JPS5973072A - 霧化装置 - Google Patents
霧化装置Info
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- JPS5973072A JPS5973072A JP18392982A JP18392982A JPS5973072A JP S5973072 A JPS5973072 A JP S5973072A JP 18392982 A JP18392982 A JP 18392982A JP 18392982 A JP18392982 A JP 18392982A JP S5973072 A JPS5973072 A JP S5973072A
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- JP
- Japan
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
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- Special Spraying Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油や軽油等の液体液Ｉ」・水・架設液・記
録液等を、電気的振動子を用いて霧化する液体の霧化装
置に関する。
録液等を、電気的振動子を用いて霧化する液体の霧化装
置に関する。
従来例の構成とその問題点
従来から液体の霧化装置には、種々のものが提案さ扛て
おり、圧電素子等の電気的振動子を用いたものも見うけ
らｎる。
おり、圧電素子等の電気的振動子を用いたものも見うけ
らｎる。
例えば、（１）ホーン型の振動子に圧電素子全ボルト締
め、又は、接着し、圧電素子の機械的振動振幅をホーン
型振動子で増幅し、ホーン先！１ｈ１の振幅拡大面に液
体を供給、滴下して霧化する振幅増幅型超音波霧化装置
、あるいは、（２）近年インクジェット記録装置に実用
化さ！しているような超音波霧化粒子外全噴射するもの
で、液室の一端に圧電振動子を設け、他端にオリフィス
を設けた構成で、圧電振動子の振動による液室内の圧力
上昇を液体を介してオリフィスに伝え、その結果オリフ
イスより霧化粒子をかなジの飛散速度で噴射することが
出来る霧化装置がある。
め、又は、接着し、圧電素子の機械的振動振幅をホーン
型振動子で増幅し、ホーン先！１ｈ１の振幅拡大面に液
体を供給、滴下して霧化する振幅増幅型超音波霧化装置
、あるいは、（２）近年インクジェット記録装置に実用
化さ！しているような超音波霧化粒子外全噴射するもの
で、液室の一端に圧電振動子を設け、他端にオリフィス
を設けた構成で、圧電振動子の振動による液室内の圧力
上昇を液体を介してオリフィスに伝え、その結果オリフ
イスより霧化粒子をかなジの飛散速度で噴射することが
出来る霧化装置がある。
しかし、上記従来の霧化装置は以下に示すような欠点を
有していた。
有していた。
（１）の霧化装置は、ホーン型撮動子の高い加工精度と
、液体を供給するポンプ等が必要となるため高価となら
ざるを得ない上、霧化面への液体供給方法が複雑であっ
た。また、２０ｃｃ／ｍｉｎの霧化量を得るためには、
５〜１０ワツトとがなり大きな消費電力が必要な上、そ
の霧化能力も十分なものではなかった。
、液体を供給するポンプ等が必要となるため高価となら
ざるを得ない上、霧化面への液体供給方法が複雑であっ
た。また、２０ｃｃ／ｍｉｎの霧化量を得るためには、
５〜１０ワツトとがなり大きな消費電力が必要な上、そ
の霧化能力も十分なものではなかった。
（２）の霧化装置は、インクジェットに利用さｎている
事実からも明らかなように、構成が簡単で動作も安定と
いつ長所を有していたが、振動子の振動による液室内の
圧力上昇を液体を介してオリフィスに伝達する構成であ
るため、溶存空気を多量に含む一般的な液体を使用した
場合には、液室内にキャビテーンヨン気泡が発生し、こ
の気泡のために安定した霧化動作全維持″Ｔ：キナいと
いう欠点を有していた。そこで一般の液体を霧化するに
は溶存空気全脱気しなけ几ばｌらず、極めて汎用性に欠
けていた。
事実からも明らかなように、構成が簡単で動作も安定と
いつ長所を有していたが、振動子の振動による液室内の
圧力上昇を液体を介してオリフィスに伝達する構成であ
るため、溶存空気を多量に含む一般的な液体を使用した
場合には、液室内にキャビテーンヨン気泡が発生し、こ
の気泡のために安定した霧化動作全維持″Ｔ：キナいと
いう欠点を有していた。そこで一般の液体を霧化するに
は溶存空気全脱気しなけ几ばｌらず、極めて汎用性に欠
けていた。
また、こｎらのセラミック圧電体駆動では、周囲温度変
化と、セラミック体内部の温度上昇により固有の機械的
振動数がず几るのを、電流検出によジ移相器の中心周波
数全偏位させて補償する方式が特公昭５０−１３６５７
号公報「セラミック体の駆動方式」にあったが、こｎは
素子に印加さｎる電圧と電流を同相にすべく温度の補正
全力［ｊえるもので構成が複雑となる。
化と、セラミック体内部の温度上昇により固有の機械的
振動数がず几るのを、電流検出によジ移相器の中心周波
数全偏位させて補償する方式が特公昭５０−１３６５７
号公報「セラミック体の駆動方式」にあったが、こｎは
素子に印加さｎる電圧と電流を同相にすべく温度の補正
全力［ｊえるもので構成が複雑となる。
発明の目的
本発明は、このよＣ）な従来の霧化装置の欠点を排し、
構成が簡単でしかもコンパクト、かつ、低消費電力であ
り１構成によるユニットとしての温度補償全実姉するこ
とにより、最適な、駆動条件で液滴全噴霧する霧化装置
を提供することを目的とする。
構成が簡単でしかもコンパクト、かつ、低消費電力であ
り１構成によるユニットとしての温度補償全実姉するこ
とにより、最適な、駆動条件で液滴全噴霧する霧化装置
を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の霧化装置は、噴霧さｆＬる液体を充填する加圧
室金偏え／ζボテイーと、前記力日圧室に液体を供給す
るための供給部と、前記加圧室に臨むよつに設けたノズ
ル部と、前記ノズル部を加振する電気的振動子と、前記
電気的振動子に駆動信号を力え、しかも、周囲温度に対
して負の温度特性を有する構成の周波数発生部とから構
成さｎている。
室金偏え／ζボテイーと、前記力日圧室に液体を供給す
るための供給部と、前記加圧室に臨むよつに設けたノズ
ル部と、前記ノズル部を加振する電気的振動子と、前記
電気的振動子に駆動信号を力え、しかも、周囲温度に対
して負の温度特性を有する構成の周波数発生部とから構
成さｎている。
」二記のような本発明の構成では、電気的振動子の機械
的固有振動数の温度偏位に加えて、力１王室の寸法が温
度により変化するので、霧化部ユニット全体としての共
振周波数のずｎが発生する。後述するように、周囲温度
上昇に伴って加圧室内径が増７ＪＵＬ、霧化部ユニット
としての共振波長が伸ひる、つ甘り、共振周波数が低下
する。こｎを補償するために、温度係数が負の、駆動周
波数を印加し、最適霧化状態全維持するのである。
的固有振動数の温度偏位に加えて、力１王室の寸法が温
度により変化するので、霧化部ユニット全体としての共
振周波数のずｎが発生する。後述するように、周囲温度
上昇に伴って加圧室内径が増７ＪＵＬ、霧化部ユニット
としての共振波長が伸ひる、つ甘り、共振周波数が低下
する。こｎを補償するために、温度係数が負の、駆動周
波数を印加し、最適霧化状態全維持するのである。
実施例の説明
次に本発明の霧化装置の霧化部を第１図の断面図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
１は液体全充填する加圧室で、２は前記加圧室全形成す
るボディである。３は噴霧さ≧ｒする液体を■ 前記加圧室１に供給する供給部、４は負圧等の利用によ
り力■圧室１中に液体を満たすと共に所定位置捷で引き
上げ、さらに、駆動時にカＩ圧室１中に発生する気体を
排出する排出部である。５は前記カ］１圧室に臨むよう
配さｎたノズル部で、外周はボテイー２に接合さ２”し
ている。ノズル部５の中央には液滴吐出用の微細な孔６
（例えば、径が８０１ｔ ７内程度）を有する球面状の
突起７が形成さｎている。
るボディである。３は噴霧さ≧ｒする液体を■ 前記加圧室１に供給する供給部、４は負圧等の利用によ
り力■圧室１中に液体を満たすと共に所定位置捷で引き
上げ、さらに、駆動時にカＩ圧室１中に発生する気体を
排出する排出部である。５は前記カ］１圧室に臨むよう
配さｎたノズル部で、外周はボテイー２に接合さ２”し
ている。ノズル部５の中央には液滴吐出用の微細な孔６
（例えば、径が８０１ｔ ７内程度）を有する球面状の
突起７が形成さｎている。
さら（てノズル部５には、円環状の電気的振動子、ここ
ではセラミック圧電体８が装着さ才ｔている。
ではセラミック圧電体８が装着さ才ｔている。
この圧電体８は厚さ方向に分極処理さ才１でおり、ノズ
ル部５との接合面及び反対側の面には電極が形成さｎて
いる。９は圧電体８へ駆動イ―号を伝達するための導線
で、一方は圧電体８の電極面へハンダ付けさ几、他方は
ビス１０でボテイ２に接続さｎている。駆動信号により
圧電体８の機械的振動が励起さｎると、ノズル部５もイ
」勢さ扛て力１振さ几るのて゛、結果として加圧室１内
の液体が霧化粒子１１となって孔６から噴出さ几る。と
ころでボディ２は、取付板１２にビス１３で固定さｎて
いる。
ル部５との接合面及び反対側の面には電極が形成さｎて
いる。９は圧電体８へ駆動イ―号を伝達するための導線
で、一方は圧電体８の電極面へハンダ付けさ几、他方は
ビス１０でボテイ２に接続さｎている。駆動信号により
圧電体８の機械的振動が励起さｎると、ノズル部５もイ
」勢さ扛て力１振さ几るのて゛、結果として加圧室１内
の液体が霧化粒子１１となって孔６から噴出さ几る。と
ころでボディ２は、取付板１２にビス１３で固定さｎて
いる。
次に第２図で、ノズル部５のカロ振状態をさらに詳しく
説明する。Ａは第１図の断面図と同様で、ｌτ１１一番
号は同じ機能を有する構成物を表わしている。ｋは中心
軸の位置を、−ｒ２’ −ｒＩ ＋−１−ｒｌ＋ ＋ｒ
２はそｎぞ汎中心からの偏位含水している。圧電体８に
１駆動信号が印加さｎると、ａ、 ｂの矢印で示すよ
うな径方向の振動を発生する。Ｏの圧電体８の径方向振
動によりノズル部６には、図の実線及び破線で示したよ
ｅ）な振動が励起さ几る。７は球面状の突起部が最も犬
さく振動し、ここに形成さｎている細孔６から力１圧室
１内の液が微粒子となって飛び出る。Ｂでは、横軸に中
心Ｃからの距離と、縦軸にノズル部６各部の振幅変位量
δをとり、谷点の振幅の程度を示している。前述したよ
うに、突起部子が最も犬さく励振さｎている様子がわか
る０ 図中ＡのＤは加圧室１の内径を表わしている。
説明する。Ａは第１図の断面図と同様で、ｌτ１１一番
号は同じ機能を有する構成物を表わしている。ｋは中心
軸の位置を、−ｒ２’ −ｒＩ ＋−１−ｒｌ＋ ＋ｒ
２はそｎぞ汎中心からの偏位含水している。圧電体８に
１駆動信号が印加さｎると、ａ、 ｂの矢印で示すよ
うな径方向の振動を発生する。Ｏの圧電体８の径方向振
動によりノズル部６には、図の実線及び破線で示したよ
ｅ）な振動が励起さ几る。７は球面状の突起部が最も犬
さく振動し、ここに形成さｎている細孔６から力１圧室
１内の液が微粒子となって飛び出る。Ｂでは、横軸に中
心Ｃからの距離と、縦軸にノズル部６各部の振幅変位量
δをとり、谷点の振幅の程度を示している。前述したよ
うに、突起部子が最も犬さく励振さｎている様子がわか
る０ 図中ＡのＤは加圧室１の内径を表わしている。
周囲温度変化により、ボディー全構成している材８−１
（例えば金属）の特性に依存してボディー自体も膨張・
収縮を行う。温度が上昇すｎば、ボディー全体として膨
張傾向にあるから、前述の内径寸法Ｄｉｄ−犬さくなる
。力［１圧室の内径寸法Ｄ１つ−ｆジ、振動部の外径と
も考えら扛る寸法と、機械的固イｊ振動数ｆｒ との
関係は、次のよう（テ示さ才１．る。
（例えば金属）の特性に依存してボディー自体も膨張・
収縮を行う。温度が上昇すｎば、ボディー全体として膨
張傾向にあるから、前述の内径寸法Ｄｉｄ−犬さくなる
。力［１圧室の内径寸法Ｄ１つ−ｆジ、振動部の外径と
も考えら扛る寸法と、機械的固イｊ振動数ｆｒ との
関係は、次のよう（テ示さ才１．る。
ｆｒＣ＞′−♂一
つまり、寸法の二乗に反比例しており、寸法りが 。
増太すｆは共振周波数は低下するのである。！、た、図
の霧化部としての温度に対する共振周波数の変化は、圧
電体８の特性自体によるものよりも、前述したカロ圧室
１内径の変化によるものの方が約−桁太さいので、振動
体ユニットとしての機械的共振周波数は負の温度係数を
持つのである。第３図で、振動体ユニットとして構成さ
ｎた中の圧電体８に通電さｎる電流の周波数特性、及び
、実霧化量の周波数特性を示す。Ａでｆ＝ｆｒは共振周
波数を表わし、周波数増加と共に全体として電流値も増
大傾向にあるので、容量性の負荷であることが分かる。
の霧化部としての温度に対する共振周波数の変化は、圧
電体８の特性自体によるものよりも、前述したカロ圧室
１内径の変化によるものの方が約−桁太さいので、振動
体ユニットとしての機械的共振周波数は負の温度係数を
持つのである。第３図で、振動体ユニットとして構成さ
ｎた中の圧電体８に通電さｎる電流の周波数特性、及び
、実霧化量の周波数特性を示す。Ａでｆ＝ｆｒは共振周
波数を表わし、周波数増加と共に全体として電流値も増
大傾向にあるので、容量性の負荷であることが分かる。
Ｂは霧化量で、前述の共振点よりも少し高い周波数ｆ＝
ｆｒ１Ｔ最大値を示している。最大霧化周波数はＡにお
いて、共振及び反共振点の中間の周波数となっている。
ｆｒ１Ｔ最大値を示している。最大霧化周波数はＡにお
いて、共振及び反共振点の中間の周波数となっている。
Ａ、Ｂそｎぞｎの実線は周囲温度Ｔａ＝２０’Ｃでの特
性、破線はＴａ−４Ｑ℃での特性を示している。温度の
高いＴａ＝４０℃の方が加圧室１内径が増大するので、
最大霧化量発生周波数が低い方にシフトシている。この
周波数ｆｒ＋が、最適霧化状態に合致している。
性、破線はＴａ−４Ｑ℃での特性を示している。温度の
高いＴａ＝４０℃の方が加圧室１内径が増大するので、
最大霧化量発生周波数が低い方にシフトシている。この
周波数ｆｒ＋が、最適霧化状態に合致している。
第４図では、周囲温度Ｔ、に対する前記最大霧化量発生
周波数ｆｒ１の変化ａと、圧電体８両端の容量変化すの
例を示している。周波数ｆｒ＋は温度に対して負の特性
含水し、この例ではΔｆｒ１”６０ｆｉｚ／ ｄｅｇで
あり、圧電体８の等価容量は温度に対して逆に増加して
いる。
周波数ｆｒ１の変化ａと、圧電体８両端の容量変化すの
例を示している。周波数ｆｒ＋は温度に対して負の特性
含水し、この例ではΔｆｒ１”６０ｆｉｚ／ ｄｅｇで
あり、圧電体８の等価容量は温度に対して逆に増加して
いる。
第６図は、第４図で示した周波数ｆｒ＋の温度特性全補
償する周波数発生部を含む、圧電体８駆動のブロック構
成図である。前述周波数発生部１４は、算囲気温度全検
知する温度センサ１５と、前記温度センサ１５の信号に
依存してｆｒ＋を発生する発振器１６とで構成さｎ１出
力部１γを介して圧電体８へ駆動信号を伝達している。
償する周波数発生部を含む、圧電体８駆動のブロック構
成図である。前述周波数発生部１４は、算囲気温度全検
知する温度センサ１５と、前記温度センサ１５の信号に
依存してｆｒ＋を発生する発振器１６とで構成さｎ１出
力部１γを介して圧電体８へ駆動信号を伝達している。
第６図は、負の温度係数’ｔ’ｌ＝Ｈする駆動周波数発
生部を含む別の実施例で、第６図と同一番号のものは同
じ機能を有する要素である。１８は圧電体８へ流ｎる電
流を検出する電流検出部であり、その信号は、位相比較
部１つで電気的振動子への印７Ｊ［］電圧波形信号（例
えば、正弦波）と位相が比較さ几、所定位相になるよう
に発振器１６へ信号を送っている。発振器１６は、前記
位相比較器からの信号と、温度センサ１５からの信号を
受け、所定の、駆動発振周波数全発生している。
生部を含む別の実施例で、第６図と同一番号のものは同
じ機能を有する要素である。１８は圧電体８へ流ｎる電
流を検出する電流検出部であり、その信号は、位相比較
部１つで電気的振動子への印７Ｊ［］電圧波形信号（例
えば、正弦波）と位相が比較さ几、所定位相になるよう
に発振器１６へ信号を送っている。発振器１６は、前記
位相比較器からの信号と、温度センサ１５からの信号を
受け、所定の、駆動発振周波数全発生している。
ところで、第６図、第６図では温度センサ１６を別に示
しているが、発振器１６の構成要素部品中に周囲温度補
償要素を持たせても良いのである。
しているが、発振器１６の構成要素部品中に周囲温度補
償要素を持たせても良いのである。
第７図は、圧電体８の共振信号を正帰還・増幅して発振
さぜる自励発振系を例に挙げた実相例である。２０は交
流全整流平滑して作らｎだ直流電源部、２１は帰還さｎ
だ共振信号を増幅し５電気的振動子８に印加する５ＥＤ
Ｐ構成の増幅部、２２は圧電体８の共振信号を取り出す
検出部でその信号は２３のフィルタを介し、２４のパス
コンを介して前記増幅部に正帰還さγしている。この正
帰還増幅発振系自体で温度補償は成されるが、さらに、
フィルタ一部の温度特性を、霧化部の負の温度係数に合
致させ１１は、最適霧化状態を維持しつつ発振′ｆｆ：
続行出来る。
さぜる自励発振系を例に挙げた実相例である。２０は交
流全整流平滑して作らｎだ直流電源部、２１は帰還さｎ
だ共振信号を増幅し５電気的振動子８に印加する５ＥＤ
Ｐ構成の増幅部、２２は圧電体８の共振信号を取り出す
検出部でその信号は２３のフィルタを介し、２４のパス
コンを介して前記増幅部に正帰還さγしている。この正
帰還増幅発振系自体で温度補償は成されるが、さらに、
フィルタ一部の温度特性を、霧化部の負の温度係数に合
致させ１１は、最適霧化状態を維持しつつ発振′ｆｆ：
続行出来る。
発明の効果
本発明の霧化装置によ几ば次のような効果がイ」ら才］
、る。
、る。
（１）・負圧力等の利用により方［１圧室に液体が充填
さ几霧化動作が開始さγシ！シば、燃料の自給作用が得
らｎ、るので、霧化ユニットとしての構成がコンパクト
かつ簡単な上、低消費電力化が図７Ｌる。
さ几霧化動作が開始さγシ！シば、燃料の自給作用が得
らｎ、るので、霧化ユニットとしての構成がコンパクト
かつ簡単な上、低消費電力化が図７Ｌる。
例えば、２０ｃｃ／ｍｉｎの霧化動作に１ワット程度の
電力で済む。
電力で済む。
（２）霧化部の構成要素である加圧室の寸法変化に犬さ
く起因する機械的共振周波数のず几が、所定の負の温度
係数を有する周波数発生部により１引 て補正さｆＬるので、広範ｌ温度変化に対しても常に最
適な霧化動作が維持さｎる。
く起因する機械的共振周波数のず几が、所定の負の温度
係数を有する周波数発生部により１引 て補正さｆＬるので、広範ｌ温度変化に対しても常に最
適な霧化動作が維持さｎる。
第１図は本発明の一実施例を示す霧化部の断面図、第２
図Ａは霧化部の断面図、同Ｂはノズル各部の振幅変位量
を示す図、第３図Ａ、 Ｂはそｎぞｎ駆動周波数に対
する電流及び霧化量の特性図、第４図は霧化部ユニット
とじての周囲温度に対する最大霧化量周波数と圧電体両
端の容量特性図、第５図は圧電体駆動ブロック構成図、
第６図は圧電体駆動ブロック図の別の一実施例を示す図
、第７図は自励発振系の一実施例を示す図である。 １・・・・加圧室、２・・・・ボディ、３・・・・・・
供給部、５・・・・ノズル部、８・・ ・圧電体（電気
的振動子）、１４・・・・・・周波数発生部、１５・・
・・・温度センサ、１６・・・・発振器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 にか１名第１
図 ２図 （１４＋ −ｒ２ −ろ Ｋ ＋Ｍ ＋ろ第３図 第４図 第５図 第６図 １
図Ａは霧化部の断面図、同Ｂはノズル各部の振幅変位量
を示す図、第３図Ａ、 Ｂはそｎぞｎ駆動周波数に対
する電流及び霧化量の特性図、第４図は霧化部ユニット
とじての周囲温度に対する最大霧化量周波数と圧電体両
端の容量特性図、第５図は圧電体駆動ブロック構成図、
第６図は圧電体駆動ブロック図の別の一実施例を示す図
、第７図は自励発振系の一実施例を示す図である。 １・・・・加圧室、２・・・・ボディ、３・・・・・・
供給部、５・・・・ノズル部、８・・ ・圧電体（電気
的振動子）、１４・・・・・・周波数発生部、１５・・
・・・温度センサ、１６・・・・発振器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 にか１名第１
図 ２図 （１４＋ −ｒ２ −ろ Ｋ ＋Ｍ ＋ろ第３図 第４図 第５図 第６図 １
Claims (4)
- （１） Ｍ体を充填する加圧室を備えたボディーと、
前記加圧室に液体を供給するための供給部と、前記加圧
室に臨むように設けたノズル部と、前記ノズル部を加振
する電気的振動子と、前記電気的振動子駆動用の周波数
発生部と全備え、討記周波数発生部は負の温度係数を有
する構成とした霧化装置。 - （２）周囲温度検出用の温度センサと、この温度センサ
の信号に依存して発振周波数を可変する発振器にて前記
温度係数が負の周波数発生部全構成した特許請求の範囲
第１項記載の霧化装置。 - （３）電気的振動子の共振信号を正帰還及び増幅する系
にて温度特性が負の周波数発生部を構成した特許請求の
範囲第′１項記載の霧化装置。 - （４）発振器全構成する電気回路要素全周囲温度検出用
の温度センサと兼用した特許請求の範囲第２項記載の霧
化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18392982A JPS5973072A (ja) | 1982-10-19 | 1982-10-19 | 霧化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18392982A JPS5973072A (ja) | 1982-10-19 | 1982-10-19 | 霧化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5973072A true JPS5973072A (ja) | 1984-04-25 |
| JPS632223B2 JPS632223B2 (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=16144273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18392982A Granted JPS5973072A (ja) | 1982-10-19 | 1982-10-19 | 霧化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5973072A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104209221A (zh) * | 2014-09-19 | 2014-12-17 | 江苏大学 | 一种低频弯振式二次超声雾化器 |
| JP2016158879A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | 国立大学法人東京工業大学 | 匂い発生装置 |
| CN110918357A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-03-27 | 湖南嘉业达电子有限公司 | 一种频率自适应的微孔雾化元件及其制备方法 |
| CN114308504A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-04-12 | 江苏大学 | 一种压电低频超声纳米雾化器及使用方法 |
-
1982
- 1982-10-19 JP JP18392982A patent/JPS5973072A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104209221A (zh) * | 2014-09-19 | 2014-12-17 | 江苏大学 | 一种低频弯振式二次超声雾化器 |
| JP2016158879A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | 国立大学法人東京工業大学 | 匂い発生装置 |
| CN110918357A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-03-27 | 湖南嘉业达电子有限公司 | 一种频率自适应的微孔雾化元件及其制备方法 |
| CN114308504A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-04-12 | 江苏大学 | 一种压电低频超声纳米雾化器及使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632223B2 (ja) | 1988-01-18 |
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