JPS5972504U - プリント配線板検査装置 - Google Patents
プリント配線板検査装置Info
- Publication number
- JPS5972504U JPS5972504U JP1982169022U JP16902282U JPS5972504U JP S5972504 U JPS5972504 U JP S5972504U JP 1982169022 U JP1982169022 U JP 1982169022U JP 16902282 U JP16902282 U JP 16902282U JP S5972504 U JPS5972504 U JP S5972504U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- printed wiring
- board inspection
- inspection equipment
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来構造の透過型検査装置の斜視図、第２図は
反射型光学系の構成図、第３図および第４図は検査方法
の説明図また第５図は本考案に係る検査装置の構成図で
ある。 図において２はガラス板、３は光学系、４はレーザ光、
６は光検知器、１１．１５は被検査物、１７．１７’は
ホイール。
反射型光学系の構成図、第３図および第４図は検査方法
の説明図また第５図は本考案に係る検査装置の構成図で
ある。 図において２はガラス板、３は光学系、４はレーザ光、
６は光検知器、１１．１５は被検査物、１７．１７’は
ホイール。
Claims (1)
- 可撓性薄板にパターン形成されてなる被検査物にレーザ
光を走査し、その反射光或は透過光強度により該パター
ンの特徴抽出を行い、該パターンの良否判定を行う検査
装置にお−いて、被検査物を一定の曲率をもって保持し
、該被検査物の内側より等距離を持ち乍らレーザビーム
スポットを走査し検査することを特徴とするプリント配
線板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982169022U JPS5972504U (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | プリント配線板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982169022U JPS5972504U (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | プリント配線板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5972504U true JPS5972504U (ja) | 1984-05-17 |
Family
ID=30369357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982169022U Pending JPS5972504U (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | プリント配線板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5972504U (ja) |
-
1982
- 1982-11-08 JP JP1982169022U patent/JPS5972504U/ja active Pending
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