JPS5968636A - 高温用圧力置換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は間部流体の圧力、液位、ル圧、ンガＵ　ｊｔｉ
等のプロセス俊敏を前記流体の圧力を検出して計測する
際、該高温流体の圧力を低温流体に伝達する隔膜式圧力
置換器に関する。

一般に流体の圧力を検出するセンサにおいでは、該セン
サの構造等のために、該センサに接触する流体の温度が
１００　’Ｃ！以下であることが必要である。このため
、従来１００°Ｃ以上の流体の圧力を検出する際は、該
高温流体と圧力伝達媒体とを隔離し力）つ前記高温流体
の圧力を前記圧力伝達媒体に伝達するシール膜を内蔵し
た圧力置換部と、前記圧力伝達媒体と、前記圧力伝達媒
体を収納した圧力伝達背部とを備えた隔膜式圧力置換器
を前記高温流体とセンサとの間に設けて前記高温流体の
圧力をＡｉＪ記圧方圧力伝達媒体して前記センサに導く
と共に、前記圧力伝達管部等における大気中への放熱作
用を利用して前記センサの圧力導入口附近における前記
圧力伝達媒体の温度を１００°Ｃ以下にすることが通常
行われでいる。

前記隔膜式圧力置換器は、プロセスの条件やセンサの耐
熱性等を考慮して２個以上を直列にした多重圧力置換器
として構成されるこ古もある。以下従来技術を図１こつ
いて詳しく説明するが、高温流体の圧力、液位。差圧、
流量等のいずれの計測においても隔膜式圧力置換器の使
用方法は同様であるから、ここでは液位をｇｆ測する例
についで説明する。

第１図は従来原子カプラントの高温プロセスにおいて行
イつれている隔膜式多重出力置換器を使用した液位計１
）１１１装置の設置例を示す構成図である。

第１図において４００は高温の被測定液体４０１の収納
されたタンク、４０２は被測定液体４０１の蒸気であっ
て、液位Ｈは前記液体４０１の流入量および流出菫を調
節する升４０３，４０４の操作によって変化する。４０
５は７ランジ４０６を備えて蒸気４０２の圧力（低圧性
圧力）をタンク４００外へ取出す低圧側圧力取出部、４
０５°はフランジ４０６′を備えて液柱Ｈの底部の圧力
（高圧側圧力）をタンク４００外へ取出す高圧側圧力取
出部、１０は圧力伝達管部１４の両端に７ランジ１２と
１６ｅを備え内部にシール膜と第】圧力伝達媒体とを有
する低圧側第１圧力置換器、２ｏは圧力伝達管部２４の
両端に７ランジ２２と２６とを備え内部にシール膜と第
２圧カ伝達媒体とを有する低圧側第２圧力置換器、３ｏ
は圧力伝達管部３４の一端に７ランジ３２を備え内部に
第３圧力汰遅媒体を有する低圧側第３圧力置換器、１ｏ
１゜２０’　、　３０’Ｌｔそれぞ゛れｌＯ，２０，３
０と同様の１１１成を有する高圧側の第１圧力置換器。

第２圧力置換器、第３圧力置挨器である。ｆｇｔＪ記低
圧側圧力取出ロ４０５．低圧側第１圧力置換器１ｏ、低
圧１則第２圧力１ｄ換器２０．低圧側第３圧力置僕器３
゜は順次フランジ結合によって接続され、圧力伝達管部
３４のフランジ３２ｄは反対側の端は液位検出センサ５
０の低圧側圧力導入口５１に接続されでおり、また、前
記商用側取出口４０５゜高圧側第１圧力置俟器１０１．
制圧ｆ１４ＩＩ第２圧力置換器２ｏｊ高圧１ＩｌｌＩ第
３圧力１道挨器３０’は順次フランジ結合によって接続
され、圧力置換器３０’の圧力伝達管部３４′の７ラン
ジ３２１とは反対側の端は液位検出センサ５０の高圧１
則圧力導入口５１’に接続されている。この結果、低圧
ｌ１１８圧カ取出耶４ｏ５．低圧１１ｔｌｌ圧力置換器
１０．２０および３ｏで構成される佳圧側導圧経路にお
いては、高温蒸気４０２の圧力が順次前記各圧力置換器
内に収納された圧力伝達媒体（こ伝達されて該媒体の圧
力に置換されると同時に、前記各圧力伝達媒体の温度は
大気への放熱のために前記低圧１１１１１導圧経路に沿
って逐次１氏下するので、結局、高温蒸気４０２の圧力
は液位偵出セフす５０（？ｃ、５って適当ｆ、ｆ（Ｍ、
ＩＫ　（Ｊ　００　’Ｏ以下）の流体すなイつも第３　
）Ｅ力伝達媒体の圧力おし、てセンサ５０の低圧側圧力
導入口５１に４かれ、また、高圧側圧力取出部４ｏ５１
□ぢ圧４１１１１圧カを置換器１ｏ：２０’および３０
’で構成される高圧１１ｉ１１導庄経路（こおいては、
前記低圧１１１１１導圧経路におけると同様にして高温
液体の液柱ｆ１の圧力力Ｓ　ｌ　（１（１’０以上の温
度の第３圧力伝Ｊ、！媒体の圧力としてセンサ５ｏの高
圧側圧力導入口５１′に導がれるこ已ζこなりＮ　ｊｔ
Ｔ−来このようにして前記圧カ専入口５１９５１’に専
が４％だ圧力により赦位月が−ｊｙノサ５０ｉこよって
ｓｉ街１されている。

次に圧力置換器における導圧の模様を説明するが、この
導圧の模様は前記の低圧側導圧経路および高圧側導圧経
路のいずれにおいても同様であり、また、前記各導出経
路の中の前記第１ないし第３圧力置換器のいずれｌこお
いても同様であるので、以下には後に述べる本発明によ
る高温用圧力置換器と密接に関連する第２圧力置換器の
導圧の模様を低圧側導圧経路についで説明する。

第２図は第１図における低圧側第２圧力置換器２０およ
びそのｌｌ１ｉ］端近傍の縦断面図である。図において
は、第１図と同一の機能を有する部分には同一の符号が
付しである。第２図において、２３は第１圧力置換器１
０内に封入された尚温流体としての第１圧力伝達媒体１
８と第２圧力置換器２０内ｌこ封入された圧力伝達媒体
としての第２圧力伝達媒体２８とを密閉的に仕切る高温
側シール膜、２２はフラッジ、２１は前記７ランジ２２
と前記鍋温側シール膜２３とからなる高温側圧力置換部
、２１ａは前記フランジ２２の凹部と前記高温側シール
ＩｙＡ２３とによって形成される前記高温側圧力置換部
２１の低温側圧力置換部２５側の内部空所、２７は圧力
伝達線としての前記第２圧力伝達媒体２８と第３圧力置
換器３０内に封入された低温流体としての第３圧力伝達
媒体３８とを密閉的に仕切低温ｆｉｌ＋シール膜、２６
は７ランジ、２５は前記７ランジ２６と前記低温側シー
ル膜２７とからなる低温側圧力置換部、２５ａは前記７
ランジ２６の凹部と前記低温Ｊ１ｕシール農２７と（こ
よって形成される前記低温匝圧力を換部２５の前記高温
側圧力置換部２１側の内部空所、２４は前記内部空所２
１ａと２５ａとを連通せしめた圧力伝達管部、２８は前
記内部空所２１ａと２５ａと圧力伝達管部２４の内部２
４ａとによって形成されるひとつの連通した空所に封入
された第２圧力伝達媒体であって、高！側圧力置換部２
１ｃ！：低温１則圧力直換部２５と圧力伝達管部２４と
Ｍ２２圧力伝達媒２８とで低温１１１１第２圧力置換器
２０が構成されている。

したがって、第１圧力伝達媒体１８の圧力は尚源側シー
ル膜２３を介して第２圧力伝群媒体２８の圧力？こ置換
され、さらｌこ、該媒体２８の圧力は低温側シール膜２
７を介して第３圧力伝達媒体３８に伝達されるが、第１
圧力伝達媒体１８が高温であるときは前記各圧力伝達媒
体の熱は圧力伝達経路に？９つで大気へ放熱されるので
、第１圧力伝達媒体１８と第２圧力伝達媒体２８との双
方の高温側シール膜２３に接する附近の温度をそれぞれ
’Ｊ”　Ｉ　ＪよびＴ２とし、第２圧力伝達媒体２８と
第３圧力伝達媒体３８との双方の低温１１Ａ１１シール
膜２７に接する附近の温度をそれぞれＴ３およびＴ４と
ｆるとＴＩ≧Ｔ２＞Ｔ３≧Ｔ４と７”、Ｃ）で、結局１
高温流体Ｉ８の圧力が低温流体３８の圧力に伝達。

置換されることになる。

従来、原子カプラントの高温プロセスにおいでは以上に
説明したようにして圧力の計測が行われており、前記第
２圧力伝達媒体２０には温度等を考慮してたとえばＮａ
Ｋ　（Ｎ　ａ　：　２２　車量％、Ｋエフ８重量％）や
１１ｇが１ヂ用されているが、前記ＮａＫの使用につい
ては、ＮａＫの水との反応が激しいためにこれの圧力置
換器への封入作業が面倒であると力＼王力Ｉｉ！侠器の
破損によってＮａＫが外部に漏出すると危険であるなど
の問題かあり、また’ｐｉｊＭｌ己Ｊ　（ｉＨの使用に
ついては周ｆ口の公害問題の発生する恐１１．カベある
などの問題があった。このため、上記のＮａＫや楡の欠
点を克服］−ることを目的としてＧ　ａ　、［ｎ合金（
Ｃｒａ　：　７５．５ｊ＆　縦％、Ｌ　ＩＩ　：　２４
−５　ｍ　’Ｎ　％、融点１５．７℃）を圧力伝達媒体
とする圧力置換器が既に提案されている。ところが、確
かに（ＪａＩｎ合釜には永さの反応性か弱く、圧力置換
器の外部（こ副出しくも安全であって、かつ公害問題の
発生する虞れかｌよｌ・）という利点かめるもの０ハ粘
匪か旨いために１↑−内置換器への封入作業か困難で、
か一つ融点が１　ｂ７’Ｄであるために気温がこの温度
以下になると凝固して封入作業が不可能にγよるという
欠点かある。

る高渦流体の圧力を低温流体に１バノ孕する隔ｊ磨ｊ−
１：圧力置換器において、前記圧力置換器（こ封入され
た圧力伝達媒体が水き反応すること１，１：＜、また）
月二力誼侯器外へ漏出しても公告間ｉ枳″、ｔを兄ｇ二
すイ）恐れのない、製作が容易でかつ取扱い上久♀ｔま
前畠用圧力Ｍ換器を得ることを目的とするものであって
、この目的は前記高温用圧力置換器の圧力伝達媒体をＧ
ａｌｎＳｎＺｎ合金とし、該圧力置換器の高温側圧力１
４換部と圧力伝達管部の高温となる部分との双方の前記
圧力伝達媒体に接する部分をＧａＩｎ−８ｎＺｎ合金に
対して耐食性のある材料で構成するか、または、前記圧
力伝達媒体に接する面にＧａｌｎＳｎＺｎ合金に対して
耐食性のある材料の蒸着膜を形成させるなどの、以下に
説明するような手段によって達成される。

次に本発明の実施例を図面にもとづいて詳細に説明する
が、本発明による高温用圧力置換器の使用方法はプロセ
スの圧力、液位、差圧、流量等のいずれの計測において
も、また、第１図における如き差圧式液位測定方式の場
合の低圧側導圧経路および高圧側導圧経路のいずれにお
いても同様であるので、以下には主として第１図におけ
る如き差圧式測定方式の中の低圧側導出経路について説
明する。

第３図は本発明の一実施例を示す高温用圧力置換器およ
びその両端近傍の縦断面図、第４図は本発明の別の実施
例を示す高温用圧力置換器の高温側圧力置換部とその近
傍の縦断面図、第５図（→は本発明のさらに別の実施例
を示す高温用圧力置換器の高温側圧力置換部とその近傍
の縦断面図、第５図（ｂ）は第５図（ａ、）における挟
部Ｓの拡犬縦ケノ［面図であって、各図面において第２
図と同一の機能を有する部分には第２図と同一の符号が
付されている。

第３図において、フランジ２２は外部７ランジ２２１と
該フランジ２２１の四部２１ｂに吠入されかつ周辺にお
いで該フランジ２２１に対シて溶接Ｗ１の行なわれた内
部７ランジ２２２とで構成され、また、高温側シール膜
２３は周辺においで前記内部７ランジ２２２に対して浴
接Ｗ２の行われた内面シール膜２３２と周辺において前
記外部フランジ２２１１こ対しで溶接Ｗ３の行なイつれ
た外面シール膜２３１との貞ね合わせ構造となっていて
、前記内面シール膜２３２と前記内部フランジ２２２と
（こよって囲繞された孕ｔｆｆ？２１．ａお前記高温側
シール膜２３と前記７ランジ２２とで高温側圧力置換部
２１が構成されている。圧力伝達管部２４は外部圧力伝
達管２４１とこれに嵌入された内部圧力伝達管２４２と
から成っており、前記内部圧力伝達管２４２は７ランジ
２６を貫通させられて後、その上・冶の周辺か７ランジ
２６１こ醪接尚）されている。低温１■シール膜２’？
は周辺においてフランジ２Ｇに溶接（Ｗ５）されており
、前記シール膜２７と前記７ランジ２６とによって囲繞
された空所２５ａと前記シール膜２７と前記７ランジ２
６♂て低温側圧力置俣部２５が構成されでいる。

第３図ｔこおいては、外部７ランジ２２１と外部圧力伝
達管２４１と７う／ジ２６とで構成される部分および内
部７ランジ２２２と内部圧力伝達管２４２とで構成され
る部分はそれぞれが１個の材料から形成された１Ｈ危と
なっているが、部品２２１゜２４１．２６，２２２およ
び２４２が別々に製作されて後、溶接等の手段によって
Ｍ３図のような構造に形成されてもよいし、あるいは前
記二つの部分がまとめられて一体のものとして１周の材
料から形成されてもよい。

２８は、この場合、前記空所２１ａおよび２５ａと内部
圧力１入違’Ｍ’　２４２内の空所２４ａとで形成され
るひとつの連通した内部空所に封入された圧力伝達媒体
おして０．）　ＧａｌｎＳｎＺｎ合金（（ｌ）ａ：６５
ｊｊＬｉｉｔ％、Ｉｎ　：　２２　ｔｆｔ％、Ｓｎ：９
．ｍｉ％、Ｚｎ　：　４重′ｉ！、％、融点＝８．５°
Ｃ）である。外面シール膜２３１゜外部フランジ２２１
．外部圧力伝達管２４１，７ランジ２６および低温側ン
ール＃　２７はいり”れも５ＵＳ３１６’ｆ？の通常使
用されでいる材料で構成されているが、前記ＧａｌｎＳ
ｎＺｎ合金φこ接する部分すな４つも内面シール胸２３
２．内部７ランジ２２２および内部圧力伝達管２４２は
いず２１．も前記（Ｊａｌｎ８ｎＺｎ合金に対して耐食
性のめる材料、たとえば、ニオブまたは夕／グステ／で
（Ｎ成されでいる。

第３図においでは圧力置換器が以上に説明したようにＭ
’Ｙ成されでいるので本圧力置換器を用いて高温流体の
圧力の伝達、置換を行１ｊう除、高温側圧力置換部２１
および圧力伝達官邸２４が重湯となっでも前記（）ａＩ
ｎｓｎＺｎ合金に接する部分が該合金ｔこよって腐６１
にされることはないし、また前記０ａＩｎＳｎＺｎ合金
は低温においては前記Ｓ　ＯＳ　３１５等を腐蝕しない
ので、圧力伝達管部２４等からの大気への放献によって
低温となる低温側圧力置換部２５において前記（ＪａＩ
ｎＳｎＺｎ合金に接するフランジ２Ｇおよび低温側シー
ル膜２７が該合金によって腐蝕されることもない。浴接
Ｗｌ、Ｗ２．Ｗ３はこの番号の＋＋１ｍ序で実施される
が、特にＷ３は電子ビーム溶接であるので外面シール膜
２３１と内面シール膜２３２との間はＸ空状態々なって
おり、このため貞ね合わせ構造のシール膜２３の圧力伝
達特性に（ま問題が生じない。また前記ＧａＩｎ５ｎＺ
ｎ合金は水と反しムしないし、また粘性ならびに融点が
低いので咳合金の圧力置換器への封入作業を室温で客易
に行なうことができ、さらに圧力置換器の破［員によっ
て１□炙合金が漏出しても安全であって１、さらりこま
た該合金はＨｇｆ、ｆどのようｌこ公害問題を発生する
恐れもない。

第４図においでは、外面シール膜２３１および内面シー
ル１換２３２は、当初第３図のようにフラットな状態で
溶接Ｗ２．Ｗ３が行なイっれて後、該膜２３１および２
３２が一括してあらかじめ波形に形成されたシール膜着
座面２２２ａ（と押しつけられることによって該着座面
２２２ａと同一の波形６００が形成されたものであって
、この波形６００のためにシール膜２３の圧力伝達特性
が第３図の場合より向上する。

第５図において、２２はフランジ２２１と該フランジ２
２１が内側］に嵌入され該７ランジ２２１の周囲におい
て溶接Ｗ１０の行なわれたリング２２３とから構成され
た７ランジであって、該フランジ２２と周辺においで前
記リング２２３に対して溶接Ｗ９の行なわれた一枚構成
のシール族２３とによって高温側圧力置換部２１が構成
されている。フランジ２２１．リング２２３およびシー
ル膜２３の構成材料はいずれも通常使用されている材料
、たとえば、５ＵＳ３１６等である。フランジ２２１に
ＧａＩｎ５ｎＺｎ合金に対して耐食性のある材料、たと
えば、ニオブまたはタングステンで構成された内部圧力
伝達管２４２が貫通させられ、該伝達管２４２がその端
の周囲において前記フランジ２２１と溶接（Ｗ８）され
て後、フランジ２２１の１ＨＯ面２２１ｂの表面とシー
ル膜着座面２２２ａの表面とには双方に連続してＧａＩ
ｎ５ｎＺｎ合金に対して耐食性のある材料、たとえば、
ニオブまたはタングステンの蒸着膜２２４が真空蒸着ま
たはスパッタまたは化学蒸着等により形成され、リング
２２３の内倶］面２２３ｂの表面とシール膜２３のシー
ル膜着座面２２　］　ａ　ＩＨｉｌの面２３１の表面と
には溶接Ｗ９が行なわれて後双方に連続しでＧａ１ｎ−
５ｎＺｎ合金に対して耐食性のある材料、たとえば、ニ
オブまたはタングステンの蒸着膜２３３が真孕蒸着才た
はスパッタまたは化学蒸着等により形成されている。溶
接ＷＩＯは前記蒸着膜２２４および２３３がそれぞれ形
成されて後、フランジ２２１をリング２２３に嵌入して
行われる。

第６図は面接測定流体の圧力を置換するようにした、本
発明による高温用圧力置換器の躬３図とは別の実施例を
示す縦断面図、第７図は低ａｌｌｉｌ圧装置換部がセン
サに内蔵された構成きなっている本発明による高温用圧
力置換器のさらに別の実施例を示す縦断面図であって、
各図面において第１図および第２図々同一の機能を有す
る部分には第１図および第２図と同一の符号が付されて
いる。

第６図は、本発明による圧力置換器２０の高温側圧力置
換部２１が第１図における第１圧力置換器１０を省略し
て直接プロセスの低圧側圧力取出口４０５に接続された
構成となっており、プロセスの状況によっては本発明に
よる圧力置換器をこのような計測系統の構成要素として
使用することによりコストダウンが可能である。

第７図においては高温側圧力置換部２１が直接プロセス
の低圧１則圧力取出口４０５に接続されている構成は第
６図と同様であるが、圧力伝達管部２４は図に示しでい
ない手段によって差圧式のセンサ５０の圧力導入口５１
に接続されている。２８は圧力伝達媒体としての（）ａ
ＩｎｓｎＺｎ合金、５６はセンサ５０に内封された低温
流体としての封入液、２７はＧａＬｔＳｎＺｎ合金２８
と封入液５６とをぞ閉的（こ仕切り（）ａｌｎｓｎＺｎ
合金２８の圧力を封入液５６どこ伝達して低汎１１１１
シール膜を構成するシール膜、５７はセンサ５ｏのケー
ス５８の内部においてシール膜２７の固設された受圧室
であって、ＧａＩｎ５　ｎ７．　ｎ合金２８は高温１則
圧力置換部２■の内部空所２１　、ａと圧力伝達管部２
４の内部２４ａと受圧室５７のシール膜２７１こ対して
圧力伝達管部２４イｕｌｌの空所おからなる一連の空所
に封入されている。

第７図（こおいては、図示していないが、プロセスの高
圧１目１］圧力も前記低圧１１ｔｌ導圧経路におけると
同様にして差圧式のセンサ５ｏの封入液５６１に４力）
れる。この結果、センサ５０はＧａＩｎ５ｎＺｎ合金２
８からシール膜２７を介しで伝達された封入液５６の圧
力と、（）ａＩｎｓｎＺｎ合金２８１からシール膜２γ
を介しで伝達された封入液５６’の圧力との差の圧力を
測定ダイヤフラム５２によって検出する。

したがって木兄間ζこよる筒温用圧力置換器を第７図の
ような構成に通用すれは、計測系統が第６図の場合より
さらに簡単になり当然一層のコストダウンがｉ月倉ヒと
なる。

本発明ｔこよる高温用圧力ｔ置換器に４６いでは、以上
−こ説明したように、圧力伝達媒体を水と反応するこお
がなくまた大気中においでも安定で、（）ａＩｎ合金よ
りも粘性ならびに融点が低く、かつ人体に害を及ぼさな
い（）ａ）ｎｓｎＺｎ合金とし１［Ｉ＆合金ζこ接（７
でかつ高温ａなる圧力置快器の面を該合金ｌこ対して劇
食件のある材料で構成し、場合によっては１４１合わせ
構造の７−ル膜（こ波形を付したので、本発明による圧
力置換器には、高温１１（ｕ圧力置換ｉＩ５と圧力伝達
音部の高温となる部げとの双方の温度が約１０℃以上の
広い温度範囲にわたって、（）ａｌｎｓｎＺｎ合釜に接
する面が該合金によって腐蝕されること７．［ぐ高温流
体の圧力を正１而に置換、伝達する作用があり、また、
本発明によれば鍋＆ｉｍ用圧力置換器の製作ならびに取
扱いが、健米のＮａｌぐ。

Ｊ（ｇ　、　Ｇａ　Ｉ　ｎ等の圧力伝達媒体を用いた圧
力置換器に比して甚だ容易かつ反全である♂いう匁ｌ果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の隔膜式多産圧力置換器を使用しだ液位計
測装置の設置例を示す構成図、第２図は第１図における
低圧１ＦｌｌＪ第２圧力置換器およびその両端近傍の縦
断面図、第３図は本発明の一実施例を示す高温用圧力置
換器およびその両端近傍の縦断面図、第４図は本発明の
別の実施例を示す高温用圧力＋を換器の高温側圧力置換
部とその近傍の縦断面図、第５図（ωは本発明のさらに
別の実施例を示す高温用圧力置換器の高温側圧力置換部
とその近傍の縦断面図、第５図（ｂ）は第５図■におけ
る装部Ｓの拡大縦断面図、！４６図は第３図とは別の実
施例を示す縦断面図、第７図は低温側圧力置換部が七／
す（こ内蔵された構成となっている本発明による圧力１
に換器の実施例を示す縦断面図である。 図において、１０．１０’：第１圧力置換器、１４゜１
４°：第１圧力伝達管部、１８：高温流体または圧力伝
達媒体としての第１圧力伝達媒体、２０゜２０１＝第２
圧力置侠器、２１．２１’：高温側圧力置換部側の内部
空所、２３：高温側シール膜、２４゜２４１：第２圧力
伝達管部、２４ａ：圧力伝達管部の内部空所、２５　＋
　２５’　＊低温側圧力置換部、２５ａ：高温側圧力置
換部側の内部望Ｐ）’ｒ、２７　、２７’：低温側シー
ル膜、２８．２８’：低温流体または圧力伝達媒体また
は高温流体としての第２圧力伝達媒体、３０．３０°：
第３圧力置換器、３４．３４’：第３圧力伝達管部、３
８：低温流体韮たは圧力伝達媒体としての第３圧力伝達
媒体、５６．５６’：低温流体としての封入液、２２１
ａ　、　２２２ａ　：シール族着座面、２２４：族４股
、２３１　、２３２　：ぞれぞれ高温側シール膜２３を
構成する外面シール膜。 内面シール膜、２３３：蒸着膜、２４１　、２４２　：
それぞれ圧力伝達“９部２４を構成する外部圧力伝達管
。 内部圧力伝達管、４０１　、４０２　：それぞれ高温流
体としての被測定液体、蒸気、６００　二波形、Ｔ１な
いしＴ４：温度、ＷｌないしＷＩＯ：射接部。 才　１　日 Ｑ （ｏ、）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　（わン刃′Ｓ口 すら閏 さσ オ″　７　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■）高温流体と圧力伝達媒体とを密閉的に仕切る高温側
   シール膜を介して前記高温流体の圧力を前記圧力伝達媒
   体に伝達する高温側圧力置換部と、前記圧力伝達媒体と
   低温流体とを密閉的に仕切る低１ＭＩＩＩｌｌシール膜
   を介して前記圧力伝達媒体の圧力を前記低温流体に伝達
   する低温側圧力置換部と、前記高温相１］圧力置換部の
   前記低温側圧力置換部側の内部空所と前記低温側圧力置
   換部の前記同温側圧力置換部側の内部全所とを連通せし
   めた圧力伝達管部とを備え、前記畠ＩＭ側圧装置換部の
   前記低温１＋１１１圧力置換部側の内部墾１カ、前記低
   温１Ｈす圧力置換部の前記内温側圧力置換部側の内部空
   所および前記圧力伝達管部の内部望Ｉツ「によって形成
   されるひとつの連通した草所に封入された前記圧力伝達
   媒体をＧａｌｎＳｎＺｎ合金としたことを特徴とする高
   温用出力置換器。 ２、特許請求の範囲第１項記載の圧力置換器において、
   高温側圧力置換部と圧力伝達管部の高温部分との双方の
   圧力伝達媒体に接する面はＧａｌｎＳｎＺｎ合金に対し
   て耐食性のある材料を有することを特徴とする高温用圧
   力置換器。 ３）特許請求の範囲第１項記載の圧力置換器においで、
   高温側シールｊ俣は、該ソール膜の圧力伝達媒体に接す
   る側にＧａｌｎＳｎＺｎ合金に対して耐食性のある材料
   の内面シール膜が重ね合わされたことを特徴とする尚部
   用圧力置換器。 ４）特許請求の範し１．Ｈ第３項記載の圧力置換器にお
   いで、重ね合イつぜ構造のシール膜を構成する外面シー
   ル１漠および内面シールｊ戻は、波形加工を力市された
   ７−ル膜＞Ｗ座１ｍと同一の波形に形成ざイしたもので
   あるこ占を特徴と−「る制温用圧力ｆ匡侯器。 ５）特許請求の範囲第２項才たは第３項に記載の圧力置
   換器におい’？：　、　ＧａｌｎＳｎＺｎ合金に対しＣ
   耐食性のある材料としてニオブまたはタングステンを用
   いたことを特徴とする高温用ｊ圧力置換器。