炭酸リチウム、
珪砂および酸化アルミニウムである。これらパッチ成分
は、白金るつぼのような適当な溶融槽に充填され、そし
て次にｆ＃Ｉ融温度に加熱される。浴融工程に使用ちれ
る炉は電気炉またはガスだき炉であることができる。溶
融の温度は約３υＯＯＦであるべきでめり、そして溶融
時間は約ノないし≠時間で少るべきである。溶融温度は
ノどＱＯ°Ｆ以上から約３λＱＱ°ＦまでのＳ囲でめｐ
うる。一般に、尚線区の酸化物およびパッチ成分が使用
され、そして−造δれるＳ低膨張ベータ・ニークリゲタ
イトは、最小α放射に対しよシ晶い規準が設定される電
子工業に？いて特に重要でわる極度に低いα放射を示す
ことがわかった。

一般に経済的に可能な限り微細に粉砕されたｉ４ッテ柄
分を注意して一緒に混合し、七してスに階融Ｑつほに充
填する。溶融は白金るつぼまたは他の耐蝕性容器中で実
施する。というのは生ずるガラス状溶融物は約３Ｑθ０
°Ｆの溶融温度において非常に腐蝕性だからでめる。該
組成物を溶融するのに、電気炉ｔ７Ｃはガスだき炉中に
空気の拌吐気を使用し、七して圧力は大気圧でめる。溶
ｍｔ−豹λないし≠時間実施した後、溶融ガラスをるつ
ほまたは僧から溶融り〆ｙｔｙｃは流の形で注芯深く排
出名せる。この縁座で、もし超低膨張ベータ・ンクリブ
タイトをロッドまたはパーといりた賦形物に成形するこ
とが望ましければ、注屋または成凰または他の成形操作
を行なうことができる。もし例えばロッドを注呈すると
決定したら、その時はロッド成形工程において早期結晶
化および愁い結晶相の結晶化を回避するよう注意を払わ
なければならない。冷却においてはロッドの熱衝撃を避
ける必要がある。冷却が急速すぎるとロッドはひび割れ
するでおろ９゜冷却が緩慢すぎるとそれは抑制されない
仕方でデビトロ化して望ましくない結晶種およびサイズ
を生ずるでおろう。従って、ロッドを熱く保つために型
を予熱するのが望ましい。

しかし高すぎる温度は不可である。／ｆ　、チおよび型
のサイ、ズに依って、これら温度条件は若干変るでめろ
う。次に約１０θ０℃で数時間の長い結晶化熱処理を行
なって所望のベータ・ニークリツタイト結晶相を得る。

商業的生産に２ｍ当な方法においては、ベータ・ニーク
リツメイトの溶融しｆｃ無定形溶融物は溶融流として排
出され、セしてロー２−ミル上で急冷されそして粒子に
形成される。

溶融物はるつばから、溶融ガラスを約ａＱｊθインチの
薄いシートに変換するローラーの効率的操作に適合する
速度で連続流の形で流出式せる。

該シートは冷水中で急速に急冷される。該工程において
、急速急冷は約３０００″Ｆから約７０またはＩＯ”Ｆ
へ数秒で、即ち短い時間間隔で起る。ローラ゛−から出
る薄いガラスシートはテ、グまたは粒子に離解し、それ
らは急速急冷のためにひどくひび割れしているであろう
。急速急冷は該無定形粒子に不透明な外観を与える。こ
の工程において急速急冷は必須である。何故ならば、こ
の段階で該材料は、後の段階において制御された条件下
に結晶化させられるべくガラス質のままでなければなら
ないからである。従って、炉温度は２と００？の低６ま
で低下しないことが必要である。もしガラスがローラー
への移行中にコど００？以下に低下すると、早期結晶化
が起シ得、そして該材料を再溶融することが必要となろ
う。

該粒子は約７０分後に水浴から柩出す。該粒子が水と反
応するに十分な程良くは保持しないことが厘要で必る。

次に粒子′ｆ：髪気乾燥炉へ送って水を除く。炉は約／
１０ないし７．２０℃の温度でφる０乾燥した粒子は次
に高温炉に移し、そして、２≠ないし≠ｒ時間温度を約
りよ０℃ないし１１００℃、好ましくは１０℃０℃に上
げることによシ熱処理して、該材料の所望の結晶相への
制御された結晶化を生じさせる。粒子は結晶化熱処理中
、シリカ、白金、菫１石または他の耐人性答器中に保持
することができる。容器自身は、耐火性でそして粒子と
相互作用することなく高温焼成段階に耐える限ｐ％特に
恵要ではない。この時間の後、所殖のベータ・ニークリ
ゲタイトの形が得られる。

不発明のはんだｊＪ’クス組成物の各成分の実際に用い
られる特定のｉ量パーセントは、究極の使用環境に依っ
て広い範囲で変化するであろう。一般に、ガラスマトリ
ックス中に超低膨張ベータ・ニークリゲタイトの十分な
ｊｌを添加して、それらが必袂な彫版係数の調和、流動
性等を提供する一方、同時に強い、堅固に気密な、耐湿
性封着を提供するようにする。

大部分の意図される目的に好適な成分範回の典型例は、
Ｘｔチで次のものを含む二約ど−／、２俤のベータ・ニ
ークリゲタイト、残りは硼酸鉛ガラス。本発明の概念の
一形態’ｔ−ｘわすよフ好Ｉしい態様においては、該範
囲は約ター／／％ベータ・ニークリゲタイトでめる。

本発明の封着ガラス組成物は通常粒子形であ広そして種
々のベータ・ニークリゲタイトおよび基体はんだガラス
の微細に分割された粒子を一緒に混合することによシ調
合される。最良の結果のためには、成分の全粒子が約／
θＯＵ、８．シリ′−ズ篩スクリーンより小さいサイズ
であるべきである。

より好ましくは、全粒子の約ｊＯ１直量チが約３ツタＵ
、Ｓ、シリーズ篩スクリーンより小さいサイズで、しか
し５ミクロンよシ小さいのはｊ重量チ以ト′でおるべき
でおる。更によシ好ましくは、そして特にアルミナセラ
ミックス封着時の最良の結果のためには、少なくとも基
体硼酸鉛ガラスの粒子、および好ましくはベータ・ニー
クリゲタイトの粒子は、約６ｊ−７０ｆｌ！−チがＩＩ
　００　Ｕ、Ｓ、シＩ）　−、ｅ篩スクリーンより小さ
く、しかし３ミクｐンよル小さいのが約３．０重ｉｓよ
シ少ないようにサイズ縮小されるべきである。必要な粒
子サイズの達成は周知の７リツテイングおよび粉砕技法
に従って得ることができる。

本発明の組成物はいかなる慣用の技法に従って混合して
もよい。しかし最良の結果のためには、硼酸鉛ガラスお
よびベータ・ニークリゲタイトの均一な分散物を使用す
べきである。

本発明の封着ガ２ス組成物はいがなる慣用の技法によっ
ても基材に適用しうる。そのような技法の例は吹付、ス
クリーン印刷、および熱分解性テープ（ｐｙｒｏｌｙｚ
ａｂｌｅ　ｔａｐｅ　）　ｔ−含む。該組成物を吹付し
うるスラリーにするには、通常それらをアルコールのよ
うな液状有機媒体中に分散して吹付可能な粘度にする。

スラリー媒体の他の例は酢酸アミル中のニトロセルロー
スの／−ｉ％溶液である。

慣用のペースト有機ビヒクルのいずれもペースト形成に
使用し得、一方慣用のテープを使用することもでき不。

一旦該材料を適用し几ら、それを慣用の技法に従って乾
燥および／または加熱してビヒクルを局去し、そして次
に焼成して封着を形成する。本発明による封着形成に特
に好ましい熱サイクルは、約オｏ−１ｏｏ℃／分の昇温
速度、ピーク温度での表示された保持、および約ｊ０−
乙θ℃／分の冷却速度を含む。このような熱サイクルは
通常、＾品質の封着および弱化応力の適当な最小化が冷
却中に行なわれることを確実にする。

以下の実施例は本発明を説明するためのものであって、
これを限定するものではない。

例／ 基体ガラスを下記成分から調合して、存在する全成分を
基準にして酸化物の五ｍチで宍わした該成分を含有する
硼酸鉛ガラスを得る： Ｌ ｐｂｏ　　　　　　♂３゜ Ｂ２０．　　　　　　／　、２゜ Ｂｉ２Ｏ，３゜ ＺｎＯ／、　Ｏ ８ｉＯ２０，ｊ Ｂａｏ　　　　　　　　　　０．３″ 原料バッチ成分の鉛丹、無水硼酸、次硝酸ビスマス、酸
化亜鉛、砂およびバリア（ｂｉｒｉｍ　）を白金るつぼ
中で約／７００’Ｆで空気雰囲気中で／時間中溶融した
。冷却後、ガラスを次にフリットしそして粉砕して、粒
子の７０！ｉ＊よシ多くが≠ｏ。

Ｕ、　Ｓ、シリーズ篩スクリーンより小さいような粒子
サイドにした。

次にこの粉末を７７重量％の超低膨張ベータ・ユークリ
プタイトと混合して封着材料を生成させた。混合された
組成物並びにガラスマトリックスを以下のようにボタン
流動試験にがけた。約／Ｑグ２ムの粉末を取フ　３／Ｆ
／／直径のボタンにブレスしてこれを次に櫨々の温度で
３０分加熱した。ボタン流動試験は当該技術分野で周知
であり、そして尚業界で流動性評価に標準試験として使
用されている。

ボタン流動試験の結果は下記の通シでめる：基体ガラス
の物理的性質 ３１００Ｃ７３０分でｃＤ、ｐｅｌｔン流ｍ（イア’ｊ
−）　　　　／、０７り示差熱分析−軟化温度（Ｃ）　
　　　　　　３４ＬＪ−勾配ゲート試験（ｇｒａｄｉ＊
ｎｔ　ｂｏａｔ　ｔｅｓｔ　）　（３０分）：焼結エツ
ゾ（℃）　　　　　　　　　　　　ＪＪよ結晶化エツジ
（℃）　　　　　　　　　　弘／り１４溶融エツ・ゾ（
Ｃ）　　　　　　　　　　　　　　　弘弘≠混合物の物
理的性質 充填剤：ベータ・ニークリゲタイト（重意膚）／／ホタ
ン流ｋｈ　（インチ）−３１ｏｃ／３０分で　　０．ｌ
０ｊ−４ｔ００℃／３０分で　　／、θり♂Ａ３０（７
４’　口ｙ　ド：Ｗ＞　ス（−ｆｋ７１＝Ｉ　４ｔＸ１
０−’）に対する四ツド応力（はんだガラスにおける圧
ａｌｐ畠１）： ３ｆＯＣ１３０分　　　、２４ｔＪＯ ≠００　Ｃ／３０分　　　−０１０ 粉末の混合物を次に、有機バインダーおよびそれ用の液
体溶剤からなるＭ機ビヒクルと混合することによル、印
刷ペーストにした。該パインダーおよび溶剤は＠該技術
分野で知られている材料であυ、そしてこの目的に適尚
ないかなる物質も使用しうる。該ペーストは典型的には
す、ｓ：ｉの粉末対ビヒクル重量比からなる。得られた
ペーストを次に、標準的技法および１０メツシユのスク
リーンを用いてアルミナの基板およびキャップ上にスク
リーン印刷した。

印刷されたコーチングは３００℃以下の温度で短時間加
熱して有機溶剤を除き得る。印刷されたコーテングを次
に３１．０℃で数分間焼成してガラスかけ工程を完結さ
せた。

次にガラスかけされたアルミナノ臂、ケージの基板部分
に慣用の証属す−ド粋な賦与した。次にパッケージのガ
ラスがけされたキャラｆ部分をその上にかぶせてサンド
イッチを形成させた。次にこの予備組立したノクツケー
ゾ’ｔ−５ｏ−ｉｏｏｃ７分の速度で４１００Ｃ−’！
−２０℃のぎ−りに加熱し、セして乙−１０分保持して
封着を形成式せた１次にパッケージを６０℃／分までの
速度で室温に冷却することによ＃）完結させた。

次表に、超低膨張ベータ・ニークリツタイトと混合して
本発明の新規な封着ガラスを＾造するだめの基体ガラス
として使用しうる硼酸鉛ガラスの代表例である組成物を
挙げる。

（以下余白） 上記基体ガラス組成物と超低膨張ベータ・ユークリグタ
イ）　（ＢＥ）で多数の混合吻を裏遺し、そして得られ
た封着ガラス組成物を？クン流動データおよびロッド応
力絆価につき試験した。これらの試験で得られた値は、
組成物が≠００℃３０分で０．　Ｉまたはそれ以上のゲ
タン流動および１ｉ−ｏ。

℃３０分で少なくとも／ざ００　ｐｓｉ圧縮（Ｃ）の四
ツド応力を有し、非常に望ましいことを示す。

（以下余白） 或用途には、当該技術分野で知られているようにスティ
ン（７ｉｉ色剤）ｔ−封着ガラスに配合するのが望まし
い。本発明の封着組成物はまた、通常の量で慣用のステ
ィンと混合するのに有用である。

本発明の封７ｉＶｇ２スで封着ちれたセラミックスは前
記のように優れた酸抵抗性を享有する。本発明の組成物
の該性能を試験する几めに、下記の評価を行なった。ア
ルミナセラミック部品を、慣用のスクリーニングおよび
焼成手順を用いて本発明の封着ガラスでガラスかけした
。ガラスかけした部品を、ミクロ電子パ、ケージの実際
の封着に使用したのと同じ温度グロフィルによって焼成
した。

ガラスかけした部品を水中で洗滌およびこすり洗いし、
アセトン中ですすぎ、そして７１０℃で乾燥した。個々
の試料を＃！浦液中に入れた。試験後、試料を再びすす
ぎ、清浄にし、でして乾燥した後、ｉ景変化を測定する
ために秤址した。１１販のガラスと比較した本発明のＪ
Ｔ規なガラスの性質を次に示すＯ 本発明の　　代表的な市 ガラス　　　販のガラス ３０％に２ｄｏ４／水 りｓｃｉ時間　　　　　　　　　０．にｇ　　　　　　
ｇ、６ｊＯ優）１２ＳＯ，％！ｊチ）ＩＮＯ〆水、ｌＣ
ｊ分間　　　　　　　　　／Ａ；０　　　　　　、Ｚ、
３７ｉｉ、ｏチｌ（２Ｓ　Ｏ４／水 ７０℃／時間　　　　　　　　θ、コ　　　　　　３．
６６．３チ駅０．／水 −ｊＣｊ分１…　　　　　　　よと３　　　　７乙ｊ本
発明の封着ガラスで封着された）ぐツケーゾによシ示さ
れた重量損失の相違に加えて、本発明の封着ガラスでは
不溶性硫酸塩の白色残渣が全くみられない一方、同様に
試験された池のすべてのガラスではａ酵塩沈着物が生成
した。

所望なら、本発明の封着ガラスの性質は、ベータ・ニー
クリツタイトの一部を他の充填剤で置換えることによシ
、更に改変することができる。従ってｋｆ石およびチタ
ン酸鉛を第二充填剤として添加することができる。本発
明の封着ガラスのそれ以上の変性を起すために第二充填
剤を少量添加することもできる。斯して、砂およびゾル
コンといつ丸材料を、それらの期待される効果のために
、少量、通常全体の３−１Ｉ−重電チ以下、添加するこ
とができる。

代理人の氏名　　川原１）−穂 手続ネ甫正書　（方式） ■、　事件の表示 特願昭５７−１８１４９１号 ３、　補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 名　　称　　オーエンスーイリノイ・インコーホレーテ
ッド４、代理人 ６、　補正により増加する発明の数 ７、　補正の対象　　　　　明細書 ８、　補正の内容　　　　　明細書の浄書（内容に炭更
なし）９、　添付書類の目録

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　結晶質ベータ・ニークリツタイトと混合され
   たガラス質鋤酸鉛ガラスを含み、該ベータ・ニークリゲ
   タイトが−／コ３±ｊｘ１０−　　（０−３（，１０℃
   ）ｉ　ｎ／ｉ　ｎ／Ｃの平均線熱膨張係数を有する封着
   ガ２ス組成物。 （２）　　該ベータ・ユークリグタイ２、トが、約３０
   ００７で製造されたベータ・ニークリシタイトの溶融物
   から急速急冷により結晶化される特許請求の範囲第１項
   記載の封着ガラス組成物。 （３）該硼酸鉛ガラスが、およその重量％で７ｒ−７θ
   ％ＰｂＯ，，２−Ｊ’％ＢｉＯ、ざ−／乙％　Ｂ２０．
   。 ５ ０−　／　％　８１０２．θ−，２，０％ＺｎＯｌＯ−
   ／　％　ＢａＯ。 θ−／　Ａｌ２Ｏ，、０−ｌＡ％Ｔ　＠　０２および０
   −２　Ａｇ２Ｏ３を含む特許請求の範囲第１項記載の封
   着ガ２ス組成物。 （４）　　硼酸鉛ガラスが、下記成分を、全組成物重ｉ
   ′ｆ、基準にして酸化物として表わされた下記量で含有
   する特許請求の範囲第１項記載の封着ガ２ス組成物。 成分　　Ｘ麓チ ｐｂｏ　　　　　　に／、Ｊ−どｊ Ｂ２０．　　　　　　／／　　−／ｊ Ｂ１２０．　　　　　．２Ｊ−３，！；Ａｌ２Ｏ，０−
   ０，、！； Ｓ１０□　　　　　　υ　−／ ＺｎＯυ　−／ ＢａＯθ　−／ Ｔａｕ□　　　　　　０−３ Ａｓ□ｕ５　　　　　０−／ （５）該硼酸鉛が、およその重ｔｈｔチでざ３チＰ　ｂ
   Ｏｅｉ、２．ｏ％Ｂ２Ｏ３Ｉｊ％Ｂｉ２Ｏ，ｅθ、ｊ′
   ％８１０□、ｉ、ｏｑｂＺｎＯおよび００５％ＢａＯｔ
   −含む→許Ｉ！η求の範囲第１項記載の封着ガラス組成
   物。 （６）　　該ベータ・ニークリゲタイトがイー／、Ｚｆ
   ｆｉ量チの址で存在する特許請求の範囲第７頂記−の封
   着ガ２ス゛組成瞼・ （７）　　ベータ・ニークリゲタイト粒子の６０ないし
   ７０％が弘θＯＵ、Ｓ、を通過する特許請求の範囲第／
   項記載の封着ガラス組成物。 （６）特許請求の範囲第１項記載の封着ガラスで封着さ
   れた物品。